本發(fā)明涉及壓力傳感器，特別涉及在支撐部件通過粘接劑來固定壓力檢測元件的壓力傳感器。

背景技術(shù)：

一直以來，作為檢測流體的壓力的壓力傳感器，例如，已知類似于專利文獻1及專利文獻2等所公開的液封型壓力傳感器。

如后述，液封型壓力傳感器包括：向壓力室供給進行壓力檢測的流體的流體供給部；對壓力室的流體的壓力進行檢測的壓力檢測部；向外部送出由壓力檢測部檢測而得到的壓力信號的信號送出部；以及覆蓋流體供給部、壓力檢測部以及信號送出部的外表面部件。

壓力檢測部主要具備：具有貫通孔的外殼；膜片，其焊接于外殼的下端的貫通孔的外周緣部，且隔絕上述的壓力室和后述的液封室；膜片保護罩，其配置于膜片的壓力室側(cè)，且與膜片一同焊接；對外殼的貫通孔內(nèi)部進行密封的密封玻璃；液封室，其形成于密封玻璃的下端側(cè)的凹部與膜片之間，且填充硅油等壓力傳輸介質(zhì)；在密封玻璃的中央的貫通孔配置的支柱；壓力檢測元件，其固定于支柱而配置于液封室內(nèi)部，且經(jīng)由膜片來對硅油的壓力變動進行檢測；配置于液封室的周圍的電位調(diào)整部件；以及多個引線腳，其以貫通密封玻璃的狀態(tài)配置，且通過接合線而與壓力檢測元件連接，進行對壓力檢測元件的輸入或輸出。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014－98685號公報

專利文獻2：日本特開2012－68105號公報

專利文獻3：日本特開平6－204313號公報

在類似于上述的專利文獻1及專利文獻2所記載的壓力傳感器中，例如，壓電電阻方式等的壓力檢測元件例如通過粘接劑而固定于由fe·ni系合金、不銹鋼等金屬材料所形成的支柱、外殼等支撐部件。在此，當(dāng)周圍溫度變化時，由于壓力檢測元件與粘接劑的線膨脹系數(shù)的差異而產(chǎn)生熱應(yīng)力。也就是，例如，在周圍溫度降低的情況下，與壓力檢測元件相比，粘接劑收縮，在周圍溫度上升的情況下，相比壓力檢測元件，粘接劑膨脹。當(dāng)產(chǎn)生該熱應(yīng)力時，壓力檢測元件變形，壓力檢測元件的輸出特性變化，存在傳感器輸出的精度減小的問題。

另外，在專利文獻3中，雖然記載了半導(dǎo)體封裝體內(nèi)的焊盤與密封樹脂之間的粘接界面的強度的評價方法，但是沒有與通過粘接劑來固定壓力檢測元件和支撐部件的壓力傳感器相關(guān)的記載，對于因壓力檢測元件的變形而引起的輸出特性的變化，也沒有記載。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種壓力傳感器，其為將壓力檢測元件通過粘接劑而固定于支撐部件的壓力傳感器，能夠減小因溫度變化而引起的壓力檢測元件的變形，實現(xiàn)精度的提高及溫度響應(yīng)性的改善。

為了解決上述課題，本發(fā)明的壓力傳感器具備：對流體的壓力進行檢測的壓力檢測元件；支撐上述壓力檢測元件的支撐部件；以及粘接固定上述壓力檢測元件與上述支撐部件的粘接劑，上述壓力傳感器的特征在于，

在由上述粘接劑構(gòu)成的粘接劑層的至少一個面上設(shè)置作為與上述支撐部件或上述壓力檢測元件的一部分配合的多個凹凸部的上述粘接劑層的熱應(yīng)力減小構(gòu)造。

另外，上述熱應(yīng)力減小構(gòu)造可以為上述粘接劑層進入在上述支撐部件或上述壓力檢測元件的粘接端面所設(shè)置的多個凹部的構(gòu)造。

為了解決上述課題，本發(fā)明的壓力傳感器具備：對流體的壓力進行檢測的壓力檢測元件；支撐上述壓力檢測元件的支撐部件；以及以粘接的方式固定上述壓力檢測元件和上述支撐部件的粘接劑，上述壓力傳感器的特征在于，在由上述粘接劑構(gòu)成的粘接劑層的至少一個面上設(shè)置具有多個散布的粘接部分的熱應(yīng)力減小構(gòu)造。

另外，上述熱應(yīng)力減小構(gòu)造可以為涂布于上述粘接劑層的支撐部的多個粘接劑層構(gòu)造，上述粘接劑層的支撐部構(gòu)成為被在上述支撐部件或上述壓力檢測元件的粘接端面所設(shè)置的槽部所分開的多個突起部。

上述熱應(yīng)力減小構(gòu)造可以為在上述支撐部件或上述壓力檢測元件上以上述粘接劑層分開且在彼此間設(shè)置空間的方式形成的多個粘接劑層構(gòu)造。

上述熱應(yīng)力減小構(gòu)造可以為以構(gòu)成多個凹凸的具有粘著性且固化后為凝膠狀的粘接劑層的狀態(tài)，與上述壓力檢測元件或上述支撐部件接觸的構(gòu)造。

上述熱應(yīng)力減小構(gòu)造可以為以具有粘著性且固化后為凝膠狀的粘接劑層的狀態(tài)與上述壓力檢測元件或上述支撐部件的表面粗糙或凹凸接觸的構(gòu)造。

上述壓力傳感器可以為液封型壓力傳感器。

上述支撐部件可以為fe·ni系合金的支柱。

上述壓力檢測元件可以為壓電電阻方式。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器，能夠在將壓力檢測元件通過粘接劑而固定于支撐部件的壓力傳感器中，減小因溫度變化而引起的壓力檢測元件的變形，實現(xiàn)精度的提高及溫度響應(yīng)性的改善。

附圖說明

圖1是表示作為本發(fā)明的壓力傳感器的一例的液封形壓力傳感器的縱剖視圖。

圖2是說明現(xiàn)有的壓力傳感器的壓力檢測元件的變形發(fā)生的圖。

圖3是說明本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的一例的圖。

圖4是說明本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的其他例的圖。

圖5是說明本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的其他例的圖。

圖6是說明本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的其他例的圖。

圖7是說明本發(fā)明的壓力傳感器的熱應(yīng)力減小效果的圖。

圖8是說明本發(fā)明的壓力傳感器的其他例的縱剖視圖。

符號說明

100、200—壓力傳感器，110、210—流體導(dǎo)入部，111、211—接頭部件，111a—內(nèi)螺紋部，112、212—底板，112a、212a—壓力室，112b—口，120、220—壓力檢測部，121、221—外殼，122、222—膜片，123—膜片保護罩，123a—連通孔，124—密封玻璃，124a、223a—液封室，125、325、425、525、625—支柱，125a、225a、325a、425a、525a、625a—粘接劑層，126—壓力檢測元件，126a—接合線，127—電位調(diào)整部件，128、228—引線腳，129—油填充用管，130、230—信號送出部，131—端子臺，132—連接端子，132a—粘接劑，133、233—電線，133a—芯線，134—靜電保護層，140、240—外表面部件，141、241—防水殼體，142—端子臺蓋，143、242、243—密封劑，225—密封件，226—油填充用通路，227—球，231—基板，232—連接器，325a—多個凹部，425a—槽部，425b—多個突起部，525b—遮蔽，625a—多個凹凸。

具體實施方式

以下，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進行說明。

圖1是表示作為本發(fā)明的壓力傳感器的一例的液封形壓力傳感器100的縱剖視圖。

圖1中，液封型壓力傳感器100具備：向后述的壓力室112a供給待進行壓力檢測的流體的流體導(dǎo)入部110；對壓力室112a的流體的壓力進行檢測的壓力檢測部120；向外部送出由壓力檢測部120所檢測而得到的壓力信號的信號送出部130；以及覆蓋流體導(dǎo)入部110、壓力檢測部120以及信號送出部130的外表面部件140。

流體導(dǎo)入部110具備：連接于引導(dǎo)待進行壓力檢測的流體的配管連接的金屬制接頭部件111；以及通過焊接等而連接于接頭部件111的與連接于配管的端部不同的端部的呈碗形的金屬制底板112。

在接頭部件111形成有旋入上述的配管的連接部的外螺紋部的內(nèi)螺紋部111a；以及向壓力室112a引導(dǎo)從配管所導(dǎo)入的流體的口111b?？?11b的開口端通過焊接等而連接于在底板112的中央所設(shè)置的開口部。此外，在此，雖然在接頭部件111設(shè)有內(nèi)螺紋部111a，但是也可以設(shè)置外螺紋，或者也可以取代接頭部件111，而連接銅制連接管。底板112呈朝向與接頭部件111對置的一側(cè)變寬的碗形，且在與后述的膜片122之間形成壓力室112a。

壓力檢測部120具備：具有貫通孔的外殼121；隔絕上述的壓力室112a和后述的液封室124a的膜片122；配置于膜片122的壓力室112a側(cè)的膜片保護罩123；封閉于外殼121的貫通孔內(nèi)部的密封玻璃124；在密封玻璃124的壓力室112a側(cè)的凹部與膜片122之間供填充硅油等壓力傳輸介質(zhì)的液封室124a；在密封玻璃124的中央的貫通孔配置的支柱125；固定于支柱125且配置于液封室124a內(nèi)部的壓力檢測元件126；在液封室124a的周圍配置的電位調(diào)整部件127；固定于密封玻璃124的多個引線腳128；以及固定于密封玻璃124的油填充用管129。

外殼121由例如fe·ni系合金、不銹鋼等金屬材料形成。膜片122和膜片保護罩123均由金屬材料形成，且均焊接于外殼121的壓力室112a側(cè)的貫通孔的外周緣部。膜片保護罩123為了保護膜片122而設(shè)于壓力室112a內(nèi)部，且設(shè)置用于使從流體導(dǎo)入部110所導(dǎo)入的流體通過的多個連通孔123a。在組裝成壓力檢測部120后，外殼121通過焊接等而與流體導(dǎo)入部110的底板112的外周緣部連接。

在支柱125的液封室124a側(cè)通過由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層125a而粘接固定壓力檢測元件126。此外，在本實施方式中，支柱125由fe·ni系合金形成，但不限定于此，也可以由不銹鋼等其他金屬材料形成。壓力檢測元件126將從流體導(dǎo)入部110導(dǎo)入至壓力室112a的流體的壓力經(jīng)由膜片122作為液封室124a內(nèi)的硅油的壓力變動而檢測。

電位調(diào)整部件127如日本專利第3987386號公報所述地設(shè)置成，使壓力檢測元件126處于無電場(零電位)內(nèi)，且不會因機架接地與二次電源之間產(chǎn)生的電位的影響而使芯片內(nèi)的電路受到不良影響。電位調(diào)整部件127配置于液封室124a內(nèi)的壓力檢測元件126與膜片122之間，而且由金屬等導(dǎo)電性的材料形成，連接于壓力檢測元件126的與零電位連接的端子。

在密封玻璃124以多個引線腳128和油填充用管129貫通狀態(tài)密封處理而固定。在本實施方式中，作為引線腳128，一共設(shè)有八根引線腳128。即，設(shè)有外部輸入或輸出用(vout)、電源供給用(vcc)、接地用(gnd)這三根引線腳128和作為壓力檢測元件126的調(diào)整用端子的五根引線腳128。此外，在圖1中示出了八根引線腳128中的四根。多個引線腳128例如通過金屬或鋁制的接合線126a而連接于壓力檢測元件126，從而構(gòu)成壓力檢測元件126的外部輸入和輸出端子。

油填充用管129是為了向液封室124a的內(nèi)部填充硅油等壓力傳輸介質(zhì)而設(shè)置。此外，油填充用管129的一個端部在填充油后，如圖1的虛線所示地被壓癟而封閉。

信號送出部130設(shè)于壓力檢測部120的與壓力室112a對置的一側(cè)，且具備：排列多個引線腳128的端子臺131；通過粘接劑132a而固定于端子臺131且連接于多個引線腳128的多個連接端子132；通過軟釬焊等而電連接于多個連接端子132的外端部的多個電線133；以及在外殼121的上端部與端子臺131之間由硅系粘接劑形成的靜電保護層134。

端子臺131為大致圓柱形狀，其形成為在該圓柱的中間附近具有用于引導(dǎo)上述的多個引線腳128的側(cè)壁的形狀，且由樹脂材料、例如聚對苯二甲酸丁二醇酯(pbt)而形成。端子臺131例如通過環(huán)氧樹脂等粘接劑而固定于壓力檢測部120的外殼121的上部。

連接端子132由金屬材料形成，且通過粘接劑132a而垂直地固定于端子臺131的比上述的固定壁靠上游的圓柱側(cè)壁。此外，在本實施方式中，設(shè)置外部輸入或輸出用(vout)、電源供給用(vcc)、接地用(gnd)這三根連接端子132。三根連接端子132的內(nèi)端部通過焊接等而電連接于分別對應(yīng)的引線腳128，但不限定于該連接方法，也可以通過其他方法來連接。

另外，在本實施方式中，為了與三根連接端子132連接而設(shè)置三根電線133。就電線133而言，在電線133的將由聚氯乙烯(pvc)等所形成的被覆剝?nèi)ズ舐冻龅男揪€133a預(yù)先預(yù)備焊錫，在將其絞線束成束后，通過軟釬焊、焊接等而電連接于連接端子132，但是不限定于該連接方法，也可以通過其他方法來連接。另外，三根電線133在從覆蓋壓力傳感器100的周圍的外表面部件140引出后，以將三根束成束的狀態(tài)，被由聚氯乙烯(pvc)等所形成的保護管(未圖示)覆蓋。

靜電保護層134包括：以覆蓋密封玻璃124的上端面的方式涂布于外殼121的上端面且由硅系粘接劑形成的具有預(yù)定的厚度的環(huán)狀的粘接層；以及涂布于整個使多個引線腳128突出的密封玻璃124的上端面且由硅系粘接劑構(gòu)成的被覆層。靜電保護層134是為了不受esd保護電路的有無影響地提高壓力檢測部120的抗靜電力而設(shè)置。

外表面部件140具備：大致圓筒狀且覆蓋壓力檢測部120及信號送出部130的周圍的防水殼體141；蓋在端子臺131的上部的端子臺蓋142；以及填充防水殼體141的內(nèi)周面與外殼121的外周面及端子臺131的外周面之間的密封劑143。

端子臺蓋142由例如樹脂材料形成。在本實施方式中，端子臺蓋142形成為對上述的圓柱狀的端子臺131的上部進行堵塞的形狀，且在填充聚氨酯系樹脂等密封劑143前，蓋在端子臺131的上部。但是，端子臺蓋142不限定于該形狀，也可以形成為將端子臺131的上部及防水殼體141的上部作為一體而堵塞的形狀，在填充密封劑143后蓋在上面，或者也可以設(shè)置與端子臺蓋142不同的新的蓋部件，在配置端子臺蓋142及密封劑143后，在防水殼體141的上部蓋上新的蓋部件。

防水殼體141由例如樹脂材料形成為大致圓筒狀，在圓筒狀的下端部設(shè)有朝向內(nèi)側(cè)的凸緣部。在該凸緣部抵接流體導(dǎo)入部110的底板112的外周部，在該流體導(dǎo)入部110連接從防水殼體141的上部的開口部插入的信號送出部130及壓力檢測部120。該狀態(tài)下，通過填充密封劑143，從而固定壓力檢測部120等內(nèi)部的零件。

圖2是說明現(xiàn)有的壓力傳感器的壓力檢測元件126的變形發(fā)生的圖。

在圖2中，例如壓電電阻方式等的壓力檢測元件126例如通過由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層125a而固定于由fe·ni系合金、不銹鋼等金屬材料形成的支柱125或者后述的圖8所示的外殼221等支撐部件。在此，當(dāng)周圍溫度變化時，粘接劑的固化溫度高，保證溫度為寬的溫度范圍，因此粘接性能本身不存在問題，但是，由于壓力檢測元件126與粘接劑層125a的線膨脹系數(shù)的差異，產(chǎn)生熱應(yīng)力。也就是，例如，在周圍溫度降低的情況下，相比壓力檢測元件126，粘接劑層125a收縮，在周圍溫度上升的情況下，相比壓力檢測元件126，粘接劑層125a膨脹。此外，圖2中表示溫度降低情況下的變形的發(fā)生。當(dāng)如上所述地產(chǎn)生熱應(yīng)力而壓力檢測元件126變形時，如后述的圖7所示，壓力檢測元件126的輸出特性變化，產(chǎn)生傳感器輸出的精度減小的問題。以下，對用于消除上述的問題點的本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的實施例進行說明。

圖3是對本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件126的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的一例進行說明的圖。

在圖3中，本實施例的熱應(yīng)力減小構(gòu)造為，由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層325a進入在支柱325等支撐部件的粘接端面所設(shè)置的多個凹部325a。由此，在溫度降低的情況下產(chǎn)生的粘接劑層325a的收縮通過被多個凹部325a卡住或者通過因多個凹部325a而形成的粘接劑層325a與槽部分離而被抑制。由此，壓力檢測元件126的變形減小。此外，在此，多個凹部325a設(shè)于支柱325等支撐部件，但是，也可以設(shè)于壓力檢測元件126。

圖4是對本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件126的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的其他例進行說明的圖。

在圖4中，本實施例的熱應(yīng)力減小構(gòu)造具有由涂布于粘接劑層支撐部的粘接劑構(gòu)成的多個粘接劑層425a的構(gòu)造，上述粘接劑層支撐部作為被在支柱425等支撐部件的粘接端面所設(shè)置的槽部425a所分開的多個突起部425b而構(gòu)成。由此，在溫度降低情況下產(chǎn)生的粘接劑層425a的收縮不朝向壓力檢測元件126的中央，而朝向多個粘接劑層425a的各自的中央。另外，通過多個粘接劑層425a的構(gòu)造，總的粘接面積減少，拉伸負(fù)載減小。由此，減小壓根據(jù)測元件126的變形。此外，多個突起部425b的個數(shù)以及槽部425a的形狀不限定于圖4的例。另外，在此，被槽部425a分開的多個突起部425b設(shè)于支柱425等支撐部件，也可以設(shè)于壓力檢測元件126。

圖5是對本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件126的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的其他例進行說明的圖。

在圖5中，本實施例的熱應(yīng)力減小構(gòu)造為在支柱525等支撐部件的粘接端面具有以以下形式形成的多個粘接劑層525a的構(gòu)造，即，通過例如遮蔽525b等而將由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層分開，且在彼此之間設(shè)置空間。由此，在溫度降低的情況下產(chǎn)生的粘接劑層525a的收縮不朝向壓力檢測元件126的中央，而朝向多個粘接劑層525a的各自的中央。另外，根據(jù)多個粘接劑層525a的構(gòu)造，總的粘接面積減少，拉伸負(fù)載減小。由此，減小壓力檢測元件126的變形。此外，在此，使用遮蔽525b來形成多個粘接劑層525a，但是不限定于此，只要能夠分成在彼此之間具有空間的多個粘接劑層525a即可，另外，多個粘接劑層525a的個數(shù)也不限定于圖5的例。另外，在此，將遮蔽525b貼在支柱525等支撐部件而形成多個粘接劑層525a，但是，也可以在壓力檢測元件126側(cè)形成。

圖6是對本發(fā)明的壓力傳感器的壓力檢測元件126的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的其他例進行說明的圖。

在圖6中，本實施例的熱應(yīng)力減小構(gòu)造具為，使支柱625等支撐部件的粘接端面以構(gòu)成多個凹凸的具有粘著性且固化后為凝膠狀的粘接劑層625a的狀態(tài)與壓力檢測元件126接觸。粘接劑層625a是具有粘著性的粘接劑固化后變成凝膠狀而構(gòu)成的。通過使用具有粘著性且固化后變成凝膠狀的粘接劑，從而不存在潤濕性，也就是，通過點接觸進行粘接，產(chǎn)生間隙，因此在支撐部件的粘接端面構(gòu)成多個凹凸。另外，也可以以具有粘著性且固化后為凝膠狀的粘接劑層的狀態(tài)與支撐部件的表面粗糙或支撐部件的凹凸通過無數(shù)的接點粘接。另外，也可以取代在固化呈凝膠狀后使用沒有粘著性的粘接劑，而使用粘接片。該狀態(tài)下，當(dāng)使壓力檢測元件126接觸時，通過在多個凹凸所構(gòu)成的無數(shù)的接點來粘接壓力檢測元件126。由此，在溫度降低的情況下產(chǎn)生的粘接劑層625a的收縮不朝向壓力檢測元件126的中央，而朝向粘接劑層625a的無數(shù)的接點。另外，根據(jù)具有無數(shù)的接點的粘接劑層625a構(gòu)造，總的粘接面積減少，拉伸負(fù)載減小。由此，壓力檢測元件126的變形減小。另外，在此，在將粘接劑層625a涂布于支柱625等支撐部件后而接觸壓力檢測元件126，但是，也可以在將粘接劑層625a涂布于壓力檢測元件126后而接觸支柱625等支撐部件。

圖7是對本發(fā)明的壓力傳感器的熱應(yīng)力減小效果進行說明的圖。

圖7所示的圖是以25℃為基準(zhǔn)，以比較未改進品和應(yīng)用了本發(fā)明的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的情況的方式表示相對于溫度(℃)的綜合精度(％fs)的特性。如圖7所示可知，相比未改進品，在應(yīng)用了本發(fā)明的熱應(yīng)力減小構(gòu)造的情況下，改善相對于溫度(℃)的綜合精度(％fs)。此外，在實際的壓力傳感器100中，雖然能夠在某固定范圍內(nèi)進行溫度特性調(diào)整，但是圖7所示的未改進品的數(shù)據(jù)表示溫度特性調(diào)整前的數(shù)據(jù)。

圖8是表示本發(fā)明的壓力傳感器的其他例200的縱剖視圖。

在圖8中，壓力傳感器200與圖1所示的壓力傳感器100同樣地為液封型壓力傳感器。圖8所示的壓力傳感器200與圖1所示的壓力傳感器100的較大的不同點在于，在外殼221的中央未設(shè)置貫通孔，在設(shè)于外殼221的壓力室212a側(cè)的凹部設(shè)置填充硅油等壓力傳輸介質(zhì)的液封室223a，在液封室223a內(nèi)，壓力檢測元件224通過由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層221a而直接以粘接的方式固定于外殼221。

在圖8中，液封型壓力傳感器200具備：向后述的壓力室212a供給待進行壓力檢測的流體的流體導(dǎo)入部210；對壓力室212a的流體的壓力進行檢測的壓力檢測部220；向外部送出由壓力檢測部220檢測而得到的壓力信號的信號送出部230；以及覆蓋流體導(dǎo)入部210、壓力檢測部220以及信號送出部230的外表面部件240。

流體導(dǎo)入部210具備：具有對待進行壓力檢測的流體進行引導(dǎo)的流路的接頭部件211；以及通過焊接而連接于接頭部件211的一個端部的具有碗形狀且與后述的膜片222一同形成壓力室212a的金屬制底板212。

壓力檢測部220具備：在流體導(dǎo)入部210側(cè)具有凹部的不銹鋼等金屬制外殼221；膜片222，其與上述的底板212一同焊接于外殼221的凹部的外周緣部，且隔絕壓力室212a和后述的液封室223a；液封室223a，其在外殼221的凹部與膜片222之間供填充壓力傳輸介質(zhì)，且被后述的密封件225封閉；壓力檢測元件224，其在外殼221的中央部通過由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層221a而粘接固定，配置于液封室223a內(nèi)部而經(jīng)由膜片222檢測壓力傳輸介質(zhì)的壓力變動；封閉液封室223a的密封件225；油填充用通路226，其固定于外殼221的一部分，且向液封室223a填充壓力傳輸介質(zhì)；在從油充填用通路226填充壓力傳輸介質(zhì)后，將油充填用通路226一個端部封閉的球227；以及多個引線腳228，其通過上述密封件225而固定于外殼221，且經(jīng)由線接合而連接于壓力檢測元件224。

信號送出部230具備：基板231，其配置于后述的防水殼體241的內(nèi)部的壓力檢測部220的上部，且連接于多個引線腳228；以及電線233，其經(jīng)由連接器232而連接于基板231，且從后述的防水殼體241的中央引出。

外表面部件240由樹脂制的材料形成為大致筒狀，且具備：防水殼體241，其形成為覆蓋連接器232的上端側(cè)縮徑而覆蓋壓力檢測部220的下端側(cè)的內(nèi)徑較大地擴大的形狀；密封劑242，其封入防水殼體241內(nèi)的空間，且由粘接劑構(gòu)成；以及密封劑243，其封入防水殼體241與底板212之間的空間，且由粘接劑構(gòu)成。

如圖8所示的壓力傳感器200所示，在具有將壓力檢測元件224直接通過由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層221a而固定于外殼221的構(gòu)造的壓力傳感器200中，通過在壓力檢測元件224、外殼221以及粘接劑層221a設(shè)置類似于上述的圖3至圖6所示的變形對策構(gòu)造，也能夠得到相同的效果。

此外，在本實施方式中，以液封型壓力傳感器100、200為例進行了說明，但不限定于此，能夠應(yīng)用于具有在支柱125或外殼221等支撐部件通過粘接劑層125a、221a等粘接壓力檢測元件126、224的結(jié)構(gòu)的所有的壓力傳感器。

如以上說明，根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器，能夠在將壓力檢測元件通過粘接劑而固定于支撐部件的壓力傳感器中，減小因溫度變化而引起的壓力檢測元件的變形，實現(xiàn)精度的提高及溫度響應(yīng)性的改善。