專利名稱:X射線檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及X射線檢查裝置,尤其涉及如下的X射線檢查裝置該X射線檢查裝置 在外殼內(nèi)部設(shè)有載物臺、X射線管和探測器,并使被測定物位于上述載物臺上,從上述X射 線管照射X射線,通過上述探測器進(jìn)行攝像來檢查被測定物,其中,上述載物臺是可旋轉(zhuǎn)的 旋轉(zhuǎn)臺、或者偏向一側(cè)而通孔,在通孔的部分里可旋轉(zhuǎn)地設(shè)有圓形的旋轉(zhuǎn)臺,在上述旋轉(zhuǎn)臺 的下部設(shè)有連桿,在上述連桿的下端里設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī),通過固定架被固定在上述載物臺 上,通過旋轉(zhuǎn)上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)來使上述旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn),可進(jìn)行X軸、y軸水平移動和Z軸垂直 移動,上述探測器可通過托架沿著導(dǎo)軌移動,在電氣電子產(chǎn)品的制作工序中,在印刷電路板 (printedcircuit board, PCB)上安裝組件進(jìn)行焊接作業(yè)后,為了提高產(chǎn)品的可靠性,不僅 使被測定物沿x、y、ζ軸移動,而且使其旋轉(zhuǎn),由此可進(jìn)行多種角度的檢查。
背景技術(shù):
一般,電氣以及電子產(chǎn)品中內(nèi)置有多種種類的PCB。在上述產(chǎn)品的制作工序中,在 PCB上安裝組件進(jìn)行焊接作業(yè)后為了提高產(chǎn)品的可靠性,執(zhí)行對狀態(tài)進(jìn)行檢查的工序。以 前,作為這樣的檢查方法,有目視檢查或者外觀檢查裝置,通過照明裝置和攝像機(jī)來攝影影 像,輸入影像后對影像信號進(jìn)行處理后根據(jù)該形態(tài)判定良/不良,但僅靠外觀檢查有局限 性,因此開發(fā)了利用X射線的x-ray檢查裝置。現(xiàn)有的x-ray檢查裝置利用了 X射線的物質(zhì)透射性,即利用了基于具有與被透射 物質(zhì)的厚度和密度成反比的特性的透射X射線強(qiáng)度的影像形成,能夠容易掌握結(jié)合狀態(tài)的 良/不良。一般,x-ray檢查裝置在外殼內(nèi)部設(shè)有載物臺、X射線管和探測器,并使被測定物 位于上述載物臺上,從上述X射線管照射X射線,通過上述探測器攝像,由此檢查被測定物?,F(xiàn)有的X-ray檢查裝置,在載物臺上放置被測定物,從X射線管照射X射線,將固 定探測器固定在X射線的照射范圍內(nèi)后測定了被測定物,所以存在關(guān)于檢查部位很難得到 立體且多種形態(tài)的入射角,從而導(dǎo)致精度降低的問題,尤其存在具有多層結(jié)構(gòu)的PCB的內(nèi) 部的焊接部,由于形成在表面的焊接部而妨礙精密檢測的問題。為了解決上述問題,開發(fā)了可移動的形成探測器,設(shè)置成不僅具有直線的入射角, 還具有傾斜的入射角的x-ray檢查裝置,但在這種情況下也因取得多種角度的影像有局 限,存在精度降低的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決如上所述的現(xiàn)有的問題而提出,其目的在于提供如下的X射線檢 查裝置該X射線檢查裝置在外殼內(nèi)部設(shè)有載物臺、X射線管和探測器,并使被測定物位于 上述載物臺上,從上述X射線管照射X射線,通過上述探測器進(jìn)行攝像來檢查被測定物,其 中,上述載物臺是可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺、或者偏向一側(cè)而通孔,在通孔的部分里可旋轉(zhuǎn)地設(shè)有圓 形的旋轉(zhuǎn)臺,在上述旋轉(zhuǎn)臺的下部設(shè)有連桿,在上述連桿的下端里設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī),通過固定架被固定在上述載物臺上,通過旋轉(zhuǎn)上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)來使上述旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn),可進(jìn)行X軸、 y軸水平移動和ζ軸垂直移動,上述探測器可通過托架沿著導(dǎo)軌移動,在電氣電子產(chǎn)品的制 作工序中,在PCB上安裝組件進(jìn)行焊接作業(yè)后為了提高產(chǎn)品的可靠性,不僅使被測定物沿 X、y、Z軸移動,而且使其旋轉(zhuǎn),由此可進(jìn)行多種角度的檢查,能夠提高精度以及效率。為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的X射線檢查裝置,在外殼內(nèi)部設(shè)有載物臺、X射線管 和探測器,并使被測定物位于上述載物臺上,從上述X射線管照射X射線,通過上述探測器 進(jìn)行攝像,由此檢查被測定物,其中,上述載物臺是可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺、或者偏向一側(cè)而通孔, 在通孔的部分里可旋轉(zhuǎn)地設(shè)有圓形的旋轉(zhuǎn)臺,上述旋轉(zhuǎn)臺在下部設(shè)有連桿,在上述連桿的 下端設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī),通過固定架被固定在上述載物臺上,通過旋轉(zhuǎn)上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)來使 上述旋轉(zhuǎn)臺110旋轉(zhuǎn)。而且,上述旋轉(zhuǎn)臺可全部或者選擇性地設(shè)有y軸水平移動部件、χ軸水平移動部件 和ζ軸水平移動部件,其中,該y軸水平移動部件通過固定架被支撐,并可沿y軸水平移動, 該χ軸水平移動部件通過固定架被支撐,并可沿χ軸水平移動,該ζ軸水平移動部件通過固 定架被支撐,并可垂直移動,上述探測器可通過托架沿著導(dǎo)軌移動,該導(dǎo)軌是圓弧型、直線 型、或者圓弧型的端部里設(shè)有直線型的形態(tài)中的某一個。而且,上述X射線管可隨著被固定在導(dǎo)軌上移動的移動部件垂直移動。而且,上述探測器可隨著被固定在導(dǎo)軌上移動的移動部件垂直移動。而且,上述連桿的中央設(shè)有通孔,上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)由中央設(shè)有中孔的中孔電動機(jī) 構(gòu)成,上述探測器通過該通孔可攝像上述旋轉(zhuǎn)臺上的被測定物。而且,為了在上述載物臺的一側(cè)里固定被測定物,設(shè)有虎鉗夾口,還設(shè)有夾口部, 該夾口部上設(shè)有電動機(jī),可旋轉(zhuǎn)該虎鉗夾口。而且,為了微調(diào)位于上述載物臺上部的被測定物的位置,在上述載物臺的一側(cè)里、 在桿的一端設(shè)有由y軸移動單元和χ軸移動單元所構(gòu)成的水平移動單元,另一端設(shè)有由氣 缸移動的頂推部的導(dǎo)桿。而且,為了防止上述載物臺垂直移動時與上述X射線管的碰撞,設(shè)有感應(yīng)裝置,該 感應(yīng)裝置在上述外殼側(cè)面的上述X射線管的端部側(cè)高度上,被固定成面向側(cè)面。而且,為了防止上述載物臺垂直移動時與上述探測器或?qū)к壍呐鲎?,設(shè)有感應(yīng)裝 置,該感應(yīng)裝置在上述外殼側(cè)面上被固定成面向下面。而且,上述該等感應(yīng)裝置是監(jiān)視器或光傳感器。而且,上述X射線管設(shè)有定時器,藉由該定時器,使上述X射線管以一定間隔運(yùn)作, 以使暖機(jī)(warm-up)時間最小化。而且,以上述載物臺為中心,在上部設(shè)置X射線管,在下部設(shè)置探測器,在向垂直 向上的方向移動上述載物臺時,可以使上述被測定物以盡可能最近的距離向上述X射線管 移動。在本發(fā)明中,設(shè)定了被測定物的載物臺可旋轉(zhuǎn),可沿χ軸、y軸水平移動,可沿ζ軸 垂直移動,上述探測器通過托架沿著導(dǎo)軌移動,關(guān)于檢查部位可以得到多種入射角,因此, 本發(fā)明具有確保立體的影像信息的同時可進(jìn)行多種角度的檢查,能夠提高精度以及效率非 常有效的效果。
圖1是本發(fā)明X射線檢查裝置的立體圖;圖2是本發(fā)明X射線檢查裝置的主視圖;圖3是本發(fā)明X射線檢查裝置的側(cè)視圖;圖4是為了表示本發(fā)明X射線檢查裝置的工作狀態(tài),提取主要部分后的立體圖;圖5是從上述圖4的下部仰視的狀態(tài)的立體圖;圖6a是用于表示水平移動工作狀態(tài)的上述圖4的主視圖;圖6b是用于表示水平 移動工作狀態(tài)的上述圖4的另一主視圖;圖7是圖標(biāo)本發(fā)明X射線檢查裝置的旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)的斜視圖;圖8是沿著上述圖7的E-E線的斷面圖;圖9是本發(fā)明X射線檢查裝置的夾具的立體圖;圖10是本發(fā)明X射線檢查裝置的探測器300位于上部時的實施例的主視圖;圖11是圖10的探測器300位于上部時的旋轉(zhuǎn)臺的工作狀態(tài)和結(jié)構(gòu)的立體圖;圖12是沿著上述圖11的F-F線的斷面圖;圖13是本發(fā)明導(dǎo)軌310的實施例的圖,圖13a是圖示圓弧型導(dǎo)軌的圖,圖13b是 圖標(biāo)直線型導(dǎo)軌的圖,圖13c是圖標(biāo)圓弧型和直線型的混合結(jié)構(gòu)型導(dǎo)軌的圖;圖14是圖標(biāo)X射線管200、探測器300可隨著被固定在導(dǎo)軌290、390后移動的移 動部件291、391垂直移動的實施例。其中,附圖標(biāo)記說明如下
1外殼 10被測定物
100載物臺110旋轉(zhuǎn)臺
120夾口部121虎鉗夾口
122電動機(jī)130導(dǎo)桿
131y軸移動單元132x軸移動單元
133桿134氣缸
135頂推部200X射線管
290導(dǎo)軌291移動部件
300探測器310導(dǎo)軌
311托架390導(dǎo)軌
391移動部件410y軸水平移動部件
411固定架412工件夾具
420x軸水平移動部件421固定架
422工件夾具430z軸水平移動部件
431固定架432工件夾具
510連桿511通孔
520旋轉(zhuǎn)電動機(jī)530固定架
540支架600感應(yīng)裝置
700感應(yīng)裝置
具體實施例方式以下參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)結(jié)構(gòu)。圖1是本發(fā)明的X射線檢查裝置的立體圖;圖2是本發(fā)明X射線檢查裝置的主視 圖;圖3是本發(fā)明X射線檢查裝置的側(cè)視圖;圖4是為了表示本發(fā)明X射線檢查裝置的工作 狀態(tài),提取主要部分后圖示的立體圖;圖5是從上述圖4的下部仰視的狀態(tài)的立體圖;圖6 是用于表示水平移動工作狀態(tài)的上述圖4的主視圖;圖7是圖標(biāo)本發(fā)明X射線檢查裝置的 旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)的立體圖;圖8是沿著上述圖7的E-E線的斷面圖;圖9是本發(fā)明X射線檢查 裝置的夾具的斜視圖;圖10是本發(fā)明X射線檢查裝置的探測器300位于上部時的實施例的 主視圖;圖11是圖示上述圖10的探測器300位于上部時的旋轉(zhuǎn)臺的工作狀態(tài)和結(jié)構(gòu)的立 體圖;圖12是沿著上述圖11的F-F線的斷面圖;圖13是圖示本發(fā)明導(dǎo)軌310的實施例的 圖,圖13a是圖示圓弧型導(dǎo)軌的圖;圖13b是圖標(biāo)直線型導(dǎo)軌的圖;圖13c是圖標(biāo)圓弧型和 直線型的混合結(jié)構(gòu)型導(dǎo)軌的圖。本發(fā)明的X射線檢查裝置,在外殼1內(nèi)部設(shè)有載物臺100、X射線管200和探測器 300,并使被測定物10位于上述載物臺100上,從上述X射線管200照射X射線,通過上述 探測器300進(jìn)行攝像,由此檢查被測定物10,其中,上述載物臺100是可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺110、 或者偏向一側(cè)而通孔,在通孔的部分里可旋轉(zhuǎn)地設(shè)有圓形的旋轉(zhuǎn)臺110,上述旋轉(zhuǎn)臺110在 下部設(shè)有連桿510,在上述連桿510的下端設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520,通過固定架530被固定在 上述載物臺100上,通過旋轉(zhuǎn)上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520來使上述旋轉(zhuǎn)臺110旋轉(zhuǎn)。而且,上述旋轉(zhuǎn)臺110可全部或者選擇性地設(shè)有y軸水平移動部件410、χ軸水平 移動部件420和ζ軸水平移動部件430,其中,該y軸水平移動部件410通過固定架411被 支撐,并可沿y軸水平移動,該χ軸水平移動部件420通過固定架421被支撐,并可沿χ軸 水平移動、該ζ軸水平移動部件430通過固定架431被支撐,并可沿ζ軸垂直移動,上述探 測器300可通過托架311沿著導(dǎo)軌310移動,該導(dǎo)軌310是圓弧型、直線型、或者圓弧型的 端部里設(shè)有直線型的形態(tài)中的某一個。本發(fā)明的X射線檢查裝置,在外殼1內(nèi)部設(shè)有載物臺100、X射線管200和探測器 300,并使被測定物10位于上述載物臺100上,從上述X射線管200中照射X射線,通過上 述探測器300進(jìn)行攝像,由此檢查被測定物10。上述載物臺100是可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺110或者偏向一側(cè)而通孔,在通孔的部分里可 旋轉(zhuǎn)地設(shè)有圓形的旋轉(zhuǎn)臺110,上述旋轉(zhuǎn)臺110在下部設(shè)有連桿510,在上述連桿510的下 端設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520,通過固定架530被固定在上述載物臺100上,通過旋轉(zhuǎn)上述旋轉(zhuǎn)電 動機(jī)520來使上述旋轉(zhuǎn)臺110旋轉(zhuǎn)。上述載物臺100可以是多邊形、圓形等各種形態(tài),考慮空間利用率的話最理想的 是正四邊形。上述載物臺100僅設(shè)有旋轉(zhuǎn)臺110,或者被構(gòu)成為多邊形、圓形等各種形態(tài),偏向 載物臺100的一側(cè)形成上述旋轉(zhuǎn)臺110。如上述,偏向載物臺100的一側(cè)形成上述旋轉(zhuǎn)臺 110是為了在需要被測定物10的多種攝像角度時將被測定物設(shè)定在旋轉(zhuǎn)臺110上,或者需 要旋轉(zhuǎn)時將被測定物設(shè)定在沒有旋轉(zhuǎn)臺110的部分上通過檢測器300進(jìn)行檢測,有能夠利 用旋轉(zhuǎn)臺110和沒有旋轉(zhuǎn)臺110的載物臺100部分之全部的優(yōu)點(diǎn)。如圖2和圖4所示,上述固定架530的一端固定在上述載物臺100的一側(cè),在上述固定架530的另一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520的連桿510與上述旋轉(zhuǎn)臺110的中央軸部連接, 通過旋轉(zhuǎn)上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520,使上述旋轉(zhuǎn)臺110旋轉(zhuǎn)。如圖4、圖5、圖6a、圖6b所示,通過被上述固定架411支撐的y軸水平移動部件 410可沿y軸水平移動,通過被上述固定架421支撐的χ軸水平移動部件420可沿χ軸水平 移動,通過被上述固定架431支撐的ζ軸水平移動部件430可沿ζ軸水平移動。上述固定架411以在側(cè)部里被固定在載物臺100上的工件夾具412可沿y軸水平 移動的方式與1軸水平移動部件410結(jié)合,上述固定架421以工件夾具422可沿χ軸水平 移動的方式與χ軸水平移動部件420結(jié)合,其中,上述工件夾具422在其上部安裝有上述固 定架411被固定成可沿χ軸水平移動,上述固定架431以工件夾具432可沿ζ軸水平移動 的方式與ζ軸水平移動部件430結(jié)合,上述工件夾具432被設(shè)在上述固定架421的兩個側(cè) 面,可沿ζ軸水平移動。如上述,能夠進(jìn)行水平移動和垂直移動,且能夠使被測定物位于作 業(yè)者所期望的正確的位置??梢匀炕蛘哌x擇性地設(shè)有上述y軸水平移動部件410、χ軸水平移動部件420、 ζ軸水平移動部件430。即、僅設(shè)有y軸水平移動部件410和χ軸水平移動部件420,或者 僅設(shè)有X軸水平移動部件420和Z軸水平移動部件430,或者設(shè)有y軸水平移動部件410、 χ軸水平移動部件420、z軸水平移動部件430全部。例如,不需要倍率調(diào)整時,可以設(shè)有除 ζ軸水平移動部件430外的部件。上述托架311與上述探測器300結(jié)合,以使上述檢測器300沿著上述導(dǎo)軌310移動。上述導(dǎo)軌310是圓弧型、直線型、或者在圓弧型的端部設(shè)有直線型的形態(tài)中的某一個。以前,上述導(dǎo)軌310很難使載物臺100本身旋轉(zhuǎn),因此偶爾使用半圓弧型的導(dǎo)軌, 但本發(fā)明的X射線檢查裝置中設(shè)有旋轉(zhuǎn)臺110,所以本發(fā)明的圓弧型導(dǎo)軌310可以具有任意 角度,僅由1/4圓弧型也能夠充分地得到多種攝像角,因此能夠大幅度地減少空間。另外,由于載物臺100旋轉(zhuǎn),所以即使是直線型的導(dǎo)軌310,也能夠得到多種攝像 角,而且能夠測定被測定物10的正確的比率。如圖13a所示,如果探測器300沿著圓弧型 導(dǎo)軌310a移動,則成為Ll L2 = Li' L2,,但不是Ll L2 = 11 12,不能得出被測 定物10的檢測對象的正確比率,因而在需要正確的比率時存在困難,所以能夠根據(jù)目的使 用圓弧型或者直線型,或者圓弧型的端部設(shè)有直線型的混合型。因此,如圖13b所示,將上述導(dǎo)軌310設(shè)成直線型,使探測器300沿直線移動時, Ll L2 = Ll' L2’,在探測器300中也能夠與被測定物10的比率相同地進(jìn)行測定。而且,如圖13c所示,將上述導(dǎo)軌310設(shè)成圓弧型和直線型混合構(gòu)成,使其具有圓 弧型的優(yōu)點(diǎn)和直線型的優(yōu)點(diǎn)。而且,上述X射線管200可以隨著被固定在導(dǎo)軌290上而移動的移動部件291進(jìn)
行垂直移動。使上述X射線管200移動,使其靠近或者遠(yuǎn)離被測定物10或載物臺100,能夠更加 準(zhǔn)確地進(jìn)行攝像。而且,上述探測器300可以隨著被固定在導(dǎo)軌390上而移動的移動部件391進(jìn)行
垂直移動。
使上述探測器300移動,使其靠近或者遠(yuǎn)離被測定物10或載物臺100,改變倍率調(diào) 節(jié)和影像的強(qiáng)度(亮度),由此能夠更加準(zhǔn)確地進(jìn)行攝像。而且,上述連桿510在中央設(shè)有通孔511,上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520由沖央設(shè)有通孔的 中孔電動機(jī)構(gòu)成,因此上述探測器300能夠通過上述通孔511對上述旋轉(zhuǎn)臺110的被測定 物10進(jìn)行攝像。上述連桿510在中央設(shè)有通孔511,通過中央設(shè)有中孔的中孔電動機(jī)來構(gòu)成旋轉(zhuǎn) 電動機(jī)520,并設(shè)在上述連桿510的下端外周面,使上述連桿510旋轉(zhuǎn)。由于由中孔電動機(jī)構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520其中央形成有中孔,因此被構(gòu)成為旋轉(zhuǎn) 電動機(jī)520的中孔中夾雜上述連桿510。此時,使用中孔電動機(jī)是由于連桿510的下端圓周面上設(shè)置了齒輪,在側(cè)部設(shè)置 了電動機(jī)使傳送帶或齒輪咬合,由此旋轉(zhuǎn)連桿510,但此時電動機(jī)傾向側(cè)面,傳送帶或齒輪 的咬合偏離一些時于連桿510的旋轉(zhuǎn)中心軸彎曲的情形,很難進(jìn)行正確的檢查工作,因而 將與設(shè)有中孔的旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520直接結(jié)合連桿510來直接旋轉(zhuǎn)連桿510。而且,為了在上述載物臺100的一側(cè)里固定被測定物10,設(shè)有虎鉗夾口 121,還設(shè) 有夾口部120,該夾口部120上設(shè)有電動機(jī)122,可旋轉(zhuǎn)該虎鉗夾口 121。上述夾口部120將被測定物10固定在虎鉗夾口 121上,通過電動機(jī)122來旋轉(zhuǎn)固 定被測定物10的虎鉗夾口 121,由此在上述旋轉(zhuǎn)臺110的上部放置被測定物10后,以旋轉(zhuǎn) 旋轉(zhuǎn)臺110來得到的角度以外的其它角度來旋轉(zhuǎn),能夠在多種角度上檢查被測定物10。而且,為了微調(diào)位于上述載物臺100上部的被測定物10的位置,在上述載物臺100 的一側(cè)里,在桿133的一端設(shè)有由y軸移動單元131和χ軸移動單元132構(gòu)成的水平移動 單元,另一端設(shè)有由氣缸134移動的頂推部135的導(dǎo)桿130。上述導(dǎo)桿130上設(shè)有y軸移動單元131和χ軸移動單元132,可進(jìn)行水平移動,在 桿133的端部設(shè)有通過氣缸134可進(jìn)行垂直移動或?qū)蔷€移動的頂推部135。如圖6a、6b和圖9所示,可以設(shè)成氣缸134沿垂直方向移動,沿對角線形成桿133, 氣缸134也沿著對角線工作,能夠使上述頂推部135沿對角線移動。上述導(dǎo)桿130向來需要在微調(diào)設(shè)定在上述載物臺100的上部的被測定物10時需 要開啟外殼1外部的門,作業(yè)者直接用手移動被測定物10,因此存在微調(diào)本身變得困難,檢 查作業(yè)繁雜的問題點(diǎn)。而且,為了防止上述載物臺100垂直移動時與上述X射線管200的碰撞,設(shè)有感應(yīng) 裝置600,該感應(yīng)裝置600在上述外殼1側(cè)面的上述X射線管200的端部側(cè)高度上,被固定 成面向側(cè)面。上述感應(yīng)裝置600通過設(shè)在外部的監(jiān)控器(未圖示),在上述載物臺100垂直移動 時,與上述探測器300或?qū)к?10的間隔變窄的情況下,作業(yè)者通過上述監(jiān)視器進(jìn)行確認(rèn),
確保安全距離,防止碰撞。而且,為了防止上述載物臺100垂直移動時與上述探測器300或?qū)к?10的碰撞, 設(shè)有感應(yīng)裝置700,該感應(yīng)裝置700在上述外殼1側(cè)面上被固定成面向下面。上述感應(yīng)裝置700,通過設(shè)在外部的監(jiān)控器(未圖示),在上述載物臺100垂直移 動時、于上述探測器300或?qū)к?10的間隔變窄的情況下,作業(yè)者通過上述監(jiān)視器進(jìn)行確 認(rèn),確保安全距離,防止碰撞。
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而且,上述感應(yīng)裝置600、700是監(jiān)視器或光傳感器。如圖3所示,上述感應(yīng)裝置600、700用于作業(yè)者通過設(shè)在外部的監(jiān)控器來進(jìn)行監(jiān) 視以防止碰撞,但此時可以是監(jiān)視器或者光傳感器(激光傳感器、紅外線傳感器),上述光 傳感器在間隔窄到一定距離以上時停止移動(水平、垂直、旋轉(zhuǎn)移動等)。而且,上述X射線管200設(shè)有定時器(未圖示),藉由該定時器,使上述X射線管以 一定間隔運(yùn)作,以使暖機(jī)時間最小化。上述X射線管,在啟動時暖機(jī)需要時間,但該時間有點(diǎn)長,因此存在以下缺點(diǎn)有 連續(xù)的檢查作業(yè)時,作業(yè)時間變長。例如,如果8小時以上不使用時,X射線管停止,則為了 重新啟動,經(jīng)過重新暖機(jī)的時間后啟動。因此,追加定時器,以一定時間間隔,例如7小時59 分鐘的間隔啟動X射線管200,則能夠減少作業(yè)者開始作業(yè)時暖機(jī)的時間,縮短作業(yè)時間。而且,以上述載物臺100為中心,在上部設(shè)置X射線管200,在下部設(shè)置探測器 300,在向垂直向上的方向移動上述載物臺100時,可以使上述被測定物10以可以盡可能最 近的距離向上述X射線管300移動。如圖1至圖3所示,以上述載物臺100為中心,在上部設(shè)有X射線管200,下部設(shè)有 探測器300。被構(gòu)成為如上所述時,始終設(shè)定在載物臺100上部的被測定物10盡可能靠近 上述X射線管200。但是,如圖10所示,可以以上述載物臺100為中心,在下部設(shè)有X射線管200,上部 設(shè)有探測器300,雖然未圖示,但可以以上述載物臺100為中心,在兩個側(cè)部分別設(shè)置X射線 管200和探測器300。如果下部設(shè)有X射線管,則基于載物臺100的厚度和固定架等,接近會有限度。如圖10所示,以上述載物臺100為中心,在下部設(shè)有X射線管200,上部設(shè)有探測 器300時,固定架530設(shè)在上部,連桿510、旋轉(zhuǎn)電動機(jī)520設(shè)在上部,因此為了確保設(shè)定被 測定物10的空間,在內(nèi)部形成空隙部,以固定在上述旋轉(zhuǎn)狀態(tài)110上、并通過上述旋轉(zhuǎn)電動 機(jī)510來旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置托架540。如圖11和圖12所示,上述支架連接多個撐架,通過撐 架,探測器300可以進(jìn)行攝像。
權(quán)利要求
一種X射線檢查裝置,其在外殼內(nèi)部設(shè)有載物臺、X射線管和探測器,并使被測定物位于該載物臺上,從該X射線管照射X射線,通過該探測器進(jìn)行攝像,由此檢查被測定物,其特征在于,所述載物臺是可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺、或者偏向一側(cè)而通孔,在通孔的部分里可旋轉(zhuǎn)地設(shè)有圓形的旋轉(zhuǎn)臺,所述旋轉(zhuǎn)臺在下部設(shè)有連桿,在該連桿的下端設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī),通過固定架被固定在所述載物臺上,通過旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)電動機(jī)來使所述旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線檢查裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)臺可全部或者選擇性 地設(shè)有y軸水平移動部件、χ軸水平移動部件和ζ軸水平移動部件,其中,該y軸水平移動 部件通過固定架被支撐,并可沿y軸水平移動,該χ軸水平移動部件通過固定架被支撐,并 可沿χ軸水平移動,該ζ軸水平移動部件通過固定架被支撐,并可垂直移動,所述探測器可 通過托架沿著導(dǎo)軌移動,該導(dǎo)軌是圓弧型、直線型、或者圓弧型的端部里設(shè)有直線型的形態(tài) 中的某一個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線檢查裝置,其特征在于,所述X射線管可隨著被固定在 導(dǎo)軌上移動的移動部件垂直移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的X射線檢查裝置,其特征在于,所述探測器可隨著被固定 在導(dǎo)軌上移動的移動部件垂直移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的X射線檢查裝置,其特征在于,所述連桿的中央設(shè)有通孔,所 述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)由中央設(shè)有中孔的中孔電動機(jī)構(gòu)成,所述探測器通過該通孔可攝像所述旋轉(zhuǎn) 臺上的被測定物。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的X射線檢查裝置,其特征在于,為了在所述載物臺的一側(cè) 里固定被測定物,設(shè)有虎鉗夾口,還設(shè)有夾口部,該夾口部上設(shè)有電動機(jī),可旋轉(zhuǎn)該虎鉗夾
7.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的X射線檢查裝置,其特征在于,為了微調(diào)位于所述載物臺 上部的被測定物的位置,在所述載物臺的一側(cè)里、在桿的一端設(shè)有由y軸移動單元和χ軸移 動單元構(gòu)成的水平移動單元,另一端設(shè)有由氣缸移動的頂推部的導(dǎo)桿。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的X射線檢查裝置,其特征在于,為了防止所述載物臺垂直 移動時與所述X射線管的碰撞,設(shè)有感應(yīng)裝置,該感應(yīng)裝置在所述外殼側(cè)面的所述X射線管 的端部側(cè)高度上,被固定成面向側(cè)面。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的X射線檢查裝置,其特征在于,為了防止所述載物臺垂直 移動時與所述探測器或?qū)к壍呐鲎玻O(shè)有感應(yīng)裝置,該感應(yīng)裝置在所述外殼側(cè)面上被固定 成面向下面。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的X射線檢查裝置,其特征在于,所述感應(yīng)裝置是監(jiān)視器或光 傳感器。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的X射線檢查裝置,其特征在于,所述感應(yīng)裝置是監(jiān)視器或光 傳感器。
12.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的X射線檢查裝置,其特征在于,所述X射線管設(shè)有定時 器,藉由該定時器,使所述X射線管以一定間隔運(yùn)作,以使暖機(jī)時間最小化。
13.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的X射線檢查裝置,其特征在于,以所述載物臺為中心,在 上部設(shè)置X射線管、在下部設(shè)置探測器、在向垂直向上的方向移動所述載物臺時,可以使所述被測定物以 盡可能最近的距離向所述X射線管移動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種X射線檢查裝置。本發(fā)明的X射線檢查裝置在外殼內(nèi)部設(shè)有載物臺、X射線管和探測器,并使被測定物位于上述載物臺上,從上述X射線管照射X射線,通過上述探測器進(jìn)行攝像來檢查被測定物,其中,上述載物臺是可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺、或者偏向一側(cè)而通孔,在通孔的部分里可旋轉(zhuǎn)地設(shè)有圓形的旋轉(zhuǎn)臺,在上述旋轉(zhuǎn)臺的下部設(shè)有連桿,在上述連桿的下端里設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機(jī),通過固定架被固定在上述載物臺上,通過旋轉(zhuǎn)上述旋轉(zhuǎn)電動機(jī)來使上述旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn),可進(jìn)行x軸、y軸水平移動和z軸垂直移動,上述探測器可通過托架沿著導(dǎo)軌移動,關(guān)于檢查部位可以得到多種入射角,因此,具有確保立體的影像信息的同時可進(jìn)行多種角度的檢查,能夠提高精度以及效率非常有效的效果。
文檔編號G01N23/18GK101963587SQ20091016302
公開日2011年2月2日 申請日期2009年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月22日
發(fā)明者李相義, 金亨哲, 金亨在 申請人:株式會社Xavis