技術(shù)編號(hào)：11859221
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光柵衍射效率的測(cè)量領(lǐng)域，特別是一種大口徑光柵衍射效率的測(cè)量裝置和測(cè)量方法。背景技術(shù)大口徑光柵(對(duì)角線尺寸達(dá)到米級(jí))在基于慣性約束核聚變的高功率啁啾脈沖放大系統(tǒng)中、在大口徑天文望遠(yuǎn)鏡中、在精密位移測(cè)量中、在納米壓印光刻以及其他諸多科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域中起著至關(guān)重要的作用，而衍射效率是大口徑光柵最重要的性能指標(biāo)之一，大口徑內(nèi)衍射效率的準(zhǔn)確測(cè)量對(duì)于評(píng)價(jià)大口徑光柵的性能、改進(jìn)大口徑光柵的加工工藝有著重要的意義。目前國(guó)際上普遍采用的大口徑光柵衍射效率測(cè)量裝置的光路結(jié)構(gòu)如圖1所示[1,2]，主要包括光源1...
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