專利名稱：光柵衍射效率測試裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型有關一種光柵光譜衍射效率的測試裝置。
背景技術：
在光學研究中常常需要測量光柵光譜的衍射效率，但現(xiàn)有技術的裝置均只能測量大小相同口徑的光柵的衍射效率，而不能測大小不同口徑的光柵的衍射效率，且現(xiàn)有技術的裝置也不能測量不同偏振態(tài)的衍射效率。因此采用現(xiàn)有技術的測試裝置進行測試時，對于光柵口徑不同或存在不同偏振態(tài)的情況只能分別進行測試，造成測試時間長，程序復雜，測試精度低。故現(xiàn)有技術中的測試裝置仍有改進的必要。
發(fā)明內容本實用新型提供一種光柵衍射效率測試裝置，以解決現(xiàn)有技術中存在的不能測量口徑大小不同的光柵衍射效率，以及不能測量不同偏振態(tài)的衍射效率的技術問題。為此，本實用新型的一種光柵衍射效率測試裝置，包括依光路順次連接的光源室、第一分光系統(tǒng)、第二分光系統(tǒng)和接收器系統(tǒng)，所述光源室用于發(fā)出光；所述第一分光系統(tǒng)內設第一光柵，用于將所述光源室發(fā)出的光轉化為單色光；所述第二分光系統(tǒng)設有被測光柵，用于接收所述單色光，并將所述單色光進行衍射；所述接收器系統(tǒng)內依光路順次設有偏振器、第四狹縫和接收器，所述偏振器用于將衍射后的光分為水平偏振光和豎直偏振光并通過所述第四狹縫，所述接收器接收所述第四狹縫后的光線。其中，所述第四狹縫為水平位置能切換的光闌。其中，所述被測光柵前設有具一定透光口徑并能替換的第一光闌。其中，所述光源室中還設有第一凹面鏡，所述第一分光系統(tǒng)內還設有第一狹縫，所述第一凹面鏡用于將所述光源發(fā)出的光會聚于所述第一分光系統(tǒng)的第一狹縫，所述第一光柵接收通過所述第一狹縫的光并轉化為單色光。其中，所述第二分光系統(tǒng)還包括大準直鏡，所述接收器系統(tǒng)還包括第三狹縫，所述大準直鏡用于將所述單色光準直成為平行光并照在所述被測光柵上進行衍射，且所述大準直鏡將所述被測光柵的衍射光會聚于所述第三狹縫處，所述偏振器用于接收所述第三狹縫后的光。本實用新型為能測量平面反射光柵衍射效率的裝置，既能測反射光柵的綜合衍射效率(不分偏振光)也能測量其水平偏振光衍射效率和與其垂直的偏振光的衍射效率，在被測光柵前面設有第一光闌，可以測量不同面積大小的光柵樣品。且本實用新型的光路分布有利于充分利用空間，縮小整體體積，達到了有益的技術效果。
圖1是本實用新型的結構示意圖。附圖標記說明[0012]1-光源室；11-光源；12-第一凹面鏡；2_第一分光系統(tǒng)；21_第一狹縫；22_第二狹縫；23_第一光柵；3_第二分光系統(tǒng)；31_平面鏡；32_大準直鏡；33_被測光柵；34_第一光闌；4_接收器系統(tǒng)；41_第三狹縫；42_偏振器；43_第二凹面鏡；44_第四狹縫；45_接收器。
具體實施方式
為了使本實用新型的形狀、構造以及特點能夠更好地被理解，以下將列舉較佳實施例并結合附圖進行詳細說明。本實用新型的光柵衍射效率測試裝置，包括依光路順次連接的光源室1，第一分光系統(tǒng)2,第二分光系統(tǒng)3和接收器系統(tǒng)4。光源室I中光源11發(fā)出的光，經第一凹面鏡12會聚于第一分光系統(tǒng)2的第一狹縫21，并經第一分光系統(tǒng)2內設的第一光柵23產生單色光。第一分光系統(tǒng)2的光路是C-T型光路，第一分光系統(tǒng)2分光后的單色光經第二狹縫22進入第二分光系統(tǒng)3。第二分光系統(tǒng)3的光路是立特羅型光路，進入第二分光系統(tǒng)3的光經平面鏡31轉折約90°后照在第二分光系統(tǒng)3的大準直鏡32上，經大準直鏡32后的平行光照在被測光柵33上，經被測光柵33衍射后的光再經大準直鏡32會聚于接收器系統(tǒng)4的第三狹縫41。被測光柵33前設有具一定透光口徑并能替換的第一光闌34。被測光柵33位置可用相同大小的平面反射鏡代替，以平面鏡的反射光作為參考基礎。接收器系統(tǒng)4設置有偏振器42，偏振器42將第三狹縫41進入的光分為水平偏振光和豎直偏振光，可以測出被測光柵水平和豎直兩個偏振方向的偏振光的衍射效率。拿走偏振器，則可測出不分偏振的綜合衍射效率。經偏振器42后的光經第二凹面鏡43會聚在第四狹縫44中。第四狹縫44實際上是一個水平位置可以切換的光闌，可選擇兩種偏振態(tài)的光讓其分別通過。被測光柵33前使用不同口徑的第一光闌34，可適用于對面積大小不同的光柵進行測試。接收器45置于第四狹縫44后，以接收水平偏振、垂直偏振光或綜合光。經第二分光系統(tǒng)3輸出的光斑是豎直的長條形的，經偏振器42后仍然是豎直的但分成了水平方向稍許錯開的兩個光斑，其中一條是水平偏振光形成的光斑，另一條是豎直偏振形成的光斑。起會聚作用的第二凹面鏡43的焦距設計，使得經偏振器42分開的兩個偏振方向的光斑剛能夠由第四狹縫44的光闌選取，又不能分開太大距離以至于光斑到接收器45的位置時超出接收器45的光敏面。光柵閃耀效率是與照射在光柵上的光線與光柵法線角度即光路設置有關的。本實用新型采用立特羅型光路(整個光學系統(tǒng)由一面大鏡子和光柵組成，大鏡子既充當準直鏡又充當分光后的成像鏡，平面鏡僅起轉折光路用)與一般的光柵衍射效率定義一致，這樣測得結果具有較高的可比性。本實用新型為能測量平面反射光柵衍射效率的裝置，既能測反射光柵的綜合衍射效率(不分偏振光)也能測量其水平偏振光衍射效率和與其垂直的偏振光的衍射效率，在被測光柵前面設有第一光闌，可以測量不同面積大小的光柵樣品。且本實用新型的光路分布有利于充分利用空間，縮小整體體積。以上對本實用新型的描述是說明性的，而非限制性的，本專業(yè)技術人員理解，在權利要求限定的精神與范圍之內可對其進行許多修改、變化或等效，但是它們都將落入本實用新型的保護范圍內。
權利要求1.一種光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，包括依光路順次連接的光源室、第一分光系統(tǒng)、第二分光系統(tǒng)和接收器系統(tǒng)，所述光源室用于發(fā)出光；所述第一分光系統(tǒng)內設第一光柵，用于將所述光源室發(fā)出的光轉化為單色光；所述第二分光系統(tǒng)設有被測光柵，用于接收所述單色光，并將所述單色光進行衍射；所述接收器系統(tǒng)內依光路順次設有偏振器、第四狹縫和接收器，所述偏振器用于將衍射后的光分為水平偏振光和豎直偏振光并通過所述第四狹縫，所述接收器接收所述第四狹縫后的光線。
2.如權利要求1所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述第四狹縫為水平位置能切換的光闌。
3.如權利要求1所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述被測光柵前設有具一定透光口徑并能替換的第一光闌。
4.如權利要求1所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述光源室中還設有第一凹面鏡，所述第一分光系統(tǒng)內還設有第一狹縫，所述第一凹面鏡用于將所述光源發(fā)出的光會聚于所述第一分光系統(tǒng)的第一狹縫，所述第一光柵接收通過所述第一狹縫的光并轉化為單色光。
5.如權利要求4所述的光柵衍射效率測試裝置，其特征在于，所述第二分光系統(tǒng)還包括大準直鏡，所述接收器系統(tǒng)還包括第三狹縫，所述大準直鏡用于將所述單色光準直成為平行光并照在所述被測光柵上進行衍射，且所述大準直鏡將所述被測光柵的衍射光會聚于所述第三狹縫處，所述偏振器用于接收所述第三狹縫后的光。
專利摘要一種光柵衍射效率測試裝置，包括依光路順次連接的光源室、第一分光系統(tǒng)、第二分光系統(tǒng)和接收器系統(tǒng)，所述光源室用于發(fā)出光；所述第一分光系統(tǒng)內設第一光柵，用于將所述光源室發(fā)出的光轉化為單色光；所述第二分光系統(tǒng)設有被測光柵，用于接收所述單色光，并將所述單色光進行衍射；所述接收器系統(tǒng)內依光路順次設有偏振器、第四狹縫和接收器，所述偏振器用于將衍射后的光分為水平偏振光和豎直偏振光并通過所述第四狹縫，所述接收器接收所述第四狹縫后的光線。本實用新型既能測反射光柵的綜合衍射效率(不分偏振光)也能測量其水平偏振光衍射效率和與其垂直的偏振光的衍射效率，且可以測量不同面積大小的光柵樣品。
文檔編號G01M11/02GK202886088SQ20122059426
公開日2013年4月17日 申請日期2012年11月12日 優(yōu)先權日2012年11月12日
發(fā)明者武進田, 趙英偉, 劉坤, 楊洪久 申請人:北京瑞利分析儀器有限公司