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一種集成片式氧傳感器的制作方法

文檔序號:12115568閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N集成片式氧傳感器,包括氧化鋯基體、多孔保護(hù)層、陶瓷絕緣層和加熱層,所述氧化鋯基體的上方設(shè)有多孔保護(hù)層,所述氧化鋯基體的下方設(shè)有陶瓷絕緣層,所述陶瓷絕緣層的下方設(shè)有加熱層,所述氧化鋯基體和陶瓷絕緣層之間設(shè)置有參比氣層,所述參比氣層內(nèi)設(shè)置有通氣體和擴(kuò)散孔,所述通氣體包括基體和設(shè)置在基體上的若干個參比氣孔,所述多孔保護(hù)層內(nèi)設(shè)置有若干個透氣孔。本申請?zhí)峁┑募善窖鮽鞲衅?,由于所述透氣孔的周圍設(shè)置有若干個過濾孔,因而可以有效過濾掉檢測氣體中的雜質(zhì),防止過濾孔被堵塞,保證了靈敏度;由于相鄰兩個參比氣孔之間設(shè)置有第一參比氣通道,因而檢測氣體流通順暢,使得檢測結(jié)果可靠性高。

技術(shù)研發(fā)人員:蘇昭緘
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蘇昭緘
文檔號碼:201620862665
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.11
技術(shù)公布日:2017.03.22

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