專利名稱：：分光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及選擇規(guī)定波長帶的光的分光裝置，特別是涉及內(nèi)置介電體薄膜干涉濾波器的分光裝置。
背景技術(shù)：
：一直以來，已知有利用交替地層疊折射率不同的介電體薄膜，且由具有中間的折射率的介電體薄膜形成該中間的空穴(cavity)層的干涉濾波器的分光裝置(參照下述專利文獻(xiàn)I)。該分光裝置具有可自由旋轉(zhuǎn)地設(shè)置的干涉濾波器，在使平行光線入射到干涉濾波器時(shí)，改變相對于干涉濾波器的入射角，從而連續(xù)性地改變透過波長。作為具有相同的構(gòu)成的裝置，已知有使設(shè)有介電體多層膜濾波器的旋轉(zhuǎn)臺(table)旋轉(zhuǎn)，從而控制相對于介電體多層膜濾波器的平行光的入射角度，從而實(shí)現(xiàn)對應(yīng)于入射角度的波長可變性的波長可變?yōu)V波器(參照下述專利文獻(xiàn)2)。該波長可變?yōu)V波器采用在旋轉(zhuǎn)臺上旋轉(zhuǎn)對稱地配置有四個(gè)濾波器的構(gòu)成，從而實(shí)現(xiàn)具有更寬的波長范圍的透過光的輸出。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I:日本特開昭62-22034號公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2004-184674號公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的課題可是，在上述的專利文獻(xiàn)2所記載的具備多個(gè)濾波器的波長可變?yōu)V波器中，具有因旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)時(shí)的多個(gè)濾波器之間的干涉而不能寬地取得透過波長的可變范圍的趨勢。這是起因于如果要較大地取得對某個(gè)濾波器的入射角，則入射光容易與其它的濾波器產(chǎn)生干渉，因此相對于各個(gè)濾波器的入射角的范圍受到限制。因此，本發(fā)明是有鑒于上述的課題而完成的發(fā)明，其目的在于提供一種不會使裝置大型化而且能夠容易地?cái)U(kuò)大選擇波長的可變范圍的分光裝置。解決課題的技術(shù)手段為了解決上述課題，本發(fā)明的分光裝置是具備使來自光源的光在對應(yīng)于光的入射角的波長范圍內(nèi)選擇性地透過的η個(gè)(η為3以上的整數(shù))介電體薄膜干涉濾波器、和在主面上立設(shè)有介電體薄膜干涉濾波器且能夠沿著主面在規(guī)定點(diǎn)的周圍旋轉(zhuǎn)的平板狀的旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件的分光裝置，η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器分別配置成光入射側(cè)或光射出側(cè)的端面相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件的主面上的規(guī)定點(diǎn)與主面上的該介電體薄膜干涉濾波器的中心點(diǎn)的線傾斜。另外，所謂“介電體薄膜干涉濾波器”，是指對應(yīng)于向?yàn)V波器的入射角度而使呈現(xiàn)濾波器的性能的中心波長產(chǎn)生偏移的濾波器。根據(jù)這樣的分光裝置，光從光源沿著旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件的主面入射，該光在對應(yīng)于向介電體薄膜干涉濾波器的入射角的波長范圍內(nèi)選擇性地透過介電體薄膜干涉濾波器而輸出。此時(shí)，通過使旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件以主面的規(guī)定點(diǎn)為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而能夠交替地切換透過光的η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器，并且能夠改變向η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器的各個(gè)的光的入射角，其結(jié)果，能夠連續(xù)性地改變透過波長。特別的，通過將介電體薄膜干涉濾波器配置成其端面相對于連結(jié)主面上的規(guī)定點(diǎn)與介電體薄膜干涉濾波的中心點(diǎn)的線傾斜，從而多個(gè)介電體薄膜干涉濾波器之間的干涉在寬的旋轉(zhuǎn)角的范圍內(nèi)降低，其結(jié)果，不會使旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件變大且能夠容易擴(kuò)大選擇波長的可變范圍。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，不會使裝置大型化而且能夠容易地?cái)U(kuò)大選擇波長的可變范圍?！DI是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的光源裝置的概略構(gòu)成的平面圖。圖2是圖I的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖3是表示包含在圖2的濾波器旋轉(zhuǎn)體的帶通濾波器的透過波長帶的峰值波長的入射角依賴性的圖表。圖4是表示向圖I的帶通濾波器的光的入射狀態(tài)的圖，(a)是表示入射角為O度的情況的圖，(b)是表示入射角為25度的情況的圖，(c)是表示入射角為50度的情況的圖。圖5是表示圖I的光源裝置的濾波器旋轉(zhuǎn)體中的光透過率的波長特性的圖表。圖6是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的光源裝置的概略構(gòu)成的平面圖。圖7是表示圖6的光源裝置的兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體中的光透過率的波長特性的圖表。圖8是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的光源裝置的概略構(gòu)成的平面圖。圖9是表示圖8的光源裝置的兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體中的光透過率的波長特性的圖表。圖10是作為本發(fā)明的變形例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖11是作為本發(fā)明的變形例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖12是作為本發(fā)明的變形例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖13是作為本發(fā)明的變形例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖，Ca)是表示入射角為20度的情況的圖，(b)是表示入射角為35度的情況的圖，(c)是表示入射角為50度的情況的圖。圖14是作為本發(fā)明的變形例的帶通濾波器的透過波長帶特性的圖表。圖15是表示本發(fā)明的其它的實(shí)施方式所涉及的光檢測裝置的概略構(gòu)成的平面圖。圖16是作為本發(fā)明的應(yīng)用例的熒光檢測系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。圖17是作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖18是作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖19是作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖20是作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。圖21是作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的平面圖。符號的說明IlaIIf…帶通濾器、15a15d…中心點(diǎn)、1,101,201…光源裝置、301…光檢測裝置、3…光源、8，8A，8B,8C，8D，108，208，308…濾波器旋轉(zhuǎn)體、10…旋轉(zhuǎn)臺(旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件)、10a···主面、12···光入射面(端面)、13···光射出面(端面)、17···內(nèi)接圓、C1…旋轉(zhuǎn)中心、L2,L4,L5…入射光。具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，對本發(fā)明所涉及的分光裝置的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說明。另外，在附圖的說明中，對相同或相當(dāng)?shù)牟糠指缴舷嗤姆枺÷灾貜?fù)的說明。另外，各附圖是用于說明而繪制的圖，且繪制成特別強(qiáng)調(diào)說明的對象部位。因此，附圖中的各構(gòu)件的尺寸比例未必與實(shí)際的尺寸一致。[第I實(shí)施方式]圖I是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的分光裝置的概略構(gòu)成的平面圖。圖I所示的光源裝置1，為在半導(dǎo)體檢查裝置等的各種檢查裝置中，作為具有特定的發(fā)光波長帶(例如近紅外波長帶)的光源進(jìn)行使用的裝置。該光源裝置I，為選擇來自光源的光中的特定的波長帶的分光裝置的ー個(gè)方式，由被安裝在作為散熱機(jī)構(gòu)的散熱器2上的光源3;入射從該光源3照射的光，變換該光并經(jīng)由光纖4輸出到外部的光變換光學(xué)系統(tǒng)5；以及控制光源3和光變換光學(xué)系統(tǒng)5的控制系統(tǒng)30所構(gòu)成。在此，在圖I中，將X軸設(shè)定為在紙面上沿著光源3的光軸的方向，在紙面上沿著垂直于X軸的方向設(shè)定Y軸，沿著垂直于X軸及Y軸的方向設(shè)定Z軸。光源3為較寬地包括作為發(fā)光波長帶的從可見光成分至紅外光成分的規(guī)定波長帶的鹵素?zé)?、白色LED等的光源裝置，且朝向位于+X軸方向的光變換光學(xué)系統(tǒng)5射出非偏光狀態(tài)的擴(kuò)散光。首先，針對光變換光學(xué)系統(tǒng)5的構(gòu)成進(jìn)行說明。在該光變換光學(xué)系統(tǒng)5，從光源3的附近起沿著+X軸方向依次設(shè)置有準(zhǔn)直透鏡6、波長選擇元件7、以及濾波器旋轉(zhuǎn)體8。來自光源3的擴(kuò)散光，通過準(zhǔn)直透鏡6變換成平行光LI，入射到波長選擇元件7。波長選擇元件7是用于選擇具有作為波長帶的光源3的發(fā)光波長帶的平行光LI中的、規(guī)定的波長范圍(例如350nm750nm)的光的元件，例如是透過上述規(guī)定的波長范圍的光且使該波長范圍以外的光反射的分光鏡。該波長選擇元件7使其反射面相對于X軸傾斜地進(jìn)行配置。若從準(zhǔn)直透鏡6入射平行光LI的話，則波長選擇元件7使具有規(guī)定的波長范圍的光L2沿+X軸方向朝向?yàn)V波器旋轉(zhuǎn)體8透過，使除此以外的波長成分的光作為不要的光而朝-Y軸方向反射并利用光束阻尼器(damper)9使其消失。另外，波長選擇元件7所選擇的波長范圍設(shè)定成至少包含從光源裝置I最終輸出的光的波長可變范圍(例如400nm700nm。以下稱為“假設(shè)波長范圍”)。在此，參照圖2，針對濾波器旋轉(zhuǎn)體8的構(gòu)造進(jìn)行詳細(xì)地描述。濾波器旋轉(zhuǎn)體8由利用具有沿著Z軸的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14而可旋轉(zhuǎn)地被支撐的圓板狀構(gòu)件即旋轉(zhuǎn)臺(旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件)10、以沿著其周緣而成為旋轉(zhuǎn)対稱的方式立設(shè)在旋轉(zhuǎn)臺10的主面IOa上的四個(gè)帶通濾波器11a、lib、11c、Ild所構(gòu)成。這些帶通濾波器11a、lib、11c、Ild為在光入射面12與光射出面13之間包括公知的介電體薄膜的層疊構(gòu)造的具有平板狀的形狀的所謂介電體薄膜干涉濾波器。通過這樣的構(gòu)造，帶通濾波器Ila、Ilb、11c、IId能夠在對應(yīng)于相對于光入射面12的光的入射角的波長范圍內(nèi)選擇性地透過光。而且，以在四個(gè)帶通濾波器IlaIld之間相對于入射角的透過波長帶的特性不同的方式，設(shè)定各個(gè)介電體薄膜的材料或膜厚。例如，帶通濾波器11a，在相對于光入射面12的光的入射角為O度的情況下，具有中心波長為約700nm且半值寬度為數(shù)nm的透過波長帶的特性,透過波長帶隨著增大入射角而偏向短波長側(cè),在入射角為50度的情況下，具有中心波長為約600nm的透過波長帶的特性。另外，帶通濾波器lib、11c、Ild，在入射角為O度的情況下,分別具有中心波長為約610nm、約530nm、約460nm的與帶通濾波器Ila不同的透過波長帶特性。在圖3中表示相對于S偏光以及P偏光的入射光的帶通濾波器IlaIld的透過波長帶的峰值波長的入射角依賴性。這樣，以入射角為O度的峰值波長為基準(zhǔn)，隨著入射角的絕對值増大，峰值波長縮小，入射角的絕對值越大，其變化率就越大?；氐綀D2，上述構(gòu)成的帶通濾波器IlaIld被固定成該光入射面12以及光射出面13相對于旋轉(zhuǎn)臺10的主面IOa大致垂直。詳細(xì)而言，以連結(jié)帶通濾波器IlaIld的主面IOa上的中心點(diǎn)15a15d與主面IOa的旋轉(zhuǎn)中心C1的線分別相對于帶通濾波器IlaIld的光入射面12以及光射出面13傾斜，且該傾斜角互相相等的方式進(jìn)行設(shè)定。再者，由各個(gè)光射出面13與主面IOa所形成的四條交線16a16d與一個(gè)假想的內(nèi)接圓17相接，而且，設(shè)定成帶通濾波器IlaIld的中心點(diǎn)15a15d位于該內(nèi)接圓17的外側(cè)。除此之夕卜，帶通濾波器IlaIld配置成連結(jié)該中心點(diǎn)15a15d與旋轉(zhuǎn)中心C1的四條線彼此形成相等角度即90度。即，四個(gè)帶通濾波器IlaIld配置成在主面IOa上以旋轉(zhuǎn)中心C1為中心而成為四重旋轉(zhuǎn)對稱。另外，在帶通濾波器Ilalld，在該中心點(diǎn)15a15d的附近，為了微調(diào)整相對于連結(jié)該中心點(diǎn)15a15d與旋轉(zhuǎn)中心C1的線的光入射面12及光射出面13的傾斜角，也可以安裝有轉(zhuǎn)軸(shaft)構(gòu)件或螺栓構(gòu)件等的旋轉(zhuǎn)軸構(gòu)件18a18d。上述構(gòu)造的濾波器旋轉(zhuǎn)體8配置成主面IOa平行于XY平面，光L2入射到主面IOa上的旋轉(zhuǎn)中心C1和主面IOa的周緣部之間。由此，能夠使帶通濾波器IlaIld的任ー個(gè)旋轉(zhuǎn)成位于光L2的光路上并選擇性地使光L2入射，并且能夠在規(guī)定的角度范圍內(nèi)變更相對于帶通濾波器IlaIld的入射角。該情況下的各帶通濾波器的入射角的可變范圍由光L2的光束寬度、帶通濾波器的個(gè)數(shù)、以及帶通濾波器的形狀或配置而決定?；氐綀D1，在光變換光學(xué)系統(tǒng)5上，沿著通過濾波器旋轉(zhuǎn)體8而透過的光L3的光軸，在+X軸方向上依次配設(shè)有光束采樣器21、擋板(shutter)22、以及聚光透鏡23。光L3，其一部分通過光束采樣器21而被反射，并被導(dǎo)入到功率監(jiān)視器24而監(jiān)視其光強(qiáng)度。另ー方面，光L3,經(jīng)由光束米樣器21、擋板22、聚光透鏡23,被導(dǎo)光到光纖4,從而照射到外部。接著，針對控制系統(tǒng)30的構(gòu)成進(jìn)行說明，控制系統(tǒng)30由對光源3供電的光源用電源31、使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電路32、連接到光源用電源31、驅(qū)動(dòng)電路32以及功率監(jiān)視器24的控制電路33所構(gòu)成。在該控制電路33上連接有計(jì)算機(jī)終端34，能夠?qū)τ?jì)算機(jī)終端34輸出由功率監(jiān)視器24監(jiān)視的光強(qiáng)度值，并且對應(yīng)于來自計(jì)算機(jī)終端34的控制信號，調(diào)整光源用電源31的輸出，從而也可以調(diào)整光源3的光量。另外，控制電路33也具有對應(yīng)于來自計(jì)算機(jī)終端34的控制信號，控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14的旋轉(zhuǎn)角的功能。此時(shí)，控制電路33以相對于帶通濾波器IlaIld的入射角成為規(guī)定的角度的方式改變控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14的旋轉(zhuǎn)角。該旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)于從光源裝置I最終輸出的發(fā)光波長帶的中心波長而決定。參照圖4，針對帶通濾波器Ila的入射角的可變范圍進(jìn)行例示。在該圖中，表示光L2的光束徑為5mm、帶通濾波器Ila的沿著主面IOa的寬度及厚度為llmm、2mm、從旋轉(zhuǎn)中心C1至帶通濾波器Ila的最短距離R1為16.6mm的情況下的向帶通濾波器Ila的光L2的入射狀態(tài)。首先，在圖4(a)中，表示帶通濾波器Ila的入射角為O度的情況，此時(shí)，由于其它的帶通濾波器未位于光L2的光路上，所以在帶通濾波器IlaIld之間不會產(chǎn)生干渉。另外，在圖4(b)中，表示使帶通濾波器IlaIld逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)并將向帶通濾波器Ila的入射角設(shè)定為25度的狀態(tài)，在圖4(c)中，表示進(jìn)ー步使帶通濾波器IlaIld逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)并將向帶通濾波器Ila的入射角設(shè)定為50度的狀態(tài),無論哪種情況,在帶通濾波器IlaIld之間都不會產(chǎn)生干渉。如果從圖4(c)的狀態(tài)進(jìn)ー步旋轉(zhuǎn)的話，則由于帶通濾波器Ilb會進(jìn)入到光L2的光路上，所以在兩個(gè)帶通濾波器IlaUlb之間彼此的透過特性產(chǎn)生干涉而不能得到穩(wěn)定的發(fā)光波長。因而，該情況下的各帶通濾波器IlaIld的入射角的可變范圍成為O度50度。在圖5中，表示在本實(shí)施方式中在O度50度的范圍內(nèi)變更向帶通濾波器IlaIld的入射角的情況下的光透過率的波長特性。特性Ga、Gb、G。、Gd，分別與對應(yīng)于相對于帶通濾波器11a，Ilb、Ilc、IId的入射角的變化的光透過率的波長特性對應(yīng)。這樣，可知通過一邊切換帶通濾波器IlaIld—邊控制有關(guān)其的入射角，從而實(shí)現(xiàn)了作為光源裝置I的發(fā)光波長的可變區(qū)域的約400nm700nm的寬的范圍。根據(jù)以上說明的光源裝置1，光L2從光源3沿著旋轉(zhuǎn)臺10的主面IOa而入射，該光L2在對應(yīng)于向帶通濾波器IlaIld的入射角的波長范圍內(nèi)選擇性地透過帶通濾波器IlaIld而輸出。此時(shí)，通過使旋轉(zhuǎn)臺10以主面IOa的中心旋轉(zhuǎn)C1為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而能夠交替地切換透過光L2的四個(gè)帶通濾波器Ilalld，并且向各個(gè)帶通濾波器IlaIld的光L2的入射角也能夠在規(guī)定角度范圍內(nèi)變化，其結(jié)果，可以連續(xù)性地改變發(fā)光波長。特別的，通過將帶通濾波器IlaIld配置成其光入射面12相對于連結(jié)主面IOa上的旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器IlaIld的中心點(diǎn)15a15d的線傾斜,從而多個(gè)帶通濾波器IlaIld之間的干涉在寬的旋轉(zhuǎn)角(入射角)的范圍內(nèi)降低，其結(jié)果，不會使旋轉(zhuǎn)臺10變大而且容易擴(kuò)大發(fā)光波長的可變范圍。另外，四個(gè)帶通濾波器IlaIld被搭載成由主面IOa和光入射面12或光射出面13所形成的各個(gè)交線16a16d與ー個(gè)內(nèi)接圓17相接，因此,能夠使各個(gè)帶通濾波器IIaIld的光的入射角的可變范圍均等，從而相對于受限制的旋轉(zhuǎn)臺10的面積能夠效率良好地?cái)U(kuò)大發(fā)光波長的可變范圍。另外，四個(gè)帶通濾波器IlaIld在主面IOa上分別位于內(nèi)接圓17的外側(cè)，因此，能夠更進(jìn)一步地降低帶通濾波器IlaIld之間的干渉。再有，四個(gè)帶通濾波器IlaIld配置成連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1和帶通濾波器IlaIld的中心點(diǎn)15a15d的線彼此形成相等角度且在主面IOa上以旋轉(zhuǎn)中心C1為中心而成為四重旋轉(zhuǎn)對稱，因此，能夠使各個(gè)帶通濾波器IlaIld的光的入射角的可變范圍均等，從而相對于受限制的旋轉(zhuǎn)臺10的面積而能夠更加效率良好地?cái)U(kuò)大發(fā)光波長的可變范圍。在此，通過與比較例比較來說明根據(jù)本實(shí)施方式的發(fā)光波長的可變范圍的擴(kuò)大效果。圖17及圖18是表示作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體的構(gòu)造的平面圖。圖17所示的濾波器旋轉(zhuǎn)體908A為配置成帶通濾波器IlaIld的沿著主面IOa的寬度及厚度為10mm、2mm、帶通濾波器IlaIld離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離為1mm、相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與中心點(diǎn)15a15d的線的光入射面12的傾斜角為O度的例子。在使該濾波器旋轉(zhuǎn)體908A旋轉(zhuǎn)的情況下，由于在帶通濾波器IlaIld之間不會產(chǎn)生干渉，因此光束徑為5mm的光L2的入射角的可變范圍被限制為O度(圖17的實(shí)線所示的狀態(tài))21度(圖17的虛線所示的狀態(tài))。另外，圖18(a)所示的濾波器旋轉(zhuǎn)體908B為離濾波器旋轉(zhuǎn)908A的旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離擴(kuò)大到5mm的情況下的例子。在此情況下，光束徑為5mm的光L2的入射角的可變范圍稍微擴(kuò)大成O度27度，但與本實(shí)施方式的濾波器旋轉(zhuǎn)體8比較，仍受到相當(dāng)?shù)南拗?。另外，圖18(b)所示的濾波器旋轉(zhuǎn)體908C為相對于濾波器旋轉(zhuǎn)體908A而言，將帶通濾波器IlaIld的寬度及厚度變更為18mm、2mm,且離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離擴(kuò)大到32mm的情況下的例子。在此情況下，光束徑為5mm的光L2的入射角的可變范圍擴(kuò)大成O度39度，但與本實(shí)施方式的濾波器旋轉(zhuǎn)8相比，仍變窄。盡管如此，與濾波器旋轉(zhuǎn)體8的旋轉(zhuǎn)臺10的直徑約30mm相比，需要使濾波器旋轉(zhuǎn)體908C的旋轉(zhuǎn)臺10的直徑相當(dāng)大地?cái)U(kuò)大到102mm左右。這樣,在將帶通濾波器IlaIld沿著連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與中心點(diǎn)15a15d的線進(jìn)行配置的情況下，由于鄰接的濾波器之間的干渉，每個(gè)濾波器所分配的入射角度產(chǎn)生限制。另外，由于向帶通濾波器IlaIld的入射角為橫跨O度的正負(fù)的角度的范圍(例如，在濾波器旋轉(zhuǎn)體908A的情況下，±21度的范圍)，所以實(shí)際的入射角變化量為角度可變范圍的一半的角度。對此，使帶通濾波器IlaIld與連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1和中心點(diǎn)15a15d的線傾斜地配置的本實(shí)施方式的情況下，能夠有效地?cái)U(kuò)大每個(gè)濾波器所分配到的入射角度，并且能夠有效地利用該入射角度的可變范圍而改變實(shí)際的入射角。進(jìn)而，本實(shí)施方式的情況下，能夠不使濾波器旋轉(zhuǎn)體8大型化而實(shí)現(xiàn)這樣的優(yōu)點(diǎn)。在此，在圖I中，即使有關(guān)從波長選擇元件7導(dǎo)入到光束阻尼器9的波長成分，通過設(shè)置包含濾波器旋轉(zhuǎn)體以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的相同構(gòu)成的波長選擇機(jī)構(gòu)，從而也能夠同時(shí)輸出不同的波長帶的兩個(gè)波長的光。另外，在此情況下，若波長選擇元件7為半反射鏡(halfmiiTor)的話，則能夠在相同的波長帶中同時(shí)輸出兩個(gè)波長的光。再有，在此情況下，適當(dāng)選擇波長選擇元件7的透過率并配置多級，且對應(yīng)于此而設(shè)置波長選擇機(jī)構(gòu)，從而也能夠得到多波長輸出。[第2實(shí)施方式]接著，針對本發(fā)明的第2實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖6是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的光源裝置的概略構(gòu)成的平面圖。同圖所示的光源裝置101與第I實(shí)施方式所涉及的光源裝置I的不同點(diǎn)在于，具有使用具有與濾波器旋轉(zhuǎn)體8相同構(gòu)成的兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B,并將從光L2分離的兩個(gè)直線偏光成分L4、L5分別作為P偏光而透過濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B的構(gòu)成。詳細(xì)而言,在光源裝置101的光變換光學(xué)系統(tǒng)105上設(shè)置有偏光分離兀件25、反射鏡26、27、偏光合成元件28、濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B以及使兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14A、14B。偏光分離元件25為用于接受透過了波長選擇元件7的光L2并將光L2分離成互相垂直的兩個(gè)直線偏光成分的光學(xué)兀件，例如為立方體狀的偏光分束器(PBS)。具體而言，該偏光分離兀件25從光L2分離具有沿著Y軸的偏光方向的偏光成分L4(以下也稱為“水平偏光成分”)，并使其在+X軸方向上透過，同時(shí)從光L2分離具有沿著Z軸的偏光方向的偏光成分L5(以下也稱為“垂直偏光成分”)，并使其在+Y軸方向上反射。濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B分別設(shè)置在通過偏光分離元件25而透過或反射的偏光成分L4、L5的光軸上。分別搭載在這些濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B的帶通濾波器Ilalld，在兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B之間相對于P偏光及S偏光的入射角的透過波長帶的特性相同。更具體而言，在搭載于兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B的帶通濾波器Ila之間、帶通濾波器Ilb之間、帶通濾波器Ilc之間、以及帶通濾波器Ild之間，使透過波長帶的特性相同。濾波器旋轉(zhuǎn)體8A，以使該旋轉(zhuǎn)臺10的主面IOa沿著XY平面的方式安裝在具有沿著Z軸的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14A，且定位成水平偏光成分L4入射到主面IOa上的旋轉(zhuǎn)中心C1與主面IOa的周緣部之間(參照圖2)。由此，濾波器旋轉(zhuǎn)體8A，通過使旋轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)，從而能夠變更水平偏光成分L4的相對于帶通濾波器IlaIld的入射角，而且，水平偏光成分L4相對于帶通濾波器IlaIld—直以P偏光的狀態(tài)進(jìn)行入射。濾波器旋轉(zhuǎn)體8B，以使旋轉(zhuǎn)臺10的主面IOa沿著ZX平面的方式安裝在具有沿著Y軸的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14B，且定位成垂直偏光成分L5入射到主面IOa上的旋轉(zhuǎn)中心C1與主面IOa的周緣部之間(參照圖2)。另外，在偏光分離元件25與濾波器旋轉(zhuǎn)體SB之間配置有使假設(shè)波長范圍的S偏光全反射的反射鏡26，且被構(gòu)成為向+X軸方向反射在+Y軸方向上射出的垂直偏光成分L5并入射到濾波器旋轉(zhuǎn)體8B。由此，濾波器旋轉(zhuǎn)體8B，通過使旋轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)，從而能夠變更垂直偏光成分L5的相對于帶通濾波器IlaIld的入射角，而且，垂直偏光成分L5相對于帶通濾波器IlaIld—直以P偏光的狀態(tài)進(jìn)行入射。在此，以向帶通濾波器IlaIld以P偏光進(jìn)行入射的方式，使旋轉(zhuǎn)臺10的旋轉(zhuǎn)軸在濾波器旋轉(zhuǎn)體8A與濾波器旋轉(zhuǎn)體8B之間成為垂直的狀態(tài)，但是，也可以使旋轉(zhuǎn)臺10的旋轉(zhuǎn)軸成為相同的方向，且使用λ/2板等，使偏光面旋轉(zhuǎn)，從而向帶通濾波器IlaIld以P偏光進(jìn)行入射。還有，使用λ/2板的場所，在帶通濾波器的前后插入λ/2板。偏光合成元件28，沿著透過濾波器旋轉(zhuǎn)體8Α的水平偏光成分L4的光軸上，配置在+X軸方向，反射鏡27，配置在該偏光合成元件28與濾波器旋轉(zhuǎn)體8Β之間。反射鏡27，具有使假設(shè)波長范圍的S偏光進(jìn)行全反射，反射透過了濾波器旋轉(zhuǎn)體SB的垂直偏光成分L5并沿著-Y軸方向入射到偏光合成元件28的作用。該偏光合成元件28是用于將互相垂直的兩個(gè)偏光成分L4、L5進(jìn)行合波的光學(xué)元件，例如使用立方體狀的偏光分束器(PBS)。具體而言，偏光合成元件28，合成沿著X軸入射的水平偏光成分L4和沿著Y軸入射的垂直偏光成分L5,生成非偏光狀態(tài)的合成光L3,并朝+X軸方向射出。通過偏光合兀件28而合成的合成光L3,其一部分被導(dǎo)入到功率監(jiān)視器24，同時(shí)經(jīng)由光束采樣器21、擋板22、聚光透鏡23而被導(dǎo)光到光纖4，從而照射到外部?？刂葡到y(tǒng)30的控制電路33，以各個(gè)偏光成分L4、L5入射到搭載在濾波器旋轉(zhuǎn)體8Α、8Β上的具有相同光透過特性的帶通濾波器11a、帶通濾波器lib、帶通濾波器11c、以及帶通濾波器Ild的任ー個(gè)，且該偏光成分L4、L5的相對于帶通濾波器IlaIld的入射角成為相同的方式，變更控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14A、14B的旋轉(zhuǎn)角。這樣，如果使兩個(gè)偏光成分L4、L5的入射角相同，則濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B配置成對應(yīng)于各個(gè)入射角的偏光成分L4、L5的透過波長帶一致。即，透過濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B后的光成分L4、L5成為相同的光譜輪廓。根據(jù)這樣的光源裝置101，由偏光分離元件25分離的水平偏光成分L4作為P偏光而入射到濾波器旋轉(zhuǎn)體8A,由偏光分離兀件25分離的垂直偏光成分L5作為P偏光以與水平偏光成分L4相同的入射角而入射到濾波器旋轉(zhuǎn)體SB，之后，透過了兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B的光被合波而射出到外部。在此，因?yàn)橄鄬τ谂c搭載在兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B的帶通濾波器IlaIld的P偏光有關(guān)的入射角的透過波長帶的特性相同，所以適當(dāng)設(shè)定該入射角，從而遍及假設(shè)波長范圍內(nèi)而能夠?qū)崿F(xiàn)發(fā)光特性的狹帯域化及穩(wěn)定化，并且能夠效率良好地利用來自光源的光井射出。另外，如果使兩個(gè)偏光成分L4、L5的向帶通濾波器IlaIld的入射角為不同的角度，則也能夠同時(shí)得到不同的兩個(gè)波長輸出。在此情況下，兩個(gè)波長輸出的偏光方向成為垂直偏光和水平偏光，且互相垂直，但也能夠使用偏光解除板等而形成為非偏光狀態(tài)。在圖7中，表示在本實(shí)施方式中在O度50度的范圍內(nèi)變更向兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8A、8B的帶通濾波器IlaIld的入射角的情況下的光透過率的波長特性。這樣，可知通過將來自光源3的光分成兩個(gè)直線偏光成分并控制各個(gè)成分的向帶通濾波器IlaIld的入射角，從而能夠使發(fā)光強(qiáng)度特性在寬的可變波長帶內(nèi)穩(wěn)定化。[第3實(shí)施方式]圖8是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的光源裝置的概略構(gòu)成的平面圖。同圖所示的光源裝置201與第2實(shí)施方式所涉及的光源裝置101的不同點(diǎn)在于，具有將偏光成分L4、L5分別作為S偏光而透過兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8C、8D的構(gòu)成。濾波器旋轉(zhuǎn)體8C，以使該旋轉(zhuǎn)臺10的主面IOa沿著ZX平面的方式安裝在具有沿著Y軸的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14C，且定位成水平偏光成分L4入射到主面IOa上的旋轉(zhuǎn)中心C1與主面IOa的周緣部之間(參照圖2)。由此，濾波器旋轉(zhuǎn)體8C，通過使旋轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)，從而能夠變更水平偏光成分L4的相對于帶通濾波器IlaIld的入射角，而且，水平偏光成分L4相對于帶通濾波器IlaIld—直以S偏光的狀態(tài)進(jìn)行入射。濾波器旋轉(zhuǎn)體8D，以使旋轉(zhuǎn)臺10的主面IOa沿著XY平面的方式安裝在具有沿著Z軸的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14D，且定位成垂直偏光成分L5入射到主面IOa上的旋轉(zhuǎn)中心C1與主面IOa的周緣部之間(參照圖2)。由此，濾波器旋轉(zhuǎn)體8D，通過使旋轉(zhuǎn)臺10旋轉(zhuǎn)，從而能夠變更垂直偏光成分L5的相對于帶通濾波器IlaIld的入射角，而且，垂直偏光成分L5相對于帶通濾波器IlaIld—直以S偏光的狀態(tài)進(jìn)行入射。在此，以向帶通濾波器IlaIld以S偏光進(jìn)行入射的方式，使旋轉(zhuǎn)臺10的旋轉(zhuǎn)軸在濾波器旋轉(zhuǎn)體8C與濾波器旋轉(zhuǎn)體8D之間成為垂直的狀態(tài)，但是也可以使旋轉(zhuǎn)臺10的旋轉(zhuǎn)軸成為相同的方向，且使用λ/2板等使偏光面旋轉(zhuǎn)，從而向帶通濾波器IlaIld以S偏光進(jìn)行入射。還有，使用λ/2板的場所，在帶通濾波器的前后插入λ/2板?？刂葡到y(tǒng)30的控制電路33，以各個(gè)偏光成分L4、L5入射到搭載在濾波器旋轉(zhuǎn)體8C、8D上的具有相同光透過特性的帶通濾波器11a、帶通濾波器lib、帶通濾波器11c、以及帶通濾波器Ild的任ー個(gè)，且該偏光成分L4、L5的相對于帶通濾波器IlaIld的入射角成為相同的方式，變更控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)14C、14D的旋轉(zhuǎn)角。根據(jù)這樣的光源裝置101，通過偏光分離元件25所分離的水平偏光成分L4作為S偏光而入射到濾波器旋轉(zhuǎn)體8C,通過偏光分離兀件25所分離的垂直偏光成分L5作為S偏光以與水平偏光成分L4相同的入射角而入射到濾波器旋轉(zhuǎn)體8D，之后，透過了兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8C、8D的光被合波而射出到外部。在此，相對于與搭載在兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8C、8D的帶通濾波器IlaIld的S偏光相關(guān)的入射角的透過波長帶的特性相同，所以適當(dāng)設(shè)定該入射角，從而能夠遍及假設(shè)波長范圍內(nèi)而實(shí)現(xiàn)發(fā)光特性的狹帯域化及穩(wěn)定化，并且能夠效率良好地利用來自光源的光井射出。另外，如果使兩個(gè)偏光成分L4、L5的向帶通濾波器IlaIld的入射角為不同的角度，則也能夠同時(shí)得到不同的兩個(gè)波長輸出。在此情況下，兩個(gè)波長輸出的偏光方向成為垂直偏光和水平偏光，互相垂直，但也能夠使用偏光解除板等而形成為非偏光狀態(tài)。在圖9中，表示在本實(shí)施方式中在O度50度的范圍內(nèi)變更向兩個(gè)濾波器旋轉(zhuǎn)體8C、8D的帶通濾波器IlaIld的入射角的情況下的光透過率的波長特性。在此情況下，可知通過將來自光源3的光分成兩個(gè)直線偏光成分并控制各個(gè)成分的向帶通濾波器Ila11d的入射角，從而能夠使發(fā)光強(qiáng)度特性在寬的可變波長帶中穩(wěn)定化。還有，本發(fā)明并不限于上述的實(shí)施方式。例如，搭載在濾波器旋轉(zhuǎn)體8的帶通濾波器的個(gè)數(shù)并不限于特定的個(gè)數(shù)，可以對應(yīng)于假設(shè)波長范圍以及濾波器旋轉(zhuǎn)體8的面積而選擇3個(gè)以上的任意的個(gè)數(shù)。在圖10中，表示具有五個(gè)帶通濾波器IlaIle的濾波器旋轉(zhuǎn)體108的構(gòu)造。在此情況下，光し2的光束徑為5mm,帶通濾波器IlaIle的沿著主面IOa的寬度及厚度為10mm、2mm,從旋轉(zhuǎn)中心C1至帶通濾波器IlaIle的最短距離R1為15.3mm,若使帶通濾波器IlaIle逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的話，則各帶通濾波器IlaIle的入射角的可變范圍被設(shè)定為O度45度。另外，在圖11中，表示具有六個(gè)帶通濾波器IlaIlf的濾波器旋轉(zhuǎn)體208的構(gòu)造。在此情況下，光L2的光束徑為5mm,帶通濾波器IlaIlf的沿著主面IOa的寬度及厚度為12mm、2mm,從旋轉(zhuǎn)中心C1至帶通濾波器IlaIlf的最短距離R1為39.4mm,若使帶通濾波器IlaIlf逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的話，則各帶通濾波器IlaIlf的入射角的可變范圍被設(shè)定為O度45度。另外，在圖12中，表示具有三個(gè)帶通濾波器IlaIlc的濾波器旋轉(zhuǎn)體308的構(gòu)造。在此情況下，光L2的光束徑為IOmm,帶通濾波器IlaIlc的沿著主面IOa的寬度及厚度為18mm、2mm,從旋轉(zhuǎn)中心C1至帶通濾波器IlaIlc的最短距離R1為3.16mm,若使帶通濾波器IlaIlc逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的話，則各帶通濾波器IlaIlc的入射角的可變范圍被設(shè)定為O度50度。對此，圖19Ca)所示的作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體908D，為配置成帶通濾波器IlaIle的沿著主面IOa的寬度及厚度為10mm、2mm,帶通濾波器IlaIle離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離為I.38mm,相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器IlaIle的中心點(diǎn)的線的光入射面的傾斜角為O度的例子。在使該濾波器旋轉(zhuǎn)體908D旋轉(zhuǎn)的情況下，由于在帶通濾波器Ilalie之間不會產(chǎn)生干渉，所以光束徑為5mm的光L2的入射角的可變范圍被限制在O度9度。另外，圖19(b)所示的作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體908E,為配置成帶通濾波器IlaIle的沿著主面IOa的寬度及厚度為10mm、2mm,帶通濾波器IlaIle離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離為16.38mm,相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器Ilalie的中心點(diǎn)的線的光入射面的傾斜角為O度的例子。在使該濾波器旋轉(zhuǎn)體908E旋轉(zhuǎn)的情況下，光束徑為5mm的光L2的入射角的可變范圍被限制在O度24度。再有，圖19(c)所示的作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體908F，為配置成帶通濾波器IlaIle的沿著主面IOa的寬度及厚度為12mm、2mm,帶通濾波器IlaIle離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離為32mm,相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器IlaIle的中心點(diǎn)的線的光入射面的傾斜角為O度的例子。在使該濾波器旋轉(zhuǎn)體908F旋轉(zhuǎn)的情況下，不管旋轉(zhuǎn)臺10的直徑變大，光束徑為5mm的光L2的入射角的可變范圍被限制在O度29度。這樣，與使用相同個(gè)數(shù)的帶通濾波器的圖10的濾波器旋轉(zhuǎn)體108比較，入射角的可變范圍受到較大的限制。另外，圖20所示的作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體908G，為配置成帶通濾波器IlaIlf的沿著主面IOa的寬度及厚度為12mm、2mm,帶通濾波器IlaIlf離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離為32mm,相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器IlaIlf的中心點(diǎn)的線的光入射面的傾斜角為O度的例子。在使該濾波器旋轉(zhuǎn)體908G旋轉(zhuǎn)的情況下，光束徑為5mm的光L2的入射角的可變范圍被限制在O度23度。這樣，與使用相同個(gè)數(shù)的帶通濾波器的圖11的濾波器旋轉(zhuǎn)體108比較，入射角的可變范圍受到較大的限制。另外，圖21Ca)所示的作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體908H，為配置成帶通濾波器IlaIlc的沿著主面IOa的寬度及厚度為18mm、2mm,帶通濾波器IlaIlc離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離為O.577mm,相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器IlaIlc的中心點(diǎn)的線的光入射面的傾斜角為O度的例子。在使該濾波器旋轉(zhuǎn)體908H旋轉(zhuǎn)的情況下，光束徑為IOmm的光L2的入射角的可變范圍被限制在O度38度，與圖12的濾波器旋轉(zhuǎn)體308比較，入射角的可變范圍受到較大的限制。另外，圖21(b)所示的作為本發(fā)明的比較例的濾波器旋轉(zhuǎn)體9081,為配置成帶通濾波器IlaIlc的沿著主面IOa的寬度及厚度為26mm、2mm,帶通濾波器IlaIlc離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離為14.577mm,相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器IlaIlc的中心點(diǎn)的線的光入射面的傾斜角為O度的例子。在使該濾波器旋轉(zhuǎn)體908H旋轉(zhuǎn)的情況下，光束徑為IOmm的光L2的入射角的可變范圍被限制在O度50度，但與圖12的濾波器旋轉(zhuǎn)體308比較，旋轉(zhuǎn)臺10的直徑擴(kuò)大至2倍以上。與濾波器旋轉(zhuǎn)體8的帶通濾波器IlaIld有關(guān)的入射角度的可變范圍，通過變更帶通濾波器IlaIld的傾斜角，從而能夠設(shè)定為各式各樣的范圍。例如，包含在入射角度的可變范圍中的最小角度并不限定為O度。具體而言，如圖13所示，也可以以相對于連結(jié)主面IOa上的旋轉(zhuǎn)中心C1與帶通濾波器IlaIlf的中心點(diǎn)的線的光入射面的傾斜角變大的方式配置帶通濾波器Ilallf，將有關(guān)帶通濾波器IlaIlf的入射角的可變范圍設(shè)定為例如20度50度。在同圖中，表示帶通濾波器IlaIlf的沿著主面IOa的寬度及厚度為11mm、2mm,帶通濾波器IlaIlf離旋轉(zhuǎn)中心C1的最短距離被設(shè)定為16.6_，光L2的光束徑被設(shè)定為5_的例子。這樣，包含在入射角度的可變范圍中的最小角度大于O度，從而能夠加大相對于入射角度變化的透過波長帶的變化，井能夠大幅地?cái)U(kuò)大整體的波長可變范圍。例如，在具有如圖3所示的透過波長帶的峰值波長的入射角度依賴性的帶通濾波器Ila的情況下，在使入射角在O度30度變化的情況下，峰值波長的變化寬度相對于最大峰值波長而言為5.43%。相對于此，在使帶通濾波器Ila的入射角在20度50度變化的情況下，峰值波長的變化寬度為11.18%，從而可知能夠以相同的入射角的變化來增加透過波長帶的變化。另外，內(nèi)置在本實(shí)施方式的光源裝置1、101、201的帶通濾波器Ilalld，相對于相同入射角的透過波長帶的中心波長互不相同，但也可以構(gòu)成為中心波長相同而半值寬度不同。在圖14(a)(d)中，分別表示在帶通濾波器IlaIld中使入射角在O度50度的范圍以5度間隔變化的情況下的透過波長帶的特性的ー個(gè)例子。這樣，在使用中心波長相等的帶通濾波器IlaIld的情況下，能夠ー邊切換頻帶寬度ー邊容易地?cái)U(kuò)大選擇波長的可變范圍。作為本發(fā)明的分光裝置的實(shí)施方式，除了上述的光源裝置以外，可以列舉如圖15所示的光檢測裝置301。該光檢測裝置301為用于分光檢測從外部輸入的光中的規(guī)定的波長成分的裝置，具備具有與光源裝置101相同構(gòu)成的光變換光學(xué)系統(tǒng)105、將來自外部的光導(dǎo)光到準(zhǔn)直透鏡6的光纖303、用于檢測通過光變換光學(xué)系統(tǒng)105分光的光的光檢測器304。通過這樣的光檢測裝置301，在分光檢測來自外部的光時(shí)，也不會使裝置大型化，而且能夠容易地?cái)U(kuò)大檢測波長的可變范圍。另外，作為本發(fā)明的應(yīng)用例，如圖16所示，可以列舉組合光源裝置101與光檢測裝置301的熒光檢測系統(tǒng)401。在該熒光檢測系統(tǒng)401中，將從光源裝置101輸出的光，經(jīng)由透鏡單元402A而能夠作為激勵(lì)光照射到試料A，使伴隨此的從試料A所發(fā)出的熒光，經(jīng)由透鏡單元402B而輸入到光檢測裝置301，從而能夠檢測規(guī)定波長帶的熒光。若使用這樣的熒光檢測系統(tǒng)401，則能夠在寬的范圍內(nèi)自由地調(diào)整所發(fā)光的激勵(lì)光的波長帶、以及所檢測的熒光的波長帶。在此，在使被某一程度限定的試料A為測定對象的情況下，光源裝置101也可以置換為激光光源等的一般的光源。本發(fā)明的上述的各實(shí)施方式中所使用的介電體薄膜干涉濾波器，除了帶通濾波器之外，也可以應(yīng)用高通濾波器、低通濾波器、陷波濾波器等。在此，優(yōu)選η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器被搭載成由主面與端面所形成的各個(gè)交線與ー個(gè)內(nèi)接圓相接。在此情況下，能夠使各個(gè)介電體薄膜干涉濾波器的光的入射角的范圍均等，相對于受限的旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件的主面的面積而能夠效率良好地?cái)U(kuò)大選擇波長的可變范圍。另外，優(yōu)選η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器分別被配置成在主面上位于內(nèi)接圓的外偵U。若采用該構(gòu)成，則能夠更進(jìn)一歩降低多個(gè)介電體薄膜干涉濾波器之間的干渉。另外，優(yōu)選η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器被配置成連結(jié)主面上的規(guī)定點(diǎn)與主面上的該介電體薄膜干涉濾波器的中心點(diǎn)的線彼此形成相等角度。若采用該介電體薄膜干涉濾波器，則能夠使各個(gè)介電體薄膜干涉濾波器的光的入射角的范圍均等，相對于受限的旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件的面積而能夠效率良好地?cái)U(kuò)大選擇波長的可變范圍。再有，優(yōu)選η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器被配置成在主面上以規(guī)定點(diǎn)為中心而成為η重旋轉(zhuǎn)對稱。若采用該構(gòu)成，則相對于受限的旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件的面積而能夠更進(jìn)一歩地?cái)U(kuò)大選擇波長的可變范圍。再有，優(yōu)選在η個(gè)介電體薄膜干涉濾波器上分別安裝有用于調(diào)整相對于連結(jié)主面上的規(guī)定點(diǎn)與主面上的該介電體薄膜干涉濾波器的中心點(diǎn)的線的傾斜角的旋轉(zhuǎn)軸構(gòu)件。因?yàn)榫邆溥@樣的旋轉(zhuǎn)軸構(gòu)件，從而能夠調(diào)整相對于介電體薄膜干涉濾波器的光的入射角的范圍，所以提高了實(shí)現(xiàn)所期望的選擇波長時(shí)的分光裝置的便利性。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明以選擇規(guī)定波長帶的光的分光裝置作為使用用途，不會使裝置大型化，而且能夠容易地?cái)U(kuò)大選擇波長的可變范圍。權(quán)利要求1.一種分光裝置，其特征在于，具備n個(gè)介電體薄膜干涉濾波器，使來自光源的光在對應(yīng)于所述光的入射角的波長范圍內(nèi)選擇性地透過，其中，n為3以上的整數(shù)；和平板狀的旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件，在主面上豎立設(shè)置有所述介電體薄膜干涉濾波器，且能夠沿著所述主面在規(guī)定點(diǎn)的周圍旋轉(zhuǎn)，所述n個(gè)介電體薄膜干涉濾波器分別配置成光入射側(cè)或光射出側(cè)的端面相對于連結(jié)所述旋轉(zhuǎn)支撐構(gòu)件的所述表面上的所述規(guī)定點(diǎn)與所述主面上的該介電體薄膜干涉濾波器的中心點(diǎn)的線傾斜。2.如權(quán)利要求I所述的分光裝置，其特征在于，所述n個(gè)介電體薄膜干涉濾波器被搭載成由所述主面和所述端面所形成的各個(gè)交線與一個(gè)內(nèi)接圓相接。3.如權(quán)利要求2所述的分光裝置，其特征在于，所述n個(gè)介電體薄膜干涉濾波器分別被配置成在所述主面上位于所述內(nèi)接圓的外側(cè)。4.如權(quán)利要求廣3中的任一項(xiàng)所述的分光裝置，其特征在于，所述n個(gè)介電體薄膜干涉濾波器被配置成連結(jié)所述主面上的所述規(guī)定點(diǎn)與所述主面上的該介電體薄膜干涉濾波器的中心點(diǎn)的線彼此形成相等角度。5.如權(quán)利要求4所述的分光裝置，其特征在于，所述n個(gè)介電體薄膜干涉濾波器被配置成在所述主面上以所述規(guī)定點(diǎn)為中心而成為n重旋轉(zhuǎn)對稱。6.如權(quán)利要求廣5中的任一項(xiàng)所述的分光裝置，其特征在于，在所述n個(gè)介電體薄膜干涉濾波器上分別安裝有用于調(diào)整相對于連結(jié)所述主面上的所述規(guī)定點(diǎn)與所述主面上的該介電體薄膜干涉濾波器的中心點(diǎn)的線的傾斜角的旋轉(zhuǎn)軸構(gòu)件。全文摘要本發(fā)明的目的在于不會使裝置大型化而且容易擴(kuò)大選擇波長的可變范圍。本發(fā)明的分光裝置(1)具備使來自光源(3)的光(L2)在對應(yīng)于光(L2)的入射角的波長范圍內(nèi)選擇性地透過的四個(gè)帶通濾波器(11a～11d)、和在主面(10a)上立設(shè)有帶通濾波器(11a～11d)且能夠沿著主面(10a)在旋轉(zhuǎn)中心(C1)的周圍旋轉(zhuǎn)的平板狀的旋轉(zhuǎn)臺(10)，四個(gè)帶通濾波器(11a～11d)分別配置成光入射面(12)或光射出面(13)相對于連結(jié)旋轉(zhuǎn)臺(10)的主面(10a)上的旋轉(zhuǎn)中心(C1)與主面(10a)上的該帶通濾波器(11a～11d)的中心點(diǎn)(15a～15d)的線傾斜。文檔編號G01N21/64GK102713543SQ201180006885公開日2012年10月3日申請日期2011年1月6日優(yōu)先權(quán)日2010年1月21日發(fā)明者福世文嗣,米澤道治申請人:浜松光子學(xué)株式會社