技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種干涉測(cè)量中成像畸變的標(biāo)定系統(tǒng)，包括干涉測(cè)量中成像畸變的標(biāo)定系統(tǒng)，包括干涉測(cè)量裝置、調(diào)整機(jī)構(gòu)、球冠網(wǎng)格板和數(shù)據(jù)處理裝置，球冠網(wǎng)格板，用于對(duì)所述被檢光學(xué)元件進(jìn)行畸變標(biāo)定；調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整光學(xué)被檢光學(xué)元件處于干涉測(cè)量裝置共焦干涉檢測(cè)位置，被檢光學(xué)元件中心、球冠網(wǎng)格板的幾何中心與干涉測(cè)量裝置的光軸重合，球冠網(wǎng)格板的坐標(biāo)軸與干涉測(cè)量裝置探測(cè)器的坐標(biāo)軸重合；干涉測(cè)量裝置進(jìn)行干涉檢測(cè)；數(shù)據(jù)處理裝置計(jì)算畸變函數(shù)及被檢光學(xué)元件的面形誤差。本發(fā)明還包括干涉測(cè)量中成像畸變的標(biāo)定方法。通過(guò)設(shè)置網(wǎng)格板，進(jìn)行成像畸變標(biāo)定，達(dá)到了在不破壞被檢元件的情況下，實(shí)現(xiàn)成像畸變標(biāo)定的有益效果。

技術(shù)研發(fā)人員：苗亮;張文龍;劉鈺;馬冬梅;金春水
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
文檔號(hào)碼：201510962490
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.21
技術(shù)公布日：2016.12.21