專(zhuān)利名稱(chēng)：用于將多個(gè)分離成單件的半導(dǎo)體器件保持并定向在接線(xiàn)端支架的容納凹部中的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1或20和21的前序部分所述的用于將多個(gè)分離成 單件(singulieren)的半導(dǎo)體器件保持并定向在板式的接線(xiàn)端支架的容納凹部中的裝置 和方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件，例如BGAs (球柵陣列)、MLFs、 QFNs，具有引腳的半導(dǎo)體器件等，通 常在其制造之后進(jìn)行電和/或機(jī)械的功能測(cè)試。為此采用自動(dòng)操作裝置，也稱(chēng)為"機(jī)械手 (Handler)"，所述自動(dòng)操作裝置使半導(dǎo)體器件以高速度與測(cè)試裝置相接通并在執(zhí)行功能測(cè) 試之后重新從測(cè)試裝置上取下，以便根據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行分揀。通常所述功能 測(cè)試在確定的溫度條件下進(jìn)行，其中，從-e(TC到+160°〇的溫度范圍就足夠了。
待測(cè)試的半導(dǎo)體器件通常以?xún)煞N不同的形式出現(xiàn)，即作為分離成單件的器件或作 為條狀的組合體("Strips")。分離成單件的器件相互間沒(méi)有連接，從而每個(gè)器件在機(jī)械 手中通常單個(gè)地或按小組被抽吸并被輸送給一個(gè)或多個(gè)接觸座，所述接觸座與測(cè)試裝置的 電子的計(jì)算單元相連。當(dāng)然，在對(duì)分離成單件的器件這種操作中必要的是，在接觸座之前， 使每個(gè)單個(gè)的器件之間對(duì)中，以便確保，使各器件的通常很小并且相互緊密地設(shè)置的連接 觸點(diǎn)精確地觸碰到接觸座的相應(yīng)的觸點(diǎn)上。此外，由于位置的原因，多數(shù)情況下只可以并排 設(shè)置有限數(shù)量的吸附桿，從而能夠同時(shí)測(cè)試的構(gòu)件的數(shù)量是非常有限的。由此，相應(yīng)地限制 了機(jī)械手的處理量。 以條的形式存在的半導(dǎo)體器件通常這樣來(lái)測(cè)試，S卩，將所述條置入一個(gè)所謂的巢 中，所述巢?？吭谝粶y(cè)試頭上。由于所述條上的各單個(gè)器件的位置和所述條在巢中的位置 是精確確定的，因此，通過(guò)使巢相對(duì)于測(cè)試頭對(duì)中可以確保，所有器件都處于正確的接觸位 置。因此，在以條的形式存在時(shí)可以同時(shí)測(cè)試的器件的數(shù)量明顯大于分離成單件的器件的 情況。這在機(jī)械手處理量上帶來(lái)了優(yōu)點(diǎn)。 為了能將條式布置的優(yōu)點(diǎn)也能轉(zhuǎn)用到分離成單件的半導(dǎo)體器件的測(cè)試上，由US 7， 258， 703B2已知，將分離成單件的半導(dǎo)體器件容納在接線(xiàn)端支架的相互分開(kāi)的容納凹部 中，在所述容納凹部中定向并接著將整個(gè)接線(xiàn)端支架輸送給測(cè)試頭，以便接通各單個(gè)器件。 這種已知的接線(xiàn)端支架在容納凹部的側(cè)面區(qū)域具有小的彈簧片，所述彈簧片只在一個(gè)方向 (y方向)上將器件壓向相對(duì)的止擋面。為了也在x方向上對(duì)器件進(jìn)行定向，必須在這里移 動(dòng)構(gòu)造復(fù)雜的滑塊，該滑塊形成容納凹部的底部并且對(duì)于每個(gè)容納凹部具有抽吸頭，利用 該抽吸頭將器件牢固地吸附在容納凹部的內(nèi)部。這種已知的裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜并且需要很多空 間。由于這些原因，這種已知的接線(xiàn)端支架不適用于大的數(shù)量并且不適用于非常小的器件。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，提供一種根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分所述的裝置，該裝置結(jié)構(gòu)特別簡(jiǎn)單、節(jié)省空間并且節(jié)省成本，并且適合于容納多個(gè)半導(dǎo)體器件，以及可以確保，使半 導(dǎo)體器件在容納凹部中精確地定向并將其可靠地保持。此外，提供一種與現(xiàn)有技術(shù)相比改 進(jìn)的方法。 根據(jù)本發(fā)明，所述目的通過(guò)具有權(quán)利要求1的特征的裝置以及通過(guò)具有權(quán)利要求
20和21的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。在其它權(quán)利要求中說(shuō)明了本發(fā)明有利的實(shí)施形式。 在根據(jù)本發(fā)明的裝置中，彈簧元件是彈簧板的一部分，所述彈簧板具有多個(gè)相互
并排設(shè)置孔口，用于形成相應(yīng)多個(gè)用于半導(dǎo)體器件的容納凹部，其中彈簧元件一體地由彈
簧板形成。 根據(jù)本發(fā)明的接線(xiàn)端支架與已知的接線(xiàn)端支架相比可以更為簡(jiǎn)單、非常節(jié)省空間 并且經(jīng)濟(jì)地構(gòu)成。特別有利的是，根據(jù)本發(fā)明的接線(xiàn)端支架還適合于容納數(shù)量較大的半導(dǎo) 體器件，所述半導(dǎo)體器件能夠快速并且非常精確地在容納凹部?jī)?nèi)部定向，從而半導(dǎo)體器件 占據(jù)精確確定的位置。此外，彈簧元件不僅用于定向，而且還用于在所屬的容納凹部中將半 導(dǎo)體器件固定夾緊在精確定向的位置中，從而可以放棄其它的例如抽吸頭形式的固定保持 元件。整個(gè)接線(xiàn)端支架特別是可以設(shè)計(jì)成薄板，分離成單件的半導(dǎo)體器件矩陣式地按精確 確定的位置和定向固定保持在所述薄板上。因此，盡管各所述半導(dǎo)體器件是分離成單件的 模塊，各所述半導(dǎo)體器件可以在與用于測(cè)試條的機(jī)械手結(jié)構(gòu)相同或相似的機(jī)械手中進(jìn)行測(cè) 試。 根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，所述彈簧板由平的板組成，并且所述彈簧元件由彈簧
片組成，所述彈簧片設(shè)置在所述彈簧板的平面或平行于該平面設(shè)置并且是(在該平面內(nèi)或
平行于該平面)可運(yùn)動(dòng)的。由此，彈簧板具有非常小的例如只有0. 1至lmm的高度。
根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，接線(xiàn)端支架由多層的復(fù)合板組成，所述復(fù)合板包括所 述彈簧板和與彈簧板相鄰的基板和/或蓋板，其中彈簧板至少在基板或蓋板的大部分上延 伸?；搴?或蓋板這里可以具有不同的功能，例如它們可以使垂直于彈簧板的主平面彈 簧元件穩(wěn)定，具有用于半導(dǎo)體器件的止擋元件或具有用于彈簧元件的操作裝置的對(duì)中元 件。由此可以以特別有效的方式降低接線(xiàn)端支架的結(jié)構(gòu)高度，從而整個(gè)接線(xiàn)端支架的具有 薄板的形狀，其高度可以小于lmm。但根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合的不同也可以特別是將彈簧板和/或蓋 板設(shè)計(jì)得明顯更厚，例如以便擴(kuò)大容納凹部的深度。 如果存在基板，則有利的是，基板設(shè)計(jì)成平的板，該平的板形成容納凹部的底部。
根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，所述接線(xiàn)端支架對(duì)于每個(gè)容納凹部具有至少兩個(gè)相互 成角度設(shè)置的、具有不同強(qiáng)度彈簧力的彈簧元件，通過(guò)所述彈簧元件能夠沿兩個(gè)不同的方 向?qū)雽?dǎo)體器件壓向止擋元件，其中，所述彈簧元件與操作裝置這樣共同作用，即具有較弱 彈簧力的彈簧元件首先將半導(dǎo)體器件壓向相配的、相對(duì)的止擋元件，而具有較強(qiáng)彈簧力的 彈簧元件隨后才將半導(dǎo)體器件壓向相配的、相對(duì)的止擋元件。由于具有較弱彈簧力的彈簧 元件首先將半導(dǎo)體器件壓向相對(duì)的第一止擋元件，可以以簡(jiǎn)單的方式確保，具有較強(qiáng)彈簧 力的彈簧元件還可以沿相對(duì)的第二止擋元件的方向使所述器件移動(dòng)，而不會(huì)在中間位置中 卡死所述器件。由此這樣來(lái)確定較強(qiáng)的彈簧元件的彈簧力，即，該彈簧力可以克服通過(guò)較弱 的彈簧元件導(dǎo)致的保持力。 根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，對(duì)于每個(gè)容納凹部，彈簧板具有一個(gè)能浮動(dòng)固定地彈 簧板區(qū)段，該彈簧板區(qū)段設(shè)有對(duì)中元件并至少具有至少一個(gè)彈簧元件以及用于導(dǎo)入半導(dǎo)體器件的凹部。由此，當(dāng)接線(xiàn)端支架移動(dòng)到接觸位置中時(shí)，可以將能浮動(dòng)固定的彈簧板區(qū)段和
由此還有半導(dǎo)體器件以非常精確和容易的方式例如相對(duì)于接觸座或DUT板對(duì)中。 根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，在基板和彈簧板之間和/或在彈簧板和蓋板之間設(shè)置
間距保持件，所述間距保持件將彈簧板保持在距基板或距蓋板的一定距離處。由此可以實(shí)
現(xiàn)，彈簧元件可以以明顯降低的摩擦損傷或者完全沒(méi)有摩擦損失地在基板和蓋板之間運(yùn)
動(dòng)，從而彈簧元件總是以精確確定的壓力將器件擠壓到相對(duì)的止擋元件上。 用于對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行精確定位的所述止擋元件可以設(shè)置在蓋板上或直接設(shè)置
在彈簧板上。止擋元件適宜地由蓋板或彈簧板的兩個(gè)相互鄰接的、相互成直角布置的、限定
所述容納凹部的側(cè)面構(gòu)成。 根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，接線(xiàn)端支架設(shè)計(jì)成用于容納具有引腳的半導(dǎo)體器件， 其中，基板具有引腳區(qū)段元件，所述引腳區(qū)段元件穿過(guò)彈簧板的凹部延伸，以便形成用于引 腳的支承部。這種引腳區(qū)段元件，也稱(chēng)為"引腳支座(Leadbacker)"，當(dāng)在測(cè)試頭的觸點(diǎn)元 件上接通時(shí)對(duì)引腳提供支持，從而引腳不會(huì)彎曲出來(lái)。 根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，引腳區(qū)段元件由板區(qū)段形成，所述板區(qū)段一體地由基 體形成并相對(duì)于基體板平面垂直地彎折。由此不需要事后將引腳區(qū)段元件安裝在所述板中 的一個(gè)上。 除此以外，還可以由電絕緣的材料制成蓋板，其中蓋板具有設(shè)置在凹部旁邊的引 腳支承區(qū)段，所述引腳支承區(qū)段形成用于引腳的支承部。由此可以以非常簡(jiǎn)單的方式形成 用于引腳的支承部。特別是不要求引導(dǎo)在基板上形成引腳區(qū)段元件穿過(guò)彈簧板中的開(kāi)口， 從而在基板和彈簧板的結(jié)構(gòu)上得到了較大的設(shè)計(jì)自由度。 根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，接線(xiàn)端支架具有兩個(gè)或多個(gè)相互疊置的彈簧板，在所 述彈簧板上設(shè)置彈簧元件。由此彈簧元件可以更好地與器件體上的斜面相匹配。
根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，操作裝置具有平行于接線(xiàn)端支架設(shè)置的主板和從主板 上突起的操作元件，所述操作元件在操作裝置接近接線(xiàn)端支架時(shí)與彈簧元件進(jìn)入接合，以 便將彈簧元件側(cè)向向外壓入打開(kāi)位置。這里特別是，操作元件可以由具有斜面的楔形元件 構(gòu)成，可以使所述楔形元件與彈簧元件進(jìn)入接合和脫離接合。除此以外，還可以設(shè)想，在使 操作元件與彈簧元件進(jìn)入接合之后，使操作元件側(cè)向向外運(yùn)動(dòng)，以便使彈簧元件轉(zhuǎn)移到打 開(kāi)位置中，該打開(kāi)位置允許將半導(dǎo)體器件裝入容納凹部中。 根據(jù)一個(gè)有利的實(shí)施形式，操作裝置的操作元件設(shè)計(jì)成并且相對(duì)于彈簧元件布置 成，使得在操作裝置的確定的位置，具有較大的彈簧力的彈簧元件仍與相配的操作元件處 于壓力接合中，而具有較弱彈簧力的彈簧元件已經(jīng)與相配的操作元件脫離壓力接合。因?yàn)?這里具有較小壓力的彈簧元件首先被操作裝置放開(kāi)，以這種方式可以確保，具有較小壓力 的彈簧元件將半導(dǎo)體器件壓向相對(duì)的止擋元件，然后具有較強(qiáng)彈簧力的彈簧元件才進(jìn)行這 個(gè)過(guò)程。 可替代或附加地，具有較弱彈簧力的彈簧元件也可以具有能與半導(dǎo)體器件相接觸 的第一壓力面，而具有較強(qiáng)彈簧力的彈簧元件可以具有能與半導(dǎo)體器件相接觸的第二壓力 面，其中第一壓力面到相對(duì)的止擋元件的距離比第二壓力面到相對(duì)的止擋元件的距離更 小，從而具有長(zhǎng)方體形體部的半導(dǎo)體器件首先由具有較弱彈簧力的彈簧壓到相對(duì)的止擋元 件上。
根據(jù)本發(fā)明的方法的特征在于，提供接線(xiàn)端支架，該接線(xiàn)端支架對(duì)于每個(gè)容納凹 部具有至少兩個(gè)相互成角度設(shè)置的、具有不同強(qiáng)度的彈簧力的彈簧元件，以便沿兩個(gè)不同 的方向?qū)雽?dǎo)體器件壓靠到止擋元件上，并且在將半導(dǎo)體器件裝入容納凹部之后將操作裝 置從彈簧元件上松開(kāi)，以使具有較弱彈簧力的彈簧元件首先將半導(dǎo)體器件壓靠到相配的、 相對(duì)的止擋元件上，而具有較強(qiáng)彈簧力的彈簧元件然后才將半導(dǎo)體器件壓靠到相配的、相 對(duì)的止擋元件上。 另一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的可替代的方法的特征在于，提供接線(xiàn)端支架，該接線(xiàn)端支架 對(duì)于每個(gè)容納凹部具有至少兩個(gè)相互成角度設(shè)置的、具有不同強(qiáng)度的彈簧力的彈簧元件， 以便沿兩個(gè)不同的方向?qū)雽?dǎo)體器件壓靠到止擋元件上，并且在將半導(dǎo)體器件裝入容納凹 部之后，通過(guò)操作裝置使所述相互成角度設(shè)置的各彈簧元件移動(dòng)，以使具有較弱彈簧力的 彈簧元件首先將半導(dǎo)體器件壓靠到相配的、相對(duì)的止擋元件，而具有較強(qiáng)彈簧力的彈簧元 件然后才將半導(dǎo)體器件壓靠到相配的、相對(duì)的止擋元件上。 利用根據(jù)本發(fā)明的方法實(shí)現(xiàn)的優(yōu)點(diǎn)對(duì)應(yīng)于結(jié)合根據(jù)本發(fā)明的裝置說(shuō)明的優(yōu)點(diǎn)。


下面根據(jù)附圖舉例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。其中 圖1示出根據(jù)本發(fā)明的具有接線(xiàn)端支架和操作裝置的裝置的一部分的分解視圖， 圖2示出蓋板的細(xì)節(jié)視圖， 圖3示出圖2的細(xì)部III的放大視圖， 圖4示出基板的細(xì)節(jié)視圖， 圖5示出圖4的細(xì)部V的放大視圖， 圖6示出彈簧板的細(xì)節(jié)視圖， 圖7示出圖6的細(xì)部VII的放大視圖， 圖8和9示出圖1從斜上方或斜下方觀察的俯視圖， 圖10至14示出在將半導(dǎo)體器件裝入容納凹部中的不同階段， 圖15示出操作裝置的一種可替代的實(shí)施形式， 圖16示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的另一個(gè)實(shí)施形式的分解圖， 圖17示出從斜上方觀察圖16的彈簧板和基板的視圖，其中為了清楚起見(jiàn)省去了 蓋板并在打開(kāi)位置示出操作裝置， 圖18示出對(duì)應(yīng)于圖17的視圖，其中具有裝入的半導(dǎo)體器件和抬起的操作裝置，
圖19示出對(duì)應(yīng)于圖18的具有蓋板的視圖， 圖20示出具有裝入的半導(dǎo)體器件的接線(xiàn)端支架的另一個(gè)實(shí)施形式的橫向剖視 圖， 圖21示出圖20中采用的基板的一部分， 圖22示出圖20中的在容納凹部的區(qū)域的沒(méi)有半導(dǎo)體器件的接線(xiàn)端支架的俯視 圖， 圖23示出基板的另一實(shí)施形式， 圖24示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的另一個(gè)實(shí)施形式， 圖25示出根據(jù)本發(fā)明的彈簧板的另一個(gè)實(shí)施形式的俯視圖，
圖26用放大圖示出圖25的細(xì)部XXVI， 圖27示出根據(jù)本發(fā)明的彈簧板的另一個(gè)實(shí)施形式從斜上方觀察的俯視圖，
圖28用放大圖示出圖27的細(xì)部XXVIII， 圖29示出根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施形式的接線(xiàn)端支架的俯視圖，
圖30用放大圖示出圖29的細(xì)部XXX， 圖31示出圖29的線(xiàn)A-A上的縱向剖視圖，其中彈簧元件和半導(dǎo)體器件處于導(dǎo)入 位置，以及 圖32示出對(duì)應(yīng)于圖31的視圖，其中半導(dǎo)體器件通過(guò)彈簧元件被壓入對(duì)中的保持 位置。
具體實(shí)施例方式
由圖1可以見(jiàn)根據(jù)本發(fā)明的裝置的第一實(shí)施例的端部部分。該裝置包括基板1、彈 簧板2、蓋板3和操作裝置4。所述板1、2、3分別是薄的、平面平行的板，例如具有如圖2、4、 6中所示的長(zhǎng)形金屬條的形狀。板1、2、3具有相同的外部尺寸并且如圖10所示相互疊置 設(shè)置，從而它們形成三層的復(fù)合板。板1、2、3相互之間的連接例如通過(guò)焊接、粘結(jié)或螺栓進(jìn) 行。 板1、2、3—起形成具有多個(gè)陣列式設(shè)置的容納凹部6的接線(xiàn)端支架5，在所述容納 凹部中可裝入半導(dǎo)體器件7，例如如圖13、14所示的那樣。 在圖1、10至14中示出的接線(xiàn)端支架5設(shè)計(jì)成使接線(xiàn)端支架適于接納BGA、MLF和 QFN。接線(xiàn)端支架5最下面一層通過(guò)基板1形成，該基板形成用于容納凹部6的底部。裝入 容納凹部6中的半導(dǎo)體器件7由此支承在基板1上。但除此以外，也可以在基板1上固定 例如由塑料制成的碟形的凹槽元件，所述凹槽元件形成用于容納凹部6的底部，并且所述 器件7可以裝入凹槽元件中。如圖4和5所示，基板1具有多個(gè)孔口8。在圖8中示出一組 共十個(gè)部分為長(zhǎng)形、部分為圓形的孔口，其中每個(gè)容納凹部6配設(shè)有這樣一組孔口 8。所述 孔口 8用于讓對(duì)中銷(xiāo)9和操作裝置4的楔形的操作元件10穿過(guò)，如后面還要詳細(xì)說(shuō)明的那 樣。 彈簧板2用于在容納凹部6內(nèi)部將半導(dǎo)體器件7定向和固定夾緊在精確預(yù)定的位 置中。如圖6所示，彈簧板2具有多個(gè)相同的、陣列式設(shè)置的孔口 11。在所示實(shí)施例中，設(shè) 有五個(gè)并排設(shè)置的孔口的排，其中每排包含二十個(gè)孔口 11。所述孔口 11形成容納凹部6的 下面部分。在該實(shí)施例中，接線(xiàn)端支架5由此具有一百個(gè)容納凹部6，所述容納凹部按5x20 的陣列設(shè)置。但容納凹部6的數(shù)量和布置可以根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合在較大的范圍內(nèi)變化。
在彈簧板2的每個(gè)孔口 11的兩個(gè)不同的側(cè)面上設(shè)有兩個(gè)彈簧元件12a、12b，所述 彈簧元件的縱向相互成直角延伸。彈簧元件12a、12b用于將裝入孔口 11中的半導(dǎo)體器件 7壓向相對(duì)的、止擋面13a、13b形式的止擋元件(圖14)，所述止擋面位于蓋板3上，所述蓋 板設(shè)置在彈簧板2上。止擋面13a、13b的位置相對(duì)于彈簧板2所屬的孔口在圖7中用點(diǎn)劃 線(xiàn)示出。相互成直角設(shè)置的止擋面13a、13b用于將容納凹部6內(nèi)部的半導(dǎo)體7相對(duì)于蓋板 3并由此相對(duì)于整個(gè)接線(xiàn)端支架5精確地定位，并且是在兩個(gè)不同的方向上，即在x方向和 y方向上。 彈簧元件12a、12b設(shè)計(jì)成彈簧片并且一體地由彈簧板2形成，例如通過(guò)平版印刷
9蝕刻法。兩個(gè)彈簧元件12a、12b具有特別相似的形狀并分別具有一個(gè)U形的彈簧區(qū)段14a、14b、一個(gè)設(shè)置在彈簧區(qū)段14a、14b的自由端上的壓力區(qū)段15a、15b和一個(gè)設(shè)置在彈簧元件12a、12b的自由端上的操作區(qū)段16a、16b。壓力區(qū)段15a、15b具有倒圓的壓力面17a、17b，所述壓力面在x方向或y方向上突出于U形的彈簧區(qū)段14a、14b并可以與半導(dǎo)體器件7的體部19的相鄰的側(cè)面18a、18b相接觸(圖14)。 操作區(qū)段16a、16b構(gòu)成弓形的彈簧元件12a、12b的自由端。在將操作裝置4的操作元件10導(dǎo)入接線(xiàn)端支架5時(shí)，操作元件10與操作區(qū)段16a、16b的內(nèi)側(cè)這樣接合，S卩，操作區(qū)段16a、16b以及由此還有彈簧元件12a、12b克服其彈簧力并逐漸側(cè)向向外推壓，由此壓力面17a、17b逐漸遠(yuǎn)離相對(duì)的止擋面13a、13b，并使用于半導(dǎo)體器件7的裝入空間擴(kuò)張。如果操作元件10重新從彈簧元件12a、12b的操作區(qū)段16a、16b移開(kāi)，則彈簧元件12a、12b的彈簧力可以自由地作用并將半導(dǎo)體器件7壓向止擋面13a、13b。 彈簧元件12a具有比彈簧元件12b更小的彈簧力。這是這樣來(lái)實(shí)現(xiàn)的，即，U形的彈簧區(qū)段14a的寬度B、C、D比U形的彈簧區(qū)段14b的相應(yīng)的寬度B' 、C' 、D'小。此外，彈簧元件12a和12b還設(shè)置成，當(dāng)彈簧元件12a、12b處于放松位置中時(shí)，使壓力面17a與相對(duì)的止擋面13a之間的距離小于壓力面17b和相對(duì)的止擋面13b之間的距離A'。由此可以實(shí)現(xiàn)，當(dāng)操作裝置4的操作元件10a、10b同時(shí)釋放彈簧元件12a、12b的操作區(qū)段16a、16b時(shí)，具有較弱的彈簧力的彈簧元件12a首先將半導(dǎo)體器件7壓靠到止擋面13a上，而具有較強(qiáng)彈簧力的彈簧元件12b然后才將半導(dǎo)體器件7壓靠到止擋面13b上。在此這樣來(lái)確定彈簧元件12b的彈簧力，S卩，該彈簧力能夠克服較弱的彈簧12a用以將半導(dǎo)體器件7壓靠到止擋面13a上的摩擦力并能夠使半導(dǎo)體器件7—直移動(dòng)到止擋面13b，而不會(huì)使半導(dǎo)體器件7卡死在中間位置。 代替不同的距離A、A'或附加于不同的距離A、A'，操作元件10a、 10b和操作區(qū)段16a、 16b也可以這樣相對(duì)于彼此設(shè)置，即，在移開(kāi)操作元件10a、 10b時(shí)，在操作區(qū)段16b之前釋放操作區(qū)段16a，以便首先用較弱的彈簧力并接著才用較強(qiáng)的彈簧力使半導(dǎo)體器件7定向。 如上所述，在圖1、10至14中示出的接線(xiàn)端支架5的實(shí)施例中，用于確保半導(dǎo)體器件7沿x方向和沿y方向精確定向的止擋面13a、 13b位于蓋板3上，該蓋板設(shè)置在彈簧板2上。如圖2和3所示，為此，蓋板3具有孔口 20，所述孔口的數(shù)量和布置對(duì)應(yīng)于彈簧板2的孔口 11并設(shè)置在孔口 11上。止擋面13a、13b是孔口 20的相鄰、彼此成直角設(shè)置的側(cè)面。所有止擋面13a、13b在蓋板3上并由此也相對(duì)于彼此設(shè)置在以精確確定的位置中，從而當(dāng)半導(dǎo)體器件7貼靠在止擋面13a、13b上時(shí)，所述半導(dǎo)體器件相對(duì)于接線(xiàn)端支架5具有精確確定的位置。由此也可以將大量的半導(dǎo)體器件7以精確確定的位置引導(dǎo)到測(cè)試頭的相配接觸元件上。 由圖3還可以看到設(shè)置在孔口20旁邊的對(duì)中孔21，可以引導(dǎo)操作裝置4的各對(duì)中銷(xiāo)9通過(guò)各所述對(duì)中孔。所述對(duì)中孔21與彈簧板2中相應(yīng)的對(duì)中孔口 22(圖7)和基板1中相應(yīng)的對(duì)中孔口 23(圖5)相對(duì)齊。操作裝置4的對(duì)中銷(xiāo)9由此可以被引導(dǎo)穿過(guò)整個(gè)接線(xiàn)端支架5。 此外，蓋板3的孔口 20如圖3所示具有側(cè)向的凸起(Ausbuchtung)24a、24b，所述凸起位于彈簧元件12a、12b的操作區(qū)段16a、16b的上方，并且此外還設(shè)置在基板1中的孔口 25a、25b(圖1)上方。操作裝置4的操作元件10a、10b由此可以穿過(guò)蓋板3的所述凸起24a、24b、穿過(guò)彈簧板的孔口 11以及穿過(guò)基板的孔口 25a、25b，此時(shí)，所述操作元件與彈簧元件12a、12b的操作區(qū)段16a、16b進(jìn)入接合并側(cè)向向外推壓所述操作區(qū)段，以便擴(kuò)展用于半導(dǎo)體器件7的向容納凹部6中的安裝空間并由此使得可以將半導(dǎo)體器件7裝入。
下面根據(jù)圖8禾P 9來(lái)詳細(xì)說(shuō)明操作裝置4。在圖1中示出的對(duì)中銷(xiāo)9在圖8和9中沒(méi)有示出。 操作裝置4在所示實(shí)施例中設(shè)計(jì)成面式的開(kāi)啟器，所述開(kāi)啟器可以同時(shí)打開(kāi)接線(xiàn)端支架5的多個(gè)或全部容納凹部6。因此，操作裝置4在接線(xiàn)端支架5的一部分或整個(gè)接線(xiàn)端支架上延伸。在圖8和9中只示出操作裝置4的適于打開(kāi)25個(gè)容納凹部6的部分，這些容納凹部按5x5的陣列存在。 操作裝置4具有主板26，該主板可以平行于接線(xiàn)端支架5設(shè)置。該主板26設(shè)計(jì)成具有對(duì)中口 27的孔板，所述對(duì)中口位于容納凹部6的上方。對(duì)中口 27具有略大于半導(dǎo)體器件7的直徑，從而半導(dǎo)體器件7—方面可以被引導(dǎo)通過(guò)對(duì)中口27，而另一方面在通過(guò)時(shí)可以相對(duì)于容納凹部6預(yù)對(duì)中。 操作元件10a、10b從主板26垂直地向下延伸，其中，操作元件10a、10b設(shè)計(jì)成與主板26是一體的或可以事后安裝到主板26上。操作元件10a、10b是具有斜面28a、28b的楔形元件。如果操作裝置4接近接線(xiàn)端支架5，以至于操作元件10a、10b逐漸地被導(dǎo)入接線(xiàn)端支架5的孔口或凸起中，則斜面28a與彈簧元件12a的操作區(qū)段16a接合，而操作元件10b的斜面28b與彈簧元件12b的操作區(qū)段16b接合。通過(guò)使操作裝置4向接線(xiàn)端支架5接近，逐漸向外推壓彈簧元件12a、12b，從而可以將半導(dǎo)體器件7裝入容納凹部6中。如果將操作裝置4重新從接線(xiàn)端支架5移開(kāi)，則彈簧元件12a、 12b被釋放，從而所述彈簧元件可以將半導(dǎo)體器件7壓靠到止擋面13a、13b上，如前面所述的那樣。 半導(dǎo)體器件7在容納凹部6中的裝入和定向在下面借助于圖10至15詳細(xì)說(shuō)明，所述附圖示出與圖l所示相同的接線(xiàn)端支架5，但示出了操作裝置4'的一個(gè)可替代的示意性示出的實(shí)施例。但操作裝置4'按照與操作裝置4相同的原理工作，因此下面的說(shuō)明對(duì)這兩個(gè)實(shí)施形式都適用。 在圖10中，操作裝置4'隔開(kāi)距離地位于接線(xiàn)端支架5的上方。對(duì)中銷(xiāo)9與對(duì)中孔或?qū)χ锌卓?21、22、23對(duì)齊，而操作元件10a、10b位于凸起24a、24b或孔口 25a、25b的上方。彈簧元件12a、12b位于其放松的、向內(nèi)突出較遠(yuǎn)的位置。 圖11示出處于下降位置中的操作裝置4'，其中對(duì)中銷(xiāo)9已經(jīng)與接線(xiàn)端支架5相接合，但操作元件10a、10b還沒(méi)有與彈簧元件12a、12b相接合。 圖12示出操作裝置4'完全下降的位置。操作元件10a、10b完全穿過(guò)接線(xiàn)端支架5。通過(guò)操作元件10a、10b的斜面28a、28b側(cè)向向外推壓彈簧元件12a、 12b，從而彈簧元件12a、12b的壓力區(qū)段15a、15b側(cè)向設(shè)置在用于半導(dǎo)體器件7的裝入?yún)^(qū)域的外部。
接下來(lái)可以如圖13所示，通過(guò)合適的裝置，例如通過(guò)抽吸頭29將半導(dǎo)體器件7裝入容納凹部6中。 在將半導(dǎo)體器件7裝入后，將抽吸頭29從半導(dǎo)體器件7移除并且將操作裝置4'從接線(xiàn)端支架5移除，如圖14所示。彈簧元件12a、12b由于其彈簧力按前面所述的順序?qū)雽?dǎo)體器件7推壓到相對(duì)的止擋面13a、13b上。由此，使所述半導(dǎo)體器件7在接線(xiàn)端支架5中定向和夾緊，從而所述半導(dǎo)體器件可以與沒(méi)有示出的測(cè)試頭接通。也可以有選擇地進(jìn)行目視檢查或通過(guò)激光器做記號(hào)。 下面根據(jù)圖16至19來(lái)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的接線(xiàn)端支架5'的另一個(gè)實(shí)施形式。該接線(xiàn)端支架5'與圖1的接線(xiàn)端支架5的區(qū)別在于，不是設(shè)置一個(gè)彈簧板，而是設(shè)置兩個(gè)相互疊置的彈簧板2、2'，止擋面13a、13b不是設(shè)置在蓋板3'上，而是直接設(shè)置在彈簧板2、2'上，并且蓋板3'設(shè)計(jì)成，使其用于支承沿側(cè)向從器件7'上突出的引腳30。
在該實(shí)施例中，基板l可以設(shè)計(jì)成與圖1的基板l是相同或相似的。也毫無(wú)問(wèn)題地可以將操作裝置4'設(shè)計(jì)成與圖10至15的操作裝置4'、或與圖1的操作裝置4是相同或相似的。此外可能適宜的是，如圖16所示，基板1具有這樣的孔口 ， S卩，不僅從上面而且從下面將操作裝置4'導(dǎo)入接線(xiàn)端支架5'中，以便使彈簧元件12a、12b轉(zhuǎn)變到其打開(kāi)位置。在這種情況下，半導(dǎo)體器件7'可以以另一種方式裝入接線(xiàn)端支架5'的容納凹部6中。例如可以將處于翻轉(zhuǎn)了 180° 、即以蓋板3'朝下的位置中的接線(xiàn)端支架5'與位于其下面的輸送盤(pán)相連，半導(dǎo)體器件7'位于所述輸送盤(pán)中。接著可以使接線(xiàn)端支架5'與輸送盤(pán)一起翻轉(zhuǎn)180° ，從而半導(dǎo)體器件7'可以從輸送盤(pán)落入接線(xiàn)端支架5'的容納凹部6中。
兩個(gè)彈簧板2、2'的作用方式與圖1的彈簧板2的作用方式相同，從而，可以參考關(guān)于它的說(shuō)明。但由于兩個(gè)彈簧板2、2'相互疊置設(shè)置，可以以改進(jìn)的方式使彈簧元件12a、12b的壓力區(qū)段15a、15b和相對(duì)的止擋面13a、13b與半導(dǎo)體器件體部19的斜面相匹配，如后面還要根據(jù)圖20的可替代實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明的那樣。 此外如圖16所示，彈簧板2、2'的彈簧元件12a、12b不是一定具有U形的彈簧區(qū)段，以便能夠施加必要的彈簧力，而是直線(xiàn)形的彈簧區(qū)段14a' 、14b'就可以足夠了。
在根據(jù)圖16的實(shí)施形式中也設(shè)置成平面平行的板的蓋板3'在這種情況下由不導(dǎo)電的塑料板構(gòu)成。蓋板3'的圍繞孔口20的邊緣區(qū)域在這里用作用于引腳30的支承面。由此可以避免，當(dāng)以確定的擠壓力將引腳壓靠到測(cè)試頭的接觸元件上時(shí)，引腳30回彎。
圖20示出接線(xiàn)端支架5〃的另一個(gè)實(shí)施例的橫截面。該接線(xiàn)端支架5〃也具有兩個(gè)相互疊置的彈簧板2、2'，這兩個(gè)彈簧板可以以與圖16的彈簧板2、2'相同或相似的方式設(shè)計(jì)。由于兩個(gè)彈簧板2、2'相互疊置的彈簧元件12a或12b相對(duì)于彼此可以運(yùn)動(dòng)，壓力面17a或17b可以特別好地與半導(dǎo)體器件體部19的傾斜的側(cè)面相匹配，如圖20所示的那樣。此外，相互疊置的止擋面13a或13b可以相對(duì)于彼此側(cè)向錯(cuò)開(kāi)，并由此可以特別好地與半導(dǎo)體器件7'的斜面相匹配。 如圖20至22所示，基板1'在該實(shí)施形式中具有引腳支承元件31，所述引腳支承元件延伸穿過(guò)彈簧板2、2'的孔口32，以便形成用于引腳30的支承部。引腳支承元件31這里由多個(gè)板段組成，所述板段一體地由基板1'形成并相對(duì)于基板平面垂直向上彎折。弓I腳支承元件31具有凹坑33，可以將各單個(gè)引腳30嵌入所述凹坑中。由此在側(cè)向方向也對(duì)引腳30進(jìn)行固定。 圖23示出基板1 〃的另一個(gè)實(shí)施例。該基板1 〃設(shè)計(jì)得與圖20至22的基板1'
完全相似，但在引腳支承元件31上不具有凹坑33，而是具有平的上部端面，用于支承引腳30。 在圖24中示意性地并用分解視圖示出根據(jù)本發(fā)明的裝置的另一個(gè)實(shí)施例。接線(xiàn)端支架5〃 '在該實(shí)施形式中由基板1〃 '、可以在基板1〃 '上移動(dòng)的可以基本上設(shè)計(jì)成與前面的實(shí)施例的彈簧板2、2'相同的彈簧板2、2'、以及鎖定裝置34，用于將彈簧板2、2'相對(duì)于基板1〃 '鎖定在確定的位置中，如后面還要詳細(xì)說(shuō)明的那樣。
基板1〃 '對(duì)于每個(gè)容納凹部6具有一個(gè)帶有相互成直角設(shè)置的止擋突起36a、36b的基底元件35，相互成直角設(shè)置的止擋面13a、 13b位于所述止擋突起上。止擋突起36a、36b在彈簧板2、2'已安裝時(shí)延伸穿過(guò)彈簧板2、2'的孔口ll。 彈簧板2、2'在基板1〃 '上可被引導(dǎo)移動(dòng)，從而彈簧板可以沿側(cè)向、即平行于基板1〃 '平面確定地移動(dòng)。彈簧板2、2'為此具有相對(duì)于其縱向軸線(xiàn)傾斜地設(shè)置的長(zhǎng)孔37，導(dǎo)向銷(xiāo)38穿過(guò)所述長(zhǎng)孔。導(dǎo)向銷(xiāo)38的下部的端部區(qū)域固定在基板1〃 '的孔39中。導(dǎo)向銷(xiāo)38可以例如是鉚釘或螺釘?shù)膱A柱形區(qū)段。彈簧板2、2'的長(zhǎng)孔37在該實(shí)施例中以相對(duì)于x軸成45?；?35°的角度設(shè)置。長(zhǎng)孔37與導(dǎo)向銷(xiāo)38—起形成用于彈簧板2、2'的滑槽導(dǎo)向裝置。如果彈簧板2、2'通過(guò)操作裝置4〃 '沿箭頭40的方向、即沿x坐標(biāo)的方向運(yùn)動(dòng)，則彈簧板2、2'由于滑槽導(dǎo)向裝置同時(shí)也沿y坐標(biāo)的方向移動(dòng)。由此，通過(guò)彈簧板2、2'相應(yīng)的移動(dòng)，彈簧板2、2'的所有彈簧元件12a、12b可以一起運(yùn)動(dòng)離開(kāi)半導(dǎo)體器件7、7'的導(dǎo)入?yún)^(qū)域并由此打開(kāi)容納凹部6，從而可以將半導(dǎo)體器件7、7'裝入容納凹部6中，直到它們支承在基底元件35上。如果接下來(lái)使彈簧板2、2'沿相反的方向移動(dòng)，則彈簧元件12a、12b被引導(dǎo)移動(dòng)到裝入的半導(dǎo)體器件7、7'上并這樣與其進(jìn)入壓力接觸，即，所述彈簧元件可以建立相應(yīng)的彈簧預(yù)緊。在該位置中，鎖定裝置34側(cè)向的保持突起41延伸穿過(guò)基板1〃 '中的狹縫42并貼靠在彈簧板2、2'的側(cè)邊緣上，從而將彈簧板2、2'鎖定在該位置中。可以設(shè)計(jì)成與前面的實(shí)施形式的彈簧元件12a、12b相同或類(lèi)似的彈簧元件12a、12b因此可以通過(guò)其彈簧力按所述順序?qū)⑵骷?7壓靠到相對(duì)的止擋突起36a、36b上。
在測(cè)試結(jié)束之后，鎖定裝置34的保持突起41被重新向下收回，由此放開(kāi)彈簧板2、2'，從而可以通過(guò)操作裝置4〃 '使彈簧板2、2'沿相反的方向移動(dòng)，并且彈簧元件12a、12b放開(kāi)器件7、7'。 由此，在該實(shí)施形式中，所述方法包括以下步驟
_通過(guò)彈簧板2、2'的移動(dòng)打開(kāi)容納凹部6，
_給容納凹部6裝載半導(dǎo)體器件7、7'，-將彈簧元件12a、12b引導(dǎo)到半導(dǎo)體器件7、7'上并通過(guò)沿相反的方 向移動(dòng)彈簧板2、2'對(duì)彈簧元件預(yù)緊， _通過(guò)鎖定裝置34鎖定彈簧板2、2'的位置。 為了使彈簧板2、2'側(cè)向移動(dòng)，操作裝置4〃 '能夠可拆卸地與彈簧板2、2'相聯(lián)接。操作裝置4〃 '在圖24中只是示意性地示出并可以例如具有操作銷(xiāo)43，各所述操作銷(xiāo)向下突出于框架件44，并且當(dāng)操作裝置4〃 '沿豎直方向移動(dòng)時(shí)，所述操作銷(xiāo)可以與彈簧板2、2'中的孔45進(jìn)行接合或脫離接合。為了向容納凹部6中裝入或從容納凹部中移除器件7、7'，這樣移除操作裝置4〃 '，即可以無(wú)障礙地進(jìn)行半導(dǎo)體器件7、7'的裝入和移除。
除了所示的實(shí)施例以外，長(zhǎng)孔37也可以不是直線(xiàn)傾斜的，而是設(shè)計(jì)成弧形的。此外也可以設(shè)想這樣的長(zhǎng)孔37，所述長(zhǎng)孔具有沿x方向延伸的長(zhǎng)孔段和沿y方向延伸的長(zhǎng)孔段，其中此時(shí)，操作裝置4〃 '既沿x坐標(biāo)也沿y坐標(biāo)運(yùn)動(dòng)。 圖25示出彈簧板2的另一個(gè)實(shí)施形式的俯視圖，如結(jié)合前面的實(shí)施例所說(shuō)明的那樣，該彈簧板與基板和/或蓋板一起可以組合成多層的復(fù)合板。所述彈簧板2也具有多
13個(gè)孔口 11，分離成單件的半導(dǎo)體器件7、7'可以裝入所述孔口中并可以通過(guò)彈簧元件12a、12b保持所述器件。如圖25、26所示，這里的彈簧元件12a、12b設(shè)計(jì)和布置得與在圖6和7中示出彈簧元件相同或特別相似。由此，在彈簧元件12a、12b的構(gòu)型和作用方式上可以參考對(duì)第一實(shí)施形式的相應(yīng)說(shuō)明。但也可以毫無(wú)問(wèn)題地使彈簧元件12a、12b不具有不同的彈簧力，而是具有相同的彈簧力。 裝入的半導(dǎo)體器件通過(guò)彈簧元件12a、 12b所壓靠的止擋面13a、 13b在該實(shí)施形式中直接位于彈簧板2上。所述止擋面13a、13b和彈簧元件12a、12b都是彈簧板區(qū)段46的一部分，該彈簧板區(qū)段在四周基本上與周?chē)膹椈砂逯黧w47是分離的并只通過(guò)多個(gè)懸掛彈簧48彈性地與所述彈簧板主體47相連。在這種情況下設(shè)有兩個(gè)懸掛彈簧48，所述懸掛彈簧設(shè)置在每個(gè)彈簧板區(qū)段46的徑向相對(duì)的角部區(qū)域內(nèi)。彈簧板區(qū)段46由此浮動(dòng)地支承在彈簧板主體47中，其中所述彈簧板區(qū)段可以向所有側(cè)面相對(duì)于彈簧板主體46移動(dòng)。此外，在所示實(shí)施例中，每個(gè)彈簧板區(qū)段46具有三個(gè)對(duì)中孔49形式的對(duì)中結(jié)構(gòu)。當(dāng)裝備有彈簧板2的接線(xiàn)端支架在裝載半導(dǎo)體器件之后朝接通裝置、例如朝接觸座或DUT板移動(dòng)時(shí)，以這種方式可以使每個(gè)彈簧板區(qū)段46和容納在其中的半導(dǎo)體器件以簡(jiǎn)單的方式對(duì)中，其中此時(shí)在所述接通裝置上設(shè)有相應(yīng)的對(duì)中銷(xiāo)栓，所述對(duì)中銷(xiāo)栓接合到對(duì)中孔49中。
圖27示出彈簧板2的另一個(gè)實(shí)施例，該彈簧板通過(guò)與根據(jù)前面的實(shí)施形式的基板和/或蓋板相組合也可以形成多層的復(fù)合板。這里彈簧板2也設(shè)計(jì)成平面平行的平坦的板并具有多個(gè)孔口 ll，分離成單件的半導(dǎo)體器件能夠裝入所述孔口中。與前面的實(shí)施形式的重要區(qū)別在于，在該彈簧板2中、特別是如圖28所示，對(duì)每個(gè)容納凹部只設(shè)有唯一一個(gè)彈簧元件12a。該彈簧元件12a也可以按與在圖6和7中示出的彈簧元件12a相同的方式構(gòu)成，因此，可以參考那里的說(shuō)明。半導(dǎo)體器件被壓靠在其上的止擋面13a位于孔口 11的與彈簧元件12a相對(duì)的側(cè)面上。除此以外，止擋面也可以毫無(wú)問(wèn)題地設(shè)置在蓋板或基板上，所述蓋板或基板在兩側(cè)與彈簧板2相鄰接。 圖29示出接線(xiàn)端支架5〃 〃的另一個(gè)實(shí)施例的俯視圖。如圖31、32所示，該接線(xiàn)端支架5〃 〃由三層的復(fù)合板組成，該復(fù)合板具有基板1、彈簧板2和蓋板3。所有三個(gè)板也設(shè)計(jì)成平面平行的平坦的薄板，所述板適宜地具有相同的長(zhǎng)和寬尺寸。
與第一實(shí)施形式的基板1不同，在圖31、32中示出的基板1不是用于形成用于上面支承有半導(dǎo)體器件的各單個(gè)容納凹部的底部。相反基板1在每個(gè)容納凹部的區(qū)域內(nèi)具有孔口 50，該孔口設(shè)置在彈簧板2的相配的孔口的下方。從上面由圖29可見(jiàn)的蓋板3具有孔口 51，該孔口設(shè)置在彈簧板的孔口 11的上方。此外，孔口 50、51的尺寸確定成，是半導(dǎo)體器件7'的體部可以穿過(guò)，而所述體部不會(huì)碰撞到各所述孔口的側(cè)面邊緣上。
彈簧板2按與圖27、28中所示相同或類(lèi)似的方式構(gòu)成。 圖31示出在這樣一種狀態(tài)下在一個(gè)容納凹部的區(qū)域內(nèi)的復(fù)合板，在該狀態(tài)下，彈簧元件12a通過(guò)合適的操作裝置，例如通過(guò)操作裝置4、4'側(cè)向向外，即在圖31中向右運(yùn)動(dòng)，從而提供了足夠大的側(cè)向自由空間，半導(dǎo)體器件7'的體部19可以從上方通過(guò)所述自由空間穿過(guò)孔口 51、11、50，直至半導(dǎo)體器件7'的引腳支承在蓋板3的上側(cè)上。如果接下來(lái)將操作裝置從彈簧元件12a上松開(kāi)，則所述彈簧元件由于其預(yù)緊力沿側(cè)向壓靠在半導(dǎo)體器件7'的體部19上并使其向左朝止擋面13a移動(dòng)，如圖32所示的那樣，所述止擋面在這種情況下既位于基板1上，也位于蓋板3上。
在這個(gè)實(shí)施形式中，不要求設(shè)置專(zhuān)門(mén)的引腳支承元件。相反，蓋板3的表面至少在引腳30支承在蓋板3上的位置處由不導(dǎo)電的材料制成就足夠了。蓋板3也可以和每個(gè)其它的板一樣也可以由用不導(dǎo)電的材料涂覆的彈簧鋼板制成。 在本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以實(shí)現(xiàn)多種變型。特別是可以將前面所述的各種實(shí)施形式的各種不同的基板、彈簧板和蓋板按不同的方式相互組合，以實(shí)現(xiàn)用于多個(gè)分離成單件的半導(dǎo)體器件的接線(xiàn)端支架，所述接線(xiàn)端支架可以針對(duì)相應(yīng)的使用目的優(yōu)化設(shè)計(jì)。盡管在很多情況下有利的是，實(shí)現(xiàn)一種具有基板、彈簧板和蓋板的三層復(fù)合板，但也可以設(shè)想，只實(shí)現(xiàn)兩層的復(fù)合板或由多于三個(gè)板組成的復(fù)合板。接線(xiàn)端支架也可以只具有彈簧板，即設(shè)計(jì)成單層的。此時(shí)，容納凹部只由彈簧板的孔口形成。此外，各單個(gè)板不是一定具有相同的寬度和長(zhǎng)度尺寸，盡管這是有利的。各單個(gè)板也可以分割開(kāi)并將各部分段并排設(shè)置，例如當(dāng)由此可以簡(jiǎn)化制造時(shí)。
1權(quán)利要求
一種用于定向和保持多個(gè)分離成單件的半導(dǎo)體器件(7、7′)的裝置，具有板式的接線(xiàn)端支架(5、5′、5′″、5″″)，其中所述接線(xiàn)端支架具有-多個(gè)相互并排設(shè)置的容納凹部(6)，半導(dǎo)體器件(7、7′)能夠裝入所述容納凹部(6)中，-用于在容納凹部(6)中對(duì)各半導(dǎo)體器件(7、7′)進(jìn)行精確定位的止擋元件，-用于通過(guò)彈簧力將半導(dǎo)體器件(7、7′)壓靠到所述止擋元件上的彈簧元件(12a、12b)，其特征在于，所述彈簧元件(12a、12b)是彈簧板(2、2′)的一部分，所述彈簧板(2、2′)具有多個(gè)并排設(shè)置的孔口(11)，所述孔口(11)形成相應(yīng)的多個(gè)用于半導(dǎo)體器件(7、7′)的容納凹部(6)，其中所述彈簧元件(12a、12b)一體地由所述彈簧板(2、2′)形成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，所述接線(xiàn)端支架(5、5' 、5' 〃 、5〃 〃 ) 由多層的復(fù)合板組成，所述復(fù)合板包括所述彈簧板(2、2')和與彈簧板相鄰的基板(1、 1' 、1' "、1〃 〃 )和/或蓋板(3、3')，其中所述彈簧板(2、2')至少在所述基板(l、 1' 、1' 〃 、1〃 〃 )或所述蓋板(3、3')的大部分上延伸。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述彈簧板(2、2')由平的板組成， 并且所述彈簧元件(12a、12b)由彈簧片組成，所述彈簧片設(shè)置在彈簧板(2、2')的平面內(nèi) 或平行于該平面設(shè)置并且是能運(yùn)動(dòng)的。
4. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述接線(xiàn)端支架(5、5'、 5' 〃 、5〃 〃 )對(duì)于每個(gè)容納凹部(6)具有至少兩個(gè)相互成角度設(shè)置的、具有不同強(qiáng)度彈 簧力的彈簧元件(12a、12b)，通過(guò)所述彈簧元件能夠沿兩個(gè)不同的方向?qū)雽?dǎo)體器件(7、 7')壓靠在止擋元件上，并且所述裝置包括操作裝置(4、4' 、4' 〃 )，所述操作裝置這樣 與所述彈簧元件(12a、12b)共同作用，S卩，首先使具有較弱彈簧力的彈簧元件(12a)將半 導(dǎo)體器件(7、7')壓靠到相配的相對(duì)的止擋元件上，然后才使具有較強(qiáng)彈簧力的彈性元件 (12b)將半導(dǎo)體器件(7、7')壓靠到相配的相對(duì)的止擋元件上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述基板(1)設(shè)計(jì)成平的 板，所述平的板構(gòu)成容納凹部(6)的底部。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述基板(1)具有設(shè)置在容 納凹部(6)的區(qū)域內(nèi)的、用于導(dǎo)入半導(dǎo)體器件(7')的孔口 (50)，其中所述孔口 (50)和所 述彈簧板(2、2')的孔口 (11)相重疊。
7. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述彈簧板(2)對(duì)于每個(gè)容 納凹部(6)具有一個(gè)能浮動(dòng)固定的彈簧板區(qū)段(46)，所述彈簧板區(qū)段(46)設(shè)有對(duì)中結(jié)構(gòu)并 且具有至少一個(gè)彈簧元件(12a、12b)以及用于導(dǎo)入半導(dǎo)體器件(7、7')的孔口 (11)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2至7中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，用于對(duì)半導(dǎo)體器件(7、7') 進(jìn)行精確定位的止擋元件設(shè)置在蓋板(3)或彈簧板(2、2')上。
9. 根據(jù)權(quán)利要求2至8中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述蓋板(3、3')由至少 在彈簧板(2、2')的大部分上延伸的平的板構(gòu)成并具有孔口 (20)，所述孔口 (20)設(shè)置在 所述彈簧板(2、2')的孔口 (11)的上方。
10. 根據(jù)權(quán)利要求2至9中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述接線(xiàn)端支架(5〃 )設(shè) 計(jì)成用于容納具有引腳(30)的半導(dǎo)體器件(7')，其中所述基板(l')具有引腳支承元件(31)，所述引腳支承元件(31)穿過(guò)彈簧板(2、2')的孔口 (32)延伸，以便形成用于引 腳(30)的支承部。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述接線(xiàn)端支架(5')設(shè)計(jì)成用于容納 具有引腳(30)的半導(dǎo)體器件(7')，其中，所述蓋板(3')由電絕緣的材料制成并具有設(shè) 置在孔口 (20)旁邊的引腳支承區(qū)段，所述引腳支承區(qū)段形成用于引腳(30)的支承部。
12. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述接線(xiàn)端支架(5' 、5〃 ) 具有兩個(gè)或多個(gè)相互疊置設(shè)置的彈簧板(2、2')，在所述彈簧板上設(shè)置彈簧元件(12a、 12b)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求4至12中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述操作裝置(4、4') 具有平行于接線(xiàn)端支架平面設(shè)置的主板(26)和從所述主板(26)上突出的操作元件(10a、 10b)，所述操作元件(10a、10b)在操作裝置(4、4')接近接線(xiàn)端支架(5、5' 、5〃 )時(shí)與彈 簧元件(12a、12b)進(jìn)入接合，以便將彈簧元件側(cè)向向外推壓到打開(kāi)位置中。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于，所述主板(26)具有設(shè)置在接線(xiàn)端支架 (5、5' 、5〃 )的容納凹部(6)上方的對(duì)中口 (27)，所述對(duì)中口 (27)用于引導(dǎo)半導(dǎo)體器件 (7、7')穿過(guò)并對(duì)其進(jìn)行預(yù)對(duì)中。
15. 根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的裝置，其特征在于，操作元件(10a、10b)由具有斜面 (28a、28b)的楔形元件構(gòu)成，所述楔形元件可以與彈簧元件(12a、12b)進(jìn)行接合或脫離接 合。
16. 根據(jù)權(quán)利要求13至15中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述操作裝置(4、4') 的操作元件(10a、10b)設(shè)計(jì)成并且相對(duì)于彈簧元件(12a、12b)設(shè)置成，使得在操作裝置(4、 4')的確定的位置中，具有較強(qiáng)彈簧力的彈簧元件(12b)仍與相配的操作元件(10b)處于 壓力接合，而具有較弱彈簧力的彈簧元件(12a)已經(jīng)與相配的彈簧元件(10a)脫離壓力接合。
17. 根據(jù)權(quán)利要求4至16中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，具有較弱彈簧力的彈簧 元件(12a)具有能與半導(dǎo)體器件(7、7')相接觸的第一壓力面(15a)，而具有較強(qiáng)彈簧力 的彈簧元件(12b)具有能與半導(dǎo)體器件(7、7')相接觸的第二壓力面(15b)，其中第一壓 力面(15a)到相對(duì)的止擋元件的距離(A)比第二壓力面(15b)到相對(duì)的止擋元件的距離 更小，從而具有長(zhǎng)方體形體部的半導(dǎo)體器件(7、7')首先由具有較弱彈簧力的彈簧元件 (12a)壓靠到相對(duì)的止擋元件上。
18. 根據(jù)權(quán)利要求4至12中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述彈簧板(2、2')可 移動(dòng)地設(shè)置在所述基板(l' 〃 )上并能夠通過(guò)操作裝置(4' 〃 )相對(duì)于基板(l' 〃 )這 樣移動(dòng)，即，使彈簧元件(12a、12b)壓靠在裝入容納凹部(6)中的半導(dǎo)體器件(7、7')上， 其中彈簧元件(12a、12b)被預(yù)緊。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的裝置，其特征在于，所述彈簧板(2、2')通過(guò)滑槽導(dǎo)向裝 置以可移動(dòng)的方式在基板(l' 〃 )上被引導(dǎo)。
20. —種用于將分離成單件的半導(dǎo)體器件(7、7')定向和保持在接線(xiàn)端支架(5、5'、 5〃 )的容納凹部(6)內(nèi)的方法，其中通過(guò)操作裝置(4、4')將接線(xiàn)端支架(5、5' 、5〃 )的 彈簧元件(12a、12b)移動(dòng)到允許將半導(dǎo)體器件(7、7')裝入容納凹部(6)中的打開(kāi)位置， 并且在將半導(dǎo)體器件(7、7')裝入后使所述彈簧元件與半導(dǎo)體器件(7、7')壓力接觸，以便通過(guò)彈簧元件(12a、12b)的彈簧力將半導(dǎo)體器件(7、7')壓靠到相對(duì)的止擋元件上，其 特征在于，提供接線(xiàn)端支架(5、5' 、5〃 )，所述接線(xiàn)端支架(5、5' 、5〃 )對(duì)于每個(gè)容納凹 部(6)具有至少兩個(gè)相互成角度設(shè)置的、具有不同強(qiáng)度彈簧力的彈簧元件(12a、12b)，以便 沿兩個(gè)不同的方向?qū)雽?dǎo)體器件(7、7')壓靠到止擋元件上，并且所述操作裝置(4、4') 在將半導(dǎo)體器件(7、7')裝入容納凹部(6)中之后這樣從彈簧元件(12a、12b)上松開(kāi)，即， 首先使具有較弱彈簧力的彈簧元件(12a)將半導(dǎo)體器件(7、7')壓靠到相配的相對(duì)的止擋 元件上，然后才使具有較強(qiáng)彈簧力的彈性元件(12b)將半導(dǎo)體器件(7、7')壓靠到相配的 相對(duì)的止擋元件上。
21. —種用于將分離成單件的半導(dǎo)體器件(7、7')定向和保持在接線(xiàn)端支架(5' 〃 ) 的容納凹部(6)內(nèi)的方法，其中通過(guò)操作裝置(4' 〃 )將接線(xiàn)端支架(5' 〃 )的彈簧元 件(12a、12b)移動(dòng)到允許將半導(dǎo)體器件(7、7')裝入容納凹部(6)中的打開(kāi)位置，并且在 將半導(dǎo)體器件(7、7')裝入后使所述彈簧元件與半導(dǎo)體器件(7、7')壓力接觸，以便通過(guò) 彈簧元件(12a、12b)的彈簧力將半導(dǎo)體器件(7、7')壓靠到相對(duì)的止擋元件上，其特征在 于，提供接線(xiàn)端支架(5' 〃 )，所述接線(xiàn)端支架(5' 〃 )對(duì)于每個(gè)容納凹部(6)具有至少兩 個(gè)相互成角度設(shè)置的、具有不同強(qiáng)度的彈簧力的彈簧元件(12a、12b)，以便沿兩個(gè)不同的方 向?qū)雽?dǎo)體器件(7、7')壓靠到止擋元件上，并且所述相互成角度設(shè)置的彈簧元件(12a、 12b)在將半導(dǎo)體器件(7、7')裝入容納凹部(6)中之后通過(guò)所述操作裝置(4' 〃 )這樣 移動(dòng)，即，首先使具有較弱彈簧力的彈簧元件(12a)將半導(dǎo)體器件(7、7')壓靠到相配的相 對(duì)的止擋元件上，然后才使具有較強(qiáng)彈簧力的彈性元件(12b)將半導(dǎo)體器件(7、7')壓靠 到相配的相對(duì)的止擋元件上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于將多個(gè)分離成單件的半導(dǎo)體器件定向和保持在接線(xiàn)端支架(5)的相互分開(kāi)的容納凹部(6)中的裝置和方法，在所述裝置和方法中，接線(xiàn)端支架(5)具有彈簧元件(12a、12b)，所述彈簧元件(12a、12b)是彈簧板(2)的一部分。彈簧板(2)具有多個(gè)并排設(shè)置的孔口(11)，其用于形成相應(yīng)多個(gè)用于半導(dǎo)體器件的容納凹部(6)，其中所述彈簧元件(12a、12b)一體地由所述彈簧板(2)形成。
文檔編號(hào)G01R31/28GK101765784SQ200980000446
公開(kāi)日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2009年2月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月15日
發(fā)明者托馬斯·霍夫曼, 馬克斯·紹勒 申請(qǐng)人:綜合測(cè)試電子系統(tǒng)有限公司