專利名稱：撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域的微陀螺，具體是一種撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀。
背景技術(shù)：
當(dāng)前被廣泛研究的微陀螺儀可分為兩種，一種是懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺，另一種是撓性陀螺儀，它們各有其特點(diǎn)。懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺，轉(zhuǎn)子在懸浮狀態(tài)下高速旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速獲得的較大的提高，有助于實(shí)現(xiàn)高精度，但是懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺普遍采用雙定子結(jié)構(gòu)，并且為了提高轉(zhuǎn)子的側(cè)向剛度而需要加工側(cè)向控制電極，使得懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺的加工工藝復(fù)雜，而為了除去轉(zhuǎn)子受到空氣阻力的影響，常見(jiàn)的懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺要使用真空封裝。撓性陀螺儀是一種高性能、低成本的精度較高的陀螺，它以撓性支撐代替?zhèn)鹘y(tǒng)的懸浮技術(shù)而帶來(lái)一系列的優(yōu)點(diǎn)，故在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中獲得廣泛應(yīng)用。
經(jīng)對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)，中國(guó)專利公開(kāi)號(hào)為CN1712894A，名稱為電磁驅(qū)動(dòng)動(dòng)力調(diào)諧撓性轉(zhuǎn)子微陀螺。該專利文中提到該系統(tǒng)包括雙定子結(jié)構(gòu)、電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸承、與軸承相連的轉(zhuǎn)子。該系統(tǒng)是通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸承來(lái)帶動(dòng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生角動(dòng)量，采用雙定子結(jié)構(gòu)，使用了驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子和旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子兩個(gè)轉(zhuǎn)子，從而結(jié)構(gòu)復(fù)雜，并且在工藝上很難利用微加工工藝精確加工電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸承，工藝要求高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提出一種撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀。該陀螺儀使用單定子結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，陀螺的角動(dòng)量是通過(guò)金屬流體的高速旋轉(zhuǎn)來(lái)產(chǎn)生的，并通過(guò)撓性梁將轉(zhuǎn)子與定子連為一體，使該陀螺儀具有很強(qiáng)的抗沖擊能力。轉(zhuǎn)子基體用金屬作材料，轉(zhuǎn)子上表面加工了一個(gè)由硬磁材料制造的圓環(huán)，這個(gè)圓環(huán)與轉(zhuǎn)子連為一體。在定子上加工硬磁材料，定子上的硬磁材料與轉(zhuǎn)子上表面的硬磁圓環(huán)具有磁吸引力，從而能補(bǔ)償撓性梁產(chǎn)生的干擾力矩，使轉(zhuǎn)子成為自由支撐體。在定子上加工檢測(cè)電極通過(guò)與轉(zhuǎn)子形成差分電容來(lái)檢測(cè)轉(zhuǎn)子的位置偏移情況，并使用反饋加矩靜電電極對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行反饋控制。
本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，本發(fā)明包括轉(zhuǎn)子、撓性梁、定子、撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)。轉(zhuǎn)子包括第一基體和環(huán)形腔體，環(huán)形腔體位于第一基體內(nèi)，環(huán)形腔體中注有金屬流體，環(huán)形腔體中的金屬流體在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈所施加的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)的作用下旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生角動(dòng)量；撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)與轉(zhuǎn)子相連，位于轉(zhuǎn)子的上表面；轉(zhuǎn)子與定子通過(guò)撓性梁連接為一體，撓性梁會(huì)隨著轉(zhuǎn)子和定子相對(duì)位置的偏移而發(fā)生相應(yīng)的變形；定子包括第二基體、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈、檢測(cè)電極、反饋加矩靜電電極與撓性補(bǔ)償硬磁極板，在第二基體上由內(nèi)到外分布著八個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈、八個(gè)檢測(cè)電極、八個(gè)反饋加矩靜電電極、四個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁極板，其中反饋加矩靜電電極、撓性補(bǔ)償硬磁極板處于同一個(gè)以定子中心為中心的圓環(huán)上，反饋加矩靜電電極、撓性補(bǔ)償硬磁極板的內(nèi)徑和外徑分別相同，兩個(gè)緊鄰的反饋加矩靜電電極組成一個(gè)反饋加矩靜電電極對(duì)，反饋加矩靜電電極對(duì)與撓性補(bǔ)償硬磁極板彼此交替，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈位于定子的最靠近中心的位置，八個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈在圓周方向上呈對(duì)稱分布，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈的外側(cè)分布著八個(gè)檢測(cè)電極，八個(gè)檢測(cè)電極在圓周方向上呈對(duì)稱分布，四對(duì)反饋加矩靜電電極和四個(gè)硬磁補(bǔ)償極板在圓周方向都呈對(duì)稱分布。
本發(fā)明撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀的結(jié)構(gòu)是采用微細(xì)加工(微細(xì)體加工和微細(xì)表面加工)工藝進(jìn)行加工。轉(zhuǎn)子的基體材料為金屬，轉(zhuǎn)子的基體材料也可以是使用鎳等軟磁材料，以獲得更好的撓性補(bǔ)償效果。定子的基體為玻璃，在玻璃上加工種子層，再通過(guò)一系列微加工工藝在種子層上加工旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈、檢測(cè)電極、反饋加矩靜電電極和撓性補(bǔ)償硬磁極板，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈、檢測(cè)電極、反饋加矩靜電電極都是以銅為材料，撓性補(bǔ)償硬磁極板與撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)是以硬磁作材料的，撓性梁的材料為鎳。定子的基體也可以使用金屬作材料，以金屬作為基體材料時(shí)，需要在基體上濺射一層Al2O3絕緣層，再在Al2O3絕緣層上加工旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈、檢測(cè)電極、反饋加矩靜電電極和撓性補(bǔ)償硬磁極板。
本發(fā)明整個(gè)系統(tǒng)采用單定子、單個(gè)轉(zhuǎn)子，并通過(guò)撓性梁將轉(zhuǎn)子與定子連為一體，使得系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工方便，同時(shí)又具備了很強(qiáng)的抗沖擊能力，能滿足在復(fù)雜環(huán)境下使用。通過(guò)金屬流體的高速旋轉(zhuǎn)來(lái)產(chǎn)生陀螺的角動(dòng)量，沒(méi)有剛性結(jié)構(gòu)之間的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，使得系統(tǒng)不需要采用真空封裝。通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈來(lái)驅(qū)動(dòng)金屬流體高速旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明中充分融合了金屬流體高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生角動(dòng)量、硬磁補(bǔ)償撓性梁的干擾力矩和靜電加矩反饋控制三種技術(shù)，并采用MEMS技術(shù)，使該陀螺儀又具有成本低、精度高、易批量、功耗微等特點(diǎn)。
本發(fā)明中轉(zhuǎn)子基體是用金屬作材料，在定子上加工撓性補(bǔ)償硬磁極板和轉(zhuǎn)子上加工撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)通過(guò)磁吸引力來(lái)補(bǔ)償撓性梁產(chǎn)生的干擾力矩，使轉(zhuǎn)子成為自由支撐體。在定子上加工檢測(cè)電極與轉(zhuǎn)子形成差分電容來(lái)檢測(cè)轉(zhuǎn)子的位置偏移情況，并使用反饋加矩靜電電極對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行反饋控制。


圖1為本發(fā)明總體結(jié)構(gòu)立體2為本發(fā)明下定子結(jié)構(gòu)立體3為本發(fā)明撓性梁立體4為本發(fā)明轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)剖視圖具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實(shí)施，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和過(guò)程，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。
如圖1、圖2、圖3、圖4所示，本實(shí)施例包括轉(zhuǎn)子1、撓性梁2、定子3、撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4。撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4與轉(zhuǎn)子1相連，并且轉(zhuǎn)子1與定子3通過(guò)撓性梁2連接為一體，轉(zhuǎn)子1由第一基體9和環(huán)形腔體10構(gòu)成，定子3由第二基體11、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5、檢測(cè)電極6、反饋加矩靜電電極7與撓性補(bǔ)償硬磁極板8構(gòu)成。
如圖2所示，在定子3的第二基體11上由內(nèi)到外分布著旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5、檢測(cè)電極6、反饋加矩靜電電極7、撓性補(bǔ)償硬磁極板8，其中反饋加矩靜電電極7、撓性補(bǔ)償硬磁極板8處于同一個(gè)以定子3中心為圓心的圓環(huán)上，反饋加矩靜電電極7、撓性補(bǔ)償硬磁極板8的內(nèi)徑和外徑分別相同。兩個(gè)緊鄰的反饋加矩靜電電極7組成一個(gè)反饋加矩靜電電極對(duì)，反饋加矩靜電電極對(duì)與撓性補(bǔ)償硬磁極板8彼此交替。本發(fā)明中選用了八個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5、八個(gè)檢測(cè)電極6、四對(duì)反饋加矩靜電電極7與四個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁極板8。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5位于定子3的最靠近中心的位置，八個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5在圓周方向上呈對(duì)稱分布。為了形成旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)，相鄰旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5電流相位差為90°。在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5的外側(cè)分布著八個(gè)檢測(cè)電極6，八個(gè)檢測(cè)電極6在圓周方向上呈對(duì)稱分布，檢測(cè)電極6和轉(zhuǎn)子1之間形成的電容值隨轉(zhuǎn)子1的姿態(tài)不同而變化，從而檢測(cè)電極6與轉(zhuǎn)子1形成差分電容可以檢測(cè)轉(zhuǎn)子1的姿態(tài)變化。四對(duì)反饋加矩靜電電極7在圓周方向呈對(duì)稱分布，用于根據(jù)檢測(cè)電極檢測(cè)6到轉(zhuǎn)子1的偏離情況，在反饋加矩靜電電極7上施加電壓，通過(guò)靜電感應(yīng)，將在轉(zhuǎn)子1上產(chǎn)生感應(yīng)電荷，從而在反饋加矩靜電電極7和轉(zhuǎn)子1之間產(chǎn)生靜電力使得轉(zhuǎn)子恢復(fù)到平衡位置，以達(dá)到對(duì)轉(zhuǎn)子1進(jìn)行反饋控制的效果。當(dāng)轉(zhuǎn)子1發(fā)生偏移時(shí)，由于撓性梁2會(huì)產(chǎn)生干擾力矩，此干擾力矩會(huì)使轉(zhuǎn)子1偏離平衡位置，因此需要補(bǔ)償該干擾力矩，補(bǔ)償?shù)哪康氖菫榱耸罐D(zhuǎn)子1成為自由支撐體。四個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁極板8在圓周方向呈對(duì)稱分布用于補(bǔ)償撓性梁2產(chǎn)生的干擾力矩。要獲得補(bǔ)償效果，在轉(zhuǎn)子1上表面加工一個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4，撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4的內(nèi)徑與定子3上撓性補(bǔ)償硬磁極板8在以定子3中心為圓心的圓周方向上的內(nèi)徑相同，撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4的外徑與定子3上撓性補(bǔ)償硬磁極板8在以定子3中心為圓心的圓周方向上的外徑相同。這個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4與轉(zhuǎn)子1相連接的一面為S極硬磁材料層、另一面為N極硬磁材料層，而定子3上撓性補(bǔ)償硬磁極板8亦為硬磁材料，撓性補(bǔ)償硬磁極板8的面向轉(zhuǎn)子1的一面為N極、另一面為S極，因此撓性補(bǔ)償硬磁極板8與撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4之間有磁吸引力。當(dāng)轉(zhuǎn)子1處于平衡位置時(shí)，撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4受到撓性補(bǔ)償硬磁極板8的總磁吸引力為零，由于轉(zhuǎn)子1與撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4相連，從而使得轉(zhuǎn)子1所受到的硬磁材料所施加的總作用力為零；當(dāng)轉(zhuǎn)子1偏離平衡位置時(shí)，撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4受到撓性補(bǔ)償硬磁極板8的總磁吸引力產(chǎn)生的力矩，亦即轉(zhuǎn)子1所受到的硬磁材料所施加的總作用力產(chǎn)生的力矩與撓性柱2由于形變產(chǎn)生的干擾力矩相抵消，達(dá)到補(bǔ)償效果。
如圖3所示，通過(guò)如圖3所示撓性梁2把轉(zhuǎn)子1和定子3連為一體，撓性梁2的結(jié)構(gòu)為兩頭大、中間小的圓柱體，且圓柱體的兩頭大小相同，撓性梁2的兩端分別與轉(zhuǎn)子1和定子3的中心相連接。
如圖4所示，轉(zhuǎn)子1是由第一基體9和環(huán)形腔體10構(gòu)成。通過(guò)微加工工藝在第一基體9中加工出一個(gè)環(huán)形腔體10，環(huán)形腔體10的內(nèi)徑與定子3上旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5在以定子3中心為圓心的圓周方向上的內(nèi)徑相同，環(huán)形腔體10的外徑與定子3上旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5在以定子3中心為圓心的圓周方向上的外徑相同。使用微加工工藝在基體中打孔，金屬流體通過(guò)孔注入第一基體9中，從而形成環(huán)形金屬流體腔體。環(huán)形腔體10中的金屬流體受到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5施加的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)的作用，高速旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生角動(dòng)量，從而能響應(yīng)外界角速度的變化。
本發(fā)明撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀的結(jié)構(gòu)是采用微細(xì)加工(微細(xì)體加工和微細(xì)表面加工)工藝進(jìn)行加工。轉(zhuǎn)子1的第一基體9的材料為鎳，定子3的第二基體11的材料為玻璃，在玻璃上加工種子層，再通過(guò)一系列微加工工藝在種子層上加工旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5、檢測(cè)電極6、反饋加矩靜電電極7和撓性補(bǔ)償硬磁極板8，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈5、檢測(cè)電極6、反饋加矩靜電電極7都是以銅為材料，撓性補(bǔ)償硬磁極板8與撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)4是以硬磁作材料的，撓性梁2的材料為鎳。
權(quán)利要求
1.一種撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，包括轉(zhuǎn)子(1)、撓性梁(2)、定子(3)、撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)(4)，其特征在于，轉(zhuǎn)子(1)與定子(3)通過(guò)撓性梁(2)連接為一體，撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)(4)與轉(zhuǎn)子(1)相連，位于轉(zhuǎn)子(1)的上表面；轉(zhuǎn)子(1)包括第一基體(9)和環(huán)形腔體(10)，環(huán)形腔體(10)位于第一基體(9)內(nèi)；定子(3)包括第二基體(11)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)、檢測(cè)電極(6)、反饋加矩靜電電極(7)與撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)，在第二基體(11)上由內(nèi)到外分布著八個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)、八個(gè)檢測(cè)電極(6)、八個(gè)反饋加矩靜電電極(7)、四個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)，八個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)在圓周方向上呈對(duì)稱分布，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)位于定子(3)的最靠近中心的位置，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)的外側(cè)分布著八個(gè)檢測(cè)電極(6)，八個(gè)檢測(cè)電極(6)在圓周方向上呈對(duì)稱分布，四對(duì)反饋加矩靜電電極(7)和四個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)在圓周方向都呈對(duì)稱分布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述轉(zhuǎn)子(1)上的環(huán)形腔體(10)的內(nèi)徑與定子(3)的第二基體(11)的上旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)在以定子(3)中心為圓心的圓周方向上的內(nèi)徑相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述撓性梁(2)的結(jié)構(gòu)為兩頭大、中間小的圓柱體，且圓柱體的兩頭大小相同，撓性梁(2)的兩端分別與轉(zhuǎn)子(1)和定子(3)的中心相連接，撓性梁(2)會(huì)隨著轉(zhuǎn)子(1)和定子(3)相對(duì)位置的偏移而發(fā)生相應(yīng)的變形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述的轉(zhuǎn)子(1)，其中環(huán)形腔體(10)中注有金屬流體，環(huán)形腔體(10)中的金屬流體在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)所施加的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)的作用下旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生角動(dòng)量。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述定子(3)，其中反饋加矩靜電電極(7)、撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)處于同一個(gè)以定子中心為中心的圓環(huán)上，反饋加矩靜電電極(7)、撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)的內(nèi)徑和外徑分別相同，兩個(gè)緊鄰的反饋加矩靜電電極(7)組成一個(gè)反饋加矩靜電電極對(duì)，反饋加矩靜電電極對(duì)與撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)彼此交替。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述環(huán)形腔體(10)的外徑與定子(3)的第二基體(11)上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)在以定子(3)中心為圓心的圓周方向上的外徑相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)(4)的內(nèi)徑與定子(3)上撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)在以定子(3)中心為圓心的圓周方向上的內(nèi)徑相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)(4)的外徑與定子(3)上撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)在以定子(3)中心為圓心的圓周方向上的外徑相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的撓性硬磁補(bǔ)償式線圈加矩流體微陀螺儀，其特征是，相鄰旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈(5)電流相位差為90°。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的撓性硬磁補(bǔ)償式線圈加矩流體微陀螺儀，其特征是，所述撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)(4)與轉(zhuǎn)子(1)相連接的一面為S極硬磁材料層、另一面為N極的硬磁材料層，而定子(3)上撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)為硬磁材料，撓性補(bǔ)償硬磁極板(8)的面向轉(zhuǎn)子(1)的一面為N極、另一面為S極。
全文摘要
一種微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域的撓性硬磁補(bǔ)償式靜電加矩流體微陀螺儀，包括轉(zhuǎn)子、定子、撓性梁、撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)，轉(zhuǎn)子由基體和注有金屬流體的環(huán)形腔體構(gòu)成，定子包括第二基體、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈、檢測(cè)電極、反饋加矩靜電電極與撓性補(bǔ)償靜電電極，在第二基體上由內(nèi)到外分布著八個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)線圈、八個(gè)檢測(cè)電極、八個(gè)反饋加矩靜電電極、四個(gè)撓性補(bǔ)償硬磁極板，本發(fā)明使用金屬流體的高速轉(zhuǎn)動(dòng)使轉(zhuǎn)子產(chǎn)生角動(dòng)量，沒(méi)有剛性結(jié)構(gòu)之間的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)撓性補(bǔ)償硬磁極板和撓性補(bǔ)償硬磁圓環(huán)之間產(chǎn)生的磁力矩消除撓性梁變形帶來(lái)的干擾力矩的影響，并使用反饋加矩靜電電極對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行反饋控制。
文檔編號(hào)G01C19/12GK101055181SQ20071004146
公開(kāi)日2007年10月17日 申請(qǐng)日期2007年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月31日
發(fā)明者張衛(wèi)平, 周海軍, 陳文元 申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)