專利名稱：一種具有空氣隔離功能的x射線光譜測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種將X射線與空氣隔離，從而解決因空氣存在而導(dǎo)致測(cè)量的不準(zhǔn)確性的具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的X射線熒光光譜儀設(shè)備通常由于測(cè)量時(shí)空氣的存在而干擾了被測(cè)樣品中輕元素測(cè)量的準(zhǔn)確性，例如測(cè)量含量較低的Cl元素時(shí)因空氣中存在氬氣并且氬氣的原子序數(shù)與Cl元素原子序數(shù)相鄰，由此可見這兩個(gè)元素在測(cè)量過程中相互干擾嚴(yán)重影響測(cè)量結(jié)果。為了解決該問題將采用增大光管功率的方式進(jìn)行測(cè)量。但該方案仍有不足，畢竟空氣是無形的，采用增大光管功率只能使該問題有所改善但仍不能徹底解決該問題的存在。因此，如何使得測(cè)量樣品中的任何元素都不會(huì)因空氣中含有相同元素或元素能量相近而相互干擾帶來的測(cè)量不準(zhǔn)確性也是業(yè)界長期以來一直想要解決的技術(shù)難題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提出一種具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置，該裝置使X熒光與空氣隔離，使空氣中相同元素或能量接近元素相互之間不能夠產(chǎn)生效應(yīng)因而不會(huì)形成干擾，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置，所述裝置包括測(cè)試平臺(tái)、X射線發(fā)射源以及探測(cè)單元，被測(cè)樣品放置在測(cè)試平臺(tái)上，所述的探測(cè)單元連接到X射線發(fā)射源，其特征在于所述測(cè)試平臺(tái)上設(shè)置真空罩，并且所述的測(cè)試平臺(tái)與真空腔體相連，該真空腔體上分別設(shè)有探測(cè)單元、排氣單元以及壓力獲取單元，真空腔體與真空泵相連。所述的測(cè)試平臺(tái)上圍繞放置被測(cè)樣品的區(qū)域設(shè)置密封槽，所述的真空罩放置在該密封槽上，真空腔體通過該密封槽與測(cè)試平臺(tái)相連。所述的真空腔體通過軟管與真空泵相連。本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，著重于解決測(cè)量中空氣干擾的問題，提高了測(cè)量元素的檢出限與重復(fù)性；本實(shí)用新型將原設(shè)備的整個(gè)光路及探測(cè)單元集成到真空腔體中，并進(jìn)行密封處理，滿足其真空密封要求的同時(shí)大幅提升了裝配簡(jiǎn)單化，維護(hù)性更好，可靠性更高。經(jīng)過測(cè)試，此設(shè)計(jì)完全達(dá)到測(cè)試要求，在真空度的保持上遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過同行業(yè)的水平，對(duì)設(shè)備的性能有明顯提升，原來不能測(cè)試的元素(如鋁等輕元素)，現(xiàn)在能測(cè)試出來，原來測(cè)試不穩(wěn)定的元素(如氯元素等)，現(xiàn)在重復(fù)性達(dá)到了試驗(yàn)室水平。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于X射線與空氣完全隔離并且真空腔體內(nèi)沒有任何氣體存在，從而降低了測(cè)量輕元素的檢出線，提高了測(cè)量輕元素的準(zhǔn)確性、 穩(wěn)定性。

[0010]附圖是本實(shí)用新型實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說明1-真空罩2-測(cè)試平臺(tái)3-X射線發(fā)射源4-真空腔體5-探測(cè)單元6_排氣單元 7_壓力獲取單元8-軟管9-密封槽
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖說明本實(shí)用新型的實(shí)施例，以使本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠容易實(shí)施本發(fā)明。參見附圖，本實(shí)用新型具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖，真空腔體4位于測(cè)試平臺(tái)2的下方，測(cè)試平臺(tái)也即所謂的“樣品視窗件”，被測(cè)樣品放置在測(cè)試平臺(tái)2上，測(cè)試平臺(tái)2上圍繞被測(cè)樣品的區(qū)域設(shè)置有密封槽9，該密封槽9上設(shè)置橡膠材質(zhì)的密封圈，真空罩1放置在該密封槽9上，真空腔體4通過該密封槽9與測(cè)試平臺(tái)2 相連，當(dāng)真空罩1放置入測(cè)試平臺(tái)2上的密封槽9后真空腔體4內(nèi)將與空氣隔離開來。真空腔體4上安裝排氣單元6，該排氣單元6的作用在于使真空腔體4內(nèi)部壓力與大氣壓力一致，排氣單元6由排氣電磁閥控制。真空腔體4上設(shè)置探測(cè)單元5，該探測(cè)單元5與X射線發(fā)射源3相連，用于接收X射線。真空腔體4底部安裝由壓力傳感器構(gòu)成的壓力獲取單元7，方便獲得真空腔體4內(nèi)部壓力信息。真空腔體4底部安裝軟管8，通過該軟管8將真空腔體4與真空泵相連，真空泵由抽氣電磁閥控制，用于抽出真空腔體內(nèi)部空氣。開啟真空泵將真空腔體4內(nèi)部壓力抽至OkPa時(shí)表明真空腔體4內(nèi)空氣已被抽盡， 通過計(jì)算與實(shí)驗(yàn)證明，10至25秒真空腔體4內(nèi)既是真空狀態(tài)，從而滿足了局部空間內(nèi)形成真空狀態(tài)。當(dāng)真空腔體4內(nèi)壓力被抽至OkPa時(shí)，抽氣電磁閥閉合，真空泵自動(dòng)停止工作，并且自動(dòng)轉(zhuǎn)入測(cè)量樣品狀態(tài)。因橡膠材質(zhì)的密封圈韌性優(yōu)良，密封效果佳，因此，通過設(shè)置有橡膠密封圈的“U” 型密封槽9與測(cè)試平臺(tái)2相連接的真空腔體4內(nèi)僅僅符合測(cè)量條件的真空狀態(tài)就可以長達(dá) 30至45分鐘。當(dāng)需打開真空罩1更換測(cè)試樣品時(shí)，由于這時(shí)真空腔體4內(nèi)的壓力與大氣壓力不均衡，這時(shí)通過開啟由繼電器控制的排氣電磁閥控制排氣單元6工作，使真空腔體4內(nèi)壓力與大氣壓均衡，否則將因?yàn)闊o法打開真空罩1導(dǎo)致無法取出樣品。
權(quán)利要求1.一種具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置，所述裝置包括測(cè)試平臺(tái)(2)、x射線發(fā)射源⑶以及探測(cè)單元(5)，被測(cè)樣品放置在測(cè)試平臺(tái)⑵上，所述的探測(cè)單元(5)連接到X射線發(fā)射源(3)，其特征在于所述測(cè)試平臺(tái)(2)上設(shè)置真空罩(1)，并且所述的測(cè)試平臺(tái)⑵與真空腔體⑷相連，該真空腔體⑷上分別設(shè)有探測(cè)單元(5)、排氣單元(6)以及壓力獲取單元(7)，真空腔體(4)與真空泵相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置，其特征在于所述的測(cè)試平臺(tái)(2)上圍繞放置被測(cè)樣品的區(qū)域設(shè)置密封槽(9)，所述的真空罩(1)放置在該密封槽(9)上，真空腔體(4)通過該密封槽(9)與測(cè)試平臺(tái)(2)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置，其特征在于所述的真空腔體(4)通過軟管(8)與真空泵相連。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種具有空氣隔離功能的X射線光譜測(cè)量裝置，所述裝置包括測(cè)試平臺(tái)、X射線發(fā)射源以及探測(cè)單元，被測(cè)樣品放置在測(cè)試平臺(tái)上，所述的探測(cè)單元連接到X射線發(fā)射源，其特征在于所述測(cè)試平臺(tái)上設(shè)置真空罩，并且所述的測(cè)試平臺(tái)與真空腔體相連，該真空腔體上分別設(shè)有探測(cè)單元、排氣單元以及壓力獲取單元，真空腔體與真空泵相連。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于X射線與空氣完全隔離并且真空腔體內(nèi)沒有任何氣體存在，從而降低了測(cè)量輕元素的檢出線，提高了測(cè)量輕元素的準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性。
文檔編號(hào)G01N23/223GK202008470SQ20112005034
公開日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月25日
發(fā)明者楊振 申請(qǐng)人:蘇州三值精密儀器有限公司