一種安全高效的配氣系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及氣體生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種安全高效的配氣系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在日益發(fā)展的工業(yè)生產(chǎn)中，對工業(yè)用氣的要求越來越高，要求高純度的氣體的以配合越來越高精尖的工業(yè)生產(chǎn)。因此，對于氣體生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)都給予很大的考驗，如果在配氣充裝的過程中，配氣系統(tǒng)存在雜質(zhì)，那么即使有高純度的氣源，最終的產(chǎn)品也無法達到使用要求。目前配氣系統(tǒng)在使用過程中，需要進行氣體切換，則采用吹掃方法的方式把系統(tǒng)內(nèi)殘留的雜質(zhì)去掉，但由于使用人員對設(shè)備操作熟練程度不同和管道設(shè)計存在死角造成切換不徹底，造成管道內(nèi)氣體雜質(zhì)含量過高從而影響氣體的純度。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于克服以上的不足和缺陷提出一種結(jié)構(gòu)簡單輕便、安全可靠的安全高效的配氣系統(tǒng)。
[0004]為達此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]—種安全高效的配氣系統(tǒng)，設(shè)置有功能部，所述功能部包括氣體管道、真空管道、排空管道、進氣閥門、充氣閥門、真空閥門、排空閥門、抽真空機和尾氣處理器;所述氣體管道設(shè)置有進氣端和出氣端，所述真空管道和排空管道的一端分別連通所述氣體管道的中部，所述排空管道的另一端設(shè)置有所述尾氣處理器，所述抽真空機設(shè)置于所述真空管道的另一端的近端部，所述真空管道的另一端連通所述尾氣處理器;所述氣體管道的進氣端和出氣端分別設(shè)置有進氣閥門和充氣閥門，所述真空管道和排空管道的一端分別設(shè)置有真空閥門和排空閥門。
[0006]優(yōu)選的，所述所述真空管道和排空管道與所述氣體管道的夾角為90°。
[0007]優(yōu)選的，所述進氣閥門、充氣閥門、真空閥門和排空閥門為截止閥或隔膜閥。
[0008]本實用新型的配氣系統(tǒng)還設(shè)置有外殼，所述外殼包裹所述功能部，所述外殼設(shè)置有進氣接口、充裝接口和排氣口 ；
[0009]所述氣體管道的進氣端與所述進氣接口連通，所述氣體管道的出氣端與所述充裝接口連通，所述尾氣處理器的出氣口與所述排氣口連通。
[0010]本實用新型的配氣系統(tǒng)還設(shè)置有控制界面，所述控制界面電連接電源、進氣閥門、充氣閥門、真空閥門、排空閥門和抽真空機。
[0011]本實用新型的配氣系統(tǒng)還設(shè)置有流量計和壓力計，所述流量計和壓力計分別設(shè)置于所述進氣接口和充裝接口，所述流量計和壓力計電連接所述控制界面。
[0012]本實用新型的配氣系統(tǒng)還設(shè)置有尾氣檢測儀，所述尾氣檢測儀設(shè)置于所述排氣口，所述尾氣檢測儀電連接所述控制界面。
[0013]優(yōu)選的，所述外殼設(shè)有腳輪。
[0014]本實用新型通過排空管道和真空管道，使得本系統(tǒng)不但可以通過吹掃的方式去除雜質(zhì)，而且還通過抽真空的方式，去除殘留在系統(tǒng)內(nèi)的雜質(zhì)，從而讓配氣系統(tǒng)對氣體的純度影響降到最低。
【附圖說明】
[0015]附圖對本實用新型做進一步說明，但附圖中的內(nèi)容不構(gòu)成對本實用新型的任何限制。
[0016]圖1是本實用新型的其中一個實施例的示意圖；
[0017]圖2是本實用新型的其中一個實施例的外部的示意圖。
[0018]其中:氣體管道11、真空管道21、排空管道31、進氣閥門12、充氣閥門13、真空閥門22、排空閥門32、抽真空機23、尾氣處理器4、外殼5、進氣接口 51、充裝接口 52、排氣口 53、腳輪6、控制界面7。
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖并通過【具體實施方式】來進一步說明本實用新型的技術(shù)方案。
[0020]本實施例的安全高效的配氣系統(tǒng)，如圖1所示，設(shè)置有功能部，所述功能部包括氣體管道11、真空管道21、排空管道31、進氣閥門12、充氣閥門13、真空閥門22、排空閥門32、抽真空機23和尾氣處理器4;所述氣體管道11設(shè)置有進氣端和出氣端，所述真空管道21和排空管道31的一端分別連通所述氣體管道11的中部，所述排空管道31的另一端設(shè)置有所述尾氣處理器4，所述抽真空機23設(shè)置于所述真空管道21的另一端的近端部，所述真空管道21的另一端連通所述尾氣處理器4;所述氣體管道11的進氣端和出氣端分別設(shè)置有進氣閥門12和充氣閥門13，所述真空管道21和排空管道31的一端分別設(shè)置有真空閥門22和排空閥門32。
[0021]本配氣系統(tǒng)在使用時，首先通過吹掃對配氣系統(tǒng)的管路進行清掃;然后在氣體管道11的進氣端和出氣端分別接上原料氣瓶和目標(biāo)氣瓶，并對整個系統(tǒng)進行保壓測試;保壓測試通過后打開排空閥門32，配氣系統(tǒng)內(nèi)的測壓氣體經(jīng)過排空管道31從尾氣處理器4排空；然后打開真空閥門22對配氣系統(tǒng)進行抽真空作業(yè);在真空度為18-22pa時，使用平衡氣(將要進行配氣的氣體)對配氣系統(tǒng)進行置換，如此重復(fù)三次。
[0022]所述所述真空管道21和排空管道31與所述氣體管道11的夾角為90°。采用90°的夾角，可以避免因為管道內(nèi)的夾角在清掃和抽真空的過程中出現(xiàn)死角而導(dǎo)致配氣系統(tǒng)內(nèi)的雜質(zhì)過多。
[0023]所述進氣閥門12、充氣閥門13、真空閥門22和排空閥門32為截止閥或隔膜閥。采用截止閥或隔膜閥可以保證系統(tǒng)的具有較高的密閉性，保證配氣系統(tǒng)外部的雜質(zhì)不進到配氣系統(tǒng)內(nèi)，也避免因為漏氣而對周邊環(huán)境造成影響。
[0024]本實施例的配氣系統(tǒng)，還設(shè)置有外殼5，所述外殼5包裹所述功能部，所述外殼5設(shè)置有進氣接口 51、充裝接口 52和排氣口 53;所述氣體管道11的進氣端與所述進氣接口 51連通，所述氣體管道11的出氣端與所述充裝接口 52連通，所述尾氣處理器4的出氣口與所述排氣口 53連通。如此設(shè)計，一方面使得本配氣系統(tǒng)具有保護外殼，避免因為在充裝的過程中，氣瓶碰到相關(guān)管路而對管路造成破壞；另一方面可以避免各種塵埃進入配氣系統(tǒng)內(nèi)部，導(dǎo)致雜質(zhì)增多。更優(yōu)的，所述外殼設(shè)有腳輪6，設(shè)置腳輪6可以使得本配氣系統(tǒng)方便移動，適用性更廣。
[0025]本實施例的配氣系統(tǒng)，還設(shè)置有控制界面7，所述控制界面7電連接電源、進氣閥門12、充氣閥門13、真空閥門22、排空閥門32和抽真空機23。通過電控各個閥門的開閉，不僅方便操作，而且使得操作更加精準(zhǔn)，進一步提高配氣的效率和安全性。
[0026]本實施例的配氣系統(tǒng)，還設(shè)置有流量計和壓力計，所述流量計和壓力計分別設(shè)置于所述進氣接口 51和充裝接口 52，所述流量計和壓力計電連接所述控制界面7。
[0027]本實施例的配氣系統(tǒng)，還設(shè)置有尾氣檢測儀，所述尾氣檢測儀設(shè)置于所述排氣口53，所述尾氣檢測儀電連接所述控制界面7 ο因為每次配氣完畢、更換配氣氣體時，都需要對配氣系統(tǒng)內(nèi)的氣體進行清掃，而有些氣體為有毒、腐蝕、易燃易爆的危險氣體，因此需要對尾氣處理器4的處理進行監(jiān)測，若危害數(shù)據(jù)超過標(biāo)準(zhǔn)，則發(fā)出警報，提醒操作者進行防范措施。
[0028]以上結(jié)合具體實施例描述了本實用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對本實用新型保護范圍的限制?；诖颂幍慕忉?，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動即可聯(lián)想到本實用新型的其它【具體實施方式】，這些方式都將落入本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:設(shè)置有功能部，所述功能部包括氣體管道、真空管道、排空管道、進氣閥門、充氣閥門、真空閥門、排空閥門、抽真空機和尾氣處理器； 所述氣體管道設(shè)置有進氣端和出氣端，所述真空管道和排空管道的一端分別連通所述氣體管道的中部，所述排空管道的另一端設(shè)置有所述尾氣處理器，所述抽真空機設(shè)置于所述真空管道的另一端的近端部，所述真空管道的另一端連通所述尾氣處理器； 所述氣體管道的進氣端和出氣端分別設(shè)置有進氣閥門和充氣閥門，所述真空管道和排空管道的一端分別設(shè)置有真空閥門和排空閥門。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:所述所述真空管道和排空管道與所述氣體管道的夾角為90°。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:所述進氣閥門、充氣閥門、真空閥門和排空閥門為截止閥或隔膜閥。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:還設(shè)置有外殼，所述外殼包裹所述功能部，所述外殼設(shè)置有進氣接口、充裝接口和排氣口 ； 所述氣體管道的進氣端與所述進氣接口連通，所述氣體管道的出氣端與所述充裝接口連通，所述尾氣處理器的出氣口與所述排氣口連通。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:還設(shè)置有控制界面，所述控制界面電連接電源、進氣閥門、充氣閥門、真空閥門、排空閥門和抽真空機。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:還設(shè)置有流量計和壓力計，所述流量計和壓力計分別設(shè)置于所述進氣接口和充裝接口，所述流量計和壓力計電連接所述控制界面。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:還設(shè)置有尾氣檢測儀，所述尾氣檢測儀設(shè)置于所述排氣口，所述尾氣檢測儀電連接所述控制界面。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種安全高效的配氣系統(tǒng)，其特征在于:所述外殼設(shè)有腳輪。
【專利摘要】本實用新型公開一種安全高效的配氣系統(tǒng)，設(shè)置有功能部，所述功能部包括氣體管道、真空管道、排空管道、進氣閥門、充氣閥門、真空閥門、排空閥門、抽真空機和尾氣處理器；所述氣體管道設(shè)置有進氣端和出氣端，所述真空管道和排空管道的一端分別連通所述氣體管道的中部，所述排空管道的另一端設(shè)置有所述尾氣處理器，所述抽真空機設(shè)置于所述真空管道的另一端的近端部，所述真空管道的另一端連通所述尾氣處理器；所述氣體管道的進氣端和出氣端分別設(shè)置有進氣閥門和充氣閥門，所述真空管道和排空管道的一端分別設(shè)置有真空閥門和排空閥門。
【IPC分類】F17D1/04, F17D3/01
【公開號】CN205331808
【申請?zhí)枴緾N201620104489
【發(fā)明人】陳艷珊, 吳志鵬, 廖恒易, 張觀海
【申請人】廣東華特氣體股份有限公司, 江西華特電子化學(xué)品有限公司, 郴州湘能半導(dǎo)體氣體有限公司, 江門市新會特種氣體研究所有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年2月2日