專利名稱：大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種有機揮發(fā)物真空密封取樣室，特別涉及一種可以使用在大面積物體表面之有機揮發(fā)物真空密封取樣室。
背景技術(shù)：
根據(jù)摩爾定律(Moor’s law)所預(yù)測，所有的電子組件的特征尺寸日趨縮小，因此生產(chǎn)過程中任何微小雜質(zhì)如微粒子、有機物與化學(xué)污染等，都可能造成成品率(yield)降低，而且隨著進入深亞微米的工藝，雜質(zhì)相對影響的程度也日益嚴(yán)重，所以對雜質(zhì)的監(jiān)控為各家半導(dǎo)體廠的無塵室的重要課題，但有形的污染物如微塵、資料文件上的碳粉等都可以在進入無塵室前通過管制或由洗塵室可去除，或通過機械手臂等較無污染源的機械自動化處理，但是有機揮發(fā)物，是一種不易管制的無形污染物，因此有機揮發(fā)物污染成為新半導(dǎo)體工藝中對于無塵室的潔凈度嚴(yán)格控制的對象。
單就半導(dǎo)體工藝在生產(chǎn)組件時一些必備的物質(zhì)而言，例如，潔凈室建材、工藝用材料、園片儲存用盒(pod)和卡匣(cassette)、傳輸工具等會放出大量的揮發(fā)性有機分子，未反應(yīng)的單體(monomer)、寡聚合體(oligomer)與微量的塑料添加劑，而產(chǎn)生有機分子附著在園片表面，將使工藝參數(shù)改變，造成組件的成品率降低。因此，在對有機揮發(fā)物的監(jiān)控過程中，如何有效地從被監(jiān)控物體中取得有效的樣品，是進行有機揮發(fā)物監(jiān)控分析的第一步，在通常的技術(shù)中，針對將欲進入無塵室中的物品，進行切割形成一特定體積后，置入具一定體積的樣品室中使它釋放揮發(fā)物，然后收集樣品室內(nèi)的氣體進行分析，來判斷所述物品進入無塵室后是否會有引入有機揮發(fā)物污染的潛在危險性。
但是，這樣的分析方式是屬于破壞性的分析方式，對如墻體這樣大面積的物體，就無法置入所述樣品室內(nèi)，且對不易切割或與地面呈角度的物體表面進行揮發(fā)物分析，將造成分析上的困難。因此，本發(fā)明在針對上述問題提出一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，它能夠?qū)Υ竺娣e的物體表面進行揮發(fā)物分析。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，它能避免含有揮發(fā)性物質(zhì)的物品進入無塵室，所可能造成的工藝參數(shù)改變。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，它能避免含有揮發(fā)性物質(zhì)的物品進入無塵室，所可能造成的組件成品率降低。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，它能夠不使用膠帶而在建筑物的天棚或墻壁上安全的使用。
為達上述目的，本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，它的主要結(jié)構(gòu)包括一上端具有至少一載氣進入孔與一載氣收集孔，以及下端具有一個在進行有機揮發(fā)物測量測量時與一待測物接觸的開口的取樣室殼體；一由所述開口的外周緣向外延伸所形成凸緣；一真空槽，它設(shè)于所述凸緣底面上，且它的一端為一開放端；以及一設(shè)于所述凸緣上，且所述真空抽氣孔與所述真空槽相連通的真空抽氣孔。
本發(fā)明的有益效果是避免含有揮發(fā)性物質(zhì)的物品進入無塵室時可能造成的工藝參數(shù)改變以及由此帶來的成品率下降的問題，并且能在不使用膠帶的情況下在建筑物的天棚或墻壁上安全的使用。避免了傳統(tǒng)取樣室對較大面積物品取樣不便利的問題，且能夠無使用膠帶而吸附在與地面間具有角度的平面上，免除膠帶的損耗與可能帶來的污染。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明的實際應(yīng)用的示意圖。
標(biāo)號說明10取樣室殼體12開口14凸緣16載氣進入孔18載氣收集孔20密封圈22密封圈24真空槽26真空抽氣孔
28導(dǎo)流裝置30待測物32封閉空間具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例進一步說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)特征及所達成的有益效果。
本發(fā)明為一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示本發(fā)明大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室構(gòu)造包括一取樣室殼體10，它的下端具有一開口12，所述開口12的外周緣向外延伸形成一凸緣14，而取樣室殼體10的上端具有一載氣進入孔16與一載氣收集孔18；凸緣14與開口12同側(cè)的面上設(shè)有兩個分別環(huán)繞凸緣14的密封圈20、22，其所述兩個密封圈20、22構(gòu)成一具開放端的真空槽24，且所述兩個密封圈20、22材質(zhì)可為具有彈性的橡膠，凸緣14上具有一連通至真空槽24的真空抽氣孔26；另一方面，為使氣流能夠接近與待側(cè)物的界面邊緣，在取樣室殼體10上端內(nèi)側(cè)壁更可設(shè)置有一導(dǎo)流裝置28。
圖2為本發(fā)明的實際應(yīng)用的示意圖，如圖所示，首先，將取樣室殼體10置于待側(cè)物30的表面上，并使開口12面向所述待測物的欲進行測量區(qū)域表面，此時兩密封圈20、22與待側(cè)物30表面接觸，使得真空槽24與待側(cè)物30的表面形成封閉空間32，然后由真空抽氣孔26抽器，使真空室24成為負壓狀態(tài)，此時，在外界大氣壓力下，將使取樣室殼體10吸附于待側(cè)物30表面，這樣，即可避免通常取樣室在進行與地面呈角度的物品，如建筑物的天棚或墻壁上的測量測量時，需利用如膠帶將取樣室粘附于待測物上的技術(shù)問題，且如果在無塵室中使用如膠帶類的產(chǎn)品，它所含的揮發(fā)物質(zhì)將可能造成的污染，接著，由載氣進入孔16通入一潔凈空氣，使所述潔凈空氣進入取樣室殼體10，并沿著導(dǎo)流裝置28貼近待測物30表面，然后，由載氣收集孔18將已含帶有機揮發(fā)物的潔凈空氣收集，最后使用相應(yīng)的分析儀器如不銹鋼采樣筒/氣相層析質(zhì)譜儀法進行分析。
以上所述的實施例僅為了說明本發(fā)明的技術(shù)思想及特點，其目的在使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施，本專利的范圍并不僅局限于上述具體實施例，即凡依本發(fā)明所揭示的精神所作的同等變化或修飾，仍涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，其特征在于包括有一取樣室殼體，它的上端包含有至少一載氣進入孔與一載氣收集孔，下端具有一開口，所述開口在進行有機揮發(fā)物測量測量時與所述待測物接觸；一凸緣，它由所述開口的外周緣向外延伸所形成；一真空槽，它設(shè)于所述凸緣底面上，且它的一端為一開放端；以及一真空抽氣孔，它設(shè)于所述凸緣上，且所述真空抽氣孔與所述真空槽相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，其特征在于所述真空槽由兩個位于所述凸緣底面的密封圈與所述凸緣底面所構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，其特征在于所述密封圈的材質(zhì)可為具有彈性的橡膠。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，其特征在于所述取樣室殼體上方內(nèi)側(cè)壁設(shè)有一導(dǎo)流裝置，使由所述載氣進入孔進入的氣流能更貼近待測物表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積物體表面有機揮發(fā)物真空密封取樣室，其特征在于所述載氣為一潔凈空氣。
全文摘要
本發(fā)明提供一種利用負壓與大氣壓力之間的作用力而使取樣室吸附在具有大面積物體表面上，來進行物體表面有機揮發(fā)物檢測，它的結(jié)構(gòu)包括有一取樣室殼體，其所述取樣室殼體上端具有一載氣進入孔與一載氣收集孔，下端具有一開口，而所述開口的外周緣向外延伸形成一凸緣，所述凸緣上具有一真空槽與一真空抽氣孔，其所述真空槽與所述真空抽氣孔相連通。
文檔編號G01N1/22GK1677074SQ20041001740
公開日2005年10月5日 申請日期2004年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月1日
發(fā)明者丁祥金, 晏乃強 申請人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司