專利名稱：基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體分析檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微量氮?dú)鈾z測器。
背景技術(shù)：
目前，現(xiàn)有的對氬氣混合氣體中含有的微量雜質(zhì)氮?dú)獾臐舛冗M(jìn)行測定的方法為 將所述混合氣體輸入到帶有放射源的檢測器中，對因放射源對氮?dú)庾饔盟a(chǎn)生的離子遷移率進(jìn)行測定的同時，測定所述混合氣體中的微量氮?dú)鉂舛取Ｒ环矫?，由于近年來，國?nèi)外對放射性物質(zhì)影響生存環(huán)境及人身健康日益關(guān)注，所以采用放射源離子遷移法來測定氬氣中微量氮?dú)獾臐舛鹊姆椒ㄔ絹碓讲画h(huán)保和健康。另一方面，由于采用放射源離子遷移法來測定氬氣中微量氮?dú)獾臐舛鹊姆椒?，其精度、線性度和靈敏度難以提高。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的是提供一種基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，能對氬氣中微量地含有的雜質(zhì)氮?dú)獾臐舛饶軌蚋呔惹疫B續(xù)地進(jìn)行測定。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，包括電離氣室，包括腔體和設(shè)置于腔體上的電離電極，所述腔體上設(shè)置有入氣口和出氣口，所述腔體用于容納被測氣體，腔體的至少部分透明；激發(fā)單元，與電離電極電連接，向電離電極施加高頻調(diào)幅振蕩電場；接收器單元，與電離氣室透明的部分相對設(shè)置，用于接收電離氣體中被測氣體在電離狀態(tài)下發(fā)出的光信號并轉(zhuǎn)換為電信號；以及濾光器件，設(shè)置于接收器單元與電離氣室之間，用于選擇透過光信號中與氮?dú)鈱?yīng)的特定波長的光。進(jìn)一步，所述電離氣室的腔體為石英材料腔體。進(jìn)一步，所述電離電極為銅電極。進(jìn)一步，所述接收器單元的接收器為半導(dǎo)體光敏二極管、光電倍增管或光敏二極管陣列。進(jìn)一步，所述濾光器件為干涉濾光器件或分光器。進(jìn)一步，所述腔體的入氣口或出氣口與流量控制單元電連接。進(jìn)一步，所述接收器單元上還設(shè)置有恒溫裝置。本發(fā)明的有益效果是避免了傳統(tǒng)的使用輻射源而帶來的環(huán)保和健康問題，同時極大的提高了檢測器的靈敏度，使得所述檢測器能夠高精度、高靈敏度、低漂移地在線測定氬氣中微量雜質(zhì)氮?dú)獾臐舛?。本發(fā)明的其他優(yōu)點、目標(biāo)和特征在某種程度上將在隨后的說明書中進(jìn)行闡述，并且在某種程度上，基于對下文的考察研究對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言將是顯而易見的，或者可以從本發(fā)明的實踐中得到教導(dǎo)。本發(fā)明的目標(biāo)和其他優(yōu)點可以通過下面的說明書和權(quán)利要求書來實現(xiàn)和獲得。


圖1示出了基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式以下將對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進(jìn)行詳細(xì)的描述。應(yīng)當(dāng)理解，優(yōu)選實施例僅為了說明本發(fā)明，而不是為了限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。參見圖1，基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，包括電離氣室，包括腔體1和設(shè)置于腔體1上的電離電極2，所述腔體1上設(shè)置有入氣口和出氣口，所述腔體1用于容納被測氣體，被測氣體在電離電極2的作用下發(fā)生電離，得到的離子體會發(fā)出一定的光譜，腔體1的至少部分透明，為提高光譜強(qiáng)度，腔體1選用石英材料腔體，電離電極2選用銅電極，可提高激發(fā)靈敏度和穩(wěn)定性；激發(fā)單元6，與電離電極2電連接，向電離電極2施加高頻調(diào)幅振蕩電場；接收器單元4，與電離氣室腔體1透明的部分相對設(shè)置，用于接收電離氣體中被測氣體在電離狀態(tài)下發(fā)出的光信號并轉(zhuǎn)換為電信號，發(fā)送至處理器單元或上位機(jī)進(jìn)行分析處理其對應(yīng)的光譜，即可對氮?dú)夂窟M(jìn)行檢測，氮?dú)獾墓庾V檢測方法可使用現(xiàn)有技術(shù)中的方法，在此不再贅述，接收器單元的接收器為半導(dǎo)體光敏二極管、光電倍增管或光敏二極管陣列；濾光器件3，設(shè)置于接收器單元4與電離氣室之間，用于選擇透過光信號中與氮?dú)鈱?yīng)的特定波長的光，該波長優(yōu)選為337nm士2nm，可選用干涉濾光器件或分光器。流量控制單元7，所述腔體的入氣口或出氣口與流量控制單元連接，可通過控制流量，提高光譜光強(qiáng)的穩(wěn)定性。恒溫裝置5，由于接收器單元4易受到環(huán)境溫度的影響，所以使用恒溫裝置5為接收器單元4提供恒定溫度場。最后說明的是，以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制，盡管參照較佳實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本技術(shù)方案的宗旨和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
1.基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，其特征在于包括電離氣室，包括腔體和設(shè)置于腔體上的電離電極，所述腔體上設(shè)置有入氣口和出氣口， 所述腔體用于容納被測氣體，腔體的至少部分透明；激發(fā)單元，與電離電極電連接，向電離電極施加高頻調(diào)幅振蕩電場；接收器單元，與電離氣室透明的部分相對設(shè)置，用于接收電離氣體中被測氣體在電離狀態(tài)下發(fā)出的光信號并轉(zhuǎn)換為電信號；以及濾光器件，設(shè)置于接收器單元與電離氣室之間，用于選擇透過光信號中與氮?dú)鈱?yīng)的特定波長的光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，其特征在于所述電離氣室的腔體為石英材料腔體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，其特征在于所述電離電極為銅電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，其特征在于所述接收器單元的接收器為半導(dǎo)體光敏二極管、光電倍增管或光敏二極管陣列。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，其特征在于所述濾光器件為干涉濾光器件或分光器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，其特征在于所述腔體的入氣口或出氣口與流量控制單元電連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，其特征在于所述接收器單元上還設(shè)置有恒溫裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及氣體分析檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微量氮?dú)鈾z測器，能對氬氣中微量地含有的雜質(zhì)氮?dú)獾臐舛饶軌蚋呔惹疫B續(xù)地進(jìn)行測定。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的基于等離子發(fā)射光譜法的在線微量氮?dú)鈾z測器，包括電離氣室，包括腔體和設(shè)置于腔體上的電離電極，所述腔體上設(shè)置有入氣口和出氣口，所述腔體用于容納被測氣體，腔體的至少部分透明；激發(fā)單元，與電離電極電連接，向電離電極施加高頻調(diào)幅振蕩電場；接收器單元，與電離氣室透明的部分相對設(shè)置，用于接收電離氣體中被測氣體在電離狀態(tài)下發(fā)出的光信號并轉(zhuǎn)換為電信號；以及濾光器件，設(shè)置于接收器單元與電離氣室之間，用于選擇透過光信號中與氮?dú)鈱?yīng)的特定波長的光。
文檔編號G01N21/68GK102507534SQ20111033571
公開日2012年6月20日 申請日期2011年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月29日
發(fā)明者呂正倫, 周權(quán) 申請人:重慶川儀分析儀器有限公司