專利名稱：一種檢測法拉第工作狀態(tài)的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種檢測法拉第工作狀態(tài)的方法，特別地涉及一種用于離子注入機中對法拉第工作狀態(tài)的判斷，屬于半導體設備領域。
背景技術：
離子注入機屬于粒子加速器的一種，是半導體工藝中離子摻雜的典型設備，由離子源產生需要摻雜的離子束由無數(shù)粒子形成。要測量離子束流大小就要用到測束法拉第，法拉第裝置在離子注入機上普遍存在，但一般都不對法拉第本身進行檢測，無法知道法拉第的狀態(tài)，對測量束流的準確度無法判斷。隨著半導體集成電路制造工藝越來越微細化，對半導體制造設備的性能要求也就越來越高，本設計是將檢測裝置安裝到法拉第上，以此來判斷法拉第是否處于正常工作狀態(tài)，從而避免在設備工作時產生的測束誤差。

發(fā)明內容
本發(fā)明專利即是針對上述現(xiàn)有設備中的缺點而提出在法拉第上增加一檢測裝置，檢測法拉第的工作狀態(tài)，提高法拉第測束流的可靠性，提高注入機整體的可靠性。本發(fā)明采用如下技術方案來實現(xiàn):在離子注入機的法拉第上安裝，包括:一絕緣塊蓋板I，一絕緣塊2，一傳感銅片3，一絕緣塊支架4 (圖1)，和一法拉第自檢電路5 (圖2)。當法拉第測量束流時，離子束打入法拉第底部石墨板，經(jīng)導線將電流引出經(jīng)過電路測量出大小。隨著法拉第的工作時間變長，其底部石墨板的厚度逐漸變薄，甚至擊穿，此時離子束流就直接打到傳感器銅片3上，這就造成了測量值出現(xiàn)很大的偏差，所以在法拉第測量束流之前就要對其自身進行狀態(tài)判斷。使用法拉第自檢電路判斷法拉第是否處于正常狀態(tài)，如果電路測量電流值小于設定值則可以進行使用，判斷電流值大于設定值則需更換法拉第。這樣就保證測量束流的準確性和有效性，提高注入機的整體的可靠性，對注入機有著很重要的意義。本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點:1.在法拉第測量束流之前，就對法拉第自身進行檢測，首先排除因法拉第損壞等自身問題而造成束流值不準的問題。2.顯著提高了離子束流的可靠性，提高了離子注入機的可靠性和穩(wěn)定度。


圖1為法拉第的檢測部分示意2為檢測電路的電路圖，由電阻、放大器和恒流源組成
具體實施例方式在離子注入機的法拉第上安裝，包括:一絕緣塊蓋板I，一絕緣塊2，一傳感銅片3，一絕緣塊支架4(圖1)，并設計一法拉第自檢電路5(圖2)。當法拉第測量束流時，離子束打入法拉第底部石墨板，經(jīng)導線將電流引出經(jīng)過電路測量出大小。隨著法拉第的工作時間變長，其底部石墨板的厚度逐漸變薄，甚至擊穿，此時離子束流就直接打到一傳感器銅片3上，如果此時讀取數(shù)據(jù)，會造成了測量值出現(xiàn)很大的偏差。因此在法拉第測量束流之前就要對其自身進行狀態(tài)檢查判斷。這時通過使用法拉第自檢電路判斷法拉第是否處于正常狀態(tài)，由恒流源提供恒定電流，通過電路流經(jīng)檢測裝置，然后到工控機讀取數(shù)據(jù)。如果測量電流值小于設定值則可以進行使用，如果測量電流值大于設定值則需更換法拉第。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
1.一種檢測法拉第工作狀態(tài)的方法，該方法利用檢測裝置安裝在離子注入機的測束法拉第上，對法拉第的狀態(tài)進行檢測，以確保法拉第能正常進行測束工作。其特征在于:利用檢測裝置和電路，在法拉第測量束流前預先檢測其本身狀態(tài)，自檢正常則可以正常測量束流，如自檢為非正常狀態(tài)，則法拉第已經(jīng)損壞，不能正常測束或測量不準，須立即更換。避免在法拉第損壞狀態(tài)下導致束流測量不準，或設備損壞等問題。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種檢測法拉第工作狀態(tài)的方法，該方法是在離子注入機測束法拉第上面安裝狀態(tài)檢測裝置，然后通過設定自檢電路進行檢測。此檢測裝置包括一絕緣塊蓋板(1)，一絕緣塊(2)，一傳感銅片(3)，一絕緣塊支架(4)，和一法拉第自檢電路(5)。本發(fā)明能夠檢測法拉第是否處于正常工作狀態(tài)，確保法拉第測量束流的準確性，提高了離子注入機的可靠性。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導體制造領域。
文檔編號G01T1/29GK103185893SQ20111045627
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權日2011年12月31日
發(fā)明者胡東京 申請人:北京中科信電子裝備有限公司