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一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置與方法

文檔序號(hào):6235542閱讀:337來源:國(guó)知局
一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置與方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,包括吸收器、氣體流量傳感器、抽氣泵、以及用于接收、分析、處理氣體流量傳感器產(chǎn)生的信號(hào)和控制抽氣泵的中央控制系統(tǒng)和閉環(huán)控制電路,在吸收器與氣體流量傳感器之間設(shè)有用于濾除氣流中波動(dòng)的尖峰并削減氣流波動(dòng)幅值的氣路阻尼濾波器,在氣體流量傳感器與抽氣泵之間設(shè)有用于緩沖和平穩(wěn)抽氣泵所產(chǎn)生的抽氣氣流的緩沖氣容。本發(fā)明通過氣路阻尼濾波器濾波和緩沖氣容緩沖氣流,同時(shí)結(jié)合電路脈寬調(diào)制調(diào)速,保證了采氣體積的準(zhǔn)確度和儀器的負(fù)載能力,流量電信號(hào)輸出,數(shù)字顯示,實(shí)現(xiàn)了流量閉環(huán)自動(dòng)控制和自動(dòng)恒流采樣,提高了被測(cè)氣體質(zhì)量濃度的準(zhǔn)確度。
【專利說明】一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置與方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于環(huán)境監(jiān)測(cè)【技術(shù)領(lǐng)域】,涉及氣體有害成分的采集檢測(cè)裝置與方法,具體涉及一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置及方法。

【背景技術(shù)】
[0002]低流量個(gè)體空氣采樣器是用于采集大氣環(huán)境及車間現(xiàn)場(chǎng)中的二氧化硫、一氧化碳、氮氧化物等有害氣體的專用必備儀器,廣泛適用于室內(nèi)外大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、疾病預(yù)防、安監(jiān)、軍事、氣象、科研教學(xué)、冶金、化工、鐵路、建材等領(lǐng)域的衛(wèi)生監(jiān)測(cè)和評(píng)價(jià)??諝獠蓸悠鳒y(cè)量空氣中有害氣體質(zhì)量濃度的方法是計(jì)重法,其原理是先抽取一定體積的空氣,空氣中的有害成分被米樣瓶中的吸收液吸收,在實(shí)驗(yàn)室分析出吸收液中有害成分的質(zhì)量,再根據(jù)下列公式計(jì)算出空氣中有害成分的質(zhì)量濃度:
m
[0003]P = -XlOOO
qt
[0004]式中:P——?dú)怏w的質(zhì)量濃度,mg/m3 ;
[0005]m——吸收液中有害氣體的質(zhì)量,mg ;
[0006]q-采樣流量,L/min ;
[0007]t-采樣時(shí)間,min;
[0008]由上式可知,準(zhǔn)確測(cè)量有害氣體的質(zhì)量濃度,在于控制好采樣流量(q)和采樣時(shí)間(t),采樣時(shí)間控制不存在大的問題,關(guān)鍵在于控制采樣流量,采樣流量的波動(dòng),必然導(dǎo)致采氣累計(jì)體積的誤差,由此導(dǎo)致氣體質(zhì)量濃度的誤差,為了精確計(jì)量累計(jì)采氣體積,提出了控制采樣流量、恒流采樣的課題?,F(xiàn)有的氣體采樣器大多采用轉(zhuǎn)子流量計(jì)計(jì)量瞬時(shí)采氣流量,它存在兩個(gè)問題:一是在采樣時(shí),當(dāng)采樣器轉(zhuǎn)子流量計(jì)調(diào)定瞬時(shí)流量后,采樣器隨采樣時(shí)間的增加,由于采樣器的抽氣泵震動(dòng)頭、氣路阻力的變化,原調(diào)定的瞬時(shí)流量就會(huì)隨之變化,由此帶來了采氣體積的誤差;二是轉(zhuǎn)子流量計(jì)不是電信號(hào)輸出,無法實(shí)現(xiàn)反饋控制、自動(dòng)補(bǔ)償修正,即不能構(gòu)成閉環(huán)控制系統(tǒng)。為了保證氣體采樣充分吸收,通常要求低流量采集吸收,這是因?yàn)檫^大流量采氣會(huì)導(dǎo)致吸收液吸收采集對(duì)象不充分,在低流量閉環(huán)控制采氣系統(tǒng)中,如何解決采樣流量低端啟動(dòng)、低端流量平穩(wěn)性及采樣負(fù)載能力是問題的關(guān)鍵。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的是針對(duì)上述缺陷,提供一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,該裝置解決了氣體采樣低端啟動(dòng)流量波動(dòng)大的問題,并且兼顧了流量下限的平穩(wěn)啟動(dòng)與流量上限的負(fù)載能力,實(shí)現(xiàn)了采樣流量的自動(dòng)閉環(huán)控制,提高了采氣體積的準(zhǔn)確性。
[0010]一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,包括吸收器、氣體流量傳感器、抽氣泵、以及用于接收、分析、處理氣體流量傳感器產(chǎn)生的信號(hào)和控制抽氣泵的中央控制系統(tǒng)和閉環(huán)控制電路,所述吸收器的出氣口通過管道與氣體流量傳感器的進(jìn)氣口連通,所述氣體流量傳感器的出氣口通過管道與抽氣泵的進(jìn)氣口連通,在吸收器與氣體流量傳感器之間設(shè)有用于濾除氣流中波動(dòng)的尖峰并削減氣流波動(dòng)幅值的氣路阻尼濾波器,在氣體流量傳感器與抽氣泵之間設(shè)有用于緩沖和平穩(wěn)抽氣泵所產(chǎn)生的抽氣氣流的緩沖氣容。
[0011]優(yōu)選的,所述氣路阻尼濾波器由依次密閉連通的進(jìn)氣管、氣容管、出氣管組成,所述氣容管的內(nèi)徑為進(jìn)氣管或出氣管的內(nèi)徑的3?5倍,所述氣容管內(nèi)設(shè)有氣體過濾膜,所述氣體過濾膜的孔徑為0.15?0.6 μ m,厚度為0.3?1.5mm。
[0012]優(yōu)選的,所述氣容管由進(jìn)氣端氣容管和出氣端氣容管兩部分組成,所述進(jìn)氣端氣容管和出氣端氣容管之間氣密封連接。
[0013]優(yōu)選的,所述出氣端氣容管的內(nèi)部設(shè)有卡簧,所述氣體過濾膜的邊緣固定在卡簧上,所述氣體過濾膜與出氣端氣容管之間設(shè)有密封圈。
[0014]優(yōu)選的,在吸收器與氣路阻尼濾波器之間設(shè)有用于分離并吸收水分的氣水分離器。
[0015]一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)方法,包括以下步驟:
[0016]I)通過中央控制系統(tǒng)啟動(dòng)抽氣泵,并通過緩沖氣容平穩(wěn)抽氣泵所產(chǎn)生的抽氣氣流,使密閉的管路內(nèi)形成負(fù)壓;
[0017]2)采集的氣體在負(fù)壓的作用下進(jìn)入密閉的管路,首先通過吸收器,氣體中的待測(cè)成分被吸收器中的吸收液吸收,然后檢測(cè)待測(cè)成分的質(zhì)量;
[0018]3)吸收待測(cè)成分后的氣體通過氣水分離器分離水分后進(jìn)入氣路阻尼濾波器,濾除氣流中波動(dòng)的尖峰并削減氣流波動(dòng)的幅值;
[0019]4)氣體濾波后進(jìn)入氣體流量傳感器,氣體流量傳感器將檢測(cè)到的流量數(shù)據(jù)反饋到中央控制系統(tǒng),由中央控制系統(tǒng)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、處理,并根據(jù)設(shè)定流量的大小對(duì)抽氣泵進(jìn)行調(diào)節(jié);
[0020]5)氣體通過緩沖氣容和抽氣泵排出;
[0021]6)根據(jù)待測(cè)成分的質(zhì)量和氣體流量、時(shí)間計(jì)算氣體中的待測(cè)成分的濃度。
[0022]吸收器內(nèi)裝有分析對(duì)象的相應(yīng)吸收液,用于吸收空氣中的待測(cè)成分(如二氧化硫、一氧化碳、氮氧化物等有害氣體),待測(cè)成分被吸收后,即可用對(duì)應(yīng)的化學(xué)分析方法測(cè)出其質(zhì)量;氣水分離器用于防止吸收液竄入氣路阻尼濾波器、氣體流量傳感器等部件進(jìn)入儀器內(nèi)部,從而影響儀器的檢測(cè)準(zhǔn)確性和使用壽命。
[0023]氣路阻尼濾波器中的氣體過濾膜不僅能過濾空氣中的固體雜質(zhì),防止雜質(zhì)對(duì)流量檢測(cè)的準(zhǔn)確性造成影響和損壞后面的儀器部件,同時(shí)能增加氣流的阻尼,使輸出的氣流變得更加平穩(wěn),氣容管內(nèi)較大直徑的氣容腔起濾除氣流波動(dòng)的尖峰及削減氣流波動(dòng)幅值的作用。氣路阻尼濾波器中氣體過濾膜的孔徑、厚度是調(diào)節(jié)氣流阻尼大小的關(guān)鍵,膜的孔徑太小、厚度太大,會(huì)造成阻尼過大,負(fù)載能力過多地消耗在阻尼上,導(dǎo)致檢測(cè)的流量上限達(dá)不到;反之,阻尼過小會(huì)造成氣流不夠平穩(wěn),影響檢測(cè)結(jié)果。氣容管的內(nèi)徑還會(huì)對(duì)檢測(cè)的誤差和靈敏度造成影響,氣容管的內(nèi)徑太小,就起不到濾除氣流的尖峰及削減氣流波動(dòng)幅值的作用,檢測(cè)儀器顯示的數(shù)值就會(huì)劇烈波動(dòng),從而增加了檢測(cè)的誤差,氣容管的內(nèi)徑太大,又會(huì)造成檢測(cè)的靈敏度達(dá)不到,檢測(cè)儀器響應(yīng)過慢,再者也受到采樣儀器體積的限制。因此,阻尼的大小既要滿足檢測(cè)流量下限的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性,又要使流量上限具有滿足要求的負(fù)載能力。氣容管由兩段組成是為了便于拆卸、更換氣體過濾膜,防止過濾膜破損或吸附過多的雜質(zhì)后影響阻尼濾波的效果。
[0024]氣體流量傳感器能計(jì)量采氣流量,并為中央控制系統(tǒng)提供流量電信號(hào);緩沖氣容用于緩沖平穩(wěn)抽氣氣流,在采樣器流量范圍的高端,在沒有緩沖氣容時(shí),抽氣泵脈動(dòng)抽氣產(chǎn)生的氣流尖峰以及氣流的波動(dòng),會(huì)造成氣體流量傳感器不能讀數(shù),而有了緩沖氣容,就會(huì)使氣體采樣的進(jìn)氣(瞬時(shí)流量)變得很平穩(wěn),從而進(jìn)一步提高氣體流量檢測(cè)的準(zhǔn)確度。
[0025]本發(fā)明還具有操作簡(jiǎn)單、快速,使用方便等特點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1是本發(fā)明裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0027]圖2是本發(fā)明裝置中氣路阻尼濾波器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖;
[0028]圖3是本發(fā)明裝置中緩沖氣容的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]圖中:1-吸收器,2-氣體流量傳感器,3-抽氣泵,4-氣路阻尼濾波器,41-進(jìn)氣管,42-氣容管(421-進(jìn)氣端氣容管、422-出氣端氣容管、423-密封墊、424-卡簧、425-密封圈),43_出氣管,44-氣體過濾膜,5-緩沖氣容(51-鎖緊板、52-壓板、53-腔室、54-膜片、55-彈簧、56-進(jìn)氣口、57-出氣口、58-螺釘),6_氣水分離器,7-中央控制系統(tǒng),8-閉環(huán)控制電路。

【具體實(shí)施方式】
[0030]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0031]實(shí)施例1
[0032]一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,包括吸收器1、氣體流量傳感器2、抽氣泵3、以及用于接收、分析、處理氣體流量傳感器2產(chǎn)生的信號(hào)和控制抽氣泵3的中央控制系統(tǒng)7和閉環(huán)控制電路8,所述吸收器I的出氣口通過管道與氣體流量傳感器2的進(jìn)氣口連通,所述氣體流量傳感器2的出氣口通過管道與抽氣泵3的進(jìn)氣口連通,在吸收器I與氣體流量傳感器2之間設(shè)有用于濾除氣流中波動(dòng)的尖峰并削減氣流波動(dòng)幅值的氣路阻尼濾波器4,在氣體流量傳感器2與抽氣泵3之間設(shè)有用于緩沖和平穩(wěn)抽氣泵3所產(chǎn)生的抽氣氣流的緩沖氣容5,在吸收器I與氣路阻尼濾波器4之間設(shè)有用于分離并吸收水分的氣水分離器6。
[0033]所述氣路阻尼濾波器4由依次密閉連通的進(jìn)氣管41、氣容管42、出氣管43組成,所述氣容管42的內(nèi)徑為進(jìn)氣管41或出氣管43的內(nèi)徑的4倍,所述氣容管42內(nèi)設(shè)有氣體過濾膜44,所述氣體過濾膜44的孔徑為0.3 μ m,厚度為0.8mm。所述氣容管42由進(jìn)氣端氣容管421和出氣端氣容管422兩部分組成,所述進(jìn)氣端氣容管421和出氣端氣容管422之間通過密封墊423氣密封連接。所述出氣端氣容管422的內(nèi)部設(shè)有卡簧424,所述氣體過濾膜44的邊緣固定在卡簧424上,所述氣體過濾膜44與出氣端氣容管422之間設(shè)有密封圈425。
[0034]所述緩沖氣容5包括鎖緊板51和壓板52,鎖緊板51和壓板52之間設(shè)有用于氣體流通的密閉的腔室53,腔室53內(nèi)設(shè)有兩塊平行的膜片54,膜片54之間設(shè)有彈簧55,腔室53上設(shè)有進(jìn)氣口 56和出氣口 57,鎖緊板51和壓板52通過螺釘58固定。
[0035]在抽氣泵3抽氣時(shí),則膜片54在負(fù)壓的作用下向內(nèi)收縮,當(dāng)負(fù)壓過大時(shí),則膜片54在自身彈性和彈簧55回復(fù)力的作用下阻止膜片54向內(nèi)收縮,阻止腔室53的體積減小,起到削減抽氣尖峰能量的作用,從而使得進(jìn)氣氣流相對(duì)平穩(wěn)。
[0036]檢測(cè)方法是:
[0037]I)先通過中央控制系統(tǒng)7和閉環(huán)控制電路8啟動(dòng)抽氣泵3,并通過緩沖氣容5平穩(wěn)抽氣泵3所產(chǎn)生的抽氣氣流,使密閉的管路內(nèi)形成負(fù)壓;
[0038]2)采集到的氣體在負(fù)壓的作用下進(jìn)入密閉的管路,首先通過吸收器1,氣體中的待測(cè)成分被吸收器I中的吸收液吸收,然后檢測(cè)待測(cè)成分的質(zhì)量;
[0039]3)吸收待測(cè)成分后的氣體通過氣水分離器6分離水分后進(jìn)入氣路阻尼濾波器4,濾除氣流中波動(dòng)的尖峰并削減氣流波動(dòng)的幅值;
[0040]4)氣體濾波后進(jìn)入氣體流量傳感器2,氣體流量傳感器2將檢測(cè)到的流量數(shù)據(jù)反饋到中央控制系統(tǒng)7,由中央控制系統(tǒng)7對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、處理,中央控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定流量的大小對(duì)抽氣泵3的抽氣流量進(jìn)行調(diào)節(jié),閉環(huán)自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)恒定流量采樣;
[0041]5)氣體通過緩沖氣容5和抽氣泵3排出;
[0042]6)根據(jù)待測(cè)成分的質(zhì)量和氣體流量、時(shí)間計(jì)算氣體中的待測(cè)成分的濃度。
[0043]本實(shí)施例與同類產(chǎn)品或檢測(cè)方法相比具有以下優(yōu)勢(shì):
[0044]通過增加氣路阻尼濾波器4和緩沖氣容5,有利于抽氣泵3在流量低端的平穩(wěn)啟動(dòng),也保證了儀器在流量上限的負(fù)載能力;抽氣泵3采用PWM脈寬調(diào)制,調(diào)整脈寬的占空比來調(diào)速,用流量信號(hào)作為反饋信號(hào),進(jìn)行流量閉環(huán)控制,從而自動(dòng)恒流采集被測(cè)空氣,大大提高了氣體流量的穩(wěn)定性及累計(jì)采氣體積的準(zhǔn)確度,保證了監(jiān)測(cè)有害物質(zhì)濃度的可靠性。
[0045]本發(fā)明通過氣路阻尼濾波器4濾波和緩沖氣容5緩沖氣流,同時(shí)結(jié)合電路脈寬調(diào)制調(diào)速,保證了采氣體積的準(zhǔn)確度和儀器的負(fù)載能力,測(cè)得的流量電信號(hào)輸出后用數(shù)字顯示,實(shí)現(xiàn)了流量閉環(huán)自動(dòng)控制和自動(dòng)恒流采樣,從而提高了被測(cè)氣體質(zhì)量濃度的準(zhǔn)確度。
[0046]與沒有氣路阻尼濾波器4的檢測(cè)裝置相比,在同一系統(tǒng)中檢測(cè)的流量下限由
0.30L/min降低到0.05L/min,滿足流量范圍要求:0.05L/min?1.0OL/min ;流量穩(wěn)定性由5 %提高到2.5 %以內(nèi),準(zhǔn)確度提高到2.5 %以內(nèi)。
[0047]與沒有緩沖氣容5的檢測(cè)裝置相比,在同一系統(tǒng)中檢測(cè)的流量下限由0.35L/min降低到0.20L/min,流量穩(wěn)定性由8%提高到5%,準(zhǔn)確度提高3%。
[0048]與CN 103512587 A公開的氣路檢測(cè)濾波器相比,檢測(cè)的流量下限均可達(dá)到
0.05L/min的要求,在0.10L/min采樣流量時(shí)本發(fā)明流量穩(wěn)定顯示響應(yīng)時(shí)間可縮短3?5秒,流量上限的負(fù)載能力在正常配置下還有不低于-SkPa的負(fù)載能力,流量上限增加0.4L/min。CN 103512587 A公開的氣路檢測(cè)濾波器不太適合串接于氣路中采樣,氣路阻力大,流量范圍不夠?qū)挘贿m于氣路壓力信號(hào)濾波測(cè)量。
[0049]本發(fā)明中所涉及到的吸收器1、氣體流量傳感器2、抽氣泵3、氣水分離器6、中央控制系統(tǒng)7等均為本領(lǐng)域的常用設(shè)備,可通過各種商業(yè)途徑獲得。
【權(quán)利要求】
1.一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,包括吸收器(I)、氣體流量傳感器(2)、抽氣泵(3)、以及用于接收、分析、處理氣體流量傳感器(2)產(chǎn)生的信號(hào)和控制抽氣泵(3)的中央控制系統(tǒng)(7)和閉環(huán)控制電路(8),所述吸收器(I)的出氣口通過管道與氣體流量傳感器(2)的進(jìn)氣口連通,所述氣體流量傳感器(2)的出氣口通過管道與抽氣泵(3)的進(jìn)氣口連通,其特征在于:在吸收器(I)與氣體流量傳感器(2)之間設(shè)有用于濾除氣流中波動(dòng)的尖峰并削減氣流波動(dòng)幅值的氣路阻尼濾波器(4),在氣體流量傳感器(2)與抽氣泵(3)之間設(shè)有用于緩沖和平穩(wěn)抽氣泵(3)所產(chǎn)生的抽氣氣流的緩沖氣容(5)。
2.如權(quán)利要求1所述的智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,其特征在于:所述氣路阻尼濾波器(4)由依次密閉連通的進(jìn)氣管(41)、氣容管(42)、出氣管(43)組成,所述氣容管(42)的內(nèi)徑為進(jìn)氣管(41)或出氣管(43)的內(nèi)徑的3?5倍,所述氣容管(42)內(nèi)設(shè)有氣體過濾膜(44),所述氣體過濾膜(44)的孔徑為0.15?0.6 μ m,厚度為0.3?1.5mm。
3.如權(quán)利要求2所述的智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,其特征在于:所述氣容管(42)由進(jìn)氣端氣容管(421)和出氣端氣容管(422)組成,所述進(jìn)氣端氣容管(421)和出氣端氣容管(422)氣密封連接。
4.如權(quán)利要求2所述的智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,其特征在于:所述出氣端氣容管(422)的內(nèi)部設(shè)有卡簧(424),所述氣體過濾膜(44)的邊緣固定在卡簧(424)上,所述氣體過濾膜(44)與出氣端氣容管(422)之間設(shè)有密封圈(425)。
5.如權(quán)利要求1-4任何一項(xiàng)所述的智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)裝置,其特征在于:在吸收器(I)與氣路阻尼濾波器(4)之間設(shè)有用于分離并吸收水分的氣水分離器(6)。
6.一種智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)方法,其特征在于包括以下步驟: 1)通過中央控制系統(tǒng)(7)啟動(dòng)抽氣泵(3),并通過緩沖氣容(5)平穩(wěn)抽氣泵(3)所產(chǎn)生的抽氣氣流,使密閉的管路內(nèi)形成負(fù)壓; 2)采集的氣體在負(fù)壓的作用下進(jìn)入密閉的管路,首先通過吸收器(1),氣體中的待測(cè)成分被吸收器(I)中的吸收液吸收,然后檢測(cè)待測(cè)成分的質(zhì)量; 3)吸收待測(cè)成分后的氣體通過氣水分離器(6)分離水分后進(jìn)入氣路阻尼濾波器(4),濾除氣流中波動(dòng)的尖峰并削減氣流波動(dòng)的幅值; 4)氣體濾波后進(jìn)入氣體流量傳感器(2),氣體流量傳感器(2)將檢測(cè)到的流量數(shù)據(jù)反饋到中央控制系統(tǒng)(7),由中央控制系統(tǒng)(7)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、處理,并根據(jù)設(shè)定流量的大小對(duì)抽氣泵(3)進(jìn)行調(diào)節(jié); 5)氣體通過緩沖氣容(5)和抽氣泵(3)排出; 6)根據(jù)待測(cè)成分的質(zhì)量和氣體流量、時(shí)間計(jì)算氣體中的待測(cè)成分的濃度。
7.如權(quán)利要求6所述的智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)方法,其特征在于:所述氣路阻尼濾波器(4)由依次密閉連通的進(jìn)氣管(41)、氣容管(42)、出氣管(43)組成,所述氣容管(42)的內(nèi)徑為進(jìn)氣管(41)或出氣管(43)的內(nèi)徑的3?5倍,所述氣容管內(nèi)設(shè)有氣體過濾膜,所述氣體過濾膜的孔徑為0.15?0.6 μ m,厚度為0.3?1.5mm。
8.如權(quán)利要求6所述的智能恒流低流量氣體采集檢測(cè)方法,其特征在于:所述緩沖氣容(5)包括鎖緊板(51)和壓板(52),鎖緊板(51)和壓板(52)之間設(shè)有用于氣體流通的密閉的腔室(53),腔室(53)內(nèi)設(shè)有兩塊平行的膜片(54),膜片(54)之間設(shè)有彈簧(55),腔室(53)上設(shè)有進(jìn)氣口 (56)和出氣口(57),鎖緊板(51)和壓板(52)通過螺釘(58)固定。
【文檔編號(hào)】G01N33/00GK104165785SQ201410362301
【公開日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年7月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月28日
【發(fā)明者】劉立明, 楊樂群 申請(qǐng)人:武漢碧海云天科技股份有限公司
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