專利名稱：光學(xué)晶體測(cè)徑儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種光學(xué)晶體測(cè)徑儀，特別涉及一種用于測(cè)量加工過(guò)程中單晶爐
內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的單晶硅晶體直徑的光學(xué)晶體測(cè)徑儀。
背景技術(shù)：
目前，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的用于測(cè)量加工過(guò)程中單晶爐內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的單晶硅晶體直徑采用的是 圖像信息技術(shù)，如CN200610105331公開(kāi)的一種基于霍夫變換的直拉單晶硅棒直徑的測(cè)量 方法，主要是采用單只攝像頭對(duì)晶體生長(zhǎng)過(guò)程中的圖像進(jìn)行同步采集，然后對(duì)圖像信息進(jìn) 行預(yù)處理，再采用Hough變換對(duì)圖像中的晶體生長(zhǎng)信息進(jìn)行檢測(cè)，得到直徑、圓心X坐標(biāo)和 圓心Y坐標(biāo)三個(gè)參數(shù)，最后對(duì)參數(shù)空間曲線交點(diǎn)進(jìn)行均值聚類操作，得到準(zhǔn)確的直徑測(cè)量 值。該方法需要多個(gè)步驟、多臺(tái)設(shè)備，操作繁瑣、程序復(fù)雜、成本較高。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)需要多個(gè)步驟、多臺(tái)設(shè)備，操作 繁瑣、程序復(fù)雜、成本較高的問(wèn)題，提供一種利用光學(xué)顯微鏡瞄準(zhǔn)定位的原理，透過(guò)單晶爐 玻璃窗口對(duì)加工過(guò)程中單晶爐內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的單晶硅晶體直徑直接測(cè)量的儀器。 本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是 本實(shí)用新型包括有一個(gè)底座和由連接筒、目鏡組、分劃板、棱鏡組、物鏡組組成的
瞄準(zhǔn)鏡，在底座上方固定連接有數(shù)顯尺，數(shù)顯尺的尺頭與由半球座、壓片、連接板和球座、鎖
緊釘組成的萬(wàn)向節(jié)固定連接，所述的瞄準(zhǔn)鏡固定在該萬(wàn)向節(jié)上。 在所述的底座的座臺(tái)上還安裝有防止單晶爐內(nèi)強(qiáng)光傷害人眼的濾色片。 在底座后方裝有在使用時(shí)將整機(jī)固定在單晶爐的窗口凸臺(tái)上的固定釘，為了防止
固定釘對(duì)底座的磨損，其間安裝有銅套。 在實(shí)際測(cè)量中，底座直接固定在單晶爐的窗口凸臺(tái)上，用鎖緊釘鎖緊，然后利用光 學(xué)顯微鏡瞄準(zhǔn)轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱型單晶硅晶體的一側(cè)母線，通過(guò)數(shù)顯尺的尺頭帶動(dòng)瞄準(zhǔn)鏡鏡筒同 步移動(dòng)，瞄準(zhǔn)圓柱型單晶硅晶體的另一側(cè)母線，數(shù)顯尺的尺頭移動(dòng)的距離，就是被測(cè)單晶硅 晶體的直徑。 本實(shí)用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可根據(jù)不同的視力程度調(diào)節(jié)焦距， 可對(duì)不同工作距離進(jìn)行調(diào)焦。由于瞄準(zhǔn)鏡固定在萬(wàn)向節(jié)上，因此可進(jìn)行萬(wàn)向調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了直 接、快速測(cè)出爐內(nèi)單晶爐晶體的直徑的目標(biāo)要求，對(duì)提高單晶硅的生產(chǎn)效率和減少?gòu)U品率 起到至關(guān)重要的作用。由于本實(shí)用新型不需要多個(gè)步驟、多臺(tái)設(shè)備，因而程序簡(jiǎn)單、成本較 低，同時(shí)也滿足了測(cè)量精度的要求。

圖1是本實(shí)用新型的主視圖。 圖2是本實(shí)用新型的右視圖。[0012] 圖3是本實(shí)用新型的俯視圖。 圖中l(wèi).目鏡座，2.目鏡組，3.隔圈，4.目鏡壓圈，5.目鏡座筒，6.分劃板，7.分 劃板壓圈，8.連接筒，9.棱鏡組，IO.物鏡壓圈，ll.物鏡組，12.導(dǎo)釘，13.物鏡座，14.調(diào)節(jié) 套，15.半球座，16.壓片，17.連接板，18.球座，19.鎖緊釘，20.數(shù)顯尺，21.底座，22.濾色 片，23.固定釘，24.銅套，25.支架，26.墊塊，27.壓板，28.橫板。
具體實(shí)施方式本實(shí)用新型包括有一個(gè)底座21和由連接筒8、目鏡組2、分劃板6、棱鏡組9、物鏡 組11組成的瞄準(zhǔn)鏡，在底座21上方固定連接有數(shù)顯尺20，數(shù)顯尺20的尺頭與由半球座15、 壓片16、連接板17和球座18、鎖緊釘19組成的萬(wàn)向節(jié)固定連接，所述的瞄準(zhǔn)鏡固定在該萬(wàn) 向節(jié)上。 所述底座21由鑄鋁材料制作，在底座21兩側(cè)用螺釘固定連接有支架25，支架25 上安裝有起聯(lián)結(jié)、固定作用的橫板28，在支架25、橫板28上安裝有墊塊26，墊塊26上方固 定連接有0 300毫米的數(shù)顯尺20，并用壓板27壓緊。所述的瞄準(zhǔn)鏡有一個(gè)連接筒8，在 連接筒8的上端連接有目鏡座筒5，目鏡座筒5與目鏡座1螺紋聯(lián)結(jié)，在目鏡座1中安裝有 目鏡組2，所述的目鏡組2有2組雙膠合鏡片，其間用隔圈3隔開(kāi)，然后用目鏡壓圈4壓緊； 在目鏡座筒5的下方還安裝有分劃板6并用分劃板壓圈7壓緊；所述的目鏡部分通過(guò)目鏡 座1與目鏡座筒5之間的螺紋可進(jìn)行調(diào)焦，以適應(yīng)不同視力程度的人進(jìn)行觀察；在連接筒8 的中上部還粘接有起轉(zhuǎn)向作用的棱鏡組9，在連接筒8的下端內(nèi)安裝有物鏡座13，物鏡組11 通過(guò)物鏡壓圈10壓緊固定在該物鏡座13上；在連接筒8的下端外安裝有調(diào)節(jié)套14，所說(shuō) 的連接筒8的下端還開(kāi)有一段導(dǎo)向槽，物鏡座13通過(guò)導(dǎo)釘12利用調(diào)節(jié)套14帶動(dòng)可以在導(dǎo) 向槽內(nèi)上下滑動(dòng)，對(duì)不同工作距離進(jìn)行調(diào)焦。 在所述的底座21的座臺(tái)上還安裝有濾色片22，防止單晶爐內(nèi)強(qiáng)光傷害人眼。 在底座21后方裝有在使用時(shí)將整機(jī)固定在單晶爐的窗口凸臺(tái)上的固定釘23，為 了防止固定釘23對(duì)底座21的磨損，其間安裝有銅套24。 在實(shí)際測(cè)量中，整機(jī)用固定釘23固定在單晶爐的窗口凸臺(tái)上，然后利用光學(xué)瞄準(zhǔn) 鏡瞄準(zhǔn)單晶爐內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱型單晶硅晶體進(jìn)行測(cè)量，被測(cè)單晶硅晶體一側(cè)母線通過(guò)物鏡組 11、棱鏡組9成像在分劃板6上、通過(guò)目鏡組2可觀察到被測(cè)單晶硅晶體清晰的圖像，再通 過(guò)數(shù)顯尺的尺頭帶動(dòng)瞄準(zhǔn)鏡同步移動(dòng)，瞄準(zhǔn)圓柱型單晶硅晶體的另一側(cè)母線，數(shù)顯尺的尺 頭移動(dòng)的距離，就是被測(cè)單晶硅晶體的直徑。
權(quán)利要求一種光學(xué)晶體測(cè)徑儀，包括有一個(gè)底座[21]和由連接筒[8]、目鏡組[2]、分劃板[6]、棱鏡組[9]、物鏡組[11]組成的瞄準(zhǔn)鏡，其特征在于，在底座[21]上方固定連接有數(shù)顯尺[20]，數(shù)顯尺[20]的尺頭與由半球座[15]、壓片[16]、連接板[17]和球座[18]、鎖緊釘[19]組成的萬(wàn)向節(jié)固定連接，所述的瞄準(zhǔn)鏡固定在該萬(wàn)向節(jié)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的光學(xué)晶體測(cè)徑儀，其特征在于，在所述的底座[21]的座臺(tái)上 還安裝有濾色片[22]。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)晶體測(cè)徑儀，其特征在于，在底座[21]后方裝有在使用 時(shí)將整機(jī)固定在單晶爐的窗口凸臺(tái)上的固定釘[23]和防止固定釘[23]對(duì)底座[21]磨損 的銅套[24]。
專利摘要一種光學(xué)晶體測(cè)徑儀，克服了現(xiàn)有技術(shù)操作繁瑣、程序復(fù)雜、成本較高的問(wèn)題，它包括有一個(gè)底座和由連接筒、目鏡組、分劃板、棱鏡組、物鏡組組成的瞄準(zhǔn)鏡，在底座上方固定連接有數(shù)顯尺，數(shù)顯尺的尺頭與由半球座、壓片、連接板和球座、鎖緊釘組成的萬(wàn)向節(jié)固定連接，所述的瞄準(zhǔn)鏡固定在該萬(wàn)向節(jié)上。在實(shí)際測(cè)量中，利用光學(xué)顯微鏡瞄準(zhǔn)轉(zhuǎn)動(dòng)的圓柱型單晶硅晶體的一側(cè)母線，通過(guò)數(shù)顯尺尺頭帶動(dòng)顯微鏡鏡筒同步移動(dòng)，瞄準(zhǔn)圓柱型單晶硅晶體的另一側(cè)母線，數(shù)顯尺尺頭移動(dòng)的距離，就是被測(cè)單晶硅晶體的直徑，其有益效果是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，成本較低，同時(shí)也滿足了測(cè)量精度的要求。
文檔編號(hào)G01B11/08GK201444040SQ20092001469
公開(kāi)日2010年4月28日 申請(qǐng)日期2009年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月19日
發(fā)明者劉義, 劉紅, 夏光, 李今強(qiáng), 苗桂杰, 范軍 申請(qǐng)人:錦州航星光電設(shè)備有限公