專(zhuān)利名稱(chēng)：導(dǎo)通檢測(cè)裝置和導(dǎo)通檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及導(dǎo)通檢測(cè)裝置和導(dǎo)通檢測(cè)方法，并且更特別地涉及被用于在印刷布線板上形成的多布線圖案的導(dǎo)通檢測(cè)裝置和導(dǎo)通檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
作為用于檢測(cè)在印刷布線板上形成的布線圖案的導(dǎo)通的方法，主要已知引腳接觸方法和非接觸方法(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。在引腳接觸方法中，使探針引腳與要檢測(cè)的印刷布線板的布線圖案的相對(duì)末端相接處，并且促使電流在探針引腳中的一個(gè)中流動(dòng)。然后，從由探針引腳中的另一個(gè)所檢測(cè)的電壓值獲得布線圖案的DC電阻值，并且從而檢測(cè)布線圖案的導(dǎo)通(參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I的段落和
)。另一方面，在非接觸方法中，以通過(guò)使探針引腳與要檢測(cè)的印刷布線板的布線圖案的一端進(jìn)行直接接觸來(lái)施加包含AC分量的檢測(cè)信號(hào)并經(jīng)由非接觸電容耦合在布線圖案的另一端處檢測(cè)檢測(cè)信號(hào)(參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I的段落
)這樣的方式來(lái)檢測(cè)布線圖案的導(dǎo)通。引用列表
專(zhuān)利文獻(xiàn)
專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利號(hào)3311698 專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本專(zhuān)利特許公開(kāi)號(hào)2002-148290。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題
然而，即使當(dāng)使用任何上述檢測(cè)方法時(shí)，也難以檢測(cè)多布線圖案的導(dǎo)通。多布線圖案意指具有第一端子和第二端子且具有多布線圖案的多布線圖案，所述多布線圖案每個(gè)將第一端子和第二端子相互電連接。所述多布線圖案被用于應(yīng)用，從而減小電路的阻抗，并將大電流分配到多個(gè)布線以從而減小流入每個(gè)布線中的電流的量。圖7示出了多布線圖案的配置示例，圖7 (a)是在其上面提供了多布線圖案的雙面印刷布線板51的頂視圖，并且圖7 (b)是沿著圖7 (a)中的線A-A’的橫截面圖。導(dǎo)體圖案(conductor pattern) 53A和導(dǎo)體圖案53B分別在絕緣基板52的頂面和背面上形成。請(qǐng)注意，如圖7 Ca)中所示，導(dǎo)體圖案53B被形成為比導(dǎo)體圖案53A寬。導(dǎo)體圖案53A包括布線54，并且還包括在布線54的相對(duì)末端處提供的端子55和端子56。同樣地，導(dǎo)體圖案53B包括布線57，并且還包括在布線57的相對(duì)末端處提供的端子58和端子59。此外，如圖7 (b)中所示，端子55和端子58被通孔60相互電連接，并且同樣地，端子56和端子59被通孔61相互電連接。這樣，在雙面印刷布線板51上提供具有兩個(gè)布線的多布線圖案。也就是說(shuō)，多布線圖案包括作為第一端子的端子55以及作為第二端子的端子56，并且還包括第一布線和第二布線，其中的每一個(gè)將第一端子和第二端子相互電連接。第一布線是布線54，并且第二布線是由導(dǎo)體圖案53B、通孔60以及通孔61配置的。第二布線的電阻大于第一布線的電阻，因?yàn)閷?dǎo)體圖案53B被形成為比導(dǎo)體圖案53A窄，并且因?yàn)橥?0和61的電阻被包括在第二布線的電阻中。因此，當(dāng)用引腳接觸方法來(lái)檢測(cè)布線的導(dǎo)通時(shí)，根據(jù)組成布線的相應(yīng)元件的尺寸變化，可能不能檢測(cè)具有比第二布線小的電阻值的第一布線的斷線(breakage )。在其中用非接觸方法來(lái)檢測(cè)布線的導(dǎo)通的情況下，當(dāng)?shù)谝徊季€和第二布線斷線時(shí)，從未斷線的布線檢測(cè)檢測(cè)信號(hào)。因此，在非接觸方法中，大體上不可能檢測(cè)第一布線或第二布線斷線。這樣，在引腳接觸方法和非接觸方法中的每一個(gè)中，不可能可靠地檢測(cè)組成多布線圖案的多個(gè)布線中的一些已斷線。請(qǐng)注意，用于檢測(cè)多布線圖案的斷線的方法的示例包括使用TDR(時(shí)域反射測(cè)量技術(shù))示波器的方法(參見(jiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。通過(guò)使用TDR示波器，大體上可能檢測(cè)到多布線圖案的一部分已斷線。然而，由于TDR示波器裝置是昂貴的，所以使用TDR示波器的檢測(cè)存在的問(wèn)題是該檢測(cè)是昂貴的。基于對(duì)上述問(wèn)題的認(rèn)識(shí)做出了本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的是提供導(dǎo)通檢測(cè)裝置和導(dǎo)通檢測(cè)方法，其中的每一個(gè)能夠以低成本可靠地檢測(cè)多布線圖案中的斷線的發(fā)生。問(wèn)題的解決方案
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其被配置成檢測(cè)包括第一端子和第二端子且還包括每個(gè)將第一端子和第二端子相互電連接的多個(gè)布線的多布線圖案的導(dǎo)通，該導(dǎo)通檢測(cè)裝置的特征在于包括測(cè)量第一端子與第二端子之間的電感的值的電感測(cè)量部和導(dǎo)通確定部，該導(dǎo)通確定部將電感值與用于導(dǎo)通確定的閾值相比較，并且作為結(jié)果，當(dāng)電感值大于用于導(dǎo)通確定的閾值時(shí)，確定在多布線圖案中引起了斷線，并且當(dāng)電感值不大于用于導(dǎo)通確定的閾值時(shí)，確定在多布線圖案中未引起斷線。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種導(dǎo)通檢測(cè)方法，其被配置成檢測(cè)包括第一端子和第二端子且還包括每個(gè)將第一端子和第二端子相互電連接的多個(gè)布線的多布線圖案的導(dǎo)通，該導(dǎo)通檢測(cè)方法的特征在于測(cè)量第一端子與第二端子之間的電感的值，并將電感值與用于導(dǎo)通確定的閾值相比較，并且作為結(jié)果，當(dāng)電感值大于用于導(dǎo)通確定的閾值時(shí)，確定在多布線圖案中引起了斷線，并且當(dāng)電感值不大于用于導(dǎo)通確定的閾值時(shí)，確定在多布線圖案中未引起斷線。本發(fā)明的有利效果
根據(jù)本發(fā)明，可以以低成本可靠地檢測(cè)多布線圖案中的斷線的發(fā)生。


圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的導(dǎo)通檢測(cè)裝置的示意性配置的方框圖。圖2是示出了基于四端子對(duì)方法的電感測(cè)量部的配置的視圖。圖3是示出了其中將布線的尺寸變化考慮在內(nèi)的情況的多布線圖案的電感值范圍的圖表。 圖4是示出了多布線圖案的電感值的測(cè)量結(jié)果的視圖。
圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的導(dǎo)通檢測(cè)裝置的示意性配置的方框圖。圖6是示出了根據(jù)第二實(shí)施例的導(dǎo)通檢測(cè)方法的流程圖。圖7 Ca)是在雙面印刷布線板上提供的多布線圖案的配置的示例的頂視圖，并且圖7 (b)是沿著圖7 (a)中的線A-A’的橫截面圖。
具體實(shí)施例方式下面，將參考附圖來(lái)描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例。請(qǐng)注意，用相同的附圖標(biāo)記和字符來(lái)表示其中的每一個(gè)在相應(yīng)圖中具有相同功能的部件，并且將不重復(fù)其解釋。(第一實(shí)施例)
圖1是示出了根據(jù)第一實(shí)施例的導(dǎo)通檢測(cè)裝置100的示意性配置的方框圖。導(dǎo)通檢測(cè)裝置100包括電感測(cè)量部110、電感確定部120、存儲(chǔ)部130以及顯示部140。電感測(cè)量部110測(cè)量多布線圖案的第一端子和第二端子之間的電感值。測(cè)量方法的示例包括兩端子方法和四端子方法，但是能夠減少由測(cè)量電流產(chǎn)生的磁通量的影響的四端子對(duì)方法作為測(cè)量方法是優(yōu)選的。將參考圖2來(lái)描述用四端子對(duì)方法進(jìn)行的電感值測(cè)量。導(dǎo)通確定部120將由電感測(cè)量部110測(cè)量的電感值與預(yù)定確定閾值(用于導(dǎo)通確定的閾值)相比較。作為比較的結(jié)果，當(dāng)電感值大于用于導(dǎo)通確定的閾值時(shí)，導(dǎo)通確定部120確定在多布線圖案中引起斷線。當(dāng)電感值不大于用于導(dǎo)通確定的閾值時(shí)，導(dǎo)通確定部120確定在多布線圖案中未引起斷線。作為用于導(dǎo)通確定的閾值，使用當(dāng)在多布線圖案中引起斷線時(shí)小于在第一端子與第二端子之間的電感值(斷線電感值)且當(dāng)在多布線圖案中未引起斷線時(shí)大于第一端子與第二端子之間的電感值(非斷線電感值)的值。請(qǐng)注意，優(yōu)選的是斷線電感值是在發(fā)生斷線的情況下電感根據(jù)多布線圖案的尺寸變化能夠采取的值范圍的下限值，并且非斷線電感值是在未發(fā)生斷線的情況下電感根據(jù)多布線圖案的尺寸變化能夠采取的值范圍的上限值。存儲(chǔ)部130是非易失性存儲(chǔ)器，諸如，例如硬盤(pán)(HDD)或閃速存儲(chǔ)器，并且存儲(chǔ)用于導(dǎo)通確定等的上述閾值。導(dǎo)通確定部120從存儲(chǔ)部130讀取用于導(dǎo)通確定的閾值，并且將用于導(dǎo)通確定的閾值與由電感測(cè)量部110測(cè)量的電感值(或由下述電阻測(cè)量部150測(cè)量的電阻的值)相比較。顯示部140是例如液晶顯示器或打印機(jī)，并且顯示由導(dǎo)通確定部120執(zhí)行的確定的結(jié)果。接下來(lái)，描述了其中采用四端子對(duì)方法的情況下的電感測(cè)量部110的配置。圖2示出了電感計(jì)16、開(kāi)爾文探針12和13以及組成電感測(cè)量部11的同軸電纜21和24及要測(cè)量的雙面印刷布線板I。首先，描述雙面印刷布線板I的配置。導(dǎo)體圖案3A和導(dǎo)體圖案3B分別在絕緣基板2的頂面和背面上形成。導(dǎo)體圖案3A包括布線4，并且還包括在布線4的相對(duì)端處提供的端子5和端子6。同樣地，導(dǎo)通圖3B包括布線7，并且還包括在布線7的相對(duì)端處提供的端子8和端子9。如圖2中所示，端子5和端子8通過(guò)通孔10相互電連接，并且同樣地，端子6和端子9通過(guò)通孔11被相互電連接。這樣，雙面印刷布線板I包括作為第一端子的端子5和作為第二端子的端子6，并且還包括兩個(gè)布線(第一布線和第二布線)，其中的每一個(gè)將第一端子和第二端子相互電連接。第一布線是布線4，并且第二布線是由導(dǎo)體圖案3B、通孔10以及通孔11配置的布線。請(qǐng)注意，本發(fā)明中的要檢測(cè)的多布線圖案的布線的數(shù)目不限于兩個(gè)，而是可以是三個(gè)或以上。此外，組成多布線圖案的所述多個(gè)布線可以不僅如圖2中所示沿著印刷布線板的垂直方向相互分出支路，而且還可以沿水平方向分出支路。所述多個(gè)布線可以沿任意方向分出支路。接下來(lái)，描述電感計(jì)16、開(kāi)爾文探針10和11即同軸電纜21至24，其組成電感測(cè)量部110。電感計(jì)16包括AC信號(hào)源17，其向多布線圖案的端子5供應(yīng)AC測(cè)量電流;AC安培表18，其測(cè)量從端子6流出的AC電流；以及AC伏特表19，其測(cè)量端子5和端子6之間的電壓。如圖2中所示，當(dāng)測(cè)量電感時(shí)，使開(kāi)爾文探針12與端子5相接觸，并且使開(kāi)爾文探針13與端子6相接觸。開(kāi)爾文探針12包括探針引腳12a和12b，并且開(kāi)爾文探針13包括探針引腳13a和13b。此外，電感計(jì)16包括四個(gè)端子Hc、Hp、Lc和Lp。端子He經(jīng)由同軸電纜21和開(kāi)爾文探針12的探針引腳12a被電連接到端子5。端子Hp經(jīng)由同軸電纜23和開(kāi)爾文探針12的探針引腳12b被電連接到端子5。端子Lc經(jīng)由同軸電纜22和開(kāi)爾文探針13的探針引腳13b被電連接到端子6。端子Lp經(jīng)由同軸電纜24和開(kāi)爾文探針13的探針引腳13a被電連接到端子6。如圖2中所示，同軸電纜21至24的外部導(dǎo)體21b至24b被導(dǎo)體25相互電連接。同軸電纜21包括被電連接至AC信號(hào)源17的輸出端子的中心導(dǎo)體21a和被電連接至AC信號(hào)源17的輸入端子的外部導(dǎo)體21b。同軸電纜22包括被電連接至AC安培表18的輸入端子的中心導(dǎo)體22a和被電連接至AC安培表18的輸出端子的外部導(dǎo)體22b。同軸電纜23包括被電連接至AC伏特表19的一個(gè)端子的中心導(dǎo)體23a和被電連接至同軸電纜21的外部導(dǎo)體21b的外部導(dǎo)體23b。同軸電纜24包括被電連接至AC伏特表19的另一端子的中心導(dǎo)體24a以及被電連接至同軸電纜22的外部導(dǎo)體22b且至同軸電纜23的外部導(dǎo)體23b的外部導(dǎo)體24b。探針引腳12a被電連接至同軸電纜21的中心導(dǎo)體21a。探針引腳12b被電連接至同軸電纜23的中心導(dǎo)體23a。探針引腳13a被電連接至同軸電纜24的中心導(dǎo)體24a。探針引腳13b被電連接至同軸電纜22的中心導(dǎo)體22a。端子He被連接至AC信號(hào)源17，并且經(jīng)由探針引腳12a向端子5施加AC信號(hào)。施加于端子5的AC信號(hào)在通過(guò)多布線圖案且然后通過(guò)端子6、探針引腳13b以及端子Lc之后被輸入到AC安培表18中。從AC安培表18輸出的返回電流在通過(guò)同軸電纜21至24的外部導(dǎo)體(屏蔽部分)21b至24b之后被返回至AC信號(hào)源17。此外，AC伏特表19被連接到電感計(jì)16的端子Hp和端子Lp，并且測(cè)量端子5和端子6之間的電壓。上述連接方法稱(chēng)為四端子對(duì)方法。促使從AC信號(hào)源17輸出的AC電流流過(guò)同軸電纜21和22的中心導(dǎo)體21a和22a。另一方面，促使返回電流流過(guò)同軸電纜21至24的外部導(dǎo)體21b至24b，從而返回至AC信號(hào)源17。這樣，由于促使測(cè)量電流和返回電流沿相反方向流動(dòng)，所以由這些電流產(chǎn)生的磁場(chǎng)被抵消，使得在外部不產(chǎn)生磁場(chǎng)。因此，在同軸電纜21至24中的每一個(gè)中不產(chǎn)生自感和互感，并且因此，電感測(cè)量部110能夠測(cè)量微小電感。因此,可以測(cè)量布線4和布線7已斷線時(shí)的電感與布線4和布線7未斷線時(shí)的電感之間的非常小的差。電感測(cè)量部110通過(guò)計(jì)算由AC伏特表19測(cè)量的AC電壓與由AC安培表18測(cè)量的AC電流的比來(lái)獲得端子5和端子6之間的電感的值。上述電感測(cè)量方法還稱(chēng)為1-V方法，并且與其他測(cè)量方法相比較可以以較低成本來(lái)配置。此外，在上述電感測(cè)量方法中，能夠在比較低的頻帶中(例如，I kHz至10 MHz)穩(wěn)定地執(zhí)行測(cè)量。圖2中的虛線示出了未引起斷線時(shí)的AC測(cè)量電流的路徑。當(dāng)?shù)谝徊季€斷線時(shí)，促使AC電流通過(guò)第二布線。相反，當(dāng)?shù)诙季€斷線時(shí)，促使AC電流通過(guò)第一布線。第一布線的電感被設(shè)置為L(zhǎng)I，并且第二布線的電感被設(shè)置為L(zhǎng)2。此外，第一布線和第二布線的組合電感被設(shè)置為L(zhǎng)l_2。在其中第一布線和第二布線兩者都未斷線的情況下，獲得組合電感Ll_2為L(zhǎng)l_2 == (L1XL2)/ (LI+ L2)。另一方面，在其中第一布線或第二布線斷線的情況下(亦即，在一側(cè)斷線的情況下)，獲得組合電感為L(zhǎng)I或L2。請(qǐng)注意，在其中第一布線和第二布線兩者都斷線的情況下，電感值變成O?？梢酝ㄟ^(guò)使用以下表達(dá)式(I)來(lái)近似地計(jì)算在印刷布線板上提供的導(dǎo)體圖案的電感 L (參見(jiàn) http://www.zuken.c0.jp/clubZ/z/analog/006/ana/ana_l 10220_1.html)。[等式I]
權(quán)利要求
1.一種被配置成檢測(cè)多布線圖案的導(dǎo)通的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，所述多布線圖案包括第一端子和第二端子且還包括每個(gè)將所述第一端子和所述第二端子相互電連接的多個(gè)布線，所述導(dǎo)通檢測(cè)裝置包括: 電感測(cè)量部，其測(cè)量所述第一端子與所述第二端子之間的電感的值；以及 導(dǎo)通確定部，其將所述電感值與用于導(dǎo)通確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電感值大于用于電感確定的所述閾值時(shí)，確定在所述多布線圖案中引起斷線，并且當(dāng)所述電感值不大于用于導(dǎo)通確定的所述閾值時(shí)，確定在所述多布線圖案中未引起斷線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其中，用于導(dǎo)通確定的所述閾值小于斷線電感值，所述斷線電感值是所述 多布線圖案中發(fā)生斷線的情況下的所述第一端子和所述第二端子之間的電感值，并且大于非斷線電感值，所述非斷線電感值是所述多布線圖案中未發(fā)生斷線的情況下的所述第一端子和所述第二端子之間的電感值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其中，所述斷線電感值是在發(fā)生斷線的情況下所述電感根據(jù)所述多布線圖案的尺寸變化能夠采取的值范圍的下限值，并且非斷線電感值是在未發(fā)生斷線的情況下所述電感根據(jù)所述多布線圖案的尺寸變化能夠采取的值范圍的上限值。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其中，用于導(dǎo)通確定的所述閾值是所述斷線電感值和所述非斷線電感值的平均值。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，還包括測(cè)量所述第一端子和所述第二端子之間的電阻值的電阻測(cè)量部， 其中，所述導(dǎo)通確定部將所述電阻值與用于開(kāi)路確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電阻值大于用于開(kāi)路確定的所述閾值時(shí)，確定全部的所述多個(gè)布線斷線，并且不使用所述電感值來(lái)執(zhí)行所述導(dǎo)通檢測(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其中，所述導(dǎo)通確定部將所述電阻值與用于短路確定的閾值相比較，并且結(jié)果，所述電阻值小于用于短路確定的所述閾值，所述導(dǎo)通確定部確定在所述多布線圖案中引起短路。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其中，所述電感測(cè)量部包括電感計(jì)，包括: AC信號(hào)源，其向所述多布線圖案的所述第一端子供應(yīng)用于測(cè)量的AC電流； AC安培表，其測(cè)量從所述第二端子流出的所述AC電流；以及 AC伏特表，其測(cè)量所述第一端子和所述第二端子之間的電壓，并且所述電感測(cè)量部還包括: 第一同軸電纜，其包括被電連接至所述AC信號(hào)源的所述輸出端子的中心導(dǎo)體，以及被電連接至所述AC信號(hào)源的所述輸入端子的外部導(dǎo)體； 第二同軸電纜，其包括被電連接至所述AC安培表的所述輸入端子的中心導(dǎo)體，以及被電連接至所述AC安培表的所述輸出端子的外部導(dǎo)體； 第三同軸電纜，其包括被電連接至所述AC伏特表的一個(gè)端子的中心導(dǎo)體，以及被電連接至所述第一同軸電纜的所述外部導(dǎo)體的外部導(dǎo)體； 第四同軸電纜，其包括被電連接至所述AC伏特表的另一端子的中心導(dǎo)體，以及被電連接至所述第二同軸電纜的外部導(dǎo)體和所述第三同軸電纜的外部導(dǎo)體的外部導(dǎo)體； 第一探針引腳，其被電連接至所述第一同軸電纜的所述中心導(dǎo)體，并且能夠使其與所述第一端子進(jìn)行接觸； 第二探針引腳，其被電連接至所述第二同軸電纜的所述中心導(dǎo)體，并且能夠使其與所述第二端子進(jìn)行接觸； 第三探針引腳，其被電連接至所述第三同軸電纜的所述中心導(dǎo)體，并且能夠使其與所述第一端子進(jìn)行接觸；以及 第四探針引腳，其被電連接至所述第四同軸電纜的所述中心導(dǎo)體，并且能夠使其與所述第二端子進(jìn)行接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其中，所述AC電流的所述頻率被設(shè)置在IkHz至10 MHz的范圍內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，還包括測(cè)量所述第一端子和所述第二端子之間的電阻值的電阻測(cè)量部， 其中，所述導(dǎo)通確定部將所述電阻值與用于開(kāi)路確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電阻值大于用于開(kāi)路確定的所述閾值時(shí)，確定全部的所述多個(gè)布線斷線，并且不使用所述電感值來(lái)執(zhí)行所述導(dǎo)通檢測(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，其中，所述導(dǎo)通確定部將所述電阻值與用于短路確定的閾值相比較，并且當(dāng)所述電阻值小于用于短路確定的所述閾值時(shí)，所述導(dǎo)通確定部確定在所述多布線圖案中引起短路。
11.一種被配置成檢測(cè)多布線圖案的導(dǎo)通的導(dǎo)通檢測(cè)方法，所述多布線圖案包括第一端子和第二端子且還包括每個(gè)將所述第一端子和所述第二端子相互電連接的多個(gè)布線，所述導(dǎo)通檢測(cè)方法包括: 測(cè)量所述第一端子與所述第二端子之間的電感的值；以及 將所述電感值與用于導(dǎo)通確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電感值大于用于電感確定的所述閾值時(shí)，確定在所述多布線圖案中引起斷線；并且當(dāng)所述電感值不大于用于導(dǎo)通確定的所述閾值時(shí)，確定在所述多布線圖案中未引起斷線。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，使用小于斷線電感值的值作為用于導(dǎo)通確定的所述閾值，所述斷線電感值是所述多布線圖案中發(fā)生斷線的情況下的所述第一端子和所述第二端子之間的電感值，并且大于非斷線電感值，所述非斷線電感值是所述多布線圖案中未發(fā)生斷線的情況下的所述第一端子和所述第二端子之間的電感值。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，使用在發(fā)生斷線的情況下所述電感根據(jù)所述多布線圖案的尺寸變化能夠采取的值范圍的下限值作為所述斷線電感值，并且使用在未發(fā)生斷線的情況下所述電感根據(jù)所述多布線圖案的尺寸變化能夠采取的值范圍的上限值作為所述非斷線電感值。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的導(dǎo)通檢測(cè)裝置，使用所述斷線電感值和所述非斷線電感值的平均值作為用于導(dǎo)通確定的所述閾值。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，包括測(cè)量所述第一端子和所述第二端子之間的電阻值，并且將所述電阻值與用于開(kāi)路確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電阻值大于用于開(kāi)路確定的所述閾值時(shí)，確定全部所述多個(gè)布線斷線，并且防止執(zhí)行使用所述電感值的所述導(dǎo)通檢測(cè)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，包括將所述電阻值與用于短路確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電阻值小于用于短路確定的所述閾值時(shí)，確定在所述多布線圖案中引起短路。
17.根據(jù)權(quán)利要求11所述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，其中，由四端子對(duì)方法來(lái)執(zhí)行所述電感值的測(cè)量。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，其中，在所述電感值的所述測(cè)量中使用的所述AC電流的頻率被設(shè)置在I kHz至10 MHz的范圍內(nèi)。
19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，包括在測(cè)量所述電感值之前測(cè)量所述第一端子和所述第二端子之間的電阻值，并且將所述電阻值與用于開(kāi)路確定的所述閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電阻值大于用于開(kāi)路確定的所述閾值時(shí)，確定全部的所述多個(gè)布線斷線，并且防止執(zhí)行使用所述電感值的所述導(dǎo)通檢測(cè)。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所 述的導(dǎo)通檢測(cè)方法，包括將所述電阻值與用于短路確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電阻值小于用于短路確定的所述閾值時(shí)，確定在所述多布線圖案中引起短路。
全文摘要
提供導(dǎo)通檢測(cè)裝置和導(dǎo)通檢測(cè)方法，其中的每一個(gè)能夠以低成本可靠地檢測(cè)多布線圖案中的斷線的發(fā)生。提供了被配置成檢測(cè)包括第一端子和第二端子且還包括每個(gè)將所述第一端子和所述第二端子相互電連接的多個(gè)布線的多布線圖案的導(dǎo)通的導(dǎo)通檢測(cè)裝置100，所述導(dǎo)通檢測(cè)裝置的特征在于包括電感測(cè)量部110，其測(cè)量所述第一端子和所述第二端子之間的電感值；導(dǎo)通確定部120，其將所述電感值與用于導(dǎo)通確定的閾值相比較，并且結(jié)果，當(dāng)所述電感值大于用于導(dǎo)通確定的所述閾值時(shí)，確定在多布線圖案中引起斷線，并且當(dāng)所述電感值不大于用于導(dǎo)通確定的所述閾值時(shí)，確定在所述多布線圖案中未引起斷線；存儲(chǔ)部130，其存儲(chǔ)用于導(dǎo)通確定的所述閾值；以及顯示部140，其顯示由所述導(dǎo)通確定部120執(zhí)行的所述確定的結(jié)果。
文檔編號(hào)G01R31/02GK103097901SQ201280002956
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年2月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者高野祥司, 松田文彥 申請(qǐng)人:日本梅克特隆株式會(huì)社