技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種雙電容式微機械加速度傳感器及基于該雙電容式微機械加速度傳感器的溫度自補償系統(tǒng)，雙電容式微機械加速度傳感器包括兩類柵極和兩類固定鋁電極，分別對應(yīng)兩個輸出端，這兩個輸出端分別與兩個差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸入端相連，差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出端分別和高頻載波發(fā)生器的輸出端與相干解調(diào)器的輸入端相連，相干解調(diào)器的輸出端與低通濾波器的輸入端相連，低通濾波器的輸出端與溫度自補償電路的輸入端相連。該系統(tǒng)不需要外加溫度傳感器來測量加速度傳感器的溫度，排除了由于溫度梯度而造成的溫度測量誤差對補償精度的影響，提高了溫度補償精度，同時消除了溫度系數(shù)的非線性特性對溫度補償結(jié)果的影響。

技術(shù)研發(fā)人員：張霞;劉維紅;李立珺
受保護的技術(shù)使用者：西安郵電大學(xué)
文檔號碼：201621381774
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.15
技術(shù)公布日：2017.06.13