專利名稱：一種研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測(cè)量?jī)x器，具體涉及一種研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x。
背景技術(shù)：
隨著高亮度LED在照明工程領(lǐng)域需求量的急劇增長(zhǎng)，帶動(dòng)了國(guó)內(nèi)藍(lán)寶石襯底材料制備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。由于藍(lán)寶石晶體U-Al2O3)具有耐高溫、耐腐蝕、透光波段寬等顯著特點(diǎn)，是表面生長(zhǎng)GaN的首選材料，但也正是由于藍(lán)寶石硬度極高、脆性大、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的特點(diǎn)，給材料加工，尤其是晶片表面納米級(jí)拋光在技術(shù)上帶來(lái)很多困難，為應(yīng)對(duì)光電技術(shù)的發(fā)展對(duì)產(chǎn)品襯底材料表面提出的超光滑、無(wú)損傷的要求，必須對(duì)藍(lán)寶石襯底進(jìn)行精細(xì)研磨拋光。實(shí)現(xiàn)高精度平面研磨拋光，關(guān)鍵取決于研磨盤平面精度及其精度保持性。所以，采用高平面精度的研磨盤是獲得工件高平面精度的加工基礎(chǔ)。在實(shí)際加工過(guò)程中，研磨盤雖然多由質(zhì)地較硬的鑄鐵或不銹鋼制成，具有很大的耐磨性，但無(wú)論何種材質(zhì)產(chǎn)品都會(huì)產(chǎn)生磨損，故研磨盤在使用一定的時(shí)間后，必須測(cè)量其平面度，通過(guò)修整機(jī)進(jìn)行修整，以去除表面缺陷，達(dá)到規(guī)定的平面精度?，F(xiàn)有的研磨盤平面度測(cè)量?jī)x一般只包括一個(gè)或者兩個(gè)或者沒(méi)有基準(zhǔn)螺釘，很難校正千分表，這樣就導(dǎo)致測(cè)量不精確，誤差較大，無(wú)法使研磨盤保持高平面精度。同時(shí)，現(xiàn)有的研磨盤的基準(zhǔn)螺釘無(wú)法調(diào)節(jié)，所確定的平面大小固定，當(dāng)所測(cè)量的平面比平面度測(cè)量?jī)x基準(zhǔn)螺釘所確定的平面較大或較小時(shí)，研磨盤平面度測(cè)量?jī)x要么無(wú)法使用，要么測(cè)量不精確，無(wú)法保證加工精度。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高且適用于任意大小測(cè)量平面的研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案—種研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x，包括水平支架、千分表和鎖緊夾塊，所述千分表通過(guò)鎖緊夾塊固定于水平支架上，所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x還包括三個(gè)設(shè)于水平支架上的不在同一直線上的基準(zhǔn)螺釘，所述每個(gè)基準(zhǔn)螺釘在水平支架上可沿相對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)槽移動(dòng)，可調(diào)節(jié)三個(gè)基準(zhǔn)螺釘所確定平面的大小。所述千分表包括測(cè)量頭，所述測(cè)量頭外部設(shè)有套筒。所述水平支架上表面和鎖緊夾塊一端開設(shè)有螺紋孔，所述鎖緊夾塊一端通過(guò)固定螺釘穿過(guò)螺紋孔固定于水平支架上。所述鎖緊夾塊另一端分為兩部分，每部分上面設(shè)有平行于水平支架的螺紋孔，通過(guò)鎖緊螺釘穿過(guò)螺紋孔鎖緊套筒。所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x包括兩個(gè)千分表。所述兩個(gè)千分表設(shè)于水平支架的同一直線上。本實(shí)用新型所述的三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x包括三個(gè)設(shè)于水平支架上的不在同一直線上的基準(zhǔn)螺釘，每個(gè)基準(zhǔn)螺釘設(shè)置有一個(gè)平行于水平支架的滑動(dòng)槽，可根據(jù)要測(cè)量平面的大小，移動(dòng)基準(zhǔn)螺釘，保證三個(gè)基準(zhǔn)螺釘都落在要測(cè)量的區(qū)域內(nèi)。三個(gè)基準(zhǔn)螺釘確定一個(gè)平面，可通過(guò)調(diào)節(jié)基準(zhǔn)螺釘來(lái)使當(dāng)三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x放置于基準(zhǔn)大理石平臺(tái)時(shí)千分表的讀書為零，用于校正千分表，然后把三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x放在要測(cè)量的研磨盤的測(cè)量區(qū)域，這時(shí)千分表會(huì)顯示數(shù)值，正值為凸出，負(fù)值為凹陷，從而保證了任意大小測(cè)量平面的測(cè)量結(jié)果的精確度；所述兩個(gè)千分表上的讀數(shù)，更方便地實(shí)現(xiàn)了快速讀取提高了工作效率。

圖I是本實(shí)用新型所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x的主視圖。圖2是本實(shí)用新型所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x的俯視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，一種研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x，包括水平支架I、千分表2和鎖緊夾塊3，所述千分表2通過(guò)鎖緊夾塊3連接于水平支架I上，所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x還包括三個(gè)設(shè)于水平支架I上的不在同一直線上的基準(zhǔn)螺釘4，所述每個(gè)基準(zhǔn)螺釘4在水平支架I上可沿相對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)槽5移動(dòng)，可調(diào)節(jié)三個(gè)基準(zhǔn)螺釘4所確定平面的大小。本實(shí)施例中，所述水平支架I上設(shè)有三個(gè)不在同一直線上的基準(zhǔn)螺釘4，每個(gè)基準(zhǔn)螺釘4設(shè)置有一個(gè)平行于水平支架I的滑動(dòng)槽5?？筛鶕?jù)要測(cè)量平面的大小，移動(dòng)基準(zhǔn)螺釘4，保證三個(gè)基準(zhǔn)螺釘4都落在要測(cè)量的區(qū)域內(nèi)。當(dāng)研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x放置于基準(zhǔn)大理石平面上時(shí)調(diào)節(jié)基準(zhǔn)螺釘4來(lái)使千分表2的讀數(shù)為零，用于校正千分表2，然后把三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x放在要測(cè)量的研磨盤的測(cè)量區(qū)域，適用于任意大小測(cè)量平面的測(cè)量，且保證了測(cè)量結(jié)果的精確度。本實(shí)施例中，所述千分表2包括測(cè)量頭22，所述測(cè)量頭外部設(shè)有套筒21。本實(shí)施例中，所述水平支架I上表面和鎖緊夾塊3—端開設(shè)有螺紋孔，所述鎖緊夾塊3 —端通過(guò)固定螺釘31穿過(guò)螺紋孔固定于水平支架上。所述鎖緊夾塊3另一端分為兩部分，每部分上面設(shè)有平行于水平支架I的螺紋孔，通過(guò)鎖緊螺釘32穿過(guò)螺紋孔鎖緊套筒21。本實(shí)施例中，所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x包括兩個(gè)千分表2，并設(shè)于水平支架I的同一直線上。所述兩個(gè)千分表2設(shè)于同一直線上，便于同時(shí)讀取兩個(gè)千分表2上的讀數(shù)，最方便地實(shí)現(xiàn)了快速讀取，提高了工作效率。
權(quán)利要求1.一種研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x，包括水平支架、千分表和鎖緊夾塊，所述千分表通過(guò)鎖緊夾塊固定于水平支架上，所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x還包括三個(gè)設(shè)于水平支架上的不在同一直線上的基準(zhǔn)螺釘，所述每個(gè)基準(zhǔn)螺釘在水平支架上可沿相對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)槽移動(dòng)，可調(diào)節(jié)三個(gè)基準(zhǔn)螺釘所確定平面的大小。
2.如權(quán)利要求I所述的研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x，其特征在于所述千分表包括測(cè)量頭，所述測(cè)量頭外部設(shè)有套筒。
3.如權(quán)利要求I所述的研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x，其特征在于所述水平支架上表面和鎖緊夾塊一端開設(shè)有螺紋孔，所述鎖緊夾塊一端通過(guò)固定螺釘穿過(guò)螺紋孔固定于水平支架上；所述鎖緊夾塊另一端分為兩部分，每部分上面設(shè)有平行于水平支架的螺紋孔，通過(guò)鎖緊螺釘穿過(guò)螺紋孔鎖緊套筒。
4.如權(quán)利要求I所述的研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x，其特征在于所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x包括兩個(gè)千分表，且設(shè)于水平支架同一直線上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種測(cè)量?jī)x器，具體涉及一種研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x。研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x包括水平支架、千分表和鎖緊夾塊，所述千分表通過(guò)鎖緊夾塊固定于水平支架上，所述研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x還包括三個(gè)設(shè)于水平支架上的不在同一直線上的基準(zhǔn)螺釘，所述每個(gè)基準(zhǔn)螺釘在水平支架上可沿相對(duì)應(yīng)的滑動(dòng)槽移動(dòng)，可調(diào)節(jié)三個(gè)基準(zhǔn)螺釘所確定平面的大小。本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適用于任意大小測(cè)量平面且測(cè)量精確度高的研磨盤三點(diǎn)平面度測(cè)量?jī)x。
文檔編號(hào)G01B5/28GK202372131SQ20112056528
公開日2012年8月8日 申請(qǐng)日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
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