專利名稱：線路缺陷檢測維修設備及方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示器的制程設備，特別是該設備同時具備玻璃基板線路缺陷檢測及以激光修補該線路缺陷的功能以提高產(chǎn)能，降低不良率及節(jié)省無塵室空間。
現(xiàn)有技術請參考

圖1及圖2，液晶顯示面板于矩陣制程(Array process)后，于玻璃基板10上會形成如矩陣狀的金屬線路，包括資料線(即源極線)11及掃瞄線12等，線與線之間常因制程的不良而發(fā)生短路缺陷(Shortdefect)30，或開路缺陷(Open defect)20等線路缺陷，檢測此種線路不良缺陷的制程工站一般習稱開路/短路檢測機(Open/Short Inspectionmachine)，其檢測方式通?？蓞^(qū)分為非接觸式檢測及接觸式檢測，非接觸式檢測通常包括兩個非接觸式感測器13、14，其形式可為靜電電容耦合式(Electrostatic Capacitory Coupling style)，其中一感測器為訊號輸出端，另一感測器為訊號接收端，運作時感測器貼近玻璃基板距離約100微米；以玻璃基板源極線(Source line)的線路缺陷檢查為例，兩感測器同步移動可先檢查出線路缺陷點所在的線路缺陷線位置(line position)，之后訊號輸出端的感測器停留于線路缺陷線位置不動，訊號接收端感測器沿著此具有線路缺陷點的線路往訊號輸出端感測器移動，即可偵測出線路開路缺陷點20的位置(如圖1所示)；或于偵測出線路缺陷線位置(line position)后，使用一對接觸探針50與玻璃基板上的金屬線路接觸墊40接觸，另外再配合非接觸式感測器13即可檢測出線路短路缺陷點30的位置(如圖2所示)。
在現(xiàn)有的制程順序中，開路/短路檢測機所測得的不良品需交由另一激光修補機來修補金屬線與線之間短路不良，以提高整體制程良率；而先前經(jīng)檢測機工站檢測的資料，如線路缺陷的位置座標、線路缺陷的影像等系先儲存于檢測機的一記憶單元，隨后將此資料通過網(wǎng)路或磁片傳送至激光修補機，至于待修的玻璃基板不良品則需另外利用機械手臂將玻璃基板取出后放置至運輸車，運輸車運送至激光修補機后再由另一機械手臂將玻璃基板取出放置到激光修補機，玻璃基板于激光修補機重新進行夾持對位并配合檢測機傳送過來的資料進行線路缺陷修補。
這樣的現(xiàn)有制程下，線路缺陷檢測及激光修補二種動作分屬不同的機臺，基板的載入載出需靠機械手臂及搬運車，如此不僅費時，而且產(chǎn)品制程動線拉長，徒增產(chǎn)生不良品的風險，并占用寶貴無塵室空間，此外玻璃基板需于兩機臺分別重新定位夾持，不僅造成作業(yè)工時延長，兩次定位的座標系亦不同，造成整體精度下降，不利于線寬日益縮小的趨勢，及線路缺陷檢測與激光修補全程自動化的目標。
另一方面，請參考圖3，US Pat.5164565公開一種激光修補機臺，其運作方式為基板10放置并夾持于于X-Y傳動平臺60，修補線路缺陷時X-Y運動平臺60帶動基板10移動，而激光修補頭70不動，缺陷檢測機亦常見這樣的設計，然而隨著基板面積增大，對于此兩種設備而言，這樣的設計方式將占據(jù)太多空間，造成設備成本的增加及機臺整體精度的下降而漸不可行，比較可行的方式是采取基板不動而激光修補頭70移動，同樣的，對于線路缺陷檢測機的傳動設計方式，比較可行的方式亦是玻璃基板不動而接觸探針50及非接觸式感測器13、14移動。
因此在這樣的相同的設計趨勢下，兩種機臺之間存在許多相同的定位及傳動構(gòu)件，所不同之處，僅是另外配置的是線路缺陷檢測模塊或激光修補模塊的不同而已，因此將兩種功能的機臺設計為同一機臺，是可行的，若分設于兩種機臺，反而浪費無塵室寶貴空間，及設備購置成本的大幅增加。
基于上述現(xiàn)有技術的缺點且為節(jié)省制程時間，本發(fā)明人對制程設備進行廣泛研究，因而完成本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明主要目的是提供一種兼具線路缺陷檢測及激光修補功能且所占空間更為精簡的單一設備。
本發(fā)明另一目的是提供一種玻璃基板線路缺陷的檢測與修補方法。
為了達到上述目的及其他目的，本發(fā)明提供一種線路缺陷檢測及激光修補設備，該設備包括一機臺底座，用以支撐構(gòu)件；一基板承載臺，設置于該機臺底座上，用以放置及承載玻璃基板；一接觸探針檢測模塊，具有接觸探針，及接觸探針傳動系統(tǒng)，該接觸探針傳動系統(tǒng)系用以帶動該接觸探針，使該接觸探針接觸該玻璃基板的線路，以檢測線路缺陷；一非接觸式檢測模塊，具有非接觸式感測器，及非接觸檢測傳動系統(tǒng)，該非接觸檢測傳動系統(tǒng)系用以帶動該非接觸式感測器，以非接觸方式檢測該玻璃基板的該線路缺陷，并與該接觸探針檢測模塊共同決定線路缺陷位置；及一激光修補模塊，具有激光修補頭及激光修補傳動系統(tǒng)，該激光修補傳動系統(tǒng)系用以帶動激光修補頭，至該線路缺陷位置，并以激光方式修補該玻璃基板的該線路缺陷。
依據(jù)上述目的，本發(fā)明又提供一種平面顯示器玻璃基板的線路缺陷檢測及激光修補的方法，包括下列步驟放置并夾持待檢測的該玻璃基板于基板承載臺；移動接觸探針以及移動非接觸式感測器以檢測出線路缺陷，并決定線路缺陷位置；移動激光修補頭至該線路缺陷位置，并以激光方式修補該線路缺陷；及將檢測及修補完畢的該玻璃基板移出該基板承載臺。
圖式簡單說明圖1為現(xiàn)有技術使用非接觸式感測器檢測基板線路開路缺陷的示意圖。
圖2為現(xiàn)有技術使用接觸式探針搭配非接觸式感測器檢測基板線路短路缺陷的示意圖。
圖3為現(xiàn)有技術的激光修補系統(tǒng)。
圖4為本發(fā)明的線路缺陷檢測修補設備的立體視圖。
圖5為本發(fā)明的接觸探針檢測模塊的立體視圖。
圖6為本發(fā)明的接觸探針檢測模塊的垂直運動傳動模塊放大立體視圖。
圖7為本發(fā)明的本發(fā)明的接觸探針檢測模塊的前后傳動模塊的側(cè)視圖。
圖8為本發(fā)明的非接觸式檢測模塊的立體視圖。
圖9為本發(fā)明的非接觸式檢測模塊的立體視圖的垂直運動傳動模塊放大立體視圖。
圖10為本發(fā)明的激光修補模塊的立體視圖。
圖11為本發(fā)明依據(jù)步驟一以檢測及修補線路缺陷的設備動作立體視圖。
圖12為本發(fā)明依據(jù)步驟二以檢測及修補線路缺陷的設備動作立體視圖。
圖13為本發(fā)明依據(jù)步驟三以檢測及修補線路缺陷的設備動作立體視圖。
圖14為本發(fā)明依據(jù)步驟四以檢測及修補線路缺陷的設備動作立體視圖。
具體實施方式
本發(fā)明的上述目的及其他目的將由下列較佳具體例配合附圖詳細說明變得更顯而易見。
首先介紹本發(fā)明設備的硬體構(gòu)件，現(xiàn)在請參見圖4，為本發(fā)明線路缺陷檢測修補設備的立體視圖，包含有機臺底座101，基板承載臺200，接觸探針檢測模塊300，非接觸式檢測模塊400及激光修補模塊500；機臺底座101及機臺支撐座102形成整體機臺的主要支撐，提供其他構(gòu)成模塊的置放空間，馬達支撐座103用來支撐并架高馬達。
基板承載臺200，大體為矩型平板狀，用來放置及夾持玻璃基板，，其材料通常為透明材質(zhì)如玻璃或壓克力所構(gòu)成，透明材質(zhì)可方便于需要時，可于下方另外設置光源模塊(未繪于圖示)，可對基板進行背面照光處理，以增加影像對比。
請參考圖4、圖5及圖6，接觸探針檢測模塊300，通常具有兩組，對稱配置，接觸探針305，置于感測測頭305a內(nèi)，用以接觸玻璃基板線路，以確認基板的不良缺陷處，該接觸探針305及感測測頭305a系由垂直運動傳動模塊301所帶動，而可在垂直上下方向運動，該垂直運動傳動模塊301的主要組成元件包含第一底板301a，線性滑軌組301b，伺服旋轉(zhuǎn)馬達301c，滾珠導螺桿301d，第二底板301e，透過線性滑塊(未繪于圖示)與線性滑軌組301b相連接，連結(jié)板301f連結(jié)第二底板301e及探針模塊感測器304；于是透過伺服旋轉(zhuǎn)馬達301c的帶動可使接觸探針305相對玻璃基板做垂直上下的移動。
接觸探針305除需相對基板可上下運動外，亦需相對基板可進行水平移動，一水平運動傳動模塊302，可用來達成此功能，其主要組成包括支撐橫梁3021，線性滑軌組3022，線性滑塊組3023，及一線性馬達定位傳動系統(tǒng)3024，其中線性馬達定位傳動系統(tǒng)3024的主要組成包括馬達本體3024a，動子3024b，及相對應的驅(qū)動電路系統(tǒng)(未繪于圖示)，線性馬達本體3024a則又內(nèi)含線性滑塊組(未繪于圖示)、位置感測器(未繪于圖示)及馬達定子(未繪于圖示)。一般習稱的線性馬達主要可分為線性步進馬達，及線性伺服馬達；線性步進馬達雖然推力較小，但可以開路控制方式(Open-loop control)進行定位控制，結(jié)構(gòu)較簡單，線性伺服馬達，主要組成元件通常包括成直線狀排列由材料為永久磁鐵的馬達定子，位置感測器如光學尺，滑軌滑塊組等支稱件，驅(qū)動系統(tǒng)及硅鋼片內(nèi)置線圈所組成的動子等元件所組成，動子系與滑軌、滑塊等支稱件連結(jié)，可相對定子滑動，驅(qū)動系統(tǒng)透過動子內(nèi)的線圈輸入電壓、電流等驅(qū)動訊號給動子，并使動子與定子的磁場產(chǎn)生作用力，驅(qū)動動子前進，并通過位置感測器的回饋訊號，調(diào)整驅(qū)動電壓或電流以形成一閉回路定位控制系統(tǒng)(Close-loop control system)。
綜上所述，動子3024b經(jīng)由驅(qū)動電路系統(tǒng)驅(qū)動而相對馬達本體3024a移動，又動子3024b，與垂直運動傳動模塊301的第一底板301a相連結(jié)，故整個垂直運動傳動模塊301，可被水平運動傳動302所帶動，而使接觸探針305，相對玻璃基板做水平左右的移動。
接著，請參考圖7，接觸探針305可通過線性馬達定位傳動系統(tǒng)303而相對基板前后運動，該線性馬達定位傳動系統(tǒng)303，對秤配置基板承載臺外側(cè)，對秤中心大致為基板的中心線，其中的主要構(gòu)件，又包括馬達本體3031，動子3032及其相對應的驅(qū)動電路系統(tǒng)(未繪于圖示)，動子3033及其相對應的驅(qū)動電路系統(tǒng)(未繪于圖示)；如同前述水平運動傳動模塊302的線性馬達定位傳動系統(tǒng)3024的馬達本體3024a，馬達本體3031的組成亦包括滑軌滑塊組(未繪制于圖示)、位置感測器(未繪制于圖示)及馬達定子(未繪制于圖示)，而線性馬達定位傳動系統(tǒng)303與線性馬達定位傳動系統(tǒng)3024的不同處在于，線性馬達定位傳動系統(tǒng)303于單一馬達本體3031中連結(jié)兩個動子3032以及3033及其分別相對應的驅(qū)動電路系統(tǒng)(未繪于圖示)，而動子3032、3033可分別獨立受其驅(qū)動電路系統(tǒng)驅(qū)動，亦即可分別獨立相對馬達本體3031運動，即一般業(yè)界所稱的單軸雙載子技術；相較于傳統(tǒng)的滾珠導螺桿配合旋轉(zhuǎn)馬達形式的線性傳動系統(tǒng)，運用線性馬達定位傳動系統(tǒng)的單軸雙載子技術將大大減少機臺所占的面積。
線性馬達定位傳動系統(tǒng)303及水平運動傳動模塊302，可透過連結(jié)支撐座304加以連結(jié)，連結(jié)支撐座304分別連接線性馬達定位傳動系統(tǒng)303的動子3032、3033及水平運動傳動模塊302的支撐橫梁3021使線性馬達定位傳動系統(tǒng)303能帶動整個水平運動傳動模塊302前后運動；綜上所述，接觸探針305可通過探針垂直運動傳動模塊301，水平運動傳動模塊302及線性馬達定位傳動系統(tǒng)303而相對玻璃基板上下前后左右移動，使接觸探針305能隨不同的線路設計狀況而能與基板上的線路保持良好接觸，提供準確的量測品質(zhì)。
現(xiàn)請參考圖8、圖9及圖10，靜電電容耦合式感測器401，系由致動器402的伸縮桿4021所帶動而可貼近基板或遠離基板，致動器402與線性馬達定位傳動系統(tǒng)403的動子4031連結(jié)，該線性馬達定位傳動系統(tǒng)403，使用單軸雙載子技術使之可分別具有兩動子與致動器連結(jié)，其主要組成包括定子4033，線性滑軌4032，及線性滑塊(未繪于圖示)，底座4034，線性馬達定位傳動系統(tǒng)403，可帶動感測器401水平左右移動。
線性馬達定位傳動系統(tǒng)403，與另一線性馬達定位傳動系統(tǒng)404連結(jié)，線性馬達定位傳動系統(tǒng)404，亦采用前述的單軸雙動子技術其主要組成包括馬達本體4041，及兩對動子4042(如圖8所示)以及4043(如圖10所示)及其相對應的驅(qū)動電路系統(tǒng)(未繪制于圖示)，馬達本體4041的組成亦包括滑軌滑塊組(未繪制于圖示)、位置感測器(未繪制于圖示)及馬達定子(未繪制于圖示)，而線性馬達定位傳動系統(tǒng)403的底座4034即與線性馬達定位傳動系統(tǒng)404的其中一對動子4042相連結(jié)，使線性馬達定位傳動系統(tǒng)404，得以驅(qū)動線性馬達定位傳動系統(tǒng)403進而可帶動感測器前后移動。
經(jīng)由上述的非接觸式感測器或搭配接觸探針檢測出線路缺陷點座標后，可使用激光方式對于該線路缺陷點座標的短路缺陷(Short defect)切斷造成短路的異物，進而修補基板。
請參考圖10，激光修補頭501，其內(nèi)含激光產(chǎn)生系統(tǒng)，用以產(chǎn)生具功率的激光以切斷短路金屬異物，其中亦可再包括光學顯微放大組件(未繪于圖示)，以提供切斷時的影像，激光修補頭501，需要一傳動系統(tǒng)連結(jié)帶動至線路缺陷點位置以發(fā)揮其功能，激光修補頭501與一線性馬達定位傳動系統(tǒng)502的動子5021連結(jié)，該線性馬達定位傳動系統(tǒng)502，其主要組成包括定子5022，滑軌5023，及滑塊，底座5024，線性馬達定位傳動系統(tǒng)502，可帶動激光修補頭501水平左右移動。
線性馬達定位傳動系統(tǒng)502，與另一線性馬達定位傳動系統(tǒng)404連結(jié)，進而可帶動激光修補頭501前后移動。
另外線性馬達定位傳動系統(tǒng)404，透過動子4042、4043分別連結(jié)線性馬達定位傳動系統(tǒng)502及線性馬達定位傳動系統(tǒng)403，故于單一馬達本體4041可分別獨立驅(qū)動控制靜電電容耦合式感測器401及激光修補頭501，相對玻璃基板移動，相較于一般慣用的旋轉(zhuǎn)馬達加上滾珠導螺桿的組合，可大幅節(jié)省傳動所需構(gòu)件，進而減小機臺尺寸，節(jié)省無塵室空間。
接下來介紹使用上述設備于液晶顯示器玻璃基板線路缺陷檢測及修補的方法，以線路的短路缺陷(short defect)為例，請參考圖11至圖14。
(1)首先，如圖11所示，先通過傳輸系統(tǒng)如機械手臂等將已完成金屬線路，待檢測的玻璃基板10載入機臺，放置并夾持于基板承載臺200。
(2)參考圖12，利用傳動系統(tǒng)301、傳動系統(tǒng)302及傳動系統(tǒng)303帶動接觸探針305，以正確接觸玻璃基板10上的金屬線路并使用傳動系統(tǒng)402、傳動系統(tǒng)403及傳動系統(tǒng)404帶動非接觸式感測器401能貼近玻璃基板10至適當距離，以檢測出線路短路缺陷，并決定線路缺陷位置。
(3)參考圖13，非接觸式感測器401以及接觸探針305退回原來位置之后，激光修補模頭501經(jīng)由傳動系統(tǒng)502 傳動系統(tǒng)404帶動至線路短路缺陷位置，以激光方式切斷造成短路的異物，使該區(qū)域變成正常的區(qū)域。
(4)參考圖14，修補完線路缺陷后，激光修補模頭501退回至原來位置，利用傳輸系統(tǒng)如機械手臂等將玻璃基板10移出，機臺回至初始狀態(tài)，等待下一片待測基板。
因此通過上述的設備及方法，與現(xiàn)有的技術相比較，本發(fā)明具備下列優(yōu)點1.單一機臺雙種功能，節(jié)省制程步驟及工時。
2.玻璃基板檢測完畢至激光修補制程工序之間，無須搬運及載卸過程，可減少工程意外及不良率。
3.機臺制作構(gòu)件大量節(jié)省，可大幅降低建廠成本，適合標準量產(chǎn)線配置。
本發(fā)明已通過上述的較佳具體例以及附圖加以詳細說明，但所揭示的具體例僅用以說明本發(fā)明，不用以限制本發(fā)明的范圍不以上述實施例為限。凡在本發(fā)明精神及申請范圍內(nèi)所作的各種變化、改良均屬本發(fā)明的范圍。
圖號簡單說明10玻璃基板 11資料線12掃瞄線20線路開路缺陷點30線路短路缺陷點13感測器14感測器40接觸墊50接觸探針 60X-Y傳動平臺70激光修補頭101機臺底座102機臺支撐座 103馬達支撐座200基板承載臺 300接觸探針檢測模塊
301垂直運動傳動模塊 301a第一底板301b線性滑軌組 301c伺服旋轉(zhuǎn)馬達301d滾珠導螺桿 301e第二底板301b線性滑軌組 301f連結(jié)板302水平運動傳動模塊 3021支撐橫梁3022線性滑軌組 3023線性滑塊組3024線性馬達定位傳動系統(tǒng)3024a馬達本體3024b動子303線性馬達定位傳動系統(tǒng) 3031馬達本體3032動子3033動子304連結(jié)支撐座305接觸探針 305a感測測頭400非接觸式檢測模塊401靜電電容耦合式感測器 402致動器4021伸縮桿403線性馬達定位傳動系統(tǒng)4031動子4032滑軌4033定子4034底座404線性馬達定位傳動系統(tǒng) 4041馬達本體4042動子4043動子500激光修補模塊501激光修補頭502線性馬達定位傳動系統(tǒng)5021動子5022定子5023滑軌5024底座
權利要求
1.一種用于平面顯示器的線路缺陷檢測及激光修補設備，用以檢測玻璃基板的線路缺陷并對該線路缺陷進行激光修補，該設備包括機臺底座，用以支撐構(gòu)件；基板承載臺，設置于該機臺底座上，用以放置及承載玻璃基板；接觸探針檢測模塊，具有接觸探針，及接觸探針傳動系統(tǒng)，該接觸探針傳動系統(tǒng)帶動該接觸探針，使該接觸探針接觸該玻璃基板的線路，以檢測線路缺陷；非接觸式檢測模塊，具有非接觸式感測器，及非接觸檢測傳動系統(tǒng)，該非接觸檢測傳動系統(tǒng)系用以帶動該非接觸式感測器，以非接觸方式檢測該玻璃基板的該線路缺陷，并與該接觸探針檢測模塊共同決定線路缺陷位置；及激光修補模塊，具有激光修補頭及激光修補傳動系統(tǒng)，該激光修補傳動系統(tǒng)系用以帶動激光修補頭，至該線路缺陷位置，并以激光方式修補該玻璃基板的該線路缺陷。
2.如權利要求1所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該接觸探針傳動系統(tǒng)包括接觸探針垂直傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該接觸探針相對該玻璃基板垂直上下運動；接觸探針水平傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該接觸探針相對該玻璃基板水平左右運動；及接觸探針前后傳動模塊，具有傳動元件，用以帶動該接觸探針相對該玻璃基板前后運動。
3.如權利要求1所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該非接觸檢測傳動系統(tǒng)包括非接觸檢測垂直傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該非接觸式感測器相對該玻璃基板垂直上下運動；非接觸檢測水平傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該非接觸式感測器相對該玻璃基板水平左右運動；及第一線性馬達定位傳動系統(tǒng)，其中包括一馬達本體、第一動子及第二動子，其中該第一動子與該非接觸檢測水平傳動系統(tǒng)連結(jié)。
4.如權利要求1所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該激光修補傳動系統(tǒng)包括激光修補水平傳動模塊，具有傳動元件，用以帶動該激光修補頭相對該玻璃基板水平左右運動；及第一線性馬達定位傳動系統(tǒng)，其中包括一馬達本體、第一動子及第二動子，其中該第二動子與該激光修補水平傳動系統(tǒng)連結(jié)。
5.如權利要求1所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該非接觸式感測器為靜電電容耦合式。
6.如權利要求2所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該接觸探針垂直傳動系統(tǒng)的傳動元件包括旋轉(zhuǎn)馬達、導螺桿及滑軌滑塊組。
7.如權利要求2所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該接觸探針水平傳動系統(tǒng)的傳動元件包括線性馬達。
8.如權利要求2所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該接觸探針前后傳動模塊的傳動元件包括線性馬達。
9.如權利要求2所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該接觸探針前后傳動模塊的傳動元件包括旋轉(zhuǎn)馬達、導螺桿及滑塊滑軌組。
10.如權利要求3所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該非接觸檢測垂直傳動系統(tǒng)的傳動元件包括汽缸或線性致動器。
11.如權利要求3所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該非接觸檢測水平傳動系統(tǒng)的傳動元件包括線性馬達。
12.如權利要求3所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該激光修補水平傳動模塊的傳動元件包括線性馬達。
13.如權利要求4所述的線路缺陷檢測及激光修補設備，其特征在于，該激光修補水平傳動模塊的傳動元件包括旋轉(zhuǎn)馬達、導螺桿及滑塊滑軌組。
14.一種用于平面顯示器玻璃基板的線路缺陷檢測及激光修補的方法，包括下列步驟放置并夾持待檢測的該玻璃基板于基板承載臺；移動接觸探針以及移動非接觸式感測器以檢測出線路缺陷，并決定線路缺陷位置；移動激光修補頭至該線路缺陷位置，并以激光方式修補該線路缺陷；及將檢測及修補完畢的該玻璃基板移出該基板承載臺。
15.如權利要求14所述的線路缺陷檢測及激光修補的方法，其特征在于，該移動接觸探針步驟利用一接觸探針傳動系統(tǒng)實現(xiàn)，其中該接觸探針傳動系統(tǒng)包括接觸探針垂直傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該接觸探針相對該玻璃基板垂直上下運動；接觸探針水平傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該接觸探針相對該玻璃基板水平左右運動；及接觸探針前后傳動模塊，具有傳動元件，用以帶動該接觸探針相對該玻璃基板前后運動。
16.如權利要求14所述的線路缺陷檢測及激光修補的方法，其特征在于，該移動非接觸式感測器步驟系利用一非接觸檢測傳動系統(tǒng)實現(xiàn)，其中該非接觸檢測傳動系統(tǒng)包括非接觸檢測垂直傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該非接觸式感測器相對該玻璃基板垂直上下運動；非接觸檢測水平傳動系統(tǒng)，具有傳動元件，用以帶動該非接觸式感測器相對該玻璃基板水平左右運動；及第一線性馬達定位傳動系統(tǒng)，其中包括一馬達本體、第一動子及第二動子，該第一動子與該非接觸檢測水平傳動系統(tǒng)連結(jié)。
17.如權利要求14所述的方法，其特征在于，該激光修補頭系通過激光修補傳動系統(tǒng)所帶動，該激光修補傳動系統(tǒng)包括激光修補水平傳動模塊，具有傳動元件，用以帶動該激光修補頭，相對該玻璃基板水平左右運動；及第一線性馬達定位傳動系統(tǒng)，其中包括一馬達本體、第一動子及第二動子，該第二動子與該激光修補水平傳動系統(tǒng)連結(jié)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種液晶顯示器的制程設備，特別是該設備同時具備玻璃基板上的線路缺陷檢測及激光修補該線路缺陷的功能，該制程設備包括一機臺底座；一基板承載臺，用以放置及承載玻璃基板；一接觸探針檢測模塊，具有接觸探針，及接觸探針傳動系統(tǒng)；一非接觸式檢測模塊，具有非接觸式感測器，及非接觸檢測傳動系統(tǒng)，及一激光修補模塊，具有激光修補頭及激光修補傳動系統(tǒng)并以激光方式修補該玻璃基板的該線路缺陷。本發(fā)明還涉及檢測及修補玻璃基板線路缺陷的方法。
文檔編號G01R31/28GK1673765SQ20041003133
公開日2005年9月28日 申請日期2004年3月26日 優(yōu)先權日2004年3月26日
發(fā)明者廖國廷, 李國魁, 朱俊杰 申請人:廣輝電子股份有限公司