生物傳感器、生物傳感器的制造方法及其檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種生物傳感器及其制作方法和檢測方法，該生物傳感器具有場效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)，包括柔性襯底，在所述的柔性襯底上設(shè)有打印的銀源漏電極，以及連接源漏電極的打印的功能化納米碳材料層。在功能化納米碳材料層上連接有特異性受體，作為檢測極少量特定目標(biāo)物質(zhì)的敏感材料。將源漏電極與一套信號檢測系統(tǒng)相連，配合懸浮柵極在檢測液體里的信號調(diào)控可實現(xiàn)快速準(zhǔn)確靈敏的生物診斷，是一種具有集成化、相容性、便攜式的生物傳感器裝置。
【專利說明】生物傳感器、生物傳感器的制造方法及其檢測方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種生物傳感器的【技術(shù)領(lǐng)域】及其制備方法，特別涉及一種基于場效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)的柔性全打印納米碳材料生物傳感器及其制作方法和檢測方法。

【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯(Graphene)是一種由碳原子構(gòu)成的單層片狀結(jié)構(gòu)的新材料,它是結(jié)合了半導(dǎo)體和金屬屬性的碳質(zhì)新材料，具有熱、力、電等優(yōu)異的性能。石墨烯是零帶隙半導(dǎo)體，具備獨特的載流子特性和優(yōu)異的電學(xué)性能。碳納米管是一種獨特的碳納米結(jié)構(gòu)，可以看作是石墨中的一層或多層碳原子卷曲成的中空的管狀。碳納米管具有許多獨特的性能，如良好的機(jī)械性能、較高的熱穩(wěn)定性、優(yōu)良的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性等。這些納米碳材料均具有的可修改化學(xué)功能的特色賦予其優(yōu)異的性能，其對具有多苯環(huán)的分子有很強的吸附能力，通過修飾吸附上的分子可獲得簡易檢測特定物質(zhì)的目的，極其適合制備新一代生物傳感器，具有穩(wěn)定性好、靈敏度高、功耗低和響應(yīng)時間短等優(yōu)點，因此如何實現(xiàn)納米碳材料的潛在應(yīng)用，以及提高納米碳材料在實際應(yīng)用中的性能是目前研究者們關(guān)注的焦點。
[0003]印刷電子技術(shù)是最近幾年蓬勃發(fā)展起來的一種新興技術(shù)。由于印刷電子技術(shù)具有薄、輕、大尺寸以及成本更低等特點，印刷電子已成為當(dāng)今多學(xué)科交叉、綜合的前沿研究熱點。柔性印刷器件能夠彎曲或卷成任意形狀，柔韌性好，既輕又薄，不易破損，耐沖擊耐用，其低廉的成本能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。
[0004]目前印刷電子技術(shù)與納米碳材料的結(jié)合已經(jīng)進(jìn)行了了很多的探索，在高靈敏度傳感器領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用潛力。但是在生物傳感器領(lǐng)域的嘗試仍處于起步階段，信號噪音大，檢測限高，處理工藝復(fù)雜，難以進(jìn)行大批量生產(chǎn)。因此，這就需要研究出信噪比低、檢測限低并可以大規(guī)模制備柔性印刷生物傳感器的技術(shù)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的提供一種生物傳感器、生物傳感器的制造方法及其檢測方法，本發(fā)明技術(shù)擴(kuò)展了印刷電子技術(shù)在柔性襯底上的應(yīng)用，同時發(fā)揮了納米碳材料的優(yōu)異性能。檢測時運行穩(wěn)定，噪音小，檢測限低，且通過以不同的特異性受體修飾納米碳材料，還使得本發(fā)明柔性全打印生物傳感器可以分別對不同的物質(zhì)進(jìn)行檢測，如重金屬離子、蛋白質(zhì)等。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種生物傳感器，包括:
柔性襯底；
形成于所述柔性襯底上的源極和漏極；
形成于所述柔性襯底上的功能化納米碳材料層，所述的功能化納米碳材料層電性連接于所述的源極和漏極之間；
柵極。
[0007]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器中，所述的功能化納米碳材料層的表面修飾有特異性受體，所述的特異性受體選自抗體、酶、蛋白質(zhì)、肽、氨基酸、核酸適體、脂、輔因子或碳水化合物。
[0008]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器中，所述的柵極為Ag/AgCl參比電極。
[0009]相應(yīng)地，本發(fā)明還公開了一種生物傳感器的制造方法，包括:
S1、在柔性襯底上通過噴墨打印法或溶膠打印法制作源極和漏極；
s2、通過噴墨打印法或溶膠打印法在源極和漏極之間制作功能化納米碳材料層；
S3、活化功能化納米碳材料層上吸附的功能化羧基，并采用特異性受體對功能化納米碳材料層進(jìn)行修飾，采用封閉試劑保護(hù)未反應(yīng)的活化羧基。
[0010]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器的制造方法中，所述的柔性襯底選自聚對笨二甲酸乙二酯(PET)、聚對笨二甲酸丁二酯(PBT)、聚酰亞胺(PI)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)、聚乙烯(PE)、聚氯乙烯(PVC)或聚丙烯(PP);所述的功能化納米碳材料層的材質(zhì)選自構(gòu)成交疊網(wǎng)絡(luò)的功能化石墨烯、功能化單壁碳納米管或功能化多壁碳納米管結(jié)構(gòu)；所述的封閉試劑選自乙醇胺、牛血清白蛋白(BSA)、脫脂奶粉或干酪素。
[0011]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器的制造方法中，所述的步驟s2中，還包括制備功能化納米碳材料溶液，所述的功能化納米碳材料溶液的制備方法如下:稱取1-芘丁酸溶解于濃度為0.01-0.5mg/mL的納米碳材料溶液中，溶劑為DMF，于室溫攪拌反應(yīng)過夜，溶液分離后取下層沉淀，加入DMF中溶解分散即為功能化納米碳材料溶液。
[0012]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器的制造方法中，所述1-芘丁酸與納米碳材料的質(zhì)量比為(10-150):lo
[0013]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器的制造方法中，所述源漏極電極間距為50um-700um。
[0014]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器的制造方法中，所述的步驟s3具體包括:將功能化納米碳材料層浸入2-8mMl-(3- 二甲氨基丙基)-3-乙基碳二亞胺鹽酸鹽(EDC)和8_20mMN-羥基琥珀酰亞胺(NHS)的混合溶液l_3h，活化碳材料上吸附的功能化羧基，反應(yīng)后用pH=7.4的PBS緩沖溶液清洗；采用特異性受體對功能化納米碳材料層進(jìn)行修飾，其后采用封閉試劑保護(hù)未反應(yīng)的活化羧基，每步反應(yīng)后均用pH=7.4的PBS緩沖溶液進(jìn)行清洗。
[0015]優(yōu)選的，在上述的生物傳感器的制造方法中，所述功能化納米碳材料層所形成電阻為 KTlOOkQ。
[0016]本發(fā)明還公開了一種生物傳感器的檢測方法，將待檢測物質(zhì)液體置于功能化納米碳材料層上，將柵極的一端插入在待檢測物質(zhì)液體里，通過調(diào)節(jié)柵極電壓調(diào)控電流信號強弱，實現(xiàn)對待檢測物質(zhì)的檢測或量化，所述的待檢測物質(zhì)液體選自重金屬離子或蛋白質(zhì)溶液。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點在于:本發(fā)明使用印刷電子打印技術(shù)制備器件里的關(guān)鍵電路與元件，連接可靠且產(chǎn)品工藝得到簡化，產(chǎn)品滿足了輕薄、可彎曲的特性，減少了體積與重量，節(jié)省了成本，可大規(guī)模生產(chǎn)。利用納米碳材料的優(yōu)異性能，實現(xiàn)對生物物質(zhì)的精確檢測，且穩(wěn)定性好、靈敏度高，響應(yīng)時間短，操作方便，成本低，污染小，體現(xiàn)出良好的應(yīng)用前景，是一種具有集成化、相容性、便攜式的生物傳感器裝置。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]為了更清楚地說明本申請實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0019]圖1是本發(fā)明具體實施例1中生物傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明實施例1在pH=7.4的PBS緩沖溶液中的源極、漏極間電流Isd與源漏極電壓Vsd的關(guān)系曲線圖；
圖3是本發(fā)明實施例1對兔IgG的電學(xué)信號響應(yīng)圖。

【具體實施方式】
[0020]本發(fā)明實施例公開了一種生物傳感器，包括:
柔性襯底；
形成于所述柔性襯底上的源極和漏極；
形成于所述柔性襯底上的功能化納米碳材料層，所述的功能化納米碳材料層電性連接于所述的源極和漏極之間；
柵極。
[0021]本發(fā)明實施例還公開了一種生物傳感器的制造方法，包括:
S1、在柔性襯底上通過噴墨打印法或溶膠打印法制作源極和漏極；
s2、通過噴墨打印法或溶膠打印法在源極和漏極之間制作功能化納米碳材料層；
S3、活化功能化納米碳材料層上吸附的功能化羧基，并采用特異性受體對功能化納米碳材料層進(jìn)行修飾，采用封閉試劑保護(hù)未反應(yīng)的活化羧基。
[0022]上述源、漏極電極均使用噴墨打印法或氣溶膠打印法的方式，采用金屬Ag銀漿。銀衆(zhòng)濃度優(yōu)選為0.01-0.5mg/mL。所述源漏極電極間距為50um-700um。所述的源、漏極電極材料還可以選自其他金屬，例如:鉬，金，銅，鋁。
[0023]在制備功能化納米碳材料溶液中，功能化試劑為1-花丁酸，功能化納米碳材料通過物理吸附的方法復(fù)合，包括碳材料和功能化試劑之間的堆積作用、靜電作用、氫鍵和親疏水作用。功能化試劑與納米碳材料在溶劑中充分?jǐn)嚢杌旌戏磻?yīng)，使功能化試劑吸附在納米碳材料上
本發(fā)明實施例還公開了一種生物傳感器的檢測方法，將待檢測物質(zhì)液體置于功能化納米碳材料層上，將柵極的一端插入在待檢測物質(zhì)液體里，通過調(diào)節(jié)柵極電壓調(diào)控電流信號強弱，實現(xiàn)對待檢測物質(zhì)的檢測或量化，所述的待檢測物質(zhì)液體選自重金屬離子或蛋白質(zhì)溶液。
[0024]本發(fā)明通過下列實施例作進(jìn)一步說明:根據(jù)下述實施例，可以更好地理解本發(fā)明。然而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解，實施例所描述的具體的物料比、工藝條件及其結(jié)果僅用于說明本發(fā)明，而不應(yīng)當(dāng)也不會限制權(quán)利要求書中所詳細(xì)描述的本發(fā)明。
實施例1
參圖1所示，本實施例的生物傳感器，包括:柔性襯底1，平行設(shè)置于柔性襯底I上的源極2a、漏極2b。
[0025]源極2a、漏極2b均包括平行部21以及用于與外部電路(圖中未示出)電連接的延伸部22。
[0026]生物傳感器還包括設(shè)置于源極2a、漏極2b之間的功能化石墨烯層3，功能化石墨烯層3分別與源極2a平行部21、漏極2b平行部21連接；功能化石墨烯層3表層修飾有特異性受體。
[0027]生物傳感器還包括懸浮柵極4，該懸浮柵極4的一端懸于源極2a、漏極2b上方，不接觸石墨烯層3。
[0028]下面，結(jié)合圖1介紹這種柔性全打印生物傳感器的制造方法，包括如下步驟:
S1:在柔性襯底聚酰亞胺PI上使用噴墨打印法打印銀源極2a和漏極2b，源漏極間距50um,使源極2a、漏極2b分別形成各自的平行部21和延伸部22，銀漿濃度為0.lmg/mL ；S2:石墨烯層3芯片的制作；
首先，制備功能化石墨烯溶液。
[0029]石墨烯溶液的配制。本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知，石墨烯可以直接分散到水中，也可以分散到表面活性劑的水溶液中。本實施例采用市售的石墨烯粉末，然后，采用水和表面活性劑DMF按照體積比為9:1配成溶劑。取一定量的氧化石墨烯粉末分散到所述溶劑中，而后將該混合物超聲預(yù)分散l(T30min配成均勻分散的0.01mg/mL石墨烯溶液。
[0030]第一，稱取1-芘丁酸150mg溶解于10mL濃度為0.0lmg/mL的石墨烯溶液中，溶劑為DMF,于室溫攪拌反應(yīng)過夜,溶液用高速離心機(jī)分離15000rpm/min后取下層沉淀,加入DMF中溶解分散即為功能化石墨烯溶液。
[0031]第二，采用噴墨打印方法，在源極2a和漏極2b之間加入Iml上述石墨烯溶液，并確保石墨烯溶液分別與源極2a和漏極2b接觸，即源極2a、漏極2b間電阻為l(Tl00k Ω，形成帶功能化石墨烯層3的芯片。
[0032]第三，將所述芯片浸入6mM (1_(3_ 二甲氨基丙基)_3_乙基碳二亞胺鹽酸鹽)EDC和15mM N-羥基琥珀酰亞胺NHS的混合溶液lh，活化石墨烯上吸附的功能化羧基，反應(yīng)后器件用pH=7.4的PBS緩沖溶液清洗3遍。
[0033]第四，滴加1ul 0.5mg/ml的羊抗兔IgG孵化3h,對源漏極溝道區(qū)域的功能化石墨烯進(jìn)行修飾，其后采用封閉試劑-體積比6.8%的乙醇胺封閉保護(hù)未反應(yīng)的活化羧基，每步反應(yīng)后均用pH=7.4的PBS緩沖溶液清洗3遍。
[0034]S3:懸浮柵極4的設(shè)置。
[0035]將純度為99?100%，直徑為100 μ πΓ500 μ m的銀絲用丙酮除油，然后用蒸餾水洗凈后放在lmol/L鹽酸溶液中進(jìn)行陽極氧化，用鉬絲作陰極，電解的陽極電流密度為0.4mA/cm2,時間30min,制備Ag/AgCl微參比電極作為懸浮柵極。
[0036]S4:將待檢測物質(zhì)液體置于源漏極溝道區(qū)域，將懸浮柵極4插入液體里，不接觸石墨烯層3、源極2a、漏極2b，形成“懸浮”于待測液體5內(nèi)的懸浮柵極4。
[0037]通過上述步驟，獲得柔性全打印生物傳感器。
[0038]石墨烯離子敏傳感器在使用時，只需將待檢測液體，例如含兔IgG的溶液滴加于源漏極溝道區(qū)域并始終保持與懸浮柵極的接觸。這樣，只需要將常用的相關(guān)測試電路與傳感器上的源極、漏極和柵極連通，通過分析特定物質(zhì)導(dǎo)入前后器件的電學(xué)性能信號，即可得出柔性全打印生物傳感器的靈敏度、選擇性和響應(yīng)時間等性能參數(shù)。并且本發(fā)明可在撓曲后使用，增強了該器件對環(huán)境的適應(yīng)性。參閱圖2系本實施例柔性全打印石墨烯生物傳感器在使用時的1-Vsd曲線圖，可見其具備明顯的場效應(yīng)晶體管效應(yīng)。參閱圖3，可見本實施例柔性全打印石墨烯生物傳感器對兔IgG具有很高的靈敏度和很短的響應(yīng)時間。 實施例2
本實施例的柔性全打印生物傳感器結(jié)構(gòu)與實施例1相同。不同的是柔性襯底為聚對笨二甲酸乙二酯PET，源漏極間距200um，銀漿濃度為0.08mg/mL,采用的納米碳材料為
0.05mg/mL的單壁碳納米管，稱取1_芘丁酸質(zhì)量為120mg，封閉試劑為5%牛血清白蛋白BSA。
[0039]并且，本實施例是通過氣溶膠打印的方法將濃度為0.05mg/mL的功能化單壁碳納米管溶液打印在在源極和漏極之間。其后將芯片置于4mM( 1-(3-二甲氨基丙基)-3-乙基碳二亞胺鹽酸鹽)EDC和1mM N-羥基琥珀酰亞胺NHS的混合溶液lh，活化石墨烯上吸附的功能化羧基。
[0040]其余步驟可參照實施例1所示。
實施例3
本實施例的石墨烯離子敏傳感器結(jié)構(gòu)與實施例1相同。不同的是聚乙烯PE，源漏極間距500um,銀衆(zhòng)濃度為0.06mg/mL,采用的納米碳材料為0.02mg/mL的單壁碳納米管,稱取1-芘丁酸質(zhì)量為lOOmg，封閉試劑為2.5%脫脂奶。
[0041]并且，本實施例是通過氣溶膠打印的方法將濃度為0.02mg/mL的功能化單壁碳納米管溶液打印在在源極和漏極之間。其后將芯片置于2mM( 1-(3-二甲氨基丙基)-3-乙基碳二亞胺鹽酸鹽)EDC和5mM N-羥基琥珀酰亞胺NHS的混合溶液3h，活化石墨烯上吸附的功能化羧基。
[0042]其余步驟可參照實施例1所示。
[0043]在其他實施例中，還可以對柔性全打印傳感器的參數(shù)或制作步驟進(jìn)行優(yōu)化，例如，由于需要制作的柔性全打印傳感器尺寸不同，打印的石墨烯溶液體積不同，只要滿足上述結(jié)構(gòu)要求均可，一般為0.5X10_3?5X10_3mL范圍較佳。為了適應(yīng)不同的檢測環(huán)境，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該知道，納米碳材料溶液的溶劑可采用水、有機(jī)溶劑或其組合配制，有機(jī)溶劑例如乙醇、DMF、PMAS等，具體可根據(jù)檢測物質(zhì)及其溶劑的性質(zhì)而定。
[0044]本發(fā)明通過制備分散性好的高質(zhì)量功能化納米碳材料溶液，利用先進(jìn)的印刷電子技術(shù)將功能化納米碳材料溶液打印在柔性襯底上，再配合打印電極連接成一體，構(gòu)成基于場效應(yīng)晶體管的生物傳感器。利用打印技術(shù)制備柔性場效應(yīng)管生物傳感器生產(chǎn)工藝可規(guī)范化，輕薄便攜，具有成本低、污染小，可大批量生產(chǎn)等特點。且通過對納米碳材料進(jìn)行功能化修飾，可提高生物傳感器的靈敏度、選擇性和響應(yīng)時間等性能。
[0045]需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
[0046]以上所述僅是本申請的【具體實施方式】，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本申請原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本申請的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種生物傳感器，其特征在于，包括: 柔性襯底； 形成于所述柔性襯底上的源極和漏極； 形成于所述柔性襯底上的功能化納米碳材料層，所述的功能化納米碳材料層電性連接于所述的源極和漏極之間； 柵極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生物傳感器，其特征在于:所述的功能化納米碳材料層的表面修飾有特異性受體，所述的特異性受體選自抗體、酶、蛋白質(zhì)、肽、氨基酸、核酸適體、脂、輔因子或碳水化合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生物傳感器，其特征在于:所述的柵極為^“成1參比電極。
4.權(quán)利要求1至3任一所述的生物傳感器的制造方法，其特征在于，包括: 81、在柔性襯底上通過噴墨打印法或溶膠打印法制作源極和漏極； 82、通過噴墨打印法或溶膠打印法在源極和漏極之間制作功能化納米碳材料層； 83、活化功能化納米碳材料層上吸附的功能化羧基，并采用特異性受體對功能化納米碳材料層進(jìn)行修飾，采用封閉試劑保護(hù)未反應(yīng)的活化羧基。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的生物傳感器的制造方法，其特征在于:所述的柔性襯底選自聚對笨二甲酸乙二酯、聚對笨二甲酸丁二酯、聚酰亞胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚乙烯、聚氯乙烯或聚丙烯；所述的功能化納米碳材料層的材質(zhì)選自構(gòu)成交疊網(wǎng)絡(luò)的功能化石墨烯、功能化單壁碳納米管或功能化多壁碳納米管結(jié)構(gòu)；所述的封閉試劑選自乙醇胺、牛血清白蛋白、脫脂奶粉或干酪素。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的生物傳感器的制造方法，其特征在于:所述的步驟82中，還包括制備功能化納米碳材料溶液，所述的功能化納米碳材料溶液的制備方法如下:稱取1-芘丁酸溶解于濃度為0.01-0.51118/1111的納米碳材料溶液中，溶劑為01？，于室溫攪拌反應(yīng)過夜，溶液分離后取下層沉淀，加入01？中溶解分散即為功能化納米碳材料溶液。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的生物傳感器的制造方法，其特征在于:所述1-芘丁酸與納米碳材料的質(zhì)量比為(10-150):1。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的生物傳感器的制造方法，其特征在于:所述的步驟83具體包括:將功能化納米碳材料層浸入2-8禮1-(3- 二甲氨基丙基)-3-乙基碳二亞胺鹽酸鹽和8-2011)1 羥基琥珀酰亞胺的混合溶液1-31！，活化碳材料上吸附的功能化羧基，反應(yīng)后用邱=7.4的？83緩沖溶液清洗；采用特異性受體對功能化納米碳材料層進(jìn)行修飾，其后采用封閉試劑保護(hù)未反應(yīng)的活化羧基，每步反應(yīng)后均用邱=7.4的？83緩沖溶液進(jìn)行清洗。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的生物傳感器的制造方法，其特征在于:所述功能化納米碳材料層所形成電阻為1010(^0。
10.權(quán)利要求1所述生物傳感器的檢測方法，其特征在于:將待檢測物質(zhì)液體置于功能化納米碳材料層上，將柵極的一端插入在待檢測物質(zhì)液體里，通過調(diào)節(jié)柵極電壓調(diào)控電流信號強弱，實現(xiàn)對待檢測物質(zhì)的檢測或量化，所述的待檢測物質(zhì)液體選自重金屬離子或蛋白質(zhì)溶液。
【文檔編號】G01N27/414GK104345082SQ201310339250
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2013年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月6日
【發(fā)明者】張珽, 于薇, 蔡培杰, 劉瑞 申請人:中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所