技術(shù)編號(hào)：5937081
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種有機(jī)揮發(fā)物真空密封取樣室，特別涉及一種可以使用在大面積物體表面之有機(jī)揮發(fā)物真空密封取樣室。背景技術(shù) 根據(jù)摩爾定律(Moor’s law)所預(yù)測(cè)，所有的電子組件的特征尺寸日趨縮小，因此生產(chǎn)過程中任何微小雜質(zhì)如微粒子、有機(jī)物與化學(xué)污染等，都可能造成成品率(yield)降低，而且隨著進(jìn)入深亞微米的工藝，雜質(zhì)相對(duì)影響的程度也日益嚴(yán)重，所以對(duì)雜質(zhì)的監(jiān)控為各家半導(dǎo)體廠的無塵室的重要課題，但有形的污染物如微塵、資料文件上的碳粉等都可以在進(jìn)入無塵室前通過管制...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。