一種感應(yīng)裝置及研磨清洗設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明實施例提供一種感應(yīng)裝置及研磨清洗設(shè)備，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，能夠解決研磨清洗過程中，由于清洗液體濺濕感應(yīng)器，造成感應(yīng)數(shù)據(jù)不精準(zhǔn)而導(dǎo)致的生產(chǎn)效率以及產(chǎn)品質(zhì)量低下的問題。所述感應(yīng)裝置包括第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器；還包括設(shè)置于第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器之間的干燥裝置；所述干燥裝置的第一安裝面上設(shè)置有第一安裝口，用于安裝第一風(fēng)淋噴管；其中，第一安裝口的位置與第一感應(yīng)器感應(yīng)頭的位置相對應(yīng)。
【專利說明】一種感應(yīng)裝置及研磨清洗設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種感應(yīng)裝置及研磨清洗設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶體管-液晶顯示器)因其具有體積小、功耗低、無輻射等特點(diǎn)，越來越多地被應(yīng)用于高性能顯示領(lǐng)域當(dāng)中。現(xiàn)有TFT-1XD的制造工藝主要包括四個階段，分別為彩色濾光片制備、Array (陣列基板制造)工藝、Cell (液晶盒)制備工藝以及Module (模塊組裝)工藝。
[0003]其中，Module工藝包括驅(qū)動的綁定、偏光片的貼附以及背光模組的組裝等工藝。上述偏光片分別貼附于對盒切割后的Cell的上、下表面。并且，上述兩個偏光片的光軸垂直。這樣一來，當(dāng)Cell中的液晶層未施加電場時，背光模組發(fā)出的光線經(jīng)過一張偏光片入射至液晶層，液晶分子經(jīng)入射光的行進(jìn)方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使其從另一張偏光片射出。當(dāng)在液晶層上施加電場時，液晶層中的液晶分子排列方向發(fā)生變化，使得入射光無法穿透。從而可以對光線強(qiáng)弱進(jìn)行控制，并在彩色濾光片的濾光作用，實現(xiàn)彩色圖像顯示。
[0004]為了在貼附上述偏光片時，確保Cell的上下表面平整、潔凈，通常在貼附偏光片的步驟之前，需要通過研磨清洗設(shè)備對Cell的上、下表面進(jìn)行研磨清洗?，F(xiàn)有的研磨清洗設(shè)備中一般設(shè)置有感應(yīng)器(Sensor)，以對待清洗的Cell的位置進(jìn)行感應(yīng)，從而提升機(jī)械自動化的精度。然而，在對Cell清洗的過程中，研磨清洗設(shè)備噴灑出的水會濺射到上述感應(yīng)器上，從而使得感應(yīng)器的感應(yīng)數(shù)值大范圍跳動，導(dǎo)致感應(yīng)數(shù)據(jù)出錯。例如當(dāng)Cell還移動到研磨位置時，感應(yīng)器的感應(yīng)數(shù)值已超過其門限值，此時設(shè)備會報警顯示異常。每次報警都需暫停研磨清洗工作，從而降低了生產(chǎn)效率。此外，如果當(dāng)Cell移動到研磨位置時，研磨部由于感應(yīng)器感應(yīng)數(shù)據(jù)出錯而未運(yùn)行至工位，則會造成Cell表面的部分區(qū)域未進(jìn)行研磨清洗處理，這樣一來，殘留于Cell表面的膠體以及碎肩等污漬會嚴(yán)重減低產(chǎn)品的質(zhì)量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的實施例提供一種感應(yīng)裝置及研磨清洗設(shè)備，能夠解決研磨清洗過程中，由于清洗液體濺濕感應(yīng)器，造成感應(yīng)數(shù)據(jù)不精準(zhǔn)而導(dǎo)致的生產(chǎn)效率以及產(chǎn)品質(zhì)量低下的問題。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]本發(fā)明實施例的一方面，提供一種感應(yīng)裝置，包括第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器；還包括設(shè)置于所述第一感應(yīng)器和所述第二感應(yīng)器之間的干燥裝置；
[0008]所述干燥裝置的第一安裝面上設(shè)置有第一安裝口，用于安裝第一風(fēng)淋噴管；所述第一安裝口的位置與所述第一感應(yīng)器感應(yīng)頭的位置相對應(yīng)。
[0009]本發(fā)明實施例的另一方面，提供一種研磨清洗設(shè)備，包括至少一個如上所述的任意一種感應(yīng)裝置。
[0010]本發(fā)明實施例提供一種感應(yīng)裝置及研磨清洗設(shè)備，其中，所述感應(yīng)裝置包括第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器；還包括設(shè)置于第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器之間的干燥裝置。所述干燥裝置能夠在研磨清洗的過程中，對第一感應(yīng)器進(jìn)行干燥處理。其中，干燥裝置的第一安裝面上設(shè)置有第一安裝口，用于安裝第一風(fēng)淋噴管；第一安裝口的位置與第一感應(yīng)器感應(yīng)頭的位置相對應(yīng)。這樣一來，能夠通過第一風(fēng)淋噴管對第一感應(yīng)器進(jìn)行風(fēng)淋干燥處理，以使得第一感應(yīng)器感應(yīng)頭保持干燥狀態(tài)，避免了在研磨清洗的過程中，由于第一感應(yīng)器的感應(yīng)頭被濺濕，而造成感應(yīng)數(shù)據(jù)出錯的現(xiàn)象產(chǎn)生。此外，由于第一安裝口與第一感應(yīng)器感應(yīng)頭相對應(yīng)，因此，安裝于第一安裝口上的第一風(fēng)淋噴管的出風(fēng)口正對著第一感應(yīng)器感應(yīng)頭，從而能夠提高風(fēng)淋干燥的效果，進(jìn)而提高感應(yīng)數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性，降低報錯率和廢品率，提升了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1為本發(fā)明實施例提供的一種感應(yīng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為本發(fā)明實施例提供的另一種感應(yīng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3為本發(fā)明實施例提供的一種干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖4為本發(fā)明實施例提供的一種研磨清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖5為本發(fā)明實施例提供的一種研磨清洗設(shè)備中干燥裝置的安裝位置示意圖。
[0017]附圖標(biāo)記:
[0018]01-顯不基板；02_研磨清洗設(shè)備的安裝背板；10_感應(yīng)裝置；10a_上研磨過程中的第一感應(yīng)裝置；10b-上研磨過程中的第二感應(yīng)裝置；10c-下研磨過程中的第一感應(yīng)裝置；1d-下研磨過程中的第二感應(yīng)裝置；100-第一感應(yīng)器；101-第一感應(yīng)器的感應(yīng)頭；110-第二感應(yīng)器；111_第二感應(yīng)器的感應(yīng)頭；200_干燥裝置;A-第一安裝面；210_第一安裝口 ；211-第一風(fēng)淋噴管；B-第二安裝面；220_第二安裝口 ；221-第二風(fēng)淋噴管；C_第三安裝面；230_第三安裝口 ；231-第三風(fēng)淋噴管；L1-第一風(fēng)淋噴管的出風(fēng)側(cè)表面與第一感應(yīng)器之間的距離；L2-第二風(fēng)淋噴管的出風(fēng)側(cè)表面與第二感應(yīng)器之間的距離；L3-第三風(fēng)淋噴管的出風(fēng)側(cè)表面與感應(yīng)裝置的待感應(yīng)表面的距離；240_供風(fēng)管道；40_上研磨部件；41-下研磨部件；50-凹槽；51-導(dǎo)軌；510-定位孔。

【具體實施方式】
[0019]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0020]本發(fā)明實施例提供一種感應(yīng)裝置，如圖1所示，可以包括第一感應(yīng)器100和第二感應(yīng)器110。還可以包括設(shè)置于第一感應(yīng)器100和第二感應(yīng)器110之間的干燥裝置200。
[0021]其中，所述干燥裝置200的第一安裝面A上設(shè)置有第一安裝口 210，用于安裝第一風(fēng)淋噴管211。所述第一安裝口 210的位置與第一感應(yīng)器100感應(yīng)頭101的位置相對應(yīng)。
[0022]需要說明的是，由于在對顯示基板01進(jìn)行研磨清洗的過程中，噴灑于顯示基板01表面的清潔用水或者溶劑，會濺射到第一感應(yīng)器100上，第一感應(yīng)器100的安裝方式如圖1所示，其中軸線與顯示基板01的待清潔表面具有一定的夾角。因此，濺射到第一感應(yīng)器100上的液體會受到重力的影響聚集到第一感應(yīng)器100的感應(yīng)頭101上，從而嚴(yán)重影響第一感應(yīng)器100的感應(yīng)精度。
[0023]因此，第一安裝口 210的位置與第一感應(yīng)器100感應(yīng)頭101的位置相對應(yīng)是指，第一安裝口 210的位置與第一感應(yīng)器100感應(yīng)頭101的位置相對，使得安裝于第一安裝口 210上的第一風(fēng)淋噴管211的出風(fēng)口正對著第一感應(yīng)器100感應(yīng)頭101。這樣一來，從第一風(fēng)淋噴管211吹出的氣體能夠直接作用于第一感應(yīng)器100的感應(yīng)頭101上，以提高對第一感應(yīng)器100進(jìn)行風(fēng)淋干燥的效率和效果。
[0024]本發(fā)明實施例提供一種感應(yīng)裝置，包括第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器；還包括設(shè)置于第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器之間的干燥裝置。所述干燥裝置能夠在研磨清洗的過程中，對第一感應(yīng)器進(jìn)行干燥處理。其中，干燥裝置的第一安裝面上設(shè)置有第一安裝口，用于安裝第一風(fēng)淋噴管；第一安裝口的位置與第一感應(yīng)器感應(yīng)頭的位置相對應(yīng)。這樣一來，能夠通過第一風(fēng)淋噴管對第一感應(yīng)器進(jìn)行風(fēng)淋干燥處理，以使得第一感應(yīng)器感應(yīng)頭保持干燥狀態(tài)，避免了在研磨清洗的過程中，由于第一感應(yīng)器的感應(yīng)頭被濺濕，而造成感應(yīng)數(shù)據(jù)出錯的現(xiàn)象產(chǎn)生。此外，由于第一安裝口與第一感應(yīng)器感應(yīng)頭相對應(yīng)，因此，安裝于第一安裝口上的第一風(fēng)淋噴管的出風(fēng)口正對著第一感應(yīng)器感應(yīng)頭，從而能夠提高風(fēng)淋干燥的效果，進(jìn)而提高感應(yīng)數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性，降低報錯率和廢品率，提升了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0025]以下通過具體的實施例，對上述感應(yīng)裝置10的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的舉例說明。
[0026]實施例一
[0027]在研磨清洗的過程中，對于第二感應(yīng)器110而言，同樣會發(fā)生清洗用溶液濺射至第二感應(yīng)器I1的感應(yīng)頭110上，導(dǎo)致第二感應(yīng)器110的感應(yīng)數(shù)據(jù)不精確的現(xiàn)象發(fā)生。因此，如圖2所示，干燥裝置200的第二安裝面B上可以設(shè)置有第二安裝口 220，用于安裝第二風(fēng)淋噴管221。其中，與第一安裝口 210的設(shè)置位置的原理相同，第二安裝口 220的位置與第二感應(yīng)器110的感應(yīng)頭111位置相對應(yīng)。
[0028]這樣一來，能夠通過安裝于第二安裝口 220的第二風(fēng)淋噴管221對第二感應(yīng)器110進(jìn)行風(fēng)淋干燥處理，以使得第二感應(yīng)器110的感應(yīng)頭111保持干燥狀態(tài)，避免了在研磨清洗的過程中，由于第二感應(yīng)器110的感應(yīng)頭111被濺濕，而造成感應(yīng)數(shù)據(jù)出錯的現(xiàn)象產(chǎn)生。
[0029]需要說明的是，上述第一感應(yīng)器100和上述第二感應(yīng)器110，可以成對使用，即一個為發(fā)射部件，另一個為接收部件。當(dāng)所述接收部件接收到發(fā)射部件發(fā)射出的感應(yīng)信號，并導(dǎo)致感應(yīng)裝置的感應(yīng)數(shù)值發(fā)生變化時，就可以達(dá)到感應(yīng)物體的目的。
[0030]例如，所述第一感應(yīng)器100可以為發(fā)射部件，用于向感應(yīng)裝置10的待感應(yīng)表面(例如顯示基板01的表面)發(fā)射感應(yīng)光線。
[0031]第二感應(yīng)器110為接收部件，用于接收所述感應(yīng)光線在所述感應(yīng)裝置10的待感應(yīng)表面(例如顯不基板01的表面)反射后的光線。
[0032]這樣一來，當(dāng)顯示基板01位于感應(yīng)裝置10的感應(yīng)區(qū)域時，第一感應(yīng)器100發(fā)出的感應(yīng)光線照射至顯示基板01的表面后才能被反射至第二感應(yīng)器110，從而被第二感應(yīng)器110接收，以改變感應(yīng)裝置10的感應(yīng)數(shù)值。例如，一般感應(yīng)裝置10的門限值可以設(shè)置為2500?5000之間。當(dāng)感應(yīng)裝置10的門限值為2500時，如果上述顯示基板01進(jìn)入感應(yīng)裝置10的感應(yīng)區(qū)，經(jīng)過第一感應(yīng)器100和第二感應(yīng)器110的相互作用，感應(yīng)到后，上述感應(yīng)裝置10的門限值可以為3000。這時，感應(yīng)裝置10可以通過上述門限值告知其它設(shè)備或工作人員，顯示基板01以移動至預(yù)設(shè)位置(即上述感應(yīng)裝置10的感應(yīng)區(qū))。其中，上述預(yù)設(shè)位置可以是顯示基板01的待加工位置，例如在研磨清洗過程中，可以是研磨前位置、研磨后位置等等。
[0033]當(dāng)然，上述僅僅是對第一感應(yīng)器100為發(fā)射部件，第二感應(yīng)器110為接收部件為例進(jìn)行的說明。當(dāng)?shù)谝桓袘?yīng)器100為接收部件，第二感應(yīng)器110為發(fā)射部件時，感應(yīng)原理同理可得，在此不再一一贅述，但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0034]此外，為了進(jìn)一步提高風(fēng)淋干燥的效果，可以控制風(fēng)淋噴管與感應(yīng)器之間的距離。
[0035]具體的，第一風(fēng)淋噴管211的出風(fēng)側(cè)表面與第一感應(yīng)器100之間的距離LI可以為3mm ?5mm ο
[0036]和/ 或，
[0037]第二風(fēng)淋噴管221的出風(fēng)側(cè)表面與第二感應(yīng)器111之間的距離L2可以為3mm?5mm ο
[0038]需要說明的是，上述距離LI和L2的范圍包括最小值3mm和最大值5mm。當(dāng)風(fēng)淋噴管(第一風(fēng)淋噴管211或第二風(fēng)淋噴管221)與感應(yīng)器(第一感應(yīng)器100或第二感應(yīng)器111)之間的距離較小時，例如小于3_時，感應(yīng)器的感應(yīng)頭受到風(fēng)淋噴管中吹出氣體的氣壓較大，由于感應(yīng)器的感應(yīng)頭為靈敏部件，因此上述氣壓對感應(yīng)頭造成損壞，或者降低感應(yīng)數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性。而當(dāng)風(fēng)淋噴管與感應(yīng)器之間的距離較大時，例如大于5_時，風(fēng)淋噴管中吹出氣體到達(dá)感應(yīng)器的感應(yīng)頭部時，作用力減小，因此需要更長的時間來對感應(yīng)頭進(jìn)行風(fēng)淋干燥處理，從而降低了干燥的效率和效果。
[0039]在實施例一中，由于感應(yīng)裝置10是通過第一感應(yīng)器100發(fā)出的感應(yīng)光線照射至顯示基板01的表面，然后反射至第二感應(yīng)器110，被第二感應(yīng)器110接收，以感應(yīng)顯示基板01的位置是否移動至預(yù)設(shè)位置。因此，如果在研磨清洗的過程中，感應(yīng)光線到達(dá)的顯示基板01的表面處被清洗用溶液覆蓋時，將會改變感應(yīng)光線的反射光線的傳播路徑，導(dǎo)致反射光線無法被第二感應(yīng)器110，這樣一來，當(dāng)顯示基板01移動至預(yù)設(shè)位置，例如研磨前位置時，感應(yīng)裝置10由于上述原因而沒有感應(yīng)到，從而導(dǎo)致研磨部件未下降至研磨工位，未對顯示基板OI進(jìn)行研磨工序，使得顯示基板OI的表面存在膠體以及碎肩等污漬，嚴(yán)重影響后續(xù)偏光片的貼附工藝。
[0040]為了解決上述問題，本發(fā)明提供一下實施例。
[0041]實施例二
[0042]在干燥裝置200的第三安裝面C上設(shè)置有第三安裝口 230，用于安裝第三風(fēng)淋噴管231。所述第三風(fēng)淋噴管231的位置與感應(yīng)裝置10的待感應(yīng)表面(顯示基板01的表面)相對應(yīng)。
[0043]這樣一來，通過第三風(fēng)淋噴管231對顯示基板01的表面進(jìn)行風(fēng)淋干燥，表面由于液體覆蓋所述顯示基板01的表面，而導(dǎo)致在顯示基板01的表面反射的感應(yīng)光線無法被第二感應(yīng)器110接收的現(xiàn)象。從而提高了感應(yīng)裝置10的精度。
[0044]其中，為了進(jìn)一步提高風(fēng)淋干燥的效果，可以控制風(fēng)淋噴管與待感應(yīng)表面(顯示基板01的表面)的距離。
[0045]具體的，第三風(fēng)淋噴管231的出風(fēng)側(cè)表面與感應(yīng)裝置10的待感應(yīng)表面的距離L3可以為ICtam?1 5mmn
[0046]需要說明的是，上述距離L3的范圍包括最小值1mm和最大值15mm。當(dāng)?shù)谌L(fēng)淋噴管231與待感應(yīng)表面之間的距離較小時，例如小于1mm時，待感應(yīng)表面(例如顯示基板01的表面)受到風(fēng)淋噴管中吹出氣體的氣壓較大，容易造成顯示基板01發(fā)生變形，從而會降低顯示裝置的質(zhì)量。而當(dāng)?shù)谌L(fēng)淋噴管231與待感應(yīng)表面之間的距離較大時，例如大于15mm時，風(fēng)淋噴管中吹出氣體到達(dá)待感應(yīng)表面時，作用力減小，因此需要更長的時間來對待感應(yīng)表面進(jìn)行風(fēng)淋干燥處理，從而降低了干燥的效率和效果。
[0047]此外，通過上述第一感應(yīng)器100和第二感應(yīng)器110的感應(yīng)原理可知，顯示基板01的表面上用于反射感應(yīng)光線的部分位于第一感應(yīng)器100、第二感應(yīng)器110在顯示基板01表面的投影區(qū)域之間。因此，優(yōu)選的，如圖2所示，第一安裝面A與第二安裝面B可以分別位于所述第三安裝面C兩側(cè)。
[0048]并且，第一安裝面A可以與第一感應(yīng)器100的中軸線相平行。
[0049]第二安裝面B可以與第二感應(yīng)器110的中軸線相平行。
[0050]第三安裝面C可以與感應(yīng)裝置10的待感應(yīng)表面(顯示基板01的表面)相平行。
[0051]這樣一來，通過第一安裝口 210安裝于第一安裝表面A上的第一風(fēng)淋噴管211與第一感應(yīng)器100的中軸線垂直；通過第二安裝口 220安裝于第二安裝表面B上的第二風(fēng)淋噴管221與第二感應(yīng)器110的中軸線垂直；通過第三安裝口 230安裝于第三安裝面C上的第三風(fēng)淋噴管231能夠與顯示基板01的表面垂直。由于相對于傾斜到達(dá)待干燥表面的風(fēng)而言，垂直到達(dá)待干燥表面的風(fēng)，其作用面積大，作用力更大，因此通過上述設(shè)置，可以提高風(fēng)淋干燥的效果。
[0052]其中，第一感應(yīng)器100的中軸線與第二感應(yīng)器110的中軸線之間的夾角范圍可以為60°?120°。因此第一安裝面A和第二安裝面B的夾角范圍可以為60°?120°。
[0053]實施例三
[0054]如圖3所示，干燥裝置200內(nèi)部設(shè)置有分別與第一安裝口 210、第二安裝口 220以及第三安裝口 230相連接的供風(fēng)管道240。
[0055]其中，所述供風(fēng)管道240的可以內(nèi)徑大于第一風(fēng)淋噴管211、第二風(fēng)淋噴管221或第三風(fēng)淋噴管231的內(nèi)徑。這樣一來，可以向供風(fēng)管道240輸送較多的氣體，然而，由于第一風(fēng)淋噴管211、第二風(fēng)淋噴管221或第三風(fēng)淋噴管231的內(nèi)徑小于供風(fēng)管道240的內(nèi)徑，因此，位于供風(fēng)管道240內(nèi)的氣體不能及時排除而聚集與供風(fēng)管道240內(nèi)，從而可以增加供風(fēng)管道240內(nèi)氣體的壓力，使得增加了第一風(fēng)淋噴管211、第二風(fēng)淋噴管221或第三風(fēng)淋噴管231噴出氣體的壓力，提高了風(fēng)淋干燥的效果。
[0056]進(jìn)一步地，通過設(shè)置供風(fēng)管道240的內(nèi)徑與第一風(fēng)淋噴管211、第二風(fēng)淋噴管221或第三風(fēng)淋噴管231內(nèi)徑的大小，可以將第一風(fēng)淋噴管211、第二風(fēng)淋噴管221或第三風(fēng)淋噴管231的噴射壓力設(shè)置為0.1MPa?0.3MPa。
[0057]需要說明的是，第一、上述噴射壓力的范圍包括最小值0.1MPa和最大值0.3MPa。當(dāng)噴射壓力小于0.1MPa時，由于噴射至第一感應(yīng)器100的感應(yīng)頭101、第二感應(yīng)器110的感應(yīng)頭111或顯示基板Ol的表面的氣體，其氣壓較小，不能夠保證在短時間進(jìn)行干燥處理，從而降低了風(fēng)淋干燥的效果。而當(dāng)噴射壓力大于0.3MPa時，由于噴射至第一感應(yīng)器100的感應(yīng)頭101、第二感應(yīng)器110的感應(yīng)頭111或顯示基板01的表面的氣體，其氣壓較大，雖然風(fēng)淋干燥的效果好，但是由于氣壓較大，可能會損壞感應(yīng)頭110、感應(yīng)頭111或顯示基板01的表面。
[0058]第二、上述用于風(fēng)淋干燥的氣體可以是惰性CDA(Clean Dry Air，潔凈干燥氣體)，例如氮?dú)狻鍤獾鹊?。由于惰性氣體不容易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，因此通過采用上述惰性CDA，可以在實現(xiàn)風(fēng)淋干燥的同時，避免在風(fēng)淋干燥的過程中，避免感應(yīng)裝置10受到化學(xué)腐蝕。
[0059]本發(fā)明實施例提供一種研磨清洗設(shè)備，可以包括至少一個如上所述的任意一種感應(yīng)裝置10。
[0060]以下通過具體的實施例，對研磨清洗設(shè)備中感應(yīng)裝置10的設(shè)置方法進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0061]實施例四
[0062]一般對顯示基板01的研磨清洗步驟一般可以包括上研磨和下研磨，以分別對顯示基板01的上、下表面進(jìn)行研磨清洗。因此，如圖4所示，可以在研磨清洗設(shè)備中設(shè)置四個感應(yīng)裝置(包括10a、1bUOc以及1d)。
[0063]具體的，首先，當(dāng)感應(yīng)裝置1a(上研磨過程中的第一感應(yīng)裝置)感應(yīng)到顯示基板01時，顯示基板01移動至上研磨前位置，此時，上研磨部件40向下移動，與顯示基板01的上表面相接處，對顯示基板01的上表面進(jìn)行研磨，同時噴水管(同種未示出)，對研磨過程中產(chǎn)生的碎肩進(jìn)行沖洗。
[0064]然后，隨著傳送機(jī)構(gòu)(圖中未示出)的運(yùn)行，顯示基板01繼續(xù)向左移動，當(dāng)感應(yīng)裝置1b (上研磨過程中的第二感應(yīng)裝置)感應(yīng)到顯示基板01時，顯示基板01移動至上研磨后位置，上研磨過程結(jié)束。
[0065]接下來，隨著傳送機(jī)構(gòu)的繼續(xù)運(yùn)行，顯示基板01繼續(xù)向左移動，當(dāng)感應(yīng)裝置1c (下研磨過程中的第一感應(yīng)裝置)感應(yīng)到顯示基板01時，顯示基板01移動至下研磨前位置，此時，下研磨部件41向上移動，與顯示基板01的下表面相接處，對顯示基板01的下表面進(jìn)行研磨，同時噴水管(同種未示出)，對研磨過程中產(chǎn)生的碎肩進(jìn)行沖洗。
[0066]最后，隨著傳送機(jī)構(gòu)的繼續(xù)運(yùn)行，顯示基板01繼續(xù)向左移動，當(dāng)感應(yīng)裝置1d(下研磨過程中的第二感應(yīng)裝置)感應(yīng)到顯示基板01時，顯示基板01移動至下研磨后位置，下研磨過程結(jié)束。
[0067]上述研磨清洗過程結(jié)束之后，顯示基板01繼續(xù)移動進(jìn)行進(jìn)一步的清洗以及烘干等步驟，在進(jìn)一步清洗和烘干步驟中同樣可以設(shè)置上述感應(yīng)裝置10，感應(yīng)原理同上所述，此處不再贅述。
[0068]需要說明的是，第一、由于上述感應(yīng)裝置10(包括10a、10b、1c以及1d)內(nèi)部設(shè)置有干燥裝置200，因此能夠通過上述干燥裝置200對濺射至感應(yīng)裝置10中感應(yīng)器上的液體進(jìn)行風(fēng)淋干燥處理，以避免感應(yīng)設(shè)備10的感應(yīng)精度受到影響。
[0069]第二、如圖5所示，干燥裝置200與研磨清洗設(shè)備的安裝背板02相對的一側(cè)表面上設(shè)置有凹槽50 ；
[0070]安裝背板02的表面固定有導(dǎo)軌51，凹槽50與導(dǎo)軌51相對合，導(dǎo)軌51沿凹槽50進(jìn)行移動。從而可以對干燥裝置200與顯示基板01之間的距離進(jìn)行調(diào)整。
[0071 ] 其中，導(dǎo)軌51上設(shè)置有至少一個定位孔510，在干燥裝置200移動至預(yù)設(shè)位置的情況下，導(dǎo)軌51通過定位孔510與所干燥裝置200固定連接。上述預(yù)設(shè)位置，可以是本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實際需要，將干燥裝置200與顯示基板01之間的距離設(shè)置為最佳距離時，干燥裝置200的位置。
[0072]第三，本發(fā)明實施例提供的研磨清洗設(shè)備中的感應(yīng)裝置10具有與前述實施例提供的感應(yīng)裝置10相同的結(jié)構(gòu)和有益效果。由于前述實施例中，已經(jīng)將感應(yīng)裝置10的結(jié)構(gòu)和有益效果進(jìn)行了詳細(xì)的描述，此處不再贅述。
[0073]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種感應(yīng)裝置，包括第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器；其特征在于，還包括設(shè)置于所述第一感應(yīng)器和所述第二感應(yīng)器之間的干燥裝置； 所述干燥裝置的第一安裝面上設(shè)置有第一安裝口，用于安裝第一風(fēng)淋噴管；所述第一安裝口的位置與所述第一感應(yīng)器感應(yīng)頭的位置相對應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述干燥裝置的第二安裝面上設(shè)置有第二安裝口，用于安裝第二風(fēng)淋噴管；所述第二安裝口的位置與所述第二感應(yīng)器的感應(yīng)頭位置相對應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述干燥裝置的第三安裝面上設(shè)置有第三安裝口，用于安裝第三風(fēng)淋噴管；所述第三風(fēng)淋噴管的位置與所述感應(yīng)裝置的待感應(yīng)表面相對應(yīng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述第一安裝面與所述第二安裝面分別位于所述第三安裝面兩側(cè)； 所述第一安裝面與所述第一感應(yīng)器的中軸線相平行； 所述第二安裝面與所述第二感應(yīng)器的中軸線相平行； 所述第三安裝面與所述感應(yīng)裝置的待感應(yīng)表面相平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述第一風(fēng)淋噴管的出風(fēng)側(cè)表面與所述第一感應(yīng)器之間的距離為3mm?5mm ； 和/或， 所述第二風(fēng)淋噴管的出風(fēng)側(cè)表面與所述第二感應(yīng)器之間的距離為3_?5_。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述第三風(fēng)淋噴管的出風(fēng)側(cè)表面與所述感應(yīng)裝置的待感應(yīng)表面的距離為10mm?15mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述干燥裝置內(nèi)部設(shè)置有分別與所述第一安裝口、所述第二安裝口以及所述第三安裝口相連接的供風(fēng)管道； 所述供風(fēng)管道的內(nèi)徑大于所述第一風(fēng)淋噴管、所述第二風(fēng)淋噴管或所述第三風(fēng)淋噴管的內(nèi)徑。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述第一感應(yīng)器為發(fā)射部件，用于向所述感應(yīng)裝置的待感應(yīng)表面發(fā)射感應(yīng)光線； 所述第二感應(yīng)器為接收部件，用于接收所述感應(yīng)光線在所述感應(yīng)裝置的待感應(yīng)表面反射后的光線。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感應(yīng)裝置，其特征在于，所述第一風(fēng)淋噴管、第二風(fēng)淋噴管或第三風(fēng)淋噴管的噴射壓力為0.1MPa?0.3MPa。
10.一種研磨清洗設(shè)備，其特征在于，包括至少一個如權(quán)利要求1-9任一項所述的感應(yīng)
目.ο
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的研磨清洗設(shè)備，其特征在于，干燥裝置與所述研磨清洗設(shè)備的安裝背板相對的一側(cè)表面上設(shè)置有凹槽； 所述安裝背板的表面固定有導(dǎo)軌，所述凹槽與所述導(dǎo)軌相對合，所述導(dǎo)軌沿所述凹槽進(jìn)行移動； 所述導(dǎo)軌上設(shè)置有至少一個定位孔，在所述干燥裝置移動至預(yù)設(shè)位置的情況下，所述導(dǎo)軌通過所述定位孔與所述干燥裝置固定連接。
【文檔編號】G01B11/00GK104501723SQ201510016638
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2015年1月13日 優(yōu)先權(quán)日:2015年1月13日
【發(fā)明者】郭一品, 張賀, 劉志騫, 賈元成 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方光電科技有限公司