專利名稱：高精密直線度檢查儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種高精密直線度檢查儀，具體的說是一種用于精密儀器、精密
零件等相關(guān)位置的平行度、直線度、等高、等厚的檢查儀，屬于精密測量儀器領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的機械加工制造、儀器儀表的生產(chǎn)以及零部件的生產(chǎn)制造中，為了保證產(chǎn) 品及設(shè)備的質(zhì)量，必須要對產(chǎn)品進行質(zhì)檢和檢查，設(shè)備以及產(chǎn)品的精度已經(jīng)成為衡量該產(chǎn) 品的質(zhì)量以及該企業(yè)的先進化程度以及國家的制造業(yè)水平的標準。所以能否保證產(chǎn)品的精 度就體現(xiàn)在是否有高精密的檢查儀器本身上。 中國實用新型專利91222107. 0公開了一種機床直線度檢測裝置，是在現(xiàn)有鋼絲 顯微鏡檢測裝置的基礎(chǔ)上改進而成，由兩套分別用前后調(diào)整滑塊，調(diào)整支承塊、雙向垂直調(diào) 整滑塊與調(diào)整螺栓、彈簧擋圈組成的鋼絲固定調(diào)節(jié)器以及串接于鋼絲調(diào)節(jié)器之間的彈簧測 力表組成。 中國實用新型專利96222424. 3公開了一種直線度測量儀，該測量儀包括兩端設(shè) 有支座的長導(dǎo)軌，所述長導(dǎo)軌上設(shè)有滑塊，滑塊上連接有表架，表架上夾持有量表；所述滑 塊上也設(shè)有支座。 中國實用新型專利94214462. 7公開了一種可在線測量零件的直線度誤差的測量 儀，主要由位移傳感器(1)、 (2)，外觸發(fā)器(8)，前置放大器(4)，低通濾波器(5)， A/D轉(zhuǎn)換 器(6)，單片計算機(7)，面板式打印機(10)及液晶顯示屏(11)組成。 上述的各種直線度檢查設(shè)備雖各具特點，但均存在一定缺陷，比如說設(shè)備本身比 較復(fù)雜，導(dǎo)軌本身在與滑塊配合的過程中存在一定的誤差，不能確保測量的準確性，而且受 外界溫度、濕度的影響比較大，彈簧結(jié)構(gòu)本身的力的不穩(wěn)定性也給測量帶來一定的誤差，并 且儀器測量的對象比較單一，限制了使用的廣泛性，維護量大且儀器造價相對較高等?，F(xiàn)有 的直線度檢測方法比較笨重，檢測精度低。直線度檢查儀很好的彌補了這一點。他具有操 作靈活方便，穩(wěn)定性好，精度高等特點。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種高精密
直線度檢查儀，它所具有的氣浮導(dǎo)軌，可達到極小的誤差，同時儀器穩(wěn)定性很好，當將外界
溫度、濕度的影響降到最小，能最大程度上保證了該檢查儀的測量精度，并且設(shè)置的懸臂以
及在懸臂上設(shè)置的夾表機構(gòu)，可根據(jù)使用者的需要隨時更換表頭，測量對象相對較寬泛。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是一種高精密直線度檢查
儀，包括導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上設(shè)有滑塊，滑塊上連接橫梁機構(gòu)，所述橫梁結(jié)構(gòu)連接用于固定量表的
夾表裝置，所述滑塊上設(shè)置有氣浮機構(gòu)，氣浮機構(gòu)上設(shè)置立柱，與橫梁機構(gòu)連接。 上述的高精密直線度檢查儀，所述氣浮機構(gòu)包括底板，和在底板上設(shè)置的滑塊；滑
塊包括主滑塊，主滑塊一側(cè)面連接側(cè)滑塊，另一側(cè)面安裝擋板；所述側(cè)滑塊上設(shè)置直線度后
3蓋，底端設(shè)置開關(guān)進氣口。 上述的高精密直線度檢查儀，所述升降機構(gòu)包括立柱，立柱頂端設(shè)置有手輪，兩側(cè) 設(shè)置前蓋和后蓋，運動部分連接立柱與橫梁機構(gòu)。 上述的高精密直線度檢查儀，所述橫梁機構(gòu)為懸臂，所述懸臂與立柱采用滾珠絲 杠控制升降。 本實用新型高精密直線度檢查儀的優(yōu)點是采用升降式立柱與固定夾表裝置的懸 臂配合使用，大大的提高了檢查儀的測量范圍，升降式立柱與懸臂采用滾珠絲杠連接可在 測量時方便的對夾表裝置進行調(diào)節(jié)，以適應(yīng)不同的測量位置，導(dǎo)軌采用氣吸浮滑塊技術(shù)，用 它組成空氣軸承，省去了復(fù)雜的予加載荷部件，從而大大減少了予加載荷工作面帶來的誤 差，且該氣吸浮滑塊采用固定角度，簡化了結(jié)構(gòu)，使性能更加穩(wěn)定，懸臂與滑塊采用天然花 崗石石料制成，該材料精度高，變形量小同時受溫度的影響小，延長了使用壽命。主要用于 均勻金屬材料零件的直線度測量，可對圓柱型零件的外圓、有限長度的內(nèi)孔母線及平面的 直線度進行在線測量，更適合大型零件的直線度測量，還可以對機床導(dǎo)軌面的扭曲度進行
以下結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。


圖1為本實用新型高精密直線度檢查儀結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式如圖1所示，該高精密直線度檢查儀，包括底板l，夾表裝置2、主滑塊3、側(cè)滑塊4、 導(dǎo)軌5、直線度后蓋6、進氣口 7、懸臂8、立柱9、手輪10、前蓋11、夾表裝置12、運動部分1、 3后蓋14、擋板15。在底板1下方設(shè)置有導(dǎo)軌5，該導(dǎo)軌5采用氣浮機構(gòu)，主測量面和側(cè)導(dǎo) 向面均采用氣浮滑塊，采用了固定角度以簡化結(jié)構(gòu)。 該氣浮系統(tǒng)利用花崗石平板相互垂直的兩個平面，作為高精度氣浮區(qū)。氣浮區(qū)的 精度是該測量系統(tǒng)高精度的依據(jù)。真空吸附通過開關(guān)進氣口 7給氣浮系統(tǒng)一個穩(wěn)定且恒定 的"預(yù)加載荷"，使之在相互垂直的高精度氣浮區(qū)做無摩擦的高精度直線運動。本機直線度 優(yōu)于0. 5 ii m/800mm。當環(huán)境條件(溫度、濕度、震動、氣源)理想狀態(tài)下，直線度會更高。 該氣浮機構(gòu)包括在底板1上設(shè)置的主滑塊3，主滑塊3 —側(cè)面連接側(cè)滑塊4，主滑 塊3另一側(cè)面安裝擋板5，側(cè)滑塊4側(cè)面設(shè)置直線度后蓋6，底端設(shè)置進氣口 7，該導(dǎo)軌5采 用天然花崗石材料，精度高，變形量小，受溫度的影響小。，夾表裝置2可在懸臂8上根據(jù)被 測物體的尺寸自由調(diào)節(jié)，夾表裝置2用其本身的彈簧調(diào)節(jié)裝置實現(xiàn)微調(diào)，所夾表可根據(jù)用 戶要求自行選擇。彈簧調(diào)節(jié)裝置為現(xiàn)有技術(shù)，在此就不作進一步說明了。 該高精密直線度檢查儀可實現(xiàn)直線度、平行度、等高、等厚測量，數(shù)據(jù)采集后，可通 過計算機評定測量結(jié)果，測量范圍可根據(jù)用戶需求，具有可轉(zhuǎn)方向、可微調(diào)的夾表裝置2，可 夾持杠桿千分表、數(shù)顯表、電感測頭等。其中主滑塊3上設(shè)置底板1，底板1上設(shè)置有升降機 構(gòu)，升降機構(gòu)包括立柱9，立柱9頂端設(shè)置有把手10，兩側(cè)設(shè)置前蓋11和后蓋12，前蓋11和 后蓋12通過螺栓與運動部分13連接，運動部分13連接立柱9與橫梁機構(gòu)，橫梁機構(gòu)為懸 臂8，懸臂8與立柱9通過滾軸絲杠連接，并可沿立柱9上下旋轉(zhuǎn)移動，控制測量表的升降，
4結(jié)構(gòu)簡單、實用價格低廉。懸臂8與主滑塊3、側(cè)滑塊4均采用天然花崗石材料，精度高，變 形量小，受溫度的影響小，可最大程度地保證測量結(jié)果的準確性。 如圖l所示，使用時首先打開氣源開關(guān)，吸附滑塊充氣后，依靠真空與正壓共同作 用，二者在平衡狀態(tài)下，主滑塊3、側(cè)滑塊4與導(dǎo)軌5平面間形成一個均勻的極薄氣膜，使其 緊密貼合在一起，通過手動控制滑塊沿著導(dǎo)軌5做無摩擦運動。旋轉(zhuǎn)手輪10使?jié)L珠絲杠上 下運動從而帶動懸臂8上下運動。懸臂8和夾表裝置2靠手動左右移動，測量時用鎖緊旋 鈕鎖緊。將指示表接觸被測工件工作面，通過氣浮滑塊左右運動指示表反映的數(shù)值，得出被 測工件的直線度。 當然，上述說明并非是對本實用新型的限制，本實用新型也不限于上述舉例，凡是 在本實用新型實質(zhì)范圍內(nèi)作出的變化、改型、添加或替換以及應(yīng)用，都應(yīng)屬于本實用新型的 保護范圍。
權(quán)利要求一種高精密直線度檢查儀，包括導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上設(shè)有滑塊，滑塊上連接橫梁機構(gòu)，所述橫梁結(jié)構(gòu)連接用于固定量表的夾表裝置，其特征在于所述滑塊上設(shè)置有氣浮機構(gòu)，氣浮機構(gòu)上設(shè)置立柱，與橫梁機構(gòu)連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精密直線度檢查儀，其特征是所述氣浮機構(gòu)包括底板，和 在底板上設(shè)置的滑塊；滑塊包括主滑塊，主滑塊一側(cè)面連接側(cè)滑塊，另一側(cè)面安裝擋板；所 述側(cè)滑塊上設(shè)置直線度后蓋，底端設(shè)置開關(guān)進氣口 。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的高精密直線度檢查儀，其特征是所述升降機構(gòu)包括立柱，立 柱頂端設(shè)置有手輪，兩側(cè)設(shè)置前蓋和后蓋，運動部分連接立柱與橫梁機構(gòu)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的高精密直線度檢查儀，其特征是所述橫梁機構(gòu)為懸臂，所述 懸臂與立柱采用滾珠絲杠控制升降。
專利摘要本實用新型公開了一種高精密直線度檢查儀，包括導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上設(shè)有滑塊，滑塊上連接橫梁機構(gòu)，所述橫梁機構(gòu)連接用于固定量表的夾表裝置，所述滑塊上設(shè)置有氣浮機構(gòu)，氣浮機構(gòu)上設(shè)置立柱，與橫梁機構(gòu)連接。導(dǎo)軌采用氣吸浮滑塊技術(shù)，用它組成空氣軸承，省去了復(fù)雜的予加載荷部件，從而大大減少了予加載荷工作面帶來的誤差，且該氣吸浮滑塊采用固定角度，簡化了結(jié)構(gòu)，使性能更加穩(wěn)定。
文檔編號G01B5/02GK201548181SQ200920225910
公開日2010年8月11日 申請日期2009年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月2日
發(fā)明者周崢, 姜智德, 崔朝霞, 張五庭, 張雷, 張龍, 朱志先, 李振河, 程永飛 申請人:青島前哨精密儀器有限公司