本發(fā)明屬于應(yīng)變式傳感器技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種應(yīng)變式傳感器及其制作方法。

背景技術(shù)：

應(yīng)變式傳感器是基于測(cè)量物體受力變形所產(chǎn)生的應(yīng)變的一種傳感器，應(yīng)變片式傳感器主要應(yīng)用在：監(jiān)控、控制及物理量測(cè)量，并廣泛應(yīng)用于生活、工控、軍工等諸多領(lǐng)域。目前主要應(yīng)用的應(yīng)變片式傳感器有應(yīng)變式壓力傳感器、應(yīng)變式稱重傳感器、應(yīng)變式扭矩傳感器及測(cè)力、力矩、壓力用的金屬電阻應(yīng)變計(jì)等。現(xiàn)有應(yīng)變片式傳感器制作為：先標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)成應(yīng)變計(jì)(先在導(dǎo)電膜層上刻蝕電阻橋路)，再把應(yīng)變計(jì)根據(jù)不同的應(yīng)用要求用膠粘貼在彈性基體上，聯(lián)成橋路構(gòu)成各種要求的傳感器。目前，應(yīng)變式傳感器制作方法主要存在以下二方面問(wèn)題：

第一、由于應(yīng)變計(jì)生產(chǎn)時(shí)是用膠把康銅等金屬箔粘貼在基底上通過(guò)一系列工藝加工制成應(yīng)變計(jì)，在制成傳感器時(shí)又需要用膠再把應(yīng)變計(jì)粘貼在彈性基體上，按照此方法生產(chǎn)的傳感器其穩(wěn)定性、精度都不是很好，尤其是零點(diǎn)穩(wěn)定性差。

第二、不能大批量生產(chǎn)，每次生產(chǎn)的數(shù)量較少，只能單臺(tái)一個(gè)一個(gè)生產(chǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種應(yīng)變式傳感器，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理、制作方法簡(jiǎn)便、制作效率高且使用效果好，能夠一次完成多個(gè)應(yīng)變式傳感器的制作，提高應(yīng)變式傳感器的穩(wěn)定性和精度，生產(chǎn)效率得到顯著提高，具有廣泛的應(yīng)用和推廣價(jià)值用。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種應(yīng)變式傳感器，其特征在于：包括彈性基體、覆蓋在彈性基體上的絕緣介質(zhì)層和覆蓋在所述絕緣介質(zhì)層上的導(dǎo)電膜層，電阻橋路設(shè)置在所述導(dǎo)電膜層上，所述導(dǎo)電膜層和所述絕緣介質(zhì)層上均設(shè)置有絕緣保護(hù)層，所述絕緣介質(zhì)層的層數(shù)至少為一層，所述絕緣保護(hù)層的層數(shù)至少為一層。

上述的一種應(yīng)變式傳感器，其特征在于：所述絕緣介質(zhì)層為多層，多層所述絕緣介質(zhì)層為同種或不同種絕緣介質(zhì)，所述絕緣保護(hù)層為多層，多層所述絕緣保護(hù)層為同種或不同種絕緣介質(zhì)；

所述彈性基體的形狀為矩形、橢圓形、正多邊形或梯形。

上述的一種應(yīng)變式傳感器，其特征在于：包括設(shè)置在絕緣保護(hù)層的保護(hù)罩，所述保護(hù)罩上設(shè)置有供電阻橋路引出線引出的引出線孔，所述保護(hù)罩的厚度為0.05mm～10mm，所述保護(hù)罩頂部的內(nèi)表面與絕緣保護(hù)層的上表面的距離為0.05mm～10mm。

上述的一種應(yīng)變式傳感器，其特征在于：所述保護(hù)罩上設(shè)置有通氣孔，所述通氣孔為橢圓形孔、矩形孔或正多邊形孔。

另外，本發(fā)明還提供了一種制作上述應(yīng)變式傳感器的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、彈性基體的預(yù)處理:首先對(duì)彈性基體進(jìn)行熱處理，然后對(duì)熱處理后的彈性基體的表面進(jìn)行研磨，使彈性基體上表面和下表面的粗糙度均為0.8μm～1.6μm，最后對(duì)研磨后的彈性基體進(jìn)行去污處理、烘干；

步驟二、導(dǎo)電膜層的預(yù)處理:首先對(duì)導(dǎo)電膜層進(jìn)行熱處理，使導(dǎo)電膜層的電阻溫度系數(shù)范圍為-30PPM/℃～+30PPM/℃，然后對(duì)熱處理后的導(dǎo)電膜層進(jìn)行去污處理、烘干；

步驟三、制作層壓板：

步驟301、在室溫?zé)o塵環(huán)境中，將膠黏劑均勻涂覆在步驟一中經(jīng)過(guò)預(yù)處理的彈性基體的上表面，靜置1h～24h后進(jìn)行預(yù)烘處理，得到第一膠黏劑層；所述第一膠黏劑層的厚度為5μm～200μm；

步驟302、在室溫?zé)o塵環(huán)境中，將膠黏劑均勻涂覆在步驟二中經(jīng)過(guò)預(yù)處理的導(dǎo)電膜層的下表面，靜置1h～24h后進(jìn)行預(yù)烘處理，得到第二膠黏劑層；所述第二膠黏劑層的厚度為1μm～100μm；

步驟303、將步驟301中所述第一膠黏劑層和步驟302中第二膠黏劑層疊合后形成絕緣介質(zhì)層，然后放入壓緊裝置中，經(jīng)加壓和保溫處理，形成層壓板；

步驟304、對(duì)步驟303中所述層壓板中的導(dǎo)電膜層的上表面進(jìn)行二次去污處理、烘干；

步驟四、刻蝕電阻橋路：對(duì)步驟304中經(jīng)烘干處理后的導(dǎo)電膜層的上表面進(jìn)行刻蝕處理形成電阻橋路，然后采用零位調(diào)整方法對(duì)電阻橋路進(jìn)行調(diào)整，使所述電阻橋路的零點(diǎn)輸出范圍為-0.3mV/V～0.3mV/V；所述電阻橋路上設(shè)置有焊接引出線的焊盤(pán)；

步驟五、形成絕緣保護(hù)層：將膠黏劑均勻涂覆在步驟四中刻蝕電阻橋路后的層壓板的上表面，形成絕緣保護(hù)層，得到應(yīng)變式傳感器板；所述絕緣保護(hù)層的厚度為1μm～100μm；

步驟六、分割：將步驟五中所述應(yīng)變式傳感器板進(jìn)行分割，得到多個(gè)應(yīng)變式傳感器。

上述的應(yīng)變式傳感器的制作方法，其特征在于：所述彈性基體由304不銹鋼、316L不銹鋼、2Cr13不銹鋼、17-4PH不銹鋼或40CrNiMo制成；

當(dāng)彈性基體為304不銹鋼或316L不銹鋼時(shí)，步驟一中對(duì)彈性基體進(jìn)行熱處理，具體過(guò)程為：采用去應(yīng)力退火處理，其中，去應(yīng)力退火處理的溫度為450℃～500℃，去應(yīng)力退火處理的時(shí)間為3h～5h；

當(dāng)彈性基體為2Cr13不銹鋼時(shí)，步驟一中對(duì)彈性基體進(jìn)行熱處理，具體過(guò)程為：先進(jìn)行淬火處理，再進(jìn)行回火處理，其中淬火處理的溫度為940℃～1000℃，回火處理的溫度為315℃～450℃；

當(dāng)彈性基體為17-4PH不銹鋼或40CrNiMo時(shí)，步驟一中對(duì)彈性基體進(jìn)行熱處理，具體過(guò)程為：采用固溶化處理或時(shí)效處理，其中，固溶化處理的溫度為1020℃～1060℃，時(shí)效處理的溫度為460℃～520℃。

上述的應(yīng)變式傳感器的制作方法，其特征在于：步驟301中和步驟302中所述預(yù)烘處理的溫度均為60℃～85℃，所述預(yù)烘處理的時(shí)間均為20min～60min；

步驟303中所述加壓的壓力為1MPa～2MPa，所述保溫的溫度為20℃～60℃，保溫的時(shí)間為1h～3h。

上述的應(yīng)變式傳感器的制作方法，其特征在于：步驟二所述熱處理的溫度為220℃～280℃，步驟二所述熱處理的時(shí)間為4h～8h。

上述的應(yīng)變式傳感器的制作方法，其特征在于：步驟四中所述電阻橋路包括四個(gè)橋阻，所述零位調(diào)整方法包括研磨零位調(diào)整、化學(xué)腐蝕零位調(diào)整或激光刻蝕零位調(diào)整；所述研磨零位調(diào)整為：利用粒度為0.5μm～10μm的研磨料對(duì)所述四個(gè)橋阻中最小的橋阻進(jìn)行研磨，使所述電阻橋路中四個(gè)橋阻的誤差范圍為-2％～+2％。

上述的應(yīng)變式傳感器的制作方法，其特征在于：步驟六分割后，在所述絕緣保護(hù)層的上方覆蓋保護(hù)罩，保護(hù)罩與彈性基體、絕緣介質(zhì)層和絕緣保護(hù)層的外側(cè)壁均緊密接觸，使保護(hù)罩頂部的內(nèi)表面與絕緣保護(hù)層的上表面之間的距離為0.05mm～10mm。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、本發(fā)明應(yīng)變式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且投入成本較低、加工制作方便，實(shí)現(xiàn)高精度應(yīng)變式壓力傳感器的低成本、大批量生產(chǎn)。

2、本發(fā)明應(yīng)變式傳感器即可在真空環(huán)境，又可直接在大氣環(huán)境下生產(chǎn)，應(yīng)變式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成本低、傳感器量程不受限制等優(yōu)點(diǎn)。

3、本發(fā)明應(yīng)變式傳感器所采用的制作材料包括彈性基體、導(dǎo)電膜層和膠黏劑，原料容易采購(gòu)。

4、本發(fā)明應(yīng)變式傳感器所采用的膠黏劑，通過(guò)在彈性基體上涂覆第一膠黏劑層，因?qū)щ娔虞^薄，所以在導(dǎo)電膜上涂覆第二膠黏劑層，避免導(dǎo)電膜層發(fā)生皺褶，同時(shí)便于導(dǎo)電膜上與彈性基體的疊合，第一膠黏劑層和第二膠黏劑層疊合，形成絕緣介質(zhì)層，實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)電膜層的絕緣。

5、本發(fā)明應(yīng)變式傳感器采用膠黏劑，通過(guò)在層壓板的上表面(即導(dǎo)電膜層和絕緣介質(zhì)層)的上表面均勻涂覆膠黏劑，形成絕緣保護(hù)層，絕緣保護(hù)層的設(shè)置，一方面防止導(dǎo)電膜層上的電阻橋路裸露在空氣中，電阻橋路和潮濕空氣接觸，從而改變電阻橋路中橋阻的導(dǎo)電率，造成電阻橋路的不穩(wěn)定；另一方面與絕緣介質(zhì)層的上表面接觸，從而將導(dǎo)電膜層的四周均覆蓋有絕緣保護(hù)層，絕緣性好，從而提高應(yīng)變式傳感器的穩(wěn)定性和精度，效果好。

6、本發(fā)明應(yīng)變式傳感器的制作簡(jiǎn)便，可能夠一次完成多個(gè)應(yīng)變式傳感器的制作且應(yīng)變式傳感器效果好，生產(chǎn)效率大幅提高，首選制作出應(yīng)變式傳感器板，再將應(yīng)變式傳感器板進(jìn)行分割，得到多個(gè)應(yīng)變式傳感器，應(yīng)變式傳感器板制作的過(guò)程中，彈性基體和導(dǎo)電膜層的尺寸均較大，既方便涂覆膠黏劑，又能實(shí)現(xiàn)大批量加工，從而縮短應(yīng)變式傳感器的制作時(shí)間，尤其適用于大批量傳感器加工。

7、本發(fā)明應(yīng)變式傳感器制作時(shí)，首先對(duì)彈性基體和導(dǎo)電膜層進(jìn)行預(yù)處理，根據(jù)彈性基體和導(dǎo)電膜層選擇膠黏劑，通過(guò)對(duì)彈性基體進(jìn)行熱處理去除彈性基體在加工過(guò)程中產(chǎn)生的局部應(yīng)力，使彈性基體處于力學(xué)穩(wěn)定狀態(tài)，整個(gè)彈性基體各個(gè)部分均勻一致，使彈性基體的表面便于與導(dǎo)電膜層進(jìn)行疊合，通過(guò)對(duì)導(dǎo)電膜層進(jìn)行熱處理，消除導(dǎo)電膜層在在加工過(guò)程中產(chǎn)生的局部集中應(yīng)力，使導(dǎo)電膜層各部分力學(xué)性能均勻一致，且使導(dǎo)電膜層的電阻溫度系數(shù)穩(wěn)定，更易與彈性基體進(jìn)行疊合，便于后續(xù)層壓板的制作，避免了彈性基體和導(dǎo)電膜層疊合過(guò)程中，殘余應(yīng)力造成彈性基體和導(dǎo)電膜層的變形，造成傳感器制作的特性不能滿足要求，降低傳感器的精度。

8、本發(fā)明所采用的應(yīng)變式傳感器的制作方法步驟簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且實(shí)現(xiàn)方便、使用效果好，首先通過(guò)對(duì)彈性基體和導(dǎo)電膜層進(jìn)行預(yù)處理，根據(jù)彈性基體和導(dǎo)電膜層選擇膠黏劑，形成應(yīng)變式傳感器的基礎(chǔ)材料，消除彈性基體和導(dǎo)電膜層中的應(yīng)力，提高彈性基體和導(dǎo)電膜層的疊合；其次，使涂覆第一膠黏層的彈性基體和涂覆第二膠黏層的導(dǎo)電膜層疊合，第一膠黏層與第二膠黏層形成絕緣介質(zhì)層，經(jīng)過(guò)壓緊裝置加壓和保溫處理，形成層壓板，對(duì)導(dǎo)電膜層進(jìn)行絕緣，且層壓板的形成可在大氣環(huán)境或真空環(huán)境下進(jìn)行處理；接著，對(duì)層壓板中的導(dǎo)電膜層中刻蝕處理形成電阻橋路，并在層壓板的上表面涂覆膠黏劑，形成絕緣保護(hù)層，得到應(yīng)變式傳感器板；之后，將應(yīng)變式傳感器板進(jìn)行分割，得到多個(gè)應(yīng)變式傳感器，實(shí)現(xiàn)了多個(gè)應(yīng)變式傳感器的加工，根據(jù)生產(chǎn)要求，可調(diào)整多個(gè)應(yīng)變式傳感器的量程，制作過(guò)程簡(jiǎn)化，適應(yīng)范圍廣。

由上述內(nèi)容可知，本發(fā)明對(duì)傳統(tǒng)的應(yīng)變式傳感器制作方法進(jìn)行本質(zhì)上改進(jìn)，現(xiàn)有的應(yīng)變式傳感器制作方法一般先在導(dǎo)電膜層上刻蝕電阻橋路，再將彈性基體和刻蝕電阻橋路的導(dǎo)電膜層切割后在粘貼在一起，且量程確定，適用范圍受限。而本發(fā)明中，將導(dǎo)電膜層和彈性基體粘合后再進(jìn)行刻蝕形成電阻橋路，且應(yīng)變式傳感器量程可調(diào)節(jié)，使應(yīng)變式傳感器能在大范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)節(jié)，適應(yīng)不同需求，并且提高應(yīng)變式傳感器的精度。

綜上所述，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理、制作方法簡(jiǎn)便、制作效率高且使用效果好，能夠一次完成多個(gè)應(yīng)變式傳感器的制作，提高應(yīng)變式傳感器的穩(wěn)定性和精度，生產(chǎn)效率得到顯著提高，具有廣泛的應(yīng)用和推廣價(jià)值用。

下面通過(guò)附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明應(yīng)變式傳感器實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明應(yīng)變式傳感器實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為圖2的俯視圖。

圖4為本發(fā)明電阻橋路的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本發(fā)明應(yīng)變式傳感器的制作方法的流程框圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明:

1—彈性基體； 2—絕緣介質(zhì)層； 3—導(dǎo)電膜層；

4—絕緣保護(hù)層； 5—電阻橋路； 6—保護(hù)罩；

7—引出線孔； 8—通氣孔。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明應(yīng)變式傳感器通過(guò)實(shí)施1和實(shí)施例2進(jìn)行詳細(xì)描述。

實(shí)施例1

如圖1和圖4所示，本發(fā)明應(yīng)變式傳感器包括彈性基體1、覆蓋在彈性基體1上的絕緣介質(zhì)層2和覆蓋在所述絕緣介質(zhì)層2上的導(dǎo)電膜層3，電阻橋路5設(shè)置在所述導(dǎo)電膜層3上，所述導(dǎo)電膜層3和所述絕緣介質(zhì)層2上均設(shè)置有絕緣保護(hù)層4，所述絕緣介質(zhì)層2的層數(shù)至少為一層，所述絕緣保護(hù)層4的層數(shù)至少為一層。

本實(shí)施例中，所述絕緣介質(zhì)層2可以為多層，多層所述絕緣介質(zhì)層2為同種或不同種絕緣介質(zhì)，所述絕緣保護(hù)層4可以為多層，多層所述絕緣保護(hù)層4為同種或不同種絕緣介質(zhì)。所述彈性基體1的形狀為矩形、橢圓形、正多邊形或梯形。

本實(shí)施例中，所述彈性基體1的厚度為0.05mm～100mm，所述彈性基體1為圓形時(shí)，所述彈性基體1的直徑為5mm～50mm。

本實(shí)施例，所述的彈性基體1為正方形時(shí)，所述彈性基體1的長(zhǎng)×寬為5mm×5mm～20mm×20mm，所述彈性基體1的厚度為0.5mm～20mm，通過(guò)改變彈性基體1的形狀改變應(yīng)變式傳感器的形狀，可以根據(jù)生產(chǎn)需求制作多種形狀的應(yīng)變式傳感器，提高了應(yīng)變式傳感器生產(chǎn)的靈活性和應(yīng)用范圍。

實(shí)施例2

本實(shí)施例與實(shí)施例1的不同之處僅在于：所述應(yīng)變式傳感器還包括設(shè)置在絕緣保護(hù)層4上的保護(hù)罩6，所述保護(hù)罩6上設(shè)置有供電阻橋路5引出線引出的引出線孔7，所述保護(hù)罩6的厚度為0.05mm～10mm，所述保護(hù)罩6頂部的內(nèi)表面與絕緣保護(hù)層4的上表面之間的距離為0.05mm～10mm。

本實(shí)施例中，所述保護(hù)罩6上設(shè)置有通氣孔8，所述通氣孔8為橢圓形孔、矩形孔或正多邊形孔。

本實(shí)施例中，所述引出線孔7為圓形孔，所述引出線孔7的直徑為0.3mm～5mm，所述引出線的長(zhǎng)度為1mm～100mm；所述通氣孔8為圓形孔，所述通氣孔8的直徑為0.1mm～10mm。

結(jié)合圖5所示，本發(fā)明應(yīng)變式傳感器的制作方法通過(guò)實(shí)施例3～實(shí)施例10進(jìn)行描述：

實(shí)施例3

本實(shí)施例包括以下步驟：

步驟一、彈性基體的預(yù)處理:所述彈性基體1為304不銹鋼或316L不銹鋼時(shí)，首選對(duì)彈性基體1進(jìn)行去應(yīng)力退火處理，其中，去應(yīng)力退火處理的溫度為475℃，去應(yīng)力退火處理的時(shí)間為4h；然后對(duì)去應(yīng)力退火處理后的彈性基體1的表面進(jìn)行研磨，具體過(guò)程為：選擇粒度為17μm的研磨料，對(duì)步驟101中經(jīng)過(guò)熱處理的彈性基體1的表面進(jìn)行研磨，研磨至彈性基體1上表面和下表面的粗糙度為0.8μm～1.6μm；最后對(duì)研磨后的彈性基體1進(jìn)行去污處理、烘干；所述彈性基體1的厚度為50mm；

實(shí)際制作過(guò)程中，對(duì)彈性基體1進(jìn)行去油污處理，避免彈性基體1中含有雜質(zhì)或水分，使得當(dāng)溫度發(fā)生變化時(shí)，彈性基體1中的雜質(zhì)或水分造成彈性基體1的膨脹，導(dǎo)致彈性基體1不能與導(dǎo)電膜層3緊密疊合，影響導(dǎo)電膜層3的穩(wěn)定性。

步驟二、導(dǎo)電膜層的預(yù)處理:首先對(duì)導(dǎo)電膜層3進(jìn)行熱處理，使導(dǎo)電膜層3的電阻溫度系數(shù)范圍為-30PPM/℃～+30PPM/℃，然后對(duì)熱處理后的導(dǎo)電膜層3進(jìn)行去污處理、烘干，其中，所述熱處理的溫度為250℃，所述熱處理的時(shí)間為6h。

實(shí)際制作過(guò)程中，步驟二中對(duì)導(dǎo)電膜層3進(jìn)行去污處理，避免導(dǎo)電膜層3中含有雜質(zhì)或水分，使得當(dāng)溫度發(fā)生變化時(shí)，導(dǎo)電膜層3中的雜質(zhì)或水分造成彈性基體1的膨脹，導(dǎo)致導(dǎo)電膜層3不能與彈性基體1緊密疊合，影響導(dǎo)電膜層3的穩(wěn)定性。

實(shí)際制作過(guò)程中，通過(guò)對(duì)彈性基體1進(jìn)行熱處理去除彈性基體1在加工過(guò)程中產(chǎn)生的局部集中應(yīng)力，使彈性基體1處于力學(xué)穩(wěn)定狀態(tài)，整個(gè)彈性基體1各個(gè)部分均勻一致，且使彈性基體1的上表面光潔、無(wú)缺陷，便于與導(dǎo)電膜層3進(jìn)行疊合，通過(guò)導(dǎo)電膜層3進(jìn)行熱處理，消除導(dǎo)電膜層3在在加工過(guò)程中產(chǎn)生的局部應(yīng)力，使導(dǎo)電膜層3各部分力學(xué)性能均勻一致，且使導(dǎo)電膜層3的電阻溫度系數(shù)穩(wěn)定，便于與彈性基體1進(jìn)行疊合，便于后續(xù)層壓板的制作，避免了彈性基體1和導(dǎo)電膜層3疊合過(guò)程中，殘余應(yīng)力造成彈性基體和導(dǎo)電膜層的變形，造成傳感器制作精度低不能滿足要求。

本實(shí)施例中，所述膠黏劑為有機(jī)膠黏劑，有機(jī)膠黏劑優(yōu)選為環(huán)氧系膠黏劑，進(jìn)一步優(yōu)選為，所述環(huán)氧系膠黏劑包括CEMEDINE110膠黏劑或SP168GN膠黏劑，根據(jù)生產(chǎn)制作需求，可選擇具有同等效果的其他類型的有機(jī)膠黏劑。

步驟三、制作層壓板：

步驟301、在室溫?zé)o塵環(huán)境中，將膠黏劑均勻涂覆在步驟一中經(jīng)過(guò)預(yù)處理的彈性基體1的上表面，靜置12h后進(jìn)行預(yù)烘處理，得到第一膠黏劑層；所述第一膠黏劑層的厚度為100μm，所述預(yù)烘處理的溫度均為73℃，所述預(yù)烘處理的時(shí)間為40min；

步驟302、在室溫?zé)o塵環(huán)境中，將膠黏劑均勻涂覆在步驟二中經(jīng)過(guò)預(yù)處理的導(dǎo)電膜層3的下表面，靜置12h后進(jìn)行預(yù)烘處理，得到第二膠黏劑層；所述第二膠黏劑層的厚度為50μm，所述預(yù)烘處理的溫度均為73℃，所述預(yù)烘處理的時(shí)間為40min；

實(shí)際制作過(guò)程中，因?qū)щ娔虞^薄，厚度為2.5μm～5μm，所以在導(dǎo)電膜3上涂覆第二膠黏劑層，避免導(dǎo)電膜層3發(fā)生皺褶，同時(shí)便于導(dǎo)電膜3與彈性基體1的疊合。

步驟303、將步驟301中所述第一膠黏劑層和步驟302中第二膠黏劑層疊合后形成絕緣介質(zhì)層2，然后放入壓緊裝置中，經(jīng)加壓和保溫處理，形成層壓板；所述絕緣介質(zhì)層2的厚度為150，所述加壓的壓力為1.5MPa，所述保溫的溫度為40℃，所述保溫的時(shí)間為2h。

步驟304、對(duì)步驟303中所述層壓板中的導(dǎo)電膜層3的上表面進(jìn)行二次去污處理、烘干；

本實(shí)施例中，步驟304對(duì)所述層壓板進(jìn)行二次去污處理，去除所述層壓板中的導(dǎo)電膜層3的上表面的雜質(zhì)或水分，保證導(dǎo)電膜層3能與彈性基體1緊密疊合，提高導(dǎo)電膜層3的穩(wěn)定性。

步驟四、刻蝕電阻橋路：對(duì)步驟304中經(jīng)烘干處理后的導(dǎo)電膜層3的上表面進(jìn)行刻蝕處理形成電阻橋路5，然后采用零位調(diào)整方法對(duì)電阻橋路5進(jìn)行調(diào)整，使所述電阻橋路5的零點(diǎn)輸出范圍為-0.3mV/V～0.3mV/V；所述電阻橋路5上設(shè)置有焊接引出線的焊盤(pán)；

實(shí)際制作過(guò)程中，步驟四中所述電阻橋路5包括四個(gè)橋阻，所述零位調(diào)整方法包括研磨零位調(diào)整、化學(xué)腐蝕零位調(diào)整或激光刻蝕零位調(diào)整；所述研磨零位調(diào)整為：利用粒度為0.5μm～10μm的研磨料對(duì)所述四個(gè)橋阻中最小的橋阻進(jìn)行研磨，使所述電阻橋路5中四個(gè)橋阻的誤差范圍為-2％～+2％。

步驟五、形成絕緣保護(hù)層：將膠黏劑均勻涂覆在步驟四中刻蝕電阻橋路5后的層壓板的上表面，形成絕緣保護(hù)層4，得到應(yīng)變式傳感器板；所述絕緣保護(hù)層4的厚度為50μm；

實(shí)際制作過(guò)程中，通過(guò)在所述層壓板的上表面即導(dǎo)電膜層3和絕緣介質(zhì)層2的上表面均勻涂覆膠黏劑，形成絕緣保護(hù)層4，絕緣保護(hù)層4的設(shè)置，一方面防止導(dǎo)電膜層3上的電阻橋路5裸露在空氣中，電阻橋路5和潮濕空氣接觸，從而改變電阻橋路5中橋阻的導(dǎo)電率，造成電阻橋路5的不穩(wěn)定；另一方面與絕緣介質(zhì)層2的上表面接觸，從而將導(dǎo)電膜層3的四周均覆蓋有絕緣保護(hù)層4，絕緣性好，從而提高應(yīng)變式傳感器的穩(wěn)定性和精度，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，且效果好。

步驟六、分割：將步驟五中所述應(yīng)變式傳感器板進(jìn)行分割，得到多個(gè)應(yīng)變式傳感器。

實(shí)際制作過(guò)程中，將所述應(yīng)變式傳感器板進(jìn)行分割，得到多個(gè)應(yīng)變式傳感器，應(yīng)變式傳感器板制作的過(guò)程中，彈性基體1和導(dǎo)電膜層3的尺寸均較大，既方便涂覆膠黏劑，又能實(shí)現(xiàn)大批量加工，從而縮短應(yīng)變式傳感器的制作時(shí)間，尤其適用于大批量傳感器加工，實(shí)現(xiàn)了多個(gè)應(yīng)變式傳感器的加工，生產(chǎn)效率大幅提高。

實(shí)際制作過(guò)程中，根據(jù)生產(chǎn)要求，通過(guò)調(diào)整所述應(yīng)變式傳感器中的彈性基體1的厚度而改變應(yīng)變式傳感器的量程，可生產(chǎn)多類型的應(yīng)變式傳感器，制作過(guò)程簡(jiǎn)化。

本實(shí)施例中，優(yōu)選地，步驟六分割后，在所述絕緣保護(hù)層4的上方覆蓋保護(hù)罩6，保護(hù)罩6與彈性基體1、絕緣介質(zhì)層2和絕緣保護(hù)層的外側(cè)壁均緊密接觸。

本實(shí)施例中，所述彈性基體1的形狀為圓形，所述彈性基體1的直徑為27mm。

實(shí)際制作過(guò)程中，對(duì)步驟六中所述應(yīng)變式傳感器焊接引線，并放入老化裝置中進(jìn)行老化，老化后進(jìn)行測(cè)試，保證電阻橋路5的零點(diǎn)輸出范圍為-0.3mV/V～+0.3mV/V。

實(shí)際制作過(guò)程中，當(dāng)制作應(yīng)變式壓力傳感器時(shí)，帶有保護(hù)罩6的應(yīng)變式壓力傳感器在通氣孔8沒(méi)有被密封的情況下制成的應(yīng)變式壓力傳感器為表壓型壓力傳感器；帶有保護(hù)罩6的應(yīng)變式壓力傳感器在真空狀態(tài)下被密封制成的應(yīng)變式壓力傳感器為絕壓型壓力傳感器；帶有保護(hù)罩6的應(yīng)變式壓力傳感器在注入標(biāo)準(zhǔn)壓力值的氣體后被密封制成的應(yīng)變式壓力傳感器為密封表壓型壓力傳感器。

實(shí)施例4

本實(shí)施例應(yīng)變式傳感器的制作方法與實(shí)施例3的不同之處僅在于：步驟一中彈性基體1為2Cr13不銹鋼時(shí)，對(duì)彈性基體1的熱處理為：先對(duì)彈性基體1進(jìn)行淬火處理，再進(jìn)行回火處理，其中淬火處理的溫度為970℃，回火處理的溫度為380℃；步驟一中彈性基體1的直徑為5mm；步驟二中所述熱處理的溫度為220℃，所述熱處理的時(shí)間為4h，步驟301中所述靜置的時(shí)間為1h，所述第一膠黏劑層的厚度為5μm，步驟303中所述絕緣介質(zhì)層2的厚度為6μm，步驟302中所述靜置的時(shí)間為1h，所述第二膠黏劑層的厚度為1μm，步驟301中和步驟302中所述預(yù)烘處理的溫度均為60℃，所述預(yù)烘處理的時(shí)間均為20min。

本實(shí)施例中的其它工藝過(guò)程與實(shí)施例3相同。

實(shí)施例5

本實(shí)施例應(yīng)變式傳感器的制作方法與實(shí)施例3的不同之處僅在于：步驟一中彈性基體1為17-4PH不銹鋼或40CrNiMo時(shí)，對(duì)彈性基體1的熱處理為：對(duì)彈性基體1進(jìn)行固溶化處理，其中固溶化處理的溫度為1040℃；步驟一中彈性基體1的直徑為50mm；步驟二中所述熱處理的溫度為280℃，所述熱處理的時(shí)間為8h，步驟301中所述靜置的時(shí)間為24h，所述第一膠黏劑層的厚度為200μm，步驟303中所述絕緣介質(zhì)層2的厚度為300μm，步驟301中和步驟302中所述預(yù)烘處理的溫度均為85℃，所述預(yù)烘處理的時(shí)間均為60min；步驟302中所述靜置的時(shí)間為24h，所述第二膠黏劑層的厚度為100μm。

本實(shí)施例中的其它工藝過(guò)程與實(shí)施例3相同。

實(shí)施例6

本實(shí)施例應(yīng)變式傳感器的制作方法與實(shí)施例5的不同之處僅在于：步驟一中彈性基體1為17-4PH不銹鋼或40CrNiMo時(shí)，對(duì)彈性基體1的熱處理為：對(duì)彈性基體1進(jìn)行時(shí)效處理，其中，時(shí)效處理的溫度為480℃。

本實(shí)施例中的其它工藝過(guò)程與實(shí)施例5相同。

實(shí)施例7

本實(shí)施例應(yīng)變式傳感器的制作方法與實(shí)施例5的不同之處僅在于：步驟一中所述固溶化處理的溫度1020℃。

本實(shí)施例中的其它工藝過(guò)程與實(shí)施例5相同。

實(shí)施例8

本實(shí)施例應(yīng)變式傳感器的制作方法與實(shí)施例5的不同之處僅在于：步驟一中所述固溶化處理的溫度1060℃。

本實(shí)施例中的其它工藝過(guò)程與實(shí)施例5相同。

實(shí)施例9

本實(shí)施例應(yīng)變式傳感器的制作方法與實(shí)施例6的不同之處僅在于：步驟一中所述時(shí)效處理的溫度為460℃。

本實(shí)施例中的其它工藝過(guò)程與實(shí)施例6相同。

實(shí)施例10

本實(shí)施例應(yīng)變式傳感器的制作方法與實(shí)施例6的不同之處僅在于：步驟一中所述時(shí)效處理的溫度為520℃。

本實(shí)施例中的其它工藝過(guò)程與實(shí)施例6相同。

以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非對(duì)本發(fā)明作任何限制，凡是根據(jù)本發(fā)明技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。