技術總結
本發(fā)明為一種可檢測多組份混合氣體的傳感器陣列，由n個不同極間距的金納米孔薄膜三電極電離式傳感器組成。傳感器包括三個自下而上依次分布的第一、第二和第三電極，第一電極由內表面附著有分布著金納米孔的金屬膜基底及設有小透氣孔的電極構成；第二電極由中心設有小引出孔的引出極構成；第三電極由板面設有槽的收集極構成；三個電極分別通過絕緣支柱相互隔離；n個金納米孔薄膜三電極電離式傳感器第一電極制作在同一極板上；三電極之間的極間距按照透氣孔和引出孔的孔徑以及槽的邊長和槽深設定。本發(fā)明不需要分離混合氣體，通過改變極間距識別不同組分氣體，通過電流檢測各組份濃度，與現(xiàn)有技術對比有較大的收集電流和靈敏度。

技術研發(fā)人員：張勇;張健鵬;張嘉祥;童佳明;潘志剛;程珍珍;梁冰點;陳麒宇;張晶園;賀永寧;李昕;劉定新;楊愛軍;王小華;榮命哲
受保護的技術使用者：西安交通大學
文檔號碼：201610629253
技術研發(fā)日：2016.08.03
技術公布日：2016.12.21