滾珠絲杠裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及用于半導(dǎo)體制造裝置或液晶顯示面板制造裝置等的清潔環(huán)境下的滾珠絲杠裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往的滾珠絲杠裝置中，密封部件由彈性材料制成，其與絲杠軸緊密接觸來提高密封性。
[0003]在以往的提高了密封性的密封部件中，具有無法充分抑制高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的在密封部件內(nèi)產(chǎn)生的微顆粒的課題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種滾珠絲杠裝置，其能夠?qū)⒃跐L動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒密封在移動(dòng)部件內(nèi)，極力抑制在滾動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒向裝置外漏出的量。
[0005]本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種滾珠絲杠裝置，其特征在于，具有:沿軸向延伸的滾道部件，其在外周面上具有滾動(dòng)體滾動(dòng)部；能夠相對于所述滾道部件相對移動(dòng)的移動(dòng)部件，其在內(nèi)周面上具有與所述滾動(dòng)體滾動(dòng)部相對的荷載滾動(dòng)體滾動(dòng)部；多個(gè)滾動(dòng)體，其滾動(dòng)自如地裝填在由所述滾動(dòng)體滾動(dòng)部和所述荷載滾動(dòng)體滾動(dòng)部形成的滾動(dòng)體滾動(dòng)路內(nèi)；滾動(dòng)體循環(huán)路，其使所述滾動(dòng)體滾動(dòng)路的起點(diǎn)和終點(diǎn)連通而形成無限循環(huán)狀的滾動(dòng)體通路；和1對密封部件，其安裝在所述移動(dòng)部件的軸向兩端，所述密封部件由固定環(huán)固定。
[0006]在上述滾珠絲杠裝置中，所述1對密封部件在分別安裝于所述移動(dòng)部件上的狀態(tài)下，沿著相對于所述滾道部件的軸向正交的方向截?cái)鄷r(shí)，形成為相對于所述滾道部件具有
0.15mm的范圍內(nèi)的間隙的形狀。
[0007]本實(shí)用新型的密封部件形成為，相對于滾道部件具有0.15mm的范圍內(nèi)的間隙的形狀，在滾道部件與密封部件之間形成硬的潤滑脂層(密封膜)。與由密封部件單體相對于滾道部件設(shè)置間隙的情況相比，能夠極力縮小密封部件與滾道部件之間的間隙，能夠?qū)⒃跐L動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒密封在移動(dòng)部件內(nèi)，極力抑制在滾動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒向裝置外漏出的量。
【附圖說明】
[0008]圖1是滾珠絲杠裝置的剖視圖。
[0009]附圖標(biāo)記說明
[0010]1滾珠絲杠裝置
[0011]2滾道部件
[0012]3移動(dòng)部件
[0013]4滾動(dòng)體
[0014]5密封部件
[0015]6固定環(huán)
【具體實(shí)施方式】
[0016]作為本實(shí)施方式的滾珠絲杠裝置1的構(gòu)成，具有:沿軸向延伸的滾道部件(絲杠軸)2，其在外周面上具有滾動(dòng)體滾動(dòng)部；能夠相對于滾道部件2相對移動(dòng)的移動(dòng)部件(螺母)3，其在內(nèi)周面上具有與滾動(dòng)體滾動(dòng)部相對的荷載滾動(dòng)體滾動(dòng)部；多個(gè)滾動(dòng)體(滾珠)4，其滾動(dòng)自如地裝填在由滾動(dòng)體滾動(dòng)部和荷載滾動(dòng)體滾動(dòng)部形成的滾動(dòng)體滾動(dòng)路內(nèi)；滾動(dòng)體循環(huán)路，其使?jié)L動(dòng)體滾動(dòng)路的起點(diǎn)和終點(diǎn)連通而形成無限循環(huán)狀的滾動(dòng)體通路；和1對密封部件5，其安裝在移動(dòng)部件3的軸向兩端，各密封部件5由固定環(huán)6固定在移動(dòng)部件3的軸向端部。
[0017]1對密封部件5在分別安裝于移動(dòng)部件3上的狀態(tài)下，沿著相對于滾道部件2的軸向正交的方向截?cái)鄷r(shí)，形成為相對于滾道部件2具有0.15mm的范圍內(nèi)的間隙的形狀。
[0018]本實(shí)用新型的密封部件形成為，相對于滾道部件具有0.15mm的范圍內(nèi)的間隙的形狀，在滾道部件與密封部件之間形成硬的潤滑脂層(密封膜)。與由密封部件單體相對于滾道部件設(shè)置間隙的情況相比，能夠極力縮小密封部件與滾道部件之間的間隙，能夠?qū)⒃跐L動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒密封在移動(dòng)部件內(nèi)，極力抑制在滾動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒向裝置外漏出的量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種滾珠絲杠裝置，其特征在于，具有: 沿軸向延伸的滾道部件，其在外周面上具有滾動(dòng)體滾動(dòng)部； 能夠相對于所述滾道部件相對移動(dòng)的移動(dòng)部件，其在內(nèi)周面上具有與所述滾動(dòng)體滾動(dòng)部相對的荷載滾動(dòng)體滾動(dòng)部； 多個(gè)滾動(dòng)體，其滾動(dòng)自如地裝填在由所述滾動(dòng)體滾動(dòng)部和所述荷載滾動(dòng)體滾動(dòng)部形成的滾動(dòng)體滾動(dòng)路內(nèi)； 滾動(dòng)體循環(huán)路，其使所述滾動(dòng)體滾動(dòng)路的起點(diǎn)和終點(diǎn)連通而形成無限循環(huán)狀的滾動(dòng)體通路；和 1對密封部件，其安裝在所述移動(dòng)部件的軸向兩端， 所述密封部件由固定環(huán)固定。2.如權(quán)利要求1所述的滾珠絲杠裝置，其特征在于， 所述1對密封部件在分別安裝于所述移動(dòng)部件上的狀態(tài)下，沿著相對于所述滾道部件的軸向正交的方向截?cái)鄷r(shí)，形成為相對于所述滾道部件具有0.15mm的范圍內(nèi)的間隙的形狀。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種滾珠絲杠裝置，能夠?qū)⒃跐L動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒密封在移動(dòng)部件內(nèi)，極力抑制在滾動(dòng)體滾動(dòng)路與滾動(dòng)體之間產(chǎn)生的微顆粒向裝置外漏出的量。作為滾珠絲杠裝置1的構(gòu)成，具有滾道部件(絲杠軸)(2)、移動(dòng)部件(螺母)(3)和多個(gè)滾動(dòng)體(滾珠)(4)。1對密封部件(5)安裝在移動(dòng)部件(3)的軸向兩端部，各密封部件(5)由固定環(huán)(6)固定在移動(dòng)部件(3)的軸向端部。
【IPC分類】F16H25/22
【公開號】CN205013624
【申請?zhí)枴緾N201520793454
【發(fā)明人】小笠原基泰
【申請人】日本精工株式會社
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月14日