技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明專(zhuān)利提出了一種大口徑光柵衍射效率的測(cè)量裝置和測(cè)量方法,包括光源、單色器、傳輸光纖、分束鏡、二維掃描機(jī)構(gòu)、樣品臺(tái)、參考光探測(cè)器和測(cè)試光探測(cè)器，根據(jù)測(cè)量光強(qiáng)度和參考光光強(qiáng)的比值，以及衍射光強(qiáng)度和參考光強(qiáng)度的比值，計(jì)算得到大口徑光柵單個(gè)位置處的衍射效率值，接著利用二維掃描機(jī)構(gòu)在水平和垂直方向掃描光纖測(cè)量頭，依次得到大口徑光柵各個(gè)位置處的衍射效率值，從而完成大口徑光柵衍射效率的測(cè)量。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了大口徑光柵衍射效率的測(cè)量，降低了測(cè)量系統(tǒng)的構(gòu)建成本，消除了測(cè)量過(guò)程中的安全隱患，顯著加快了大口徑光柵衍射效率的測(cè)量速度，同時(shí)能保證大口徑光柵衍射效率的測(cè)量數(shù)據(jù)具有較好的重復(fù)性和復(fù)現(xiàn)性。

技術(shù)研發(fā)人員：邵建達(dá);劉世杰;王圣浩;王微微;張志剛;周游;徐天柱;魯棋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
文檔號(hào)碼：201610427140
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.16
技術(shù)公布日：2016.11.16