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雙電容式微機(jī)械加速度傳感器及基于其的溫度自補(bǔ)償系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):12649324閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種雙電容式微機(jī)械加速度傳感器,其特征在于:包括柵極單元和固定鋁電極單元,所述柵極單元包括N個(gè)寬柵極以及與寬柵極數(shù)量相等的窄柵極;所述固定鋁電極單元包括2N個(gè)寬固定鋁電極以及與寬固定鋁電極數(shù)量相等的窄固定鋁電極;N大于等于1;

所述寬柵極的極板寬度大于窄柵極;

所述寬固定鋁電極的極板寬度大于窄固定鋁電極;

寬柵極與相對(duì)應(yīng)兩個(gè)寬固定鋁電極構(gòu)成第一電容,窄柵極與相對(duì)應(yīng)兩個(gè)窄固定鋁電極構(gòu)成第二電容;

寬柵極和相對(duì)應(yīng)的寬固定鋁電極的交疊部分,與窄柵極和相對(duì)應(yīng)的窄固定鋁電極的交疊部分的寬度不同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙電容式微機(jī)械加速度傳感器,其特征在于:所述N大于等于2,所述寬柵極和窄柵極相互交錯(cuò)。

3.一種基于雙電容式微機(jī)械加速度傳感器的溫度自補(bǔ)償系統(tǒng),其特征在于:

包括具有兩個(gè)輸出端的雙電容式微機(jī)械加速度傳感器、第一差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路、第二差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路、同相相干解調(diào)器、反相相干解調(diào)器、第一移相器、第二移相器、第一低通濾波器、第二低通濾波器、高頻載波發(fā)生器和自補(bǔ)償電路;

所述高頻載波發(fā)生器的輸出端分別與雙電容式微機(jī)械加速度傳感器的輸入端、第一移相器的輸入端、第二移相器的輸入端連接;

所述雙電容式微機(jī)械加速度傳感器的兩個(gè)輸出端分別與第一差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸入端、第二差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸入端連接;所述第一差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出端、第二差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出端分別與同相相干解調(diào)器輸入端、反相相干解調(diào)器的輸入端連接;所述同相相干解調(diào)器輸入端、反相相干解調(diào)器的輸入端還分別與第一移相器的輸出端、第二移相器的輸出端連接;所述同相相干解調(diào)器的輸出端、反相相干解調(diào)器的輸出端分別與第一低通濾波器的輸入端、第二低通濾波器的輸入端連接;所述第一低通濾波器的輸出端、第二低通濾波器的輸出端與自補(bǔ)償電路的輸入端連接;

所述第一移相器的輸出信號(hào)和第一差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出信號(hào)同相,第二移相器的輸出信號(hào)和第二差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出信號(hào)反相。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于雙電容式微機(jī)械加速度傳感器的溫度自補(bǔ)償系統(tǒng),其特征在于:所述雙電容式微機(jī)械加速度傳感器包括柵極單元和固定鋁電極單元,所述柵極單元包括N個(gè)寬柵極以及與寬柵極數(shù)量相等的窄柵極;所述固定鋁電極單元包括2N個(gè)寬固定鋁電極以及與寬固定鋁電極數(shù)量相等的窄固定鋁電極;N大于等于1;

所述寬柵極的極板寬度大于窄柵極;

所述寬固定鋁電極的極板寬度大于窄固定鋁電極;

寬柵極與相對(duì)應(yīng)兩個(gè)寬固定鋁電極構(gòu)成第一電容,窄柵極與相對(duì)應(yīng)兩個(gè)窄固定鋁電極構(gòu)成第二電容;

寬柵極和相對(duì)應(yīng)的寬固定鋁電極的交疊部分,與窄柵極和相對(duì)應(yīng)的窄固定鋁電極的交疊部分的寬度不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于雙電容式微機(jī)械加速度傳感器的溫度自補(bǔ)償系統(tǒng),其特征在于:所述N大于等于2,所述寬柵極和窄柵極相互交錯(cuò)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于雙電容式微機(jī)械加速度傳感器的溫度自補(bǔ)償系統(tǒng),其特征在于:自補(bǔ)償電路由加法器組成,加法器的輸出即為電容式微機(jī)械加速度傳感器的輸出。

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