專利名稱：探針裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于液晶顯示面板那樣的平板狀被檢查體的通電試驗的探針裝置。
背景技術(shù)：
一般而言，液晶顯示面板那樣的平板狀被檢查體利用采用探針單元那樣的探針裝 置的檢查裝置即試驗裝置進行檢查即試驗。作為那樣的探針裝置之一，有專利文獻1和2 記載的裝置。專利文獻1記載的探針裝置包括安裝在試驗裝置的主體框上的板狀的滑動基 座；安裝在探針基座上的連結(jié)組件；能夠調(diào)整高度位置地懸掛于連結(jié)組件上的支承組件； 探針組件(探針組裝體)，其是通過將多個探針支承于探針保持架上而形成的，且其被組裝 在支承組件上。在從探針保持架向上方突出的凸部插入到形成在支承組件上的凹部的狀態(tài)下，探 針組件由一對螺紋構(gòu)件安裝在支承組件上。由此，探針組件能相對于支承組件裝卸地被保 持在支承組件上。各探針包括板狀的針中央?yún)^(qū)域；從針中央?yún)^(qū)域向前方一體延伸的前端區(qū)域；從 前端針尖區(qū)域向下方突出的前端針尖；從針中央?yún)^(qū)域向后方一體延伸的后端區(qū)域；從后端 區(qū)域向上方突出的后端針尖。這樣的探針在針中央?yún)^(qū)域的厚度方向為左右方向的狀態(tài)下， 配置在探針保持架上。探針組裝體除了探針和探針保持架之外，還包括一對導(dǎo)桿，沿針中央?yún)^(qū)域的厚度 方向貫穿針中央?yún)^(qū)域并延伸，兩端部被支承在探針保持架上；前端側(cè)槽桿，其支承在探針保 持架上，具有為了收納前端針尖而在左右方向上隔開間隔地形成的多個槽；后端側(cè)槽桿，其 支承在探針保持架上，具有為了收納后端針尖而在左右方向上隔開間隔地形成的多個槽。在專利文獻1記載的探針裝置中，探針被一對導(dǎo)桿支承在探針保持架上。在那樣 的探針裝置中，前端針尖和后端針尖被分別按壓于被檢查體的電極和陽極片那樣的布線片 狀體的連接部上，在過驅(qū)動(overdrive)作用于各探針時，探針相對于探針保持架的位移 量根據(jù)存在于各探針和導(dǎo)桿之間的間隙的大小而不同。由于設(shè)計上和加工上所容許的公差，無法避免在探針和導(dǎo)桿之間形成上述那樣的 間隙。其結(jié)果，前端針尖和被檢查體的電極之間的接觸以及后端針尖和布線片狀體的焊盤 (land)之間的電接觸變得不穩(wěn)定，無法進行準(zhǔn)確的試驗即檢查。為了解決上述的課題，在專利文獻2記載的探針裝置中，將上述的導(dǎo)桿作為定位 銷，并且分別在各探針的針中央部的前端部和后端部設(shè)有朝向前方開放的日文二字狀的第 1和第2凹部，分別在設(shè)于前端側(cè)槽桿和組件片的后端部上的承重桿上設(shè)有向后方突出并 嵌合在第1和第2凹部中的第1和第2凸部。在專利文獻2記載的探針裝置中，通過將導(dǎo)桿作為定位銷、第1凹部與第1凸部嵌 合以及第2凹部與第2凸部嵌合，降低在過驅(qū)動作用于各探針時的探針相對于組件片的位
移量的差。
但是，在專利文獻2記載的探針裝置中，絲毫沒有公開將探針組件組裝到支承組 件(滑動組件)上的組裝裝置。此外，在專利文獻1記載的組裝裝置中，為了獲得更換探針、探針組件、連接片狀 體、輔助組件等消耗品時的針尖位置的再現(xiàn)性，使用復(fù)雜的操作所需的止動件、多個凸部、 多個柱塞、多個柱塞銷、多個壓縮螺旋彈簧等多個構(gòu)件，所以不僅組裝裝置的形狀和構(gòu)造變 得復(fù)雜，而且消耗品的更換作業(yè)變繁雜。專利文獻1 日本特開2004-191064號公報專利文獻2 日本特開2009-115585號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種簡化組裝裝置的形狀和構(gòu)造并且容易進行消耗品的 更換作業(yè)的探針裝置。本發(fā)明的探針裝置包括支承組件；結(jié)合組件，其配置在該支承組件的下側(cè)；組裝 裝置，其將上述結(jié)合組件組裝到上述支承組件的下側(cè)；探針組裝體，包括具有前端針尖和后 端針尖的多個探針和配置有該探針的探針保持架，且上述探針以在左右方向上隔開間隔地 沿前后方向延伸的狀態(tài)配置在上述探針保持架上，并組裝在上述結(jié)合組件的下側(cè)。上述組裝裝置包括凹部，其形成在上述結(jié)合組件和上述支承組件中的任一方上； 連結(jié)構(gòu)件，其嵌合在該凹部中；第1螺紋構(gòu)件，其用于將該連結(jié)構(gòu)件組裝到上述結(jié)合組件或 上述支承組件上；第2螺紋構(gòu)件，其沿上下方向貫穿上述連結(jié)構(gòu)件，與上述結(jié)合組件和上述 支承組件中的另一方螺紋配合。上述凹部和上述連結(jié)構(gòu)件能具有圓形或多邊形的橫截面形狀。上述組裝裝置還包括第2凹部，其形成在上述結(jié)合組件和上述支承組件中的上 述任一方上，并且在由左右方向和前后方向形成的XY面內(nèi)延伸，與形成在上述結(jié)合組件和 上述支承組件中的上述任一方上的上述凹部連通；銷構(gòu)件，其從上述連結(jié)構(gòu)件在上述XY面 內(nèi)延伸，被收納在上述第2凹部中。上述組裝裝置還可以包括第3凹部，其形成在上述連結(jié)構(gòu)件和上述支承組件中 的上述任一方，并且朝向上述連結(jié)構(gòu)件和上述支承組件中的另一方側(cè)開放；第2銷構(gòu)件，其 從上述連結(jié)構(gòu)件和上述支承組件中的另一方沿上下方向延伸，被收納在上述第3凹部中。上述結(jié)合組件能夠在前端側(cè)具有朝向下方且配置有上述探針組裝體的臺階部，并 且具有供上述連結(jié)構(gòu)件嵌合的上述凹部，還具有供上述第2螺紋構(gòu)件螺紋配合的內(nèi)螺紋 孔。上述凹部也可以形成在上述結(jié)合組件上，上述連結(jié)構(gòu)件被上述第1螺紋構(gòu)件安裝 在上述支承組件上，上述第1螺紋構(gòu)件從上方向下方貫穿上述連結(jié)構(gòu)件，與上述結(jié)合組件 螺紋配合。本發(fā)明的探針裝置還能夠包括布線片狀體，其被配置在上述結(jié)合組件的下側(cè)，是 使后端部向上述結(jié)合組件的上側(cè)折返而形成的，且在前端部的下表面具有多個連接部，并 且具有從該連接部向后方延伸的多個第1布線；連接組件，其被配置在上述結(jié)合組件的后 端部與上述支承組件之間，并安裝在上述結(jié)合組件或上述支承組件上；連接片狀體，其以從 該連接組件向后方延伸的狀態(tài)前端部被安裝在上述連接組件的下側(cè)，并且其具有向前后方
4向延伸的多個第2布線，各第2布線的前端部與上述第1布線接觸；彈性體，其被配置在上 述連接組件的下側(cè)且與上述第1和第2布線的接觸部相對應(yīng)的部位。在本發(fā)明的探針裝置中，將結(jié)合組件組裝到支承組件的下側(cè)的組裝裝置包括凹 部，其形成在結(jié)合組件和支承組件中的任一方；連結(jié)構(gòu)件，其與該凹部嵌合；第1螺紋構(gòu)件， 其用于將該連結(jié)構(gòu)件組裝到結(jié)合組件或支承組件上；第2螺紋構(gòu)件，其沿上下方向貫穿連 結(jié)構(gòu)件，與結(jié)合組件和上述支承組件中的另一方螺紋配合。因此，能夠在使結(jié)合組件從支承組件分離的狀態(tài)下進行探針組裝體和布線片狀體 的更換。還能夠在使結(jié)合組件從支承組件分離并且使探針組裝體從結(jié)合組件分離的狀態(tài)下 進行探針的更換。而且能夠在使結(jié)合組件從支承組件分離并且使連接組件從支承組件分離 的狀態(tài)下進行連接片狀體的更換。作為上述結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明，與現(xiàn)有技術(shù)相比，簡化組裝裝置的形狀和構(gòu)造，使包 括探針在內(nèi)的消耗品的更換作業(yè)變得容易。


圖1是表示本發(fā)明的探針裝置的一實施例的主視圖。圖2是圖1所示的探針裝置的右側(cè)視圖。圖3是圖1所示的探針裝置的俯視圖。圖4是圖3中的IV部分的放大圖。圖5是圖1的V-V剖視圖。圖6是分解表示圖1所示的探針裝置的剖視圖。圖7是去除了探針組裝體和結(jié)合組件之后的主視圖。圖8是表示將結(jié)合組件組裝到支承組件上的組裝裝置的一實施例的分解立體圖。圖9是放大表示探針組裝體的一部分的主視圖。圖10是圖9所示的探針組裝體的右側(cè)視圖。圖11是圖9的XI-XI剖視圖。圖12是表示探針的后端針尖及其附近的一實施例的放大剖視圖。圖13是表示探針、組件片處的凹部和凸部及它們的附近的一實施例的放大剖視 圖。圖14是彈性體及其附近的放大剖視圖。圖15是表示探針組裝體的其他的實施例的剖視圖。
具體實施例方式在本發(fā)明中，在圖1中，將上下方向稱為上下方向或Z方向，將左右方向稱為左右 方向或X方向，將紙背方向稱為前后方向或Y方向。但是，這些方向根據(jù)像工作臺那樣收納 于面板收納部的被檢查體的姿勢而不同。因此，本發(fā)明的探針裝置是以如下這樣的狀態(tài)安裝在試驗裝置上來使用的在本 發(fā)明中所說的上下方向(Z方向)實際上有可能是上下方向的狀態(tài)、上下顛倒的狀態(tài)、傾斜 方向的狀態(tài)等中的任一方向的狀態(tài)。實施例
參照圖1 圖4，探針裝置10以局部顯示于圖2、5、10、11和15中的液晶顯示面 板作為被檢查體12，用于被檢查體12的點亮檢查。被檢查體12具有長方形的形狀，此外， 在至少與長方形的相鄰2個邊相對應(yīng)的緣部以規(guī)定的節(jié)距形成有多個電極14(參照圖10、 11和15)。各電極14具有沿與配置有該電極14的緣部正交的方向(X方向或Y方向)延 伸的帶狀的形狀。參照圖1 圖5，探針裝置10包括探針組裝體16 ；支承組件18，其用于支承探針 組裝體16 ；連結(jié)組件20，其連結(jié)支承組件18 ；結(jié)合組件22，其被支承在支承組件18的下側(cè) (Z方向上的任一側(cè))；組裝裝置24，其用于將結(jié)合組件22組裝到支承組件18的下側(cè)；布線 片狀體26，其被支承在結(jié)合組件22的下側(cè)；連接組件28，其被安裝在支承組件18的下側(cè)。通過在安裝于試驗裝置的主體框(未圖示)上的平板狀的探針基座30上組裝有 連結(jié)組件20，探針裝置10作為試驗裝置的一部分組裝在試驗裝置上。參照圖9 圖11，在探針組裝體16中，由導(dǎo)電性材料制作的多個探針32以在左右 方向上隔開間隔地向后方延伸的狀態(tài)配置于在前后方向上隔開間隔地組裝在組件片34的 下表面的一對槽桿36上，具有圓形的橫截面形狀的桿構(gòu)件38貫穿探針32，兩桿構(gòu)件38的 端部通過一對覆蓋件40組裝到組件片34上。如圖11所示，各探針32是板型的針，包括呈矩形的板狀的針主體部32a ；從針主 體部32a的前端向前方一體延伸的前端區(qū)域32b ；從針主體部32a的后端向后方一體延伸 的后端區(qū)域32c ；從前端區(qū)域32b的前端向下方彎曲的前端針尖32d ；從后端區(qū)域32c的后 端向上方彎曲而成的后端針尖32e。前端針尖32d和后端針尖32e形成為三角形且尖銳。組件片34和各槽桿36均由具有電絕緣性的陶瓷、合成樹脂等形成，具有左右方向 較長的棱柱狀的形狀。各槽桿36由電絕緣性的材料制作成棱柱狀的形狀，并以沿左右方向延伸的狀態(tài) 安裝在組件片34的前部下表面和后部下表面。如圖9 圖12所示，各槽桿36在下表面具 有沿著長度方向(左右方向)隔開規(guī)定的間隔地向前后方向延伸并向下方開放的多個槽 42。桿構(gòu)件38在圖示的例子中具有圓形的截面形狀，并且由如陶瓷那樣的硬質(zhì)的電 絕緣性的材料形成。桿構(gòu)件38貫穿探針32的針主體部32a。但是，桿構(gòu)件38既可以是用 電絕緣性的材料覆蓋導(dǎo)電性的材料而形成的構(gòu)件，也可以具有矩形、六邊形等多邊形那樣 的其他的橫截面形狀。各探針32以針主體部32a的厚度方向為左右方向，且在前端針尖32d和后端針尖 32e分別從組件片34向前方和后方突出的狀態(tài)下并列地配置在槽桿36上，而且使前端區(qū)域 32b和后端區(qū)域32c與槽桿36的槽42嵌合。如圖1和9所示，各覆蓋件40由位于內(nèi)側(cè)的板狀的覆蓋構(gòu)件40a和位于其外側(cè)的 板狀的覆蓋構(gòu)件40b形成。還如圖1、2、9和10所示，各覆蓋件40利用貫穿覆蓋構(gòu)件40a、40b而與組件片34 左右方向的端部螺紋配合的多個螺紋構(gòu)件44能夠拆卸地安裝在組件片34左右方向的側(cè)面。而且，各覆蓋件40利用多個定位銷46相對于組件片34定位。各定位銷46以從組 件片34左右方向的端部向左右方向突出的狀態(tài)安裝在該端部，并且插入兩覆蓋構(gòu)件40a、
640b。內(nèi)側(cè)的各覆蓋構(gòu)件40a具有收納桿構(gòu)件38的端部的孔48 (參照圖9)。由此，桿構(gòu) 件38與覆蓋構(gòu)件40a和40b —同利用螺紋構(gòu)件44和定位銷46安裝在組件片34上并進行 定位。如圖10、11和13所示，前側(cè)的槽桿36和各探針32分別在后端部和前端部具有向 后方突出的凸部50和向前方開放的凹部52。凸部50和凹部52具有日文二字狀的截面形 狀，并且互相嵌合。此外，凸部50和凹部52分別包括位于下方(Z方向上的任一側(cè))的下緣部和上 緣部50a和52a ；位于上方(Z方向上的另一側(cè))的上緣部和下緣部50b和52b。凸部50的下緣部50a和凹部52的下緣部52b朝向下方，凸部50的上緣部50b和 凹部52的上緣部52a朝向上方。凹部52的上緣部52a越向后方側(cè)去越低。由此，在凹部 52的內(nèi)側(cè)底部下側(cè)形成有付加的凹部52c。探針組裝體16還包括在左右方向上隔開間隔的多個定位銷54 (參照圖1)。各定 位銷54安裝在組件片34上，并從組件片34向上方延伸。而且，各定位銷54嵌合在設(shè)于結(jié) 合組件22的定位孔(未圖示)中，與該定位孔一同將探針組裝體16相對于結(jié)合組件22定 位。也可以與上述相反地在結(jié)合組件22上設(shè)有定位銷54，在組件片34上設(shè)有定位孔。各探針32以如下所述狀態(tài)配置在槽桿36上凸部50和凹部52相互嵌合，且桿構(gòu) 件38貫穿探針32，而且在前端區(qū)域32b和后端區(qū)域32c與槽42嵌合。此外，那樣的槽桿36利用螺紋構(gòu)件、粘接劑等像上述那樣組裝到組件片34上，并 且覆蓋件40像上述那樣組裝到組件片34上，從而將各探針32組裝在組件片34上來進行 保持。如圖6和8所示，結(jié)合組件22具有配置了探針組裝體16的向下臺階部56。向下 臺階部56在結(jié)合組件22的下部的前端部向左右方向延伸。如圖1、5和6所示，探針組裝體16利用從上方向下方貫穿結(jié)合組件22的通孔57 而與設(shè)于組件片34的內(nèi)螺紋孔58螺紋配合的帶頭部的螺紋構(gòu)件60，在定位銷54插入上述 定位孔的狀態(tài)下被保持在向下臺階部56上。在圖中，相鄰的探針32在左右方向上隔開較大間隔，但是實際上探針32的排列節(jié) 距較小。探針32的個數(shù)、厚度尺寸、排列節(jié)距以及槽桿36的槽的個數(shù)、配置節(jié)距、寬度尺寸 根據(jù)被檢查體12的種類特別是電極的配置節(jié)距和寬度尺寸不同而不同。探針組裝體16能夠通過以下方式來組裝，即以在上述狀態(tài)下將兩槽桿36安裝到 組件片34的狀態(tài)，將各探針32的兩端部插入槽桿36的槽42，并且使凸部50和凹部52嵌 合，使桿構(gòu)件38穿過探針32和覆蓋構(gòu)件40a，之后利用螺紋構(gòu)件44和定位銷46將各覆蓋 件40安裝到組件片34上。也可以在將兩槽桿36安裝到組件片34上后，將一方的覆蓋件40安裝到組件片34 上。能通過執(zhí)行與上述相反的作業(yè)來進行探針組裝體16的分解。能通過執(zhí)行與上述 相反的作業(yè)并將原先的探針換成新的探針之后，執(zhí)行與上述相同的作業(yè)來進行探針32的更換。
在將定位銷54 (參照圖1和6)插入結(jié)合組件22的上述定位孔中的狀態(tài)下使螺紋 構(gòu)件60從上方向下方通過結(jié)合組件22的通孔57而與組件片34的上述內(nèi)螺紋孔螺紋配合， 從而能夠?qū)⑻结樈M裝體16組裝到結(jié)合組件22上。從結(jié)合組件22卸下探針組裝體16能夠通過執(zhí)行與上述相反的作業(yè)來進行。在該實施例中，組件片34和槽桿36構(gòu)成在上下方向上的一端側(cè)(下方側(cè))沿左 右方向隔開間隔地并列配置有多個探針32的探針保持架。參照圖1 7，支承組件18由板狀的2個支承部18a和18b制作成L字狀的橫截 面形狀。連結(jié)組件20由安裝在探針基座30上的主體部20a和從主體部20a的上部向前方 延伸的延長部20b構(gòu)成倒L字狀的形狀。在圖示的例子中，支承組件18與結(jié)合組件22 —起形成支承體，螺紋構(gòu)件60作為 將探針組裝體16安裝到結(jié)合組件22上的組裝件而發(fā)揮作用。支承組件18利用沿左右方向隔開間隔并沿上下方向延伸的一對導(dǎo)軌62和在兩導(dǎo) 軌62之間沿上下方向延伸的導(dǎo)向件64能夠沿上下方向移動地與連結(jié)組件20的主體部20a 的前表面連結(jié)，并且利用螺栓66能調(diào)整上下方向的位置地與連結(jié)組件20的延長部20b連結(jié)。兩導(dǎo)軌62和導(dǎo)向件64分別是線性軌道和線性導(dǎo)向件。兩導(dǎo)軌62安裝在支承組 件18的支承部18a的后端面。相對于此，導(dǎo)向件64配置在左右方向的兩導(dǎo)軌62之間，并 且安裝在連結(jié)組件20的主體部20a的前端面，由兩導(dǎo)軌62引導(dǎo)從而能夠沿上下方向移動。螺栓66從上方向下方貫穿連結(jié)組件20的延長部20b，而且與形成在支承組件18 上的螺紋孔68螺紋配合。如圖1所示，支承組件18由沿左右方向隔開間隔地配置的一對 壓縮螺旋彈簧70向下方施力。各壓縮螺旋彈簧70以沿上下方向貫穿連結(jié)組件20的延長部20b的狀態(tài)配置在支 承組件18和板狀的彈簧按壓件72之間，該彈簧按壓件72利用多個螺紋構(gòu)件71 (參照圖3 和5)安裝在連結(jié)組件20的延長部20b上，。由此，通過調(diào)整螺栓66旋入螺紋孔68中的旋 入量，能調(diào)整支承組件18以及探針組裝體16的高度位置。彈簧按壓件72具有從上方插入螺絲刀那樣的工具的前端部來調(diào)整螺栓66的旋轉(zhuǎn) 量的通孔72a。由此，不將彈簧按壓件72從支承組件18取下就能夠調(diào)整支承組件18以及 探針組裝體16的高度位置，所以容易進行那樣的高度位置調(diào)整。如圖5所示，連結(jié)組件20利用從上方向下方貫穿連結(jié)組件20并與探針基座螺紋 配合的多個螺栓76能拆卸地安裝在探針基座30上。各螺栓76從上方向下方貫穿連結(jié)組 件20的主體部20a，并與形成在探針基座30上的螺紋孔78螺紋配合。參照圖1 8，組裝裝置24包括形成在結(jié)合組件22上的凹部80 (參照圖6和8)； 嵌合在凹部80中的連結(jié)構(gòu)件82 ；將連結(jié)構(gòu)件82組裝到支承組件18的下側(cè)而使支承組件 18支承連結(jié)構(gòu)件82的多個螺紋構(gòu)件84 (參照圖3和7)；沿上下方向貫穿連結(jié)構(gòu)件82的通 孔85而與結(jié)合組件22的螺紋孔88螺紋配合的螺紋構(gòu)件86。凹部80和連結(jié)構(gòu)件82具有圓形的橫截面形狀。此外，如圖3和7所示，螺紋構(gòu)件 84從上方向下方貫穿支承組件18的支承部18b，與連結(jié)構(gòu)件82的內(nèi)螺紋孔83 (參照圖7 和8)螺紋配合。而且，螺紋構(gòu)件86的下端部與設(shè)于結(jié)合組件22上的內(nèi)螺紋孔88螺紋配
I=I ο
在圖示的例子中，如圖6所示，內(nèi)螺紋孔88是形成在不能位移地組裝到結(jié)合組件 22的主體部22a的螺母22b中的，然而也可以如圖8所示直接形成在主體部22a上。能夠在定位銷54(參照圖1)插入結(jié)合組件22的上述的定位孔中的狀態(tài)下，將螺 紋構(gòu)件60從上方向下方通過結(jié)合組件22的通孔57而與組件片34的內(nèi)螺紋孔58螺紋配 合，從而將探針組裝體16組裝到結(jié)合組件22上。組裝裝置24通過利用螺紋構(gòu)件84將連結(jié)構(gòu)件82安裝到支承組件18上，并使螺 紋構(gòu)件86沿上下方向貫穿連結(jié)構(gòu)件82而與內(nèi)螺紋孔88螺紋配合，從而將結(jié)合組件22組 裝到支承組件18的支承部18b的下側(cè)。組裝裝置24還通過凹部80和連結(jié)構(gòu)件82嵌合，將結(jié)合組件22相對于支承組件 18保持在由左右方向和前后方向形成的XY面內(nèi)的規(guī)定的位置。在圖示的例子中，組裝裝置24還包括凹部90，其形成在結(jié)合組件22上，在XY面 內(nèi)延伸，與凹部80連通；銷構(gòu)件92，其從連結(jié)構(gòu)件82在XY面內(nèi)延伸，且被收納在凹部90 中；一對凹部94，其形成在支承組件18的支承部18b的下表面上，且朝向連結(jié)構(gòu)件82側(cè)開 放；一對銷構(gòu)件96，其向連結(jié)構(gòu)件82的上方延伸，被收納在凹部94中。凹部90和銷構(gòu)件92在XY面內(nèi)的比螺紋構(gòu)件86靠前方的位置向一方向(在圖示 的例子中為X方向)延伸。相對于此，兩凹部94和兩銷構(gòu)件96分別在與凹部90和銷構(gòu)件 92延伸的方向交叉的方向、優(yōu)選正交的方向(在圖示的例子中為Y方向)上分離。組裝裝置24利用上述凹部90、94和銷構(gòu)件92、96將結(jié)合組件22相對于支承組件 18保持在左右方向和前后方向上的規(guī)定的位置，并且保持在沿上下方向延伸的θ軸線周 圍的規(guī)定的角度位置。也可以在支承組件18上設(shè)有凹部80，將連結(jié)構(gòu)件82螺紋固定在結(jié)合組件22上。 還可以將凹部90、94和銷構(gòu)件92、96設(shè)于與上述相反的構(gòu)件上。能夠在使銷構(gòu)件96位于相對應(yīng)的凹部94的狀態(tài)下，利用螺紋構(gòu)件84將連結(jié)構(gòu)件 82安裝到支承組件18的下側(cè)，接著使連結(jié)構(gòu)件82與凹部80嵌合，使銷構(gòu)件92位于相對應(yīng) 的凹部90的狀態(tài)下，使螺紋構(gòu)件86與結(jié)合組件22的內(nèi)螺紋孔88螺紋配合，從而將結(jié)合組 件22組裝到支承組件18上。從支承組件18卸下結(jié)合組件22能夠通過執(zhí)行與上述相反的作業(yè)進行。如圖2、5和6所示，布線片狀體26為復(fù)合電路片狀體，包括由撓性印刷布線電路 (FPC)形成的前部區(qū)域26a;由與前部區(qū)域26a的后端部相連的陽極片(TAB)形成的中間區(qū) 域26b ；由與中間區(qū)域26b的后端部相連的撓性印刷布線電路(FPC)形成的后部區(qū)域26c。如圖2、5、6、8、11和12所示，利用固定板100將布線片狀體26設(shè)置于結(jié)合組件22 的下側(cè)，并將驅(qū)動被檢查體12的集成電路102配置在中間區(qū)域26b。布線片狀體26的前部區(qū)域26a在前端部下表面具有在左右方向上隔開間隔的多 個連接焊盤(land) 104(參照圖11、12)，并且具有從連接焊盤104向后方在左右方向上隔開 間隔地并列延伸的多條布線106 (參照圖11、12和14)。也可以替代將設(shè)于各布線106的連接焊盤104作為后端針尖32e和布線片狀體26 的布線106的連接部，而以各布線106的一部分作為那樣的連接部。布線片狀體26的中間區(qū)域26b具有在左右方向上隔開間隔的多條前側(cè)布線和在 左右方向上隔開間隔的多條后側(cè)布線。前側(cè)布線在其前端部與布線106的后端部連接，并且在后端部與集成電路102的輸出端子連接。相對于此，后側(cè)布線在前端部與集成電路102 的輸入端子連接。布線片狀體26的后部區(qū)域26c具有在左右方向上隔開間隔的多條布線，而且這些 布線在其前端部與中間區(qū)域26b的后側(cè)布線連接。布線片狀體26在后部區(qū)域26c的后端 部向結(jié)合組件22的上側(cè)折返，使布線106的后端部朝向上方(參照圖8和圖14)。參照圖2、5和6，連接組件28在支承組件18的下側(cè)沿左右方向延伸，且位于結(jié)合 組件22的后端部和支承組件18之間。連接組件28利用在左右方向上隔開間隔的多個螺 紋構(gòu)件110和在前后方向上隔開間隔的多個定位銷112能夠分離地安裝在支承組件18的 下側(cè)。各螺紋構(gòu)件110從下方向上方貫穿連接組件28而與支承組件18螺紋配合。各定 位銷112以沿上下方向延伸的狀態(tài)固定在連接組件28和支承組件18中的任一方上，與設(shè) 于連接組件28和支承組件18中的另一方中的定位孔嵌合。參照圖2、5、6和14，探針裝置10還包括連接片狀體114，其以從連接組件28向 后方延伸的狀態(tài)前端部安裝在連接組件28的下側(cè)；彈性體116，其安裝在連接組件的下側(cè)。連接片狀體114具有在左右方向上隔開間隔并沿前后方向延伸的多條布線 118(參照圖14)。各布線118的至少前端部在連接片狀體114的下表面露出，與折返到布 線片狀體26的上方的布線106接觸。連接片狀體114的布線118在探針裝置10組裝在試驗裝置上的狀態(tài)下與試驗裝 置的電路連接。因此，各探針32經(jīng)由布線片狀體26的布線106、集成電路102和連接片狀 體114的布線118與試驗裝置的電路連接。彈性體116位于連接組件28的下側(cè)，且被配置在與布線片狀體26的布線和連接 片狀體114的布線118的接觸部相對應(yīng)的部位。因此，彈性體116、布線片狀體26的布線 106和連接片狀體114的布線118在結(jié)合組件22和連接組件28組裝在支承組件18上的狀 態(tài)下被壓縮變形(參照圖14)。由此，布線片狀體26的布線106和連接片狀體114的布線 118被較強地按壓從而可靠地接觸。在螺紋構(gòu)件86穿過連結(jié)構(gòu)件82的狀態(tài)下將連結(jié)構(gòu)件82安裝到支承組件18上， 將探針組裝體16安裝到結(jié)合組件22上，將連接組件28安裝到支承組件18上后，將螺紋構(gòu) 件86旋入結(jié)合組件22的內(nèi)螺紋孔88中，從而將結(jié)合組件22安裝到支承組件18上。能夠通過解除螺紋構(gòu)件86與內(nèi)螺紋孔88的螺紋配合來從支承組件18卸下結(jié)合 組件22。因此，能夠在使結(jié)合組件22從支承組件18分離的狀態(tài)下進行探針組裝體16和布 線片狀體26的更換。此外，能夠在使結(jié)合組件22從支承組件18分離、使探針組裝體16從 結(jié)合組件22分離的狀態(tài)下進行探針32的更換。而且，能夠在使結(jié)合組件22從支承組件18 分離、使連接組件28從支承組件18分離的狀態(tài)下進行連接片狀體114的更換。作為上述結(jié)果，采用探針裝置10，與現(xiàn)有技術(shù)相比，簡化組裝裝置24的形狀和構(gòu) 造，并且使包括探針32在內(nèi)的消耗品的更換作業(yè)變得容易。在像上述那樣將結(jié)合組件22組裝到支承組件18上時，如圖12所示，各探針32的 后端針尖32e被按壓于布線片狀體26的連接焊盤104上。后端針尖32e向連接焊盤104 的押壓如以下那樣地作用于各探針32。
10
為了使前端針尖32d向上方位移，各探針32在圖11中受到順時針方向的旋轉(zhuǎn)力， 如圖13所示，凹部52的下緣部52a被按壓于槽桿36的凸部50的下緣部50a，并且凹部52 的上緣部52b被按壓于槽桿36的凸部50的上緣部50b。由此，對于探針32而言，即使在互相嵌合的凸部50和凹部52上存在由在設(shè)計上 和加工上的公差而引起的間隙，也能夠?qū)⑶岸酸樇?2d保持在相同的高度位置。其結(jié)果，探 針相對于探針保持架的位移量的差顯著地減小，能夠進行準(zhǔn)確的試驗。探針32的前端針尖向上方位移時，凹部52的付加凹部52c作為凸部50的后端下 部的退避空間而發(fā)揮作用。此外探針32被按壓在槽桿36上，防止向左右方向進行位移。在對被檢查體進行試驗的試驗裝置中，使用了將具有上述那樣的形狀構(gòu)造的多個 探針裝置10配置到探針基座30上的多個探針單元。參照圖15，探針組裝體120還包括位于前后的槽桿36、36之間、在探針122的上方 沿左右方向延伸的止擋構(gòu)件124。止擋構(gòu)件124由在探針122的上側(cè)沿左右方向延伸的板 狀的主體部124a和在探針122與后側(cè)的槽桿36之間沿左右方向延伸并向下方突出的板狀 的突部124b制作成倒L字狀的截面形狀。各探針122包括前側(cè)凸部122a，其從前端側(cè)的凹部52的內(nèi)側(cè)底部突出到前端， 與前側(cè)的槽桿36的凸部50抵接；上側(cè)突部122b，其與止擋構(gòu)件124的主體部124a的下表 面和突部124b的前表面抵接。各探針122在后端針尖32e被按壓于連接片狀體26的連接焊盤104的狀態(tài)下、前 端針尖32d被按壓于被檢查體12的電極14時，凸部122a被較強地按壓于前側(cè)的槽桿36 的突出部50。由此，可靠地防止探針122相對于探針保持架向左右方向、前后方向和上下方 向進行位移。圖15所示的探針組裝體120不具有沿左右方向延伸并貫穿探針122的桿構(gòu)件38。 但是，也可以具有那樣的桿構(gòu)件38。在上述實施例中，凸部50和凹部52也可以與上述相反分別設(shè)于探針和探針保持 架中的任一側(cè)。在該情況下，在圖15的實施例中，凸部122a能設(shè)在前側(cè)的槽桿36上。此外，也可以代替板型的探針，使用由金屬細線制作的針型的探針、將各布線的一 部分用作探針的探針元件等其他的探針。本發(fā)明不僅能夠應(yīng)用于液晶顯示面板用的探針裝置，還能夠應(yīng)用于形成有薄膜晶 體管的玻璃基板那樣的其他顯示用基板用的探針裝置、集成電路那樣的其他平板狀被檢查 體用的探針裝置。本發(fā)明不限定于上述實施例，只要不脫離權(quán)利要求書記載的要旨就能進行各種變更。
權(quán)利要求
一種探針裝置，其特征在于，包括支承組件；結(jié)合組件，其被配置在該支承組件的下側(cè)；組裝裝置，其用于將該結(jié)合組件組裝到上述支承組件的下側(cè)；探針組裝體，其包括具有前端針尖和后端針尖的多個探針和配置有該探針的探針保持架，且上述探針以在左右方向上隔開間隔地沿前后方向延伸的狀態(tài)配置在上述探針保持架上，并組裝在上述結(jié)合組件的下側(cè)，上述組裝裝置包括凹部，其形成于上述結(jié)合組件和上述支承組件中的任一方；連結(jié)構(gòu)件，其嵌合在該凹部中；第1螺紋構(gòu)件，其用于將該連結(jié)構(gòu)件組裝到上述結(jié)合組件或上述支承組件上；第2螺紋構(gòu)件，其沿上下方向貫穿上述連結(jié)構(gòu)件而與上述結(jié)合組件和上述支承組件中的另一方螺紋配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針裝置，上述凹部和上述連結(jié)構(gòu)件具有圓形或多邊形的橫截面形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針裝置，上述組裝裝置還包括第2凹部，其形成于上述結(jié)合組件和上述支承組件中的上述任 一方，并且在由左右方向和前后方向形成的XY面內(nèi)延伸，其與形成在上述結(jié)合組件和上述 支承組件中的上述任一方的上述凹部連通；銷構(gòu)件，其從上述連結(jié)構(gòu)件在上述XY面內(nèi)延 伸，被收納在上述第2凹部中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針裝置，上述組裝裝置還包括第3凹部，其形成于上述連結(jié)構(gòu)件和上述支承組件中的上述任 一方，并且朝向上述連結(jié)構(gòu)件和上述支承組件中的另一方側(cè)開放；第2銷構(gòu)件，其從上述連 結(jié)構(gòu)件和上述支承組件中的另一方沿上下方向延伸，被收納在上述第3凹部中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針裝置，上述結(jié)合組件在前端側(cè)具有朝向下方且配置有上述探針組裝體的臺階部，并且具有供 上述連結(jié)構(gòu)件嵌合的上述凹部，還具有供上述第2螺紋構(gòu)件螺紋配合的內(nèi)螺紋孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針裝置，上述凹部形成在上述結(jié)合組件上，上述連結(jié)構(gòu)件由上述第1螺紋構(gòu)件安裝在上述支承 組件上，上述第1螺紋構(gòu)件從上方向下方貫穿上述連結(jié)構(gòu)件而與上述結(jié)合組件螺紋配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針裝置，該探針裝置還包括布線片狀體，其被配置在上述結(jié)合組件的下側(cè)，是使后端部向上述結(jié)合組件的上側(cè)折 返而形成的，且在前端部的下表面具有多個連接部，并且具有從該連接部向后方延伸的多 個第1布線；連接組件，其被配置在上述結(jié)合組件的后端部與上述支承組件之間，并被安裝在上述 結(jié)合組件或上述支承組件上；連接片狀體，其以從該連接組件向后方延伸的狀態(tài)前端部安裝在上述連接組件的下 側(cè)，并且具有向前后方向延伸的多個第2布線，各第2布線的前端部與上述第1布線接觸；彈性體，其被配置在上述連接組件的下側(cè)且與上述第1和第2布線的接觸部相對應(yīng)的 部位。
全文摘要
本發(fā)明提供一種探針裝置，能夠盡可能地減小探針相對于探針保持架的位移量的差，進行準(zhǔn)確的試驗。在探針裝置中，將結(jié)合組件組裝到支承組件的下側(cè)的組裝裝置包括凹部，其形成在結(jié)合組件和支承組件中的任一方；連結(jié)構(gòu)件，其與該凹部嵌合；第1螺紋構(gòu)件，其用于將該連結(jié)構(gòu)件組裝到結(jié)合組件或支承組件上；第2螺紋構(gòu)件，其沿上下方向貫穿連結(jié)構(gòu)件而與結(jié)合組件和上述支承組件中的另一方螺紋配合。
文檔編號G01R31/00GK101968501SQ20101023907
公開日2011年2月9日 申請日期2010年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月27日
發(fā)明者久我智昭 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司