專利名稱：回吸閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及回吸閥，這種閥通過隔膜的位移操作回吸流過流體通道的規(guī)定量的流體而可以防止在輸送口發(fā)生液體的滴漏。
迄今已知在例如半導(dǎo)體晶片制造工藝中應(yīng)用回吸閥。當(dāng)停止向半導(dǎo)體晶片輸送涂覆液時(shí)，這種回吸閥的作用是防止所謂液體滴漏，即少量的涂覆液從輸送口滴到半導(dǎo)體晶片上。
圖5示出常規(guī)技術(shù)的回吸閥，并且在例如日本實(shí)用型公報(bào)No.8-10399中公開了這種回吸閥。
這種回吸閥1包括具有流體通道4的主閥體5，流體通道4連接于流體入口2和流體出口3，該回吸閥包括連接于主閥體5上部分的閥蓋6。隔膜7由厚壁部分和薄壁部分組成，配置在流體通道4的中央。未示出的壓力流體源連接于閥蓋6，該閥蓋還具有壓力流體輸送口8，該輸送口用于輸送壓縮空氣，以便通過方向控制閥(未示出)的切換作用操作隔膜。
活塞9裝在隔膜7上，V形密封件10裝在活塞9上，它可沿主閥體5的內(nèi)壁表面滑動(dòng)，起密封作用。通常沿朝上方向壓著活塞的彈簧11配置在主閥體5中。
調(diào)節(jié)螺栓12配置在閥蓋6的頂部，該螺栓通過增大或減小其擰入量可以壓靠活塞9并調(diào)節(jié)活塞9的位移量，于是可以調(diào)節(jié)隔膜7抽吸的涂覆液量。
其中貯存涂覆液的涂覆液供應(yīng)源13經(jīng)管道14連接于流體入口2。另外，在涂覆液供應(yīng)源13和流體入口2之間接入開/關(guān)閥15，該開關(guān)閥作成為與回吸閥1分開的單獨(dú)件。該開/關(guān)閥15在通電和斷電時(shí)，起著將涂覆液輸送到回吸閥1和停止向回吸閥1輸送的切換作用。
下面簡要說明回吸閥1的操作。在流體從流體入口2輸送到流體出口3的普通狀態(tài)下，活塞9和隔膜7通過從壓力流體輸送口8輸送的壓力流體的作用以整體方式向下移動(dòng)。連接于活塞9的隔膜7凸入流體通道4中，如圖5的雙點(diǎn)畫線所示。
當(dāng)停止流體在流體通道4中的流動(dòng)時(shí)，活塞9和隔膜7由于停止從壓力流體輸送口8輸送壓力流體，因而在彈簧11的彈力作用下同步地上升。于是在隔膜7產(chǎn)生的負(fù)壓作用下回收留在流體通道4內(nèi)的預(yù)定量流體。這樣便可防止液體的滴漏，否則將會(huì)在未示出的流體輸送口造成液體滴漏。
在這種情況下，回吸的涂覆液量對應(yīng)于活塞9的位移，活塞9的位移量由螺栓部件12調(diào)節(jié)。
順便說明，采用常規(guī)技術(shù)的回吸閥1時(shí)，為調(diào)節(jié)由壓力流體輸送口8輸送的壓力空氣的流量，在象管道這樣的導(dǎo)管16上連接速度控制器或類似的流量控制閥17。流量控制閥17通過改變閥中流體通過面積調(diào)節(jié)流過的壓力流體流量。
然而，在常規(guī)技術(shù)的回吸閥1中由壓力流體輸送口8輸送的壓力空氣的流量是用機(jī)械裝置例如上述的流量控制閥17控制的，這樣便產(chǎn)生不能準(zhǔn)確控制由壓力流體輸送口輸送的壓力空氣的流量的這種缺點(diǎn)。
另外，在常規(guī)技術(shù)的回吸閥中，因?yàn)橥扛惨夯匚康恼{(diào)節(jié)是用手工通過增大/減小螺栓部件12的擰入量進(jìn)行的，所以導(dǎo)致不能準(zhǔn)確控制涂覆液回吸量這樣的缺點(diǎn)。在這種情況下，已經(jīng)適當(dāng)設(shè)定的螺栓部件的擰入量每次必須重新設(shè)定，以符合于要求的涂覆液回吸量，因而增加了系統(tǒng)的復(fù)雜性。
另外，在采用常規(guī)回吸閥1時(shí)必須在回吸閥1和流量控制閥17之間，以及在回吸閥1和開/關(guān)閥15之間進(jìn)行管道連接操作，這是很不方便的。而且必須在回吸閥1的外側(cè)分別留出安裝流量控制閥17和開/關(guān)閥15的專用空間。造成必須增加安裝空間的缺點(diǎn)。
再則，由于在回吸閥1和流量控制閥17之間連接附加管道，所以增加了流體流過的阻力，因而造成隔膜7響應(yīng)精度(響應(yīng)性)變壞的缺點(diǎn)。
而且，必須單獨(dú)提供驅(qū)動(dòng)裝置，用于切換開/關(guān)閥15的“開”和“關(guān)”的狀態(tài)，由此又增加開/關(guān)閥15和驅(qū)動(dòng)裝置之間的相互連接的管道連接操作，因而造成增加裝置總成本的缺點(diǎn)。
另外，在用未示出的電氣裝置位移隔膜的情況下，由于電氣裝置產(chǎn)生的熱量的作用，在流體通道內(nèi)流過的流體特性還可能發(fā)生變化。
本發(fā)明的總目的在于提供高準(zhǔn)確度的控制用于使面向流體通道安裝的柔性材料(隔膜)發(fā)生位移的先導(dǎo)壓力，以及提供一種可以高準(zhǔn)確度控制由柔性材料回吸的流體流量的回吸閥。
本發(fā)明的主要目的是提供一種回吸閥，該回吸閥即使還在用電氣裝置位移該柔性部件(隔膜)的情況下也能夠防止由于電氣裝置產(chǎn)生的熱量造成的在流體通道中流動(dòng)的流體質(zhì)量的改變或變壞。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種回吸閥，這種回吸閥可以改進(jìn)上述柔性材料(隔膜)的響應(yīng)性和準(zhǔn)確度。
本發(fā)明的再一個(gè)目的是提供一種回吸閥，這種回吸閥不需要進(jìn)行管道連接操作，因而減小了整個(gè)裝置的安裝空間。
附圖中示出作為例示性舉例的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，下面結(jié)合附圖進(jìn)行說明，由此可以明顯看出本發(fā)明上述的和其它的目的、特性和優(yōu)點(diǎn)。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的回吸閥透視圖。
圖2是圖1所示回吸閥的流量控制裝置構(gòu)成部分的垂直橫截面圖；圖3是圖1所示回吸閥的編碼器構(gòu)成部分的部分切除的透視圖；圖4是圖1所示回吸閥的操作說明圖；圖5是常規(guī)技術(shù)回吸閥的垂直截面圖。
圖1中編號(hào)20表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的回吸閥。回吸閥20構(gòu)成如下一對管子22a、22b的連接件(管接頭)24，該一對管子分開固定的距離連接在該連接件上；沿該連接件24的縱向配置在上部的開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26；沿該連接件24的縱向配置在另一上部的回吸閥機(jī)構(gòu)28；和驅(qū)動(dòng)回吸閥機(jī)構(gòu)28的驅(qū)動(dòng)器30。連接件24、開/關(guān)閥26、回吸機(jī)構(gòu)28和驅(qū)動(dòng)器30如圖1所示被組裝成一個(gè)整體。
在連接件24的一個(gè)端部上形成第一輸送口34，在另一端部上形成第二輸送口36，第一和第二輸送口34、36分別與其中具有流體通道38的連接體40接合，該流體通道38連通第一和第二輸送口34、36，并包括插入到管子22a、22b開口中的內(nèi)部件42和鎖定螺母44，該螺母通過螺紋嚙合于在連接體40端部上形成的螺紋而氣密地固定管子22a、22b在連接位置上。
開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26配置在連接件24的上部分，靠近第一輸送口34，開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26具有整體連接于連接體40的第一閥體46、可在第一閥體46內(nèi)形成的圓筒形室48中沿箭頭X1和X2方向移動(dòng)的活塞50和氣密密封圓筒形室48的蓋部件52。另外，在活塞50的徑向延伸的外周部分和第一閥體46之間配置支承活塞50的柔性環(huán)支承件53。在這種情況下，活塞50設(shè)置成通過支承件53的形變而沿箭頭X2的方向移動(dòng)。
彈簧件54配置在活塞50和蓋部件52之間，因此活塞50通常受到彈簧部件54彈力的作用而被向下偏壓(沿箭頭X2的方向)。
第一隔膜室58形成在活塞50的下端部，其中第一隔膜56連接于活塞50的下端部并配置成可與活塞50整體移動(dòng)。在這種情況下，第一隔膜56通過離開和壓在于閥體40上形成的閥座59而打開和關(guān)閉流體通道38。因此通過構(gòu)成開/關(guān)閥26的第一隔膜56的打開和關(guān)閉操作便可以執(zhí)行切換操作，即在流體(即涂覆液)流過流體通道38和切斷該流體流過該通道之間進(jìn)行切換。
另外，在第一隔膜56的上表面上配置支承隔膜薄壁部分的環(huán)形緩沖件60，該緩沖件60由連接于活塞50下端部的截面為L形的支承件62支承。
用于控制送到圓筒形室48的壓力流體流量的流量控制裝置68通過管道67裝在開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)上，該管道67具有與先導(dǎo)通道64連通的通道65和與通道65連通的壓力流體輸送口66。
如圖2所示，流量控制裝置68的形成方法是，將例如用派熱克斯(硬質(zhì))玻璃作的第一薄片(墊片)69、加接在第一薄片69上表面上的采用例如硅基片作的第二薄片70以及加接在第二薄片70上表面上采用例如派熱克斯(硬質(zhì))玻璃作的第三薄片71整個(gè)地疊置起來。
在第一薄片69和與其分開預(yù)定距離的第二薄片70之間形成一對入口72a、72b。在這種情況下，入口之一72a與壓力流體輸送口66連通，而另一入口72b用封閉塞堵住。
具有噴口73的噴嘴74配置在一對入口72a、72b之間，噴口73被成形為與通向第一薄片底部的出口75連通。另外，出口75配置成與通道65連通。
在第二薄片70中形成橫截面為梯形的室76，響應(yīng)所加熱量而膨脹的流體77例如硅液被密封在室76中。室76的底部具有膜78，該膜78與噴嘴74的端部分開預(yù)定距離并這樣成形，使得在流體77膨脹時(shí)該膜向噴嘴74彎曲(圖2所示的雙點(diǎn)畫線)。
在構(gòu)成室76上表面的第三薄片71的下側(cè)配置一定形狀的電阻體79，其中電阻體79經(jīng)一對電極80a、80b和導(dǎo)線81連接于未示出的控制器。
在第一閥體46中形成與圓筒形室48連通的先導(dǎo)通道64。在此情況下，在流量控制閥68的控制作用下，壓力流體(先導(dǎo)壓力)經(jīng)先導(dǎo)通道64輸送到圓筒形室48，由此活塞50反抗彈簧件54的彈力向上移動(dòng)，由此第一隔膜56與閥座59分開預(yù)定的距離，因而流體通道38被打開，于是涂覆液從第一輸送口34流到第二輸送口36。
另外，在第一閥體46中形成使第一隔膜室58連通大氣的通道82，于是通過通道82可以從隔膜室58中排出空氣，由此可以平滑地操作隔膜56。編號(hào)84示出保持圓筒形室48氣密性的密封裝置，編號(hào)86示出鄰接活塞50的起緩沖作用的緩沖件。
回吸機(jī)構(gòu)28配置在連接件24的上部分，靠近第二輸送口36，回吸機(jī)構(gòu)28具有整體連接于連接體40的第二閥體92和桿96，該桿可沿箭頭X1和X2的方向在第二閥體92上形成的室94中移動(dòng)。
抗磨環(huán)97經(jīng)環(huán)形槽固定在桿96的外周面上，抗磨環(huán)97起導(dǎo)向件作用，保證桿96的線性移動(dòng)。在室94中配置彈簧件98，該彈簧件由于與桿96的凸緣部嚙合以其彈力的作用通常沿朝上方向向該桿96施加偏壓。
在桿96的下端部形成許多夾具夾頭，使得第二隔膜100由許多夾頭支承。第二隔膜100連接于桿96并配置成可與桿96整體移動(dòng)，第二隔膜100形成第二隔膜室102。
保護(hù)第二隔膜100薄壁部分的環(huán)形緩沖件104配置在第二隔膜100的上表面上，而緩沖件104由橫截面為L形的連接于桿96下端部的支承件106支承。使第二隔膜室102連通到大氣的通道108形成在第二閥體92中。
如圖4所示，在連接體40中形成面對通道38的凸出部110，該凸出部具有符合第二隔膜100底表面形狀的傾斜表面。第二隔膜100被配置成可壓靠在凸出部110上和與該凸出部分開。在這種情況下，流體被抽吸到由于第二隔膜100與凸出部110的分離而形成的間隙中。
另外，在第二閥體92中形成輸送口116a和排出口，前者用于將惰性氣體例如氮?dú)廨斔偷介y蓋112內(nèi)的空間114，后者用于從該空間114中排出惰性氣體。輸送口116a和排出口116b經(jīng)相應(yīng)的通道117a、117b連接于空間114。在這種情況下，該惰性氣體起著冷卻下述線性驅(qū)動(dòng)器的冷卻劑作用。
驅(qū)動(dòng)器30包括整個(gè)連接于第二閥體92上部的閥蓋112。通過桿96使第二隔膜100沿箭頭X1和X2的方向移動(dòng)的線性驅(qū)動(dòng)器118和根據(jù)線性驅(qū)動(dòng)器118的位移量檢測第二隔膜100位移量的編碼器120配置在閥蓋112的空間114中。
線性驅(qū)動(dòng)器118基本上由四相單極步進(jìn)馬達(dá)構(gòu)成，該馬達(dá)由電信號(hào)供電和斷電，包括未示出的定子和配置在外殼中的轉(zhuǎn)子，以及連接器，該連接器連接于電源，用于向定子提供磁化電流。在這種情況下，通過沿一定方向轉(zhuǎn)動(dòng)未示出的轉(zhuǎn)子便可使驅(qū)動(dòng)軸126沿箭頭X1和X2的方向移動(dòng)。
連接于編碼器120的驅(qū)動(dòng)軸126的上側(cè)具有非圓形橫截面例如橢圓截面(見圖3)。另一方面，球(珠)128通過孔嵌入到驅(qū)動(dòng)軸126的下端部。該球128被成形為與桿96的上表面形成點(diǎn)接觸。
在這種情況下，如圖4所示，桿96和線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)軸126沒有通過連接件等連接成整體，而是這樣構(gòu)成，即使得桿96和驅(qū)動(dòng)軸126通過球128頂接。因此在桿96和線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)軸126由于連接誤差而不共軸的情況下，或換一種方式說，即使在線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)軸126相對于桿96的軸線以稍微傾斜的角度相接的情況下，它們的這種配置也可以容許這種誤差。
如圖3所示，編碼器120包括在其中心形成的圓盤134，該盤具有基本橢圓形的對應(yīng)于驅(qū)動(dòng)軸126上端的孔130和許多在其周面上的隔開一定距離配置的狹縫132。
另外，如圖3和4所示，編碼器120包括帶有環(huán)形槽136的支承件138，該環(huán)形槽形成在該支承件的內(nèi)周表面上以便圓盤134在其中轉(zhuǎn)動(dòng)，該支承件138成形為圓形，但其約四分之一的圓被切出，該編碼器還包括遮光器142，該遮光器具有光發(fā)射器件139a和隔一定距離配置的光接收器件139b，該發(fā)射和接收器件被配置成面對位于橫截面為コ形的凹口140中的一部分圓盤134。通過光接收器件139b接收光發(fā)射器件139a發(fā)出的通過圓盤134的狹縫132的光便可以測定線性驅(qū)動(dòng)器118的移動(dòng)量。
在這種情況下，在線性驅(qū)動(dòng)器118上側(cè)的驅(qū)動(dòng)軸126配置成可相對于在圓盤134上形成的截面為橢圓形的孔30沿箭頭A的方向移動(dòng)(見圖3)。因此線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)軸126配置成可穿過橫截面為橢圓形的孔30，并相對于圓盤134作向上和向下的移動(dòng)，該驅(qū)動(dòng)軸僅限于沿上、下方向(箭頭A的方向)移動(dòng)。
更具體地，圓盤134配置成可沿一定方向以驅(qū)動(dòng)軸126為轉(zhuǎn)動(dòng)中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，并且它的向上和向下移動(dòng)受到支承件138上的環(huán)形槽136的限制。結(jié)果，由于圓盤134的高度保持固定，所以可以確保配置在光遮擋器142的凹槽140中的光發(fā)射器件139a和光接收器件139b與圓盤134之間的間隙。
與驅(qū)動(dòng)軸126的一端對接的止動(dòng)件144和在固定位置嚙合止動(dòng)件144的螺母146配置在閥蓋112的上表面。止動(dòng)件144通過其外周面上形成的螺紋擰入到閥蓋112上的螺紋孔中，通過增大/減小其擰入量可以使驅(qū)動(dòng)軸126嚙合在和止動(dòng)在沿上/下方向的固定位置。
上面說明了本發(fā)明回吸閥20的基本結(jié)構(gòu)。以下說明其操作和效果。
首先使貯存涂覆液的涂覆液供應(yīng)源148連接于與回吸閥20的第一輸送口34連通的管子22a，而使涂覆液滴注裝置154連接于與第二輸送口36連通的管子22b上，該滴注裝置上配置向半導(dǎo)體晶片150上滴注涂覆液的噴嘴152。另外，通過調(diào)節(jié)止動(dòng)件144的擰入量來設(shè)定線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)軸126的初始位置。
另外，使驅(qū)動(dòng)信號(hào)從未示出的控制器經(jīng)連接件124輸送到線性驅(qū)動(dòng)器118上，由此如圖1所示，使線性驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸126設(shè)定在其最下部位置。
在完成這些準(zhǔn)備步驟以后，使壓力流體供應(yīng)源156起動(dòng)，使其向壓力流體輸送口66輸出壓力流體。引入到該壓力輸送口66的壓力流體(光導(dǎo)壓力)又引入到流量控制裝置68。
然后控制器(未示出)向流量控制裝置68輸出起動(dòng)信號(hào)。在流量控制裝置68中，電流經(jīng)電極80a、80b流到電阻體79，使電阻體79加熱。
結(jié)果，充滿室76的流體受熱并膨脹，并且薄膜78受到壓力并向下彎曲，如圖2的雙點(diǎn)畫線所示，于是薄膜78和噴嘴74之間分開的距離被設(shè)定到預(yù)定距離。因此從噴嘴噴口73流向出口75的壓力流體的流量根據(jù)薄膜78和噴嘴74之間的分開距離而受到縮口控制。
結(jié)果是，通過調(diào)節(jié)從流量控制裝置68的出口75排出的壓力流體的流量便可以將輸送到開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26的圓筒形室48的先導(dǎo)壓力控制在預(yù)定值。
進(jìn)入圓筒形室48的壓力流體(先導(dǎo)壓力)使活塞50反抗彈簧件54的彈力沿箭頭X1的方向移動(dòng)。因此連接于活塞50的第一隔膜56與閥座59分離，使開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26處于開啟的狀態(tài)。此時(shí)從涂覆液供應(yīng)源148輸送的涂覆液便流過流體通道38，并經(jīng)涂覆液滴注裝置154滴注到半導(dǎo)體晶片150上。結(jié)果在半導(dǎo)體晶片上形成一層具有要求薄膜厚度的涂覆液。
在半導(dǎo)體晶片150上經(jīng)涂覆液滴注裝置154涂上預(yù)定量的涂覆液后，停止向開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)輸送壓力流體。因此活塞50在彈簧件54的彈力作用下沿箭頭X2的方向移動(dòng)，于是第一隔膜56又壓靠在閥座59上，使開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26處于關(guān)閉狀態(tài)。
當(dāng)開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)便使流體通道38斷流，于是停止向半導(dǎo)體晶片150輸送涂覆液，并且也停止從涂覆液滴注裝置154的噴嘴152向半導(dǎo)體晶片150滴注涂覆液的狀態(tài)。在這種情況下，因?yàn)榫o位于已經(jīng)滴注到半導(dǎo)體晶片150上的涂覆液前面的涂覆液還留在涂覆液滴注裝置154的噴嘴152內(nèi)，所以可能發(fā)生不希望的液體滴漏。
此時(shí)，未示出的控制器經(jīng)連接件124向線性驅(qū)動(dòng)器118輸送起動(dòng)信號(hào)，使線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)軸126沿箭頭X1的方向向上移動(dòng)。于是第二隔膜100和桿96在彈簧件98彈力的作用下同步地上升，因而得到圖4所示的狀態(tài)。
即，由于通過線性驅(qū)動(dòng)器118驅(qū)動(dòng)軸126的位移作用而使第二隔膜100上升，所以產(chǎn)生了負(fù)壓。由于負(fù)壓的作用，在流體通道38內(nèi)的預(yù)定量涂覆液將沿圖4箭頭所示的方向被抽吸到第二隔膜100和凸出部110之間的間隙中。結(jié)果，留在涂覆液滴注裝置154的噴嘴152中的預(yù)定量涂覆液向回吸閥20一側(cè)的方向返回，因而可以制止向半導(dǎo)體晶片的不希望有的液體滴漏。
在這種情況下，編碼器120可以根據(jù)線性驅(qū)動(dòng)器118的轉(zhuǎn)動(dòng)量檢測第二隔膜100的位移量，再基于從編碼器120輸出的檢測信號(hào)(脈沖信號(hào))，控制器控制線性驅(qū)動(dòng)器118，使第二隔膜100停在預(yù)先設(shè)定的位置。
更具體地，未示出的控制器計(jì)數(shù)編碼器120輸出的脈沖信號(hào)，當(dāng)脈沖達(dá)到先前預(yù)先設(shè)定的預(yù)定數(shù)時(shí)，一個(gè)停動(dòng)信號(hào)便輸?shù)骄€性驅(qū)動(dòng)器118，于是停止線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)狀態(tài)。因?yàn)榈诙裟?00可以停止在對應(yīng)于涂覆液抽吸量的位置，所以可以容易地高準(zhǔn)確度地控制涂覆液抽吸量。
當(dāng)又使開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26處于啟開狀態(tài)，第一隔膜56與閥座59分開，同時(shí)第二隔膜在線性驅(qū)動(dòng)器118的驅(qū)動(dòng)作用下壓靠在凸出部110上時(shí)，又達(dá)到圖1所示的狀態(tài)，涂覆液又開始向半導(dǎo)體晶片150滴注。
在本實(shí)施例中，由第二隔膜100抽吸的涂覆液流量可以通過線性驅(qū)動(dòng)器118進(jìn)行電氣控制。因此可以容易地和高度準(zhǔn)確地控制由第二隔膜抽吸的涂覆液的流量。
在這種情況下，因?yàn)榫€性驅(qū)動(dòng)器118可以用充入空間114的惰性氣體適當(dāng)冷卻，所以流過流體通道38的流體(例如涂覆液)的特性不會(huì)因?yàn)榫€性驅(qū)動(dòng)器118產(chǎn)生的熱量而變壞或改變，流體可以保持其固有的質(zhì)量。
另外，和其中應(yīng)用機(jī)械裝置來控制壓力流體流量的先有技術(shù)相比，在本實(shí)施例中，由于用電氣控制的流量控制裝置68，所以可以高度準(zhǔn)確地控制輸送到開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26的光導(dǎo)壓力，因而可以進(jìn)一步改進(jìn)開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)的響應(yīng)準(zhǔn)確度。
更具體地，與先有技術(shù)相比，由于采用流量控制裝置68控制輸送到開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26的先導(dǎo)壓力，所以可以改進(jìn)開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)速度，同時(shí)可以擴(kuò)展其操作范圍。另外，由于提高了開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26在啟開和關(guān)閉狀態(tài)之間的切換速度，所以可以準(zhǔn)確設(shè)定滴注到半導(dǎo)體晶片150上的涂覆液的流量。而且膜178可以承受高頻的彎曲操作，因而減少了制約并改進(jìn)了操作的重視性。
另外，在本實(shí)施例中，由于相應(yīng)地將連接件24、開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26、回吸機(jī)構(gòu)28和驅(qū)動(dòng)器30裝配為整體，所以和先有技術(shù)不同，不再需要在回吸閥20和流量控制閥之間，或在回吸閥20和單獨(dú)的開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行管子的連接操作。
因?yàn)椴恍枰峁﹩为?dú)安裝流量控制閥和/或開/關(guān)閥的專用空間，所以可以有效利用安裝空間。
而且在本實(shí)施例中，因?yàn)殚_/關(guān)閥機(jī)構(gòu)26和驅(qū)動(dòng)器30等與回吸機(jī)構(gòu)28形成整體，所以與先有技術(shù)中的單獨(dú)制作回吸部件然后再連接在一起的方法相比，裝置總的結(jié)構(gòu)的尺寸較小。
另外，在本實(shí)施例中，因?yàn)樵诨匚y20和流量控制閥之間不需要管道，所以可以避免增加流體通道的阻力。
權(quán)利要求
1.一種回吸閥，它包括連接件(24)，具有流體通道(38)，該流體通道具有在其一個(gè)端部上形成的第一輸送口(34)和在其另一端部上形成的第二輸送口(36)；回吸機(jī)構(gòu)(28)，該機(jī)構(gòu)利用柔性部件(100)位移產(chǎn)生的負(fù)壓抽吸上述流體通道(38)中的流體；開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)(26)，該機(jī)構(gòu)用于在先導(dǎo)壓力的作用下打開和關(guān)閉上述流體通道(38)；驅(qū)動(dòng)器(30)，具有電氣線性驅(qū)動(dòng)器(118)，用于移動(dòng)上述柔性部件(100)；流量控制器(68)，用于控制加到上述開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)(26)上的先導(dǎo)壓力；冷卻上述電氣線性驅(qū)動(dòng)器的冷卻介質(zhì)。
2.如權(quán)利要求1所述的回吸閥，其特征在于，上述冷卻介質(zhì)由惰性氣體構(gòu)成，該氣體經(jīng)回吸機(jī)構(gòu)的閥體(92)上形成的輸送口(116a)引入到配置上述電氣線性驅(qū)動(dòng)器的空間(114)中。
3.如權(quán)利要求1所述的回吸閥，其特征在于，上述流量控制器包括容器(69、70、71)，在該容器中密封可受熱膨脹和壓縮的流體，該容器部分地由膜(78)、對著上述容器(69、70、71)的膜(78)的噴嘴74和加熱裝置(79)構(gòu)成，該加熱裝置用于控制上述容器(69、70、71)中的流體的加熱。
4.如權(quán)利要求1所述的回吸閥，其特征在于，上述回吸機(jī)構(gòu)(28)可移動(dòng)地配置在上述閥體(92)中，并包括與上述電氣線性驅(qū)動(dòng)器(118)的驅(qū)動(dòng)軸(126)對接的桿(96)、面對流體通道(38)的可與上述桿(96)整體移動(dòng)的隔膜(100)和彈簧部件(78)，該彈簧部件使上述桿(96)向上述電氣線性驅(qū)動(dòng)器受偏壓。
5.如權(quán)利要求4所述的回吸閥，其特征在于，上述電氣線性驅(qū)動(dòng)器(118)包括步進(jìn)馬達(dá)；該步進(jìn)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)軸(126)和上述桿(96)通過球(128)形成點(diǎn)接觸。
6.如權(quán)利要求1所述的回吸閥，其特征在于，連接件(24)、回吸機(jī)構(gòu)(28)、開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)(26)和驅(qū)動(dòng)器(30)分別地裝配成整體。
7.如權(quán)利要求1所述的回吸閥，其特征在于，上述柔性部件包括隔膜(100)；該隔膜(100)配置成可壓靠在其傾斜表面符合上述隔膜(100)底表面形狀的凸出部(110)上和可與該凸出部分開，在負(fù)壓作用下，上述流體可被抽吸到由于隔膜(100)與上述凸出部(110)的分離而形成的間隙中。
8.如權(quán)利要求1所述的回吸閥，其特征在于還包括配置在上述驅(qū)動(dòng)器(30)中的編碼器(120)，該編碼器根據(jù)光接收器件(139a)接收的光檢測電氣線性驅(qū)動(dòng)器(118)的位移量，該受檢測的光由光發(fā)射器件(139b)產(chǎn)生并經(jīng)圓盤(134)上的狹縫穿過該圓盤，其中，上述電氣線性驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸(126)的一個(gè)端部為非圓形的橫截面，驅(qū)動(dòng)軸(126)的上述端部沿上述驅(qū)動(dòng)軸(126)的軸向方向可相對于孔(130)滑動(dòng)，該孔形成在上述圓盤(134)的中央部分，其形狀對應(yīng)于上述驅(qū)動(dòng)軸(126)的橫截面形狀。
全文摘要
回吸閥(20)包括線性驅(qū)動(dòng)器(118)、編碼器(120)和流量控制器(68),該線性驅(qū)動(dòng)器通過桿(96)使第二隔膜(100)移動(dòng);該編碼器檢測線性驅(qū)動(dòng)器(118)的位移量;該流量控制裝置控制輸送到開/關(guān)閥機(jī)構(gòu)(26)的先導(dǎo)壓力。
文檔編號(hào)F16K23/00GK1197174SQ9810636
公開日1998年10月28日 申請日期1998年4月9日 優(yōu)先權(quán)日1997年4月10日
發(fā)明者田村和也, 山田博介, 藤原伸廣 申請人:Smc株式會(huì)社