探針單元、陣列基板的檢測設(shè)備及檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種探針單元、陣列基板的檢測設(shè)備及檢測方法，涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，能夠解決現(xiàn)有的陣列基板的檢測設(shè)備適用范圍窄的問題，降低檢測成本。其中所述探針單元包括M個探針，用于輸出不同檢測信號的N個檢測信號端，及多個控制開關(guān)，所述多個控制開關(guān)分成M組，每組包括N個控制開關(guān)，M組控制開關(guān)一一對應(yīng)地控制所述M個探針，每組的N個控制開關(guān)均與對應(yīng)的探針電連接，且每組的N個控制開關(guān)一一對應(yīng)地與所述N個檢測信號端電連接；其中，M≥2，且N≥2。上述探針單元用于對陣列基板進行檢測。
【專利說明】
探針單元、陣列基板的檢測設(shè)備及檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種探針單元、陣列基板的檢測設(shè)備及檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜晶體管液晶顯不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display，以下簡稱TFT-LCD)的制備工藝中，在陣列基板的制備完成后，為了保證產(chǎn)品的質(zhì)量，需要采用陣列基板的檢測設(shè)備對陣列基板上的線路和像素進行檢測，確定線路是否存在短路、斷路以及是否存在不良像素等問題，以篩選出不合格的產(chǎn)品。
[0003]如圖1和圖2所示，陣列基板的檢測設(shè)備中一般包括探針單元I和用于產(chǎn)生驅(qū)動信號的信號發(fā)生器，其中，探針單元I包括多個探針11和與多個探針11一一對應(yīng)的電連接的多個檢測信號端12。檢測時，將探針單元I中探針11與待測陣列基板中信號線G0、GE、C0M、D0、DE的引出端21對應(yīng)的電連接，利用信號發(fā)生器產(chǎn)生對各信號線進行檢測所需要的檢測信號，檢測信號依次通過檢測信號端12、探針11和信號線的引出端21加載在信號線上，從而實現(xiàn)對信號線的檢測。
[0004]但是，上述檢測方式存在如下問題:從圖1中可以看出，陣列基板上的信號線的類型是不同的，包括奇數(shù)行柵線G0、偶數(shù)行柵線GE、公共電極線C0M、奇數(shù)行數(shù)據(jù)線D0、偶數(shù)行數(shù)據(jù)線DE等，對不同類型的信號線進行檢測需要不同的檢測信號，探針單元中的探針11需要按照信號線的位置順序輸出相應(yīng)的檢測信號，但是不同型號的陣列基板上的信號線的位置有所不同，這就造成一種陣列基板的檢測設(shè)備只能適用于一種型號的陣列基板的檢測，陣列基板的檢測設(shè)備的適用范圍很窄，同時檢測不同型號的陣列基板需要配備不同的陣列基板的檢測設(shè)備，這無疑造成了檢測成本的增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種探針單元、陣列基板的檢測設(shè)備及檢測方法，以解決現(xiàn)有的陣列基板的檢測設(shè)備適用范圍窄的問題，降低檢測成本。
[0006]為達到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0007]本發(fā)明的第一方面提供了一種探針單元，包括M個探針，及用于輸出不同檢測信號的N個檢測信號端，所述探針單元還包括多個控制開關(guān)，所述多個控制開關(guān)分成M組，每組包括N個控制開關(guān)，M組控制開關(guān)一一對應(yīng)地控制所述M個探針，每組的N個控制開關(guān)均與對應(yīng)的探針電連接，且每組的N個控制開關(guān)一一對應(yīng)的與所述N個檢測信號端電連接;其中，M多2，且N彡2。
[0008]在本發(fā)明所提供的探針單元中，增設(shè)了多個控制開關(guān)，多個控制開關(guān)分成M組，每組包括N個控制開關(guān)，M組控制開關(guān)一一對應(yīng)地控制探針單元中的M個探針，每組的N個控制開關(guān)均與對應(yīng)的探針電連接，且每組的N個控制開關(guān)一一對應(yīng)的與N個檢測信號端電連接，從而通過控制開關(guān)的打開和關(guān)閉，每個探針均能夠輸出N個檢測信號。當采用上述探針單元檢測陣列基板時，能夠根據(jù)陣列基板上信號線的順序，確定與信號線對應(yīng)的探針需要輸出哪種檢測信號，進而控制該探針與相應(yīng)檢測信號端通道上的控制開關(guān)打開，即可使該探針輸出所需要的檢測信號，因此本發(fā)明所提供的探針單元能夠適用于不同型號的陣列基板的檢測，適用范圍相對于現(xiàn)有技術(shù)中的探針單元更廣，從而也就無需為每種型號的陣列基板均相應(yīng)的搭配探針單元，降低了檢測成本。
[0009]本發(fā)明的第二方面提供了一種陣列基板的檢測設(shè)備，所述陣列基板的檢測設(shè)備包括:如本發(fā)明的第一方面所述的探針單元;信號發(fā)生器，所述信號發(fā)生器與所述探針單元電連接。
[0010]上述陣列基板的檢測設(shè)備的有益效果與本發(fā)明的第一方面所提供的探針單元的有益效果相同，此處不再贅述。
[0011]本發(fā)明的第三方面提供了一種陣列基板的檢測方法，所述陣列基板的檢測方法應(yīng)用于如本發(fā)明的第二方面所述的陣列基板的檢測設(shè)備，所述陣列基板的檢測方法包括:將所述陣列基板的檢測設(shè)備的探針單元與待測陣列基板電連接;根據(jù)所述待測陣列基板上各信號線的順序，確定與各信號線電連接的各探針需要輸出的檢測信號;根據(jù)各探針需要輸出的檢測信號，控制各探針與相應(yīng)檢測信號端通道上的控制開關(guān)打開，且控制其余控制開關(guān)關(guān)閉O
[0012]上述陣列基板的檢測方法的有益效果與本發(fā)明的第一方面所提供的探針單元的有益效果相同，此處不再贅述。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
[0014]圖1為現(xiàn)有的探針單元中探針與待測陣列基板上信號線的引出端的連接關(guān)系示意圖；
[0015]圖2為現(xiàn)有的探針單元中探針與檢測信號端的連接關(guān)系示意圖；
[0016]圖3為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖4a為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元的控制開關(guān)的結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0018]圖4b為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元的控制開關(guān)的結(jié)構(gòu)示意圖二；
[0019]圖5為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元的載體盒的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖6為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元的載體盒的頂部載板的平面示意圖；
[0021]圖7a為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元中探針、控制開關(guān)和檢測信號端的連接結(jié)構(gòu)不意圖一；
[0022]圖7b為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元中探針、控制開關(guān)和檢測信號端的連接結(jié)構(gòu)示意圖二；
[0023]圖8為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元中設(shè)置多個支架的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖9為本發(fā)明實施例一所提供的探針單元中的備用探針、控制開關(guān)和檢測信號端的連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]附圖標記說明:
[0026]1-探針單元；11-探針；
[0027]12-檢測信號端；13-控制開關(guān)；
[0028]131-基體；131a-承載構(gòu)件；
[0029]131b-導(dǎo)電彈片；132-施力構(gòu)件；
[0030]133-導(dǎo)電構(gòu)件；2-待測陣列基板；
[0031]21-引出端；3-載體盒；
[0032]31-頂部載板；32-底部載板；
[0033]4-導(dǎo)線槽；5-支架；
[0034]6-備用探針。
【具體實施方式】
[0035]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其它實施例，均屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0036]需要說明的是，以下各實施例結(jié)合的附圖中所示出的探針、檢測信號端、控制開關(guān)、信號線的引出端、待測陣列基板、支架、以及備用探針的具體數(shù)量僅僅為示意說明，并不代表各自的實際數(shù)量。
[0037]實施例一
[0038]如圖3所示，本實施例提供了一種探針單元1，該探針單元I包括M個探針11，用于輸出不同檢測信號的N個檢測信號端12和多個控制開關(guān)13，其中，M個探針11與待測陣列基板2中的信號線的引出端21對應(yīng)的電連接，利用信號發(fā)生器(圖中未示出)產(chǎn)生各信號線進行檢測所需要的檢測信號，檢測信號依次通過檢測信號端12、探針11和信號線的引出端21加載到信號線上。
[0039]探針單元I中探針11、檢測信號端12和控制開關(guān)13之間的連接關(guān)系為:如圖3所示，將多個控制開關(guān)13分成M組，每組包括N個控制開關(guān)13，M組控制開關(guān)一一對應(yīng)地控制M個探針11，每組的N個控制開關(guān)13均與對應(yīng)的探針11電連接，且每組的N個控制開關(guān)13——對應(yīng)地與N個檢測信號端12電連接;其中，M彡2，且N彡2。
[0040]在本實施例所提供的探針單元I中，由于在探針11與檢測信號端12連接的通道上增設(shè)控制開關(guān)13，并且探針11、檢測信號端12和控制開關(guān)13之間采用上述連接關(guān)系，因此每個探針11均與全部的N個檢測信號端12相連，且每個探針11與各檢測信號端12的各條通道上均有一控制開關(guān)13進行通道開啟或關(guān)閉的控制，也就是說，通過控制開關(guān)13的打開和關(guān)閉，每個探針11均能夠輸出N種檢測信號。當采用上述探針單元I檢測陣列基板時，能夠根據(jù)陣列基板上信號線的順序，確定與信號線對應(yīng)的探針需要輸出哪種檢測信號，進而控制該探針與相應(yīng)檢測信號端通道上的控制開關(guān)13打開，即可使該探針輸出所需要的檢測信號，因此本發(fā)明所提供的探針單元I能夠適用于不同型號的陣列基板的檢測，適用范圍相對于現(xiàn)有技術(shù)中的探針單元更廣，從而也就無需為每種型號的陣列基板均相應(yīng)的搭配探針單元，降低了檢測成本。
[0041]從另一方面來說，在現(xiàn)有技術(shù)中，由于不同型號陣列基板上信號線的排布順序不同，一種型號的陣列基板通常只能采用一種探針單元進行檢測，而為了減小檢測成本，在一定程度上，會對陣列基板上信號線的排布順序造成限制。采用本實施例所提供的上述方案，實現(xiàn)了不同型號的陣列基板僅用一種探針單元就可進行檢測，因此消除了對陣列基板上信號線的排布順序的限制，從而使得陣列基板的設(shè)計更加靈活多變。
[0042]本實施例中，控制開關(guān)13的實現(xiàn)結(jié)構(gòu)可以有多種，下面示例性地給出一種結(jié)構(gòu)。如圖4a和4b所示，控制開關(guān)13包括基體131、施力構(gòu)件132和導(dǎo)電構(gòu)件133，其中，基體131包括承載構(gòu)件131a和導(dǎo)電彈片131b，承載構(gòu)件131a上設(shè)置有安裝孔，導(dǎo)電彈片131b—端安裝在承載構(gòu)件131a的下表面上，另一端經(jīng)過所述安裝孔的下方;施力構(gòu)件132安裝于安裝孔內(nèi)，并且能夠相對于承載構(gòu)件131a沿安裝孔的軸向移動;導(dǎo)電構(gòu)件133設(shè)置在基體131和施力構(gòu)件132的下方。將導(dǎo)電彈片131b與探針11電連接，導(dǎo)電構(gòu)件133與檢測信號端12電連接;或者，將導(dǎo)電彈片131b與檢測信號端12電連接，導(dǎo)電構(gòu)件133與探針11電連接。如圖4a所示，當施力構(gòu)件132朝向?qū)щ姌?gòu)件133移動時，施力構(gòu)件132的端部抵頂導(dǎo)電彈片131b，使導(dǎo)電彈片131b與導(dǎo)電構(gòu)件133電接觸;如圖4b所示，當施力構(gòu)件132背向?qū)щ姌?gòu)件133移動時，導(dǎo)電彈片131b回彈，導(dǎo)電彈片131b與導(dǎo)電構(gòu)件133分離。
[0043]利用上述結(jié)構(gòu)，通過施力構(gòu)件132相對于導(dǎo)電構(gòu)件133進行上下移動，實現(xiàn)控制開關(guān)13的關(guān)閉或打開，從而實現(xiàn)探針11與檢測信號端12連接通道的斷開或連接。
[0044]優(yōu)選的，承載構(gòu)件131a的安裝孔的孔壁上設(shè)置有螺紋紋路，施力構(gòu)件132外壁也設(shè)置有螺紋紋路，施力構(gòu)件132與承載構(gòu)件131a的安裝孔進行螺紋連接。采用螺紋連接的方式，可以通過旋擰施力構(gòu)件132來實現(xiàn)施力構(gòu)件132相對于導(dǎo)電構(gòu)件133的向上或向下運動，實施起來更加方便、省力。
[0045]如圖5所示，可將多個控制開關(guān)13設(shè)置在一個載體盒3上，載體盒3包括頂部載板31和與頂部載板31相對的底部載板32，其中，頂部載板31用于安裝基體131中的承載構(gòu)件131a，承載構(gòu)件131a可通過嵌入的方式嵌在頂部載板31中，也可安裝在頂部載板31朝向底部載板32的下表面;底部載板32用于安裝導(dǎo)電構(gòu)件133，同樣的，導(dǎo)電構(gòu)件133可通過嵌入的方式嵌在底部載板32中，也可安裝在底部載板32朝向頂部載板31的上表面。
[0046]采用上述結(jié)構(gòu)，一方面，載體盒3為多個控制開關(guān)13提供了安裝的載體，對多個控制開關(guān)13的位置進行了固定；另一方面，在后續(xù)對控制開關(guān)13修理維護時，直接將載體盒3取出即可，從而使修理維護工作更加方便、易操作。
[0047]需要說明的是，頂部載板31和底部載板32的垂直距離不宜過大，應(yīng)滿足:施力構(gòu)件132朝向?qū)щ姌?gòu)件133進行移動時，當移動到一定位置后，施力構(gòu)件132端部抵頂?shù)膶?dǎo)電彈片131b可以與導(dǎo)電構(gòu)件133實現(xiàn)電接觸。
[0048]導(dǎo)電彈片131b與探針11可通過導(dǎo)線電連接，導(dǎo)電構(gòu)件133與檢測信號端12可通過導(dǎo)線電連接;或者，將導(dǎo)電彈片131b與檢測信號端12通過導(dǎo)線電連接，導(dǎo)電構(gòu)件133與探針11通過導(dǎo)線電連接。基于上述電連接的方式，如圖6所示，為了使導(dǎo)線的放置更加規(guī)整有序，還可在頂部載板31和底部載板32上還分別設(shè)置導(dǎo)線槽4，頂部載板31的導(dǎo)線槽用于放置與導(dǎo)電彈片131b電連接的導(dǎo)線，底部載板32的導(dǎo)線槽用于放置與導(dǎo)電構(gòu)件133電連接的導(dǎo)線。
[0049]為了使探針單元內(nèi)部的結(jié)構(gòu)更加簡潔和規(guī)整有序，控制開關(guān)13在載體盒3上優(yōu)選的可呈矩陣式排列，下面示例性的給出兩種排列方案。
[0050]方案一:如圖7a所示，多個控制開關(guān)13呈M行、N列排列，第一個探針與第一行的N個控制開關(guān)電連接，第一行的N個控制開關(guān)一一對應(yīng)地與N個檢測信號端電連接;第二個探針與第二行的N個控制開關(guān)電連接，第二行的N個控制開關(guān)一一對應(yīng)地與N個檢測信號端電連接;……；以此類推。
[0051]當?shù)谝粋€探針需要輸出第一個檢測信號端輸出的檢測信號時，將第一行第一列位置上的控制開關(guān)打開，第一行其他位置上的控制開關(guān)關(guān)閉，使第一個探針僅與第一個檢測信號端電連接；當?shù)谝粋€探針需要輸出第二個檢測信號端輸出的檢測信號時，將第一行第二列位置上的控制開關(guān)打開，第一行其他位置上的控制開關(guān)關(guān)閉，使第一個探針僅與第二個檢測信號端電連接;……；以此類推，可以實現(xiàn)每個探針按照需要輸出不同的檢測信號。
[0052]方案二:如圖7b所示，多個控制開關(guān)13呈N行、M列排列，第一個探針與第一列的N個控制開關(guān)電連接，第一列的N個控制開關(guān)一一對應(yīng)地與N個檢測信號端電連接;第二個探針與第二列的N個控制開關(guān)電連接，第二列的N個控制開關(guān)一一對應(yīng)地與N個檢測信號端電連接;……；以此類推。
[0053]當?shù)谝粋€探針需要輸出第一個檢測信號端輸出的檢測信號時，將第一列第一行位置上的控制開關(guān)打開，第一列其他位置上的控制開關(guān)關(guān)閉，使第一個探針僅與第一個檢測信號端電連接；當?shù)谝粋€探針需要輸出第二個檢測信號端輸出的檢測信號時，將第一列第二行位置上的控制開關(guān)打開，第一列其他位置上的控制開關(guān)關(guān)閉，使第一個探針僅與第二個檢測信號端電連接;……；以此類推，可以實現(xiàn)每個探針按照需要輸出不同的檢測信號。
[0054]在實際應(yīng)用中，不同型號的陣列基板上的信號線的類型是不同的，對不同類型的信號線進行檢測需要不同的檢測信號；而基于方案一和方案二，使每個探針可輸出任意一個檢測信號端所對應(yīng)的檢測信號，從而實現(xiàn)了利用一種探針單元檢測多個型號陣列基板的有益效果。
[0055]此外，本發(fā)明多個控制開關(guān)13的排列方式不僅限于方案一和方案二中的排列方式，可根據(jù)實際需要進行排列。
[0056]基于上述實施例所提供的探針單元I，如圖8所示，還可將探針單元I中的多個探針11設(shè)置于多個支架5上，支架5的數(shù)量小于或等于M，即每個支架上的探針數(shù)量大于等于I。設(shè)置多個支架5，可使多個支架5分別對應(yīng)不同型號或相同型號的陣列基板，從而可實現(xiàn)同時對多個陣列基板進行檢測工作，提高了檢測效率。
[0057]優(yōu)選的，如圖9所示，鄰近每個探針均設(shè)置有至少一個備用探針6，每個探針所對應(yīng)的N個控制開關(guān)控制該探針的每個備用探針，且每個探針所對應(yīng)的N個控制開關(guān)均與該探針的每個備用探針電連接。這樣，在檢測過程中，若有探針發(fā)生損壞，其備用探針可代替該損壞的探針繼續(xù)完成檢測工作，保障了檢測工作的順利進行。
[0058]在上述實施例提供的探針單元I中，可將檢測信號端12設(shè)置于一信號電路板(圖中未示出)上，該信號電路板與用于生成檢測信號的信號發(fā)生器電連接，從而使信號發(fā)生器所生成的檢測信號傳輸至信號電路板上，并進一步從檢測信號端12輸出。
[0059]實施例二
[0060]基于實施例一，本實施例提供了一種陣列基板的檢測設(shè)備，包括實施例一所提供的探針單元I，以及信號發(fā)生器，信號發(fā)生器與探針單元I電連接，信號發(fā)生器產(chǎn)生對各信號線進行檢測所需要的檢測信號，檢測信號依次通過探針單元I中的檢測信號端12、探針11和待測陣列基板2中信號線的引出端21加載在待測陣列基板2中的信號線上，從而實現(xiàn)對信號線的檢測。采用該陣列基板的檢測設(shè)備，可解決現(xiàn)有的陣列基板的檢測設(shè)備適用范圍窄的問題，降低檢測成本。
[0061 ] 實施例三
[0062]本實施例提供了一種陣列基板的檢測方法，該檢測方法包括以下步驟:
[0063]將陣列基板的檢測設(shè)備的探針單元I與待測陣列基板2電連接；
[0064]根據(jù)待測陣列基板2上各信號線的順序，確定與各信號線電連接的各探針需要輸出的檢測信號；
[0065]根據(jù)各探針需要輸出的檢測信號，控制各探針與相應(yīng)檢測信號端通道上的控制開關(guān)打開，且控制其余控制開關(guān)關(guān)閉。
[0066]將該實施例中陣列基板的檢測方法應(yīng)用于上述實施例所提供的陣列基板的檢測設(shè)備，通過陣列基板的檢測設(shè)備中控制開關(guān)13的打開或關(guān)閉，實現(xiàn)探針11與檢測信號端12連接通道的切換，即使一種探針單元適用于不同型號的陣列基板的檢測，適用范圍相對于現(xiàn)有技術(shù)中的探針單元更廣，從而也就無需為每種型號的陣列基板均相應(yīng)的搭配探針單元，降低了檢測成本。
[0067]以上所述僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
【主權(quán)項】
1.一種探針單元，包括M個探針，及用于輸出不同檢測信號的N個檢測信號端，其特征在于，所述探針單元還包括多個控制開關(guān)，所述多個控制開關(guān)分成M組，每組包括N個控制開關(guān)，M組控制開關(guān)——對應(yīng)地控制所述M個探針，每組的N個控制開關(guān)均與對應(yīng)的探針電連接，且每組的N個控制開關(guān)——對應(yīng)地與所述N個檢測信號端電連接;其中，2，且N彡2。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，所述控制開關(guān)包括: 基體，所述基體包括承載構(gòu)件和導(dǎo)電彈片，所述承載構(gòu)件上設(shè)置有安裝孔，所述導(dǎo)電彈片的一端安裝在所述承載構(gòu)件的下表面上，另一端經(jīng)過所述安裝孔的下方； 安裝于所述安裝孔內(nèi)的施力構(gòu)件，所述施力構(gòu)件能夠相對于所述承載構(gòu)件沿所述安裝孔的軸向移動； 設(shè)置于所述基體和所述施力構(gòu)件的下方導(dǎo)電構(gòu)件； 所述導(dǎo)電彈片與所述探針電連接，且所述導(dǎo)電構(gòu)件與所述檢測信號端電連接;或者，所述導(dǎo)電彈片與所述檢測信號端電連接，且所述導(dǎo)電構(gòu)件與所述探針電連接； 當所述施力構(gòu)件朝向所述導(dǎo)電構(gòu)件移動時，所述施力構(gòu)件的端部抵頂所述導(dǎo)電彈片，使所述導(dǎo)電彈片與所述導(dǎo)電構(gòu)件電接觸；當所述施力構(gòu)件背向所述導(dǎo)電構(gòu)件移動時，所述導(dǎo)電彈片回彈，所述導(dǎo)電彈片與所述導(dǎo)電構(gòu)件分離。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針單元，其特征在于，所述施力構(gòu)件與所述安裝孔螺紋連接。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針單元，其特征在于，所述多個控制開關(guān)設(shè)置于一載體盒上，所述載體盒包括: 頂部載板，所述承載構(gòu)件安裝于所述頂部載板上； 與所述頂部載板相對的底部載板，所述導(dǎo)電構(gòu)件安裝于所述底部載板上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針單元，其特征在于，所述導(dǎo)電彈片與所述探針通過導(dǎo)線電連接，所述導(dǎo)電構(gòu)件與所述檢測信號端通過導(dǎo)線電連接;或者，所述導(dǎo)電彈片與所述檢測信號端通過導(dǎo)線電連接，所述導(dǎo)電構(gòu)件與所述探針通過導(dǎo)線電連接； 所述頂部載板和所述底部載板上分別設(shè)置有導(dǎo)線槽，所述頂部載板的導(dǎo)線槽放置與所述導(dǎo)電彈片電連接的導(dǎo)線，所述底部載板的導(dǎo)線槽放置與所述導(dǎo)電構(gòu)件電連接的導(dǎo)線。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針單元，其特征在于，所述多個控制開關(guān)在所述載體盒上呈矩陣式排列;其中， 所述多個控制開關(guān)呈M行、N列排列;或者，所述多個控制開關(guān)呈N行、M列排列。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，鄰近每個所述探針均設(shè)置有至少一個備用探針，每個探針所對應(yīng)的N個控制開關(guān)控制該探針的每個備用探針，且每個探針所對應(yīng)的N個控制開關(guān)均與該探針的每個備用探針電連接。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，所述N個檢測信號端設(shè)置于一信號電路板上，所述信號電路板與用于生成所述檢測信號的信號發(fā)生器電連接。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針單元，其特征在于，所述M個探針設(shè)置于多個支架上，所述支架的數(shù)量小于或等于M。10.一種陣列基板的檢測設(shè)備，其特征在于，所述陣列基板的檢測設(shè)備包括: 如權(quán)利要求1?9任一項所述的探針單元； 信號發(fā)生器，所述信號發(fā)生器與所述探針單元電連接。11.一種陣列基板的檢測方法，其特征在于，所述陣列基板的檢測方法應(yīng)用于如權(quán)利要求10所述的陣列基板的檢測設(shè)備，所述陣列基板的檢測方法包括: 將所述陣列基板的檢測設(shè)備的探針單元與待測陣列基板電連接； 根據(jù)所述待測陣列基板上各信號線的順序，確定與各信號線電連接的各探針需要輸出的檢測信號； 根據(jù)各探針需要輸出的檢測信號，控制各探針與相應(yīng)檢測信號端通道上的控制開關(guān)打開，且控制其余控制開關(guān)關(guān)閉。
【文檔編號】G02F1/13GK106019654SQ201610587484
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年7月22日
【發(fā)明人】劉海峰, 張濤, 尚浩, 王備
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司