一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域,具體的說是涉及一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),它包括探針臺(tái)主體、探針和打點(diǎn)器、顯微鏡組件,所述探針臺(tái)主體包括底座、承片臺(tái)、探針和打點(diǎn)器安裝盤、顯微鏡支架,移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在底座上,所述探針臺(tái)主體還包括片臺(tái)移動(dòng)手柄、片臺(tái)高度手柄、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪,所述片臺(tái)移動(dòng)手柄安裝于底座右邊上,并與承片臺(tái)上的軸承連接,所述片臺(tái)高度手柄、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪設(shè)置有底座的左側(cè),所述片臺(tái)高度手柄與承片臺(tái)的底板連接,通過旋轉(zhuǎn)片臺(tái)高度手柄控制承片臺(tái)的升降,所述片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪連接在承片臺(tái)的左側(cè)軸承上,控制承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)。
【專利說明】一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域,具體的說是涉及一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002] 探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用 于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件 制造工藝的成本。
[0003] 從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺(tái),真空探針臺(tái)(超低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),IXD平 板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)中,由于芯片測(cè)試過程中,芯片都是單片的被放置在托盤中,每測(cè)試一片 都需重復(fù)對(duì)芯片進(jìn)行拾放動(dòng)作,容易損傷芯片,導(dǎo)致良率下降的可能,并且定位精度不好, 使測(cè)試機(jī)臺(tái)常出現(xiàn)異常處理,拾放動(dòng)作需要較長(zhǎng)的輔助時(shí)間,測(cè)試機(jī)的測(cè)試效率也很低。
[0005] 因此,半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái)需要改進(jìn)。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0006] 針對(duì)上述技術(shù)中的不足,本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、通用性好、投入成本 低、測(cè)試效率高的半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái)。
[0007] 為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型通過以下方案來實(shí)現(xiàn):
[0008] -種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),它包括探針臺(tái)主體、探針和打點(diǎn)器、顯微鏡組件,所 述探針臺(tái)主體包括底座、承片臺(tái)、探針和打點(diǎn)器安裝盤、顯微鏡支架,移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在底座 上,所述探針臺(tái)主體還包括片臺(tái)移動(dòng)手柄、片臺(tái)高度手柄、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪,所述片臺(tái)移動(dòng)手 柄安裝于底座右邊上,并與承片臺(tái)上的軸承連接,所述片臺(tái)高度手柄、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪設(shè)置有 底座的左側(cè),所述片臺(tái)高度手柄與承片臺(tái)的底板連接,通過旋轉(zhuǎn)片臺(tái)高度手柄控制承片臺(tái) 的升降,所述片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪連接在承片臺(tái)的左側(cè)軸承上,控制承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)。
[0009] 進(jìn)一步的,所述承片臺(tái)安裝在底座的中部區(qū)域。
[0010] 進(jìn)一步的,所述探針和打點(diǎn)器安裝盤上安裝有探針架和打點(diǎn)器。
[0011] 進(jìn)一步的,所述顯微鏡支架設(shè)置在探針臺(tái)的頂部,在其上安裝有顯示微鏡,所述顯 微鏡支架上設(shè)置有兩個(gè)鎖緊手柄和一個(gè)調(diào)節(jié)螺釘,用來調(diào)節(jié)顯微鏡的位置。
[0012] 進(jìn)一步的,所述承片臺(tái)頂端一側(cè)的端部設(shè)有真空接口。
[0013] 進(jìn)一步的,所述顯微鏡組件上設(shè)有環(huán)形燈。
[0014] 進(jìn)一步的,所述片臺(tái)高度手柄、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪同軸。
[0015] 本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型以底座右方臺(tái)面手柄的移動(dòng)控制被測(cè)試芯 片的移動(dòng),以左方旋鈕的旋轉(zhuǎn)控制芯片的高度和旋轉(zhuǎn)。上述結(jié)構(gòu)保證定位精度的同時(shí)也能 減少對(duì)芯片的損傷,還大大提高了測(cè)試的自動(dòng)化程度和效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016] 圖1為本實(shí)用新型探針臺(tái)各部分組成示意圖。
[0017] 圖2為本實(shí)用新型探針臺(tái)主體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018] 圖3為本實(shí)用新型探針架結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019] 圖4為本實(shí)用新型打點(diǎn)器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020] 附圖中標(biāo)記:
[0021] 圖1中:探針臺(tái)主體10 ;探針和打點(diǎn)器11 ;顯微鏡組件12。
[0022] 圖2中:底座20 ;承片臺(tái)21 ;片臺(tái)移動(dòng)手柄22 ;探針和打點(diǎn)器安裝盤23 ;顯微鏡支 架24 ;片臺(tái)高度手柄25 ;片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪26 ;真空接口 27。
[0023] 圖3中:固定鎖鈕30 ;前后調(diào)節(jié)鈕31 ;左右調(diào)節(jié)鈕32 ;上下調(diào)節(jié)鈕33 ;探針34。
[0024] 圖4中:墨盒40 ;打點(diǎn)線41 ;頂緊螺釘42 ;限位螺母43 ;定位螺母44。
【具體實(shí)施方式】
[0025] 以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說明。
[0026] 請(qǐng)參照附圖1、2,本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),它包括探針臺(tái)主體 10、探針和打點(diǎn)器11、顯微鏡組件12,所述探針臺(tái)主體包括底座20、承片臺(tái)21、探針和打點(diǎn) 器安裝盤23、顯微鏡支架24,移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在底座20上,其特征在于:所述探針臺(tái)主體還包 括片臺(tái)移動(dòng)手柄22、片臺(tái)高度手柄25、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪26,所述片臺(tái)移動(dòng)手柄22安裝于底座 20右邊上,并與承片臺(tái)21上的軸承連接,所述片臺(tái)高度手柄25、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪26設(shè)置有底 座20的左側(cè),所述片臺(tái)高度手柄25與承片臺(tái)21的底板連接,通過旋轉(zhuǎn)片臺(tái)高度手柄25控 制承片臺(tái)21的升降,所述片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪26連接在承片臺(tái)21的左側(cè)軸承上,控制承片臺(tái)21 旋轉(zhuǎn)。底座20是探針臺(tái)的基礎(chǔ),承片臺(tái)21、移動(dòng)機(jī)構(gòu)等都裝在其上承片臺(tái)21安裝在底座 20的中部區(qū)域,是用來放置被測(cè)試的芯片。片臺(tái)移動(dòng)手柄22在底座20上移動(dòng)此手柄就可 以使承片臺(tái)沿X軸、Y軸移動(dòng),移動(dòng)范圍在11〇_內(nèi),探針和打點(diǎn)器安裝盤23是用來安裝探 針架和打點(diǎn)器的固定盤狀物,顯微鏡支架24是用來安裝顯微鏡的固定架,它上面有兩個(gè)鎖 緊手柄和一個(gè)調(diào)節(jié)螺釘,用來調(diào)節(jié)顯微鏡的位置;旋轉(zhuǎn)片臺(tái)高度手柄25,承片臺(tái)21即上下 移動(dòng),范圍是6mm。片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪26可轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度,范圍是+30° ~-30°區(qū)間。本實(shí)用新 型還設(shè)置有電器接口,供打點(diǎn)器、環(huán)形燈工作的電器插座。所述承片臺(tái)21頂端一側(cè)的端部 設(shè)有真空接口 27,所述顯微鏡組件12上設(shè)有環(huán)形燈,所述片臺(tái)高度手柄25、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪 26同軸。
[0027] 如圖3所示,探針架結(jié)構(gòu)包括固定鎖鈕30、前后調(diào)節(jié)鈕31、左右調(diào)節(jié)鈕32、上下調(diào) 節(jié)鈕33、探針34。固定鎖鈕30是固定探針架,將探針架定位,所述前后調(diào)節(jié)鈕31、左右調(diào)節(jié) 鈕32、上下調(diào)節(jié)鈕33都是微調(diào)節(jié)作用,可以將探針架準(zhǔn)確的定位在顯微鏡下,使芯片得以 更準(zhǔn)確的測(cè)試效果。
[0028] 如圖4所示,圖4為本實(shí)用新型打點(diǎn)器結(jié)構(gòu)示意圖,打點(diǎn)器包括墨盒40、打點(diǎn)線 41、頂緊螺釘42、限位螺母43、定位螺母44。
[0029] 以下通過操作步驟對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0030] 1.測(cè)試準(zhǔn)備:
[0031] (1)根據(jù)待測(cè)芯片單元圖形情況選擇需要的探針架個(gè)數(shù),將探針架安裝在固定盤 上。
[0032] (2)將要測(cè)試的半導(dǎo)體芯片放在承片臺(tái)21上。可以轉(zhuǎn)動(dòng)左手下部旋鈕使圖形對(duì)在 垂直位置。
[0033] (3)在顯微鏡下校對(duì)探針的位置,使之對(duì)準(zhǔn)在芯片單元相應(yīng)的焊點(diǎn)上,針尖的高 度一致,同時(shí)檢查測(cè)試連線使之接好。
[0034] (4)打點(diǎn)器安裝在固定盤上,并對(duì)位在同一個(gè)芯片單元圖形內(nèi),插頭接在機(jī)器相應(yīng) 的插座上。
[0035] (5)將環(huán)形燈接頭插在相應(yīng)的插口上(也可直接插在220V電源上)。
[0036] (6)將電源線插到220V電源上。
[0037] 2.測(cè)試過程:
[0038] (1)右手移動(dòng)工作臺(tái)上的片臺(tái)移動(dòng)手柄22,在顯微鏡下觀察探針對(duì)位到要測(cè)試的 芯片單元圖形的相應(yīng)焊點(diǎn)上。
[0039] (2 )對(duì)好位置后,左手順時(shí)針旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部的片臺(tái)高度手柄25使承片臺(tái)21向上移 動(dòng),針和芯片的焊點(diǎn)接觸,觀看測(cè)試儀輸出信號(hào),判斷芯片是否合格。
[0040] (3)有不合格的芯片單元時(shí),右手按動(dòng)手柄上部的按鈕,打點(diǎn)器打點(diǎn)在該芯片單元 上,合格的不用打點(diǎn)。然后,逆時(shí)旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部片臺(tái)高度手柄25使承片臺(tái)21下移。進(jìn)入下 一個(gè)芯片單元的測(cè)試。如果芯片圖形位置不垂直,轉(zhuǎn)動(dòng)左手下部手輪調(diào)直,如此往復(fù),完成 整個(gè)芯片單元的測(cè)試。
[0041] 本實(shí)用新型的探針臺(tái)也可測(cè)試單個(gè)或多個(gè)芯片。
[0042] 3.測(cè)試完成
[0043] (1)將測(cè)試后的芯片從承片臺(tái)21上取下。
[0044] (2)安裝下一個(gè)要測(cè)試的芯片,如芯片單元圖形與上一次測(cè)試的相同,不用動(dòng)針的 位置。繼續(xù)測(cè)試。如不同要重新校對(duì)探針位置后再開始測(cè)試。
[0045] (3)整個(gè)測(cè)試完成后,把電源線從220V插座上拔掉,保證安全。
[0046] 以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,并非因此限制本實(shí)用新型的專利范 圍,凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間 接運(yùn)用在其它相關(guān)的【技術(shù)領(lǐng)域】,均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),它包括探針臺(tái)主體(10)、探針和打點(diǎn)器(11)、顯微鏡 組件(12),所述探針臺(tái)主體包括底座(20)、承片臺(tái)(21)、探針和打點(diǎn)器安裝盤(23)、顯微鏡 支架(24),移動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在底座(20)上,其特征在于:所述探針臺(tái)主體還包括片臺(tái)移動(dòng)手 柄(22)、片臺(tái)高度手柄(25)、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪(26),所述片臺(tái)移動(dòng)手柄(22)安裝于底座(20) 右邊上,并與承片臺(tái)(21)上的軸承連接,所述片臺(tái)高度手柄(25)、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪(26)設(shè)置 有底座(20 )的左側(cè),所述片臺(tái)高度手柄(25 )與承片臺(tái)(21)的底板連接,通過旋轉(zhuǎn)片臺(tái)高度 手柄(25)控制承片臺(tái)(21)的升降,所述片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪(26)連接在承片臺(tái)(21)的左側(cè)軸承 上,控制承片臺(tái)(21)旋轉(zhuǎn)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),其特征在于:所述承片臺(tái)(21) 安裝在底座(20)的中部區(qū)域。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),其特征在于:所述探針和打點(diǎn) 器安裝盤(23)上安裝有探針架和打點(diǎn)器。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),其特征在于:所述顯微鏡支架 (24)設(shè)置在探針臺(tái)的頂部,在其上安裝有顯示微鏡,所述顯微鏡支架(24)上設(shè)置有兩個(gè)鎖 緊手柄和一個(gè)調(diào)節(jié)螺釘,用來調(diào)節(jié)顯微鏡的位置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),其特征在于:所述承片臺(tái)(21) 頂端一側(cè)的端部設(shè)有真空接口(27)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),其特征在于:所述顯微鏡組件 (12)上設(shè)有環(huán)形燈。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片測(cè)試探針臺(tái),其特征在于:所述片臺(tái)高度手 柄(25)、片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪(26)同軸。
【文檔編號(hào)】G01R1/067GK203909100SQ201420329686
【公開日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月19日
【發(fā)明者】高新華 申請(qǐng)人:高新華