專利名稱：一種用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種具有單晶片注入要求的離子注入機晶片盒翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)，特別涉及一種該系統(tǒng)中用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
近年來，隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)和芯片技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，集成度越來越高，電路規(guī)模越來越大，電路中單元器件尺寸越來越小，對各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求。離子注入機作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一，也對它提出了很高的要求，要求離子注入機具有整機可靠性好、生產(chǎn)效率高、多種電荷態(tài)離子寬能量范圍注入、精確控制束純度、低塵粒污染、整機全自動控制、注片均勻性和平行度好等多種功能和特征。為了滿足以上精確控制束注入能量精度要求，就要實現(xiàn)對束流進行取樣分析的工作，以獲知終端束流大小，從而控制晶片上精確的注入劑量。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型即是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而提出的一種用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，通過本裝置對束流的取樣分析，可以獲知終端的束流大小，從而控制晶片上精確的注入劑量，是一種具有自冷卻效果的，針對靶室終端而設(shè)計的用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置。
本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)一種用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，固定法拉第筒包括在一法拉第外腔體內(nèi)，一法拉第內(nèi)腔體通過一絕緣瓷固定在法拉第外腔體上、其相互絕緣，在法拉第內(nèi)腔體和法拉第外腔體之間設(shè)置一固定在絕緣瓷上的抑制極，所述抑制極與法拉第內(nèi)腔體之間保持一定的空隙，法拉第外腔體外固定連接有一水冷板，所述法拉第筒通過水冷板懸掛在起固定整個裝置的大法蘭下部，大法蘭上設(shè)有一個起密封作用的O型密封圈。
本實用新型還可以是所述法拉第內(nèi)腔體為積累電荷的金屬腔體，所述大法蘭上部設(shè)有連接給排水管一端的小法蘭，給排水管的另一端連接至所述水冷板的底部，固定給排水管的連接塊固定在大法蘭上面，在所述給排水管上套有起隔熱保護作用的石墨管，在所述法拉第外腔體一側(cè)設(shè)有開口，在開口處蓋有一蓋板，從法拉第筒引出的導(dǎo)線通過固定導(dǎo)線的小蓋板、接線筒和走線管與大法蘭連接。
本實用新型具有如下顯著優(yōu)點1.固定法拉第筒是用于束流取樣測量的裝置，2.能夠精確的進行束流的取樣測量。
3.結(jié)構(gòu)簡單，運行可靠。


圖1表示本實用新型一種用于束流取樣測量的固定法拉第簡裝置的一個實施例結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2表示圖1的右視圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步介紹，但不作為對本實用新型的限定。
如圖1、圖2所示，一種用于束流取樣測量的固定法拉第簡裝置，固定法拉第筒是在一法拉第外腔體3內(nèi)，一法拉第內(nèi)腔體2通過一絕緣瓷13固定在法拉第外腔體3上、使法拉第外腔體3和法拉第內(nèi)腔體2相互絕緣，所述法拉第內(nèi)腔體2為積累電荷的金屬腔體，在所述法拉第外腔體3一側(cè)設(shè)有開口，在開口處蓋有一蓋板1，起防塵和保護的作用，在法拉第內(nèi)腔體2和法拉第外腔體3之間設(shè)置一固定在絕緣瓷13上的抑制極4，所述抑制極4與法拉第內(nèi)腔體2之間保持一定的空隙，法拉第外腔體3外固定連接有一水冷板14，所述法拉第筒通過水冷板14懸掛在起固定整個裝置及密封作用的大法蘭7下部，大法蘭7上設(shè)有一個起密封作用的O型密封圈15，所述大法蘭7上部設(shè)有連接給排水管10一端的小法蘭8，給排水管10的另一端連接至所述水冷板14的底部，固定給排水管10的連接塊9固定在大法蘭7上面，在所述給排水管10上套有起隔熱保護作用的石墨管11，從法拉第筒引出的導(dǎo)線通過固定導(dǎo)線的小蓋板5、接線筒12和走線管6與大法蘭7連接，主要是固定走線的作用。
本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實用新型構(gòu)思的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都不會超出本實用新型所附權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，其特征在于固定法拉第筒包括在一法拉第外腔體(3)內(nèi)，一法拉第內(nèi)腔體(2)通過一絕緣瓷(13)固定在法拉第外腔體(3)上，其相互絕緣，在法拉第內(nèi)腔體(2)和法拉第外腔體(3)之間設(shè)置一固定在絕緣瓷(13)上的抑制極(4)，所述抑制極(4)與法拉第內(nèi)腔體(2)之間保持一定的空隙，法拉第外腔體(3)外固定連接有一水冷板(14)，所述法拉第筒通過水冷板(14)懸掛在起固定整個裝置的大法蘭(7)下部，大法蘭(7)上設(shè)有一個起密封作用的O型密封圈(15)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，其特征在于所述法拉第內(nèi)腔體(2)為積累電荷的金屬腔體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，其特征在于所述大法蘭(7)上部設(shè)有連接給排水管(10)一端的小法蘭(8)，給排水管(10)的另一端連接至所述水冷板(14)的底部，固定給排水管(10)的連接塊(9)固定在大法蘭(7)上面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，其特征在于在所述給排水管(10)上套有起隔熱保護作用的石墨管(11)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，其特征在于在所述法拉第外腔體(3)一側(cè)設(shè)有開口，在開口處蓋有一蓋板(1)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，其特征在于從法拉第筒引出的導(dǎo)線通過固定導(dǎo)線的小蓋板(5)、接線筒(12)和走線管(6)與大法蘭(7)連接。
專利摘要本實用新型涉及一種用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，通過本裝置對束流的取樣分析，可得知終端的束流大小，控制晶片上精確的注入劑量，是一種具有自冷卻效果的，針對靶室終端而設(shè)計的用于束流取樣測量的固定法拉第筒裝置，固定法拉第筒包括在一法拉第外腔體內(nèi)，一法拉第內(nèi)腔體通過一絕緣瓷固定在法拉第外腔體上、在法拉第內(nèi)腔體和法拉第外腔體之間設(shè)置一固定在絕緣瓷上的抑制極，所述抑制極與法拉第內(nèi)腔體之間保持一定的空隙，法拉第外腔體外固定連接一水冷板，所述法拉第筒通過水冷板懸掛在起固定整個裝置的大法蘭下部，大法蘭上設(shè)一起密封作用的O型密封圈，能夠精確的進行束流的取樣測量，結(jié)構(gòu)簡單，運行可靠。
文檔編號H01J37/317GK2906915SQ20062000817
公開日2007年5月30日 申請日期2006年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月17日
發(fā)明者易文杰, 郭健輝, 彭立波, 謝均宇 申請人:北京中科信電子裝備有限公司