專利名稱：一種法拉第裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制裝置，特別涉及一種法拉第裝置。
背景技術(shù)：
近年來，隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和芯片技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，集成度越來越高，電路規(guī)模越來越大，電路中單元器件尺寸越來越小，對各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求。
離子注入機(jī)作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一，也對它提出了很高的要求，要求離子注入機(jī)具有整機(jī)可靠性好、生產(chǎn)效率高、多種電荷態(tài)離子寬能量范圍注入、精確控制束注入能量精度、精確控制束純度、低塵粒污染、整機(jī)全自動控制、注片均勻性和平行度好等多種功能和特征。
法拉第裝置在離子注入機(jī)設(shè)備中多次用到，它的作用涉及到束流大小、束流平行度、束流均勻性的測量對監(jiān)測束流質(zhì)量，提高束流品質(zhì)有著至關(guān)重要的意義。

發(fā)明內(nèi)容
為了實現(xiàn)束流大小、束流平行度、束流均勻性的精確測量，本實用新型提出一種新型法拉第裝置，該裝置取樣精確、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小。
本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)一種法拉第裝置，包括石墨蓋板、外腔體、插線瓷座、內(nèi)腔體、絕緣瓷塊、抑制電極、法拉第進(jìn)束窗、石墨擋板。其中石墨蓋板位于外腔體一側(cè)，起防塵保護(hù)的作用；插線瓷座安裝在外腔體上；內(nèi)腔體是金屬腔體，在外腔體內(nèi)部，通過絕緣瓷塊與外腔體相連；抑制電極通過絕緣瓷塊固定在內(nèi)腔體的前方；法拉第進(jìn)束窗在外腔體上，用于接收離子束；石墨擋板位于外腔體和法拉第進(jìn)束窗外側(cè)。
本實用新型具有如下顯著優(yōu)點1、進(jìn)束口做成細(xì)長縫結(jié)構(gòu)，能夠?qū)m合8英寸晶片的離子注入機(jī)的束流進(jìn)行準(zhǔn)確的取樣。
2、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小。


圖1是本實用新型的半剖面圖。
圖2是本實用新型的右視半剖面圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步介紹，但不作為對本實用新型的限定。
參考圖1、圖2，一種法拉第裝置，其包括石墨蓋板1、外腔體2、插線瓷座3、內(nèi)腔體4、絕緣瓷塊5、抑制電極6、法拉第進(jìn)束窗7、石墨擋板8。其中石墨蓋板1起到了防塵保護(hù)的作用，它的表面噴涂石墨可以耐高溫。內(nèi)腔體4是積累電荷的金屬腔體，它通過絕緣瓷塊5與外腔體相連。抑制電極6通過絕緣瓷塊5固定在內(nèi)腔體4的前方。抑制電極6上面加上了一個負(fù)的電位，它的作用是可以防止離子束在和內(nèi)腔體4的金屬壁碰撞之后產(chǎn)生的自由電子跑出內(nèi)腔體4，從而保證測量到的內(nèi)腔體4上面的離子數(shù)量不會失真。
本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本實用新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求1.一種法拉第裝置，其特征在于包括石墨蓋板、外腔體、插線瓷座、內(nèi)腔體、絕緣瓷塊、抑制電極、法拉第進(jìn)束窗、石墨擋板，其中石墨蓋板位于外腔體一側(cè)，起防塵保護(hù)的作用；插線瓷座安裝在外腔體上；內(nèi)腔體是金屬腔體，在外腔體內(nèi)部，通過絕緣瓷塊與外腔體相連；抑制電極通過絕緣瓷塊固定在內(nèi)腔體的前方；法拉第進(jìn)束窗在外腔體上，用于接收離子束；石墨擋板位于外腔體和法拉第進(jìn)束窗外側(cè)。
專利摘要本實用新型公開了一種法拉第裝置，包括石墨蓋板、外腔體、插線瓷座、內(nèi)腔體、絕緣瓷塊、抑制電極、法拉第進(jìn)束窗、石墨擋板。其中石墨蓋板位于外腔體一側(cè)，起防塵保護(hù)的作用；插線瓷座安裝在外腔體上；內(nèi)腔體是金屬腔體，在外腔體內(nèi)部，通過絕緣瓷塊與外腔體相連；抑制電極通過絕緣瓷塊固定在內(nèi)腔體的前方；法拉第進(jìn)束窗在外腔體上，用于接收離子束；石墨擋板位于外腔體和法拉第進(jìn)束窗外側(cè)。本實用新型取樣精確、結(jié)構(gòu)緊湊、體積小。
文檔編號C23C14/48GK2906916SQ20062001298
公開日2007年5月30日 申請日期2006年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月7日
發(fā)明者易文杰, 許波濤, 龍會躍, 姚琛 申請人:北京中科信電子裝備有限公司