本實用新型涉及真空設備使用的控制閥領域，具體涉及一種提高抽速的真空高閥。

背景技術：

真空鍍膜技術，是在真空條件下采用物理或化學的方法，使物體表面獲得所需要的膜體。真空鍍膜技術根據(jù)其采用的方法不同可分為:蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等。為了獲得更好的鍍膜效果，更快地獲得所要的真空度，在真空鍍膜室和真空泵方面作了很多改進，但在真空閥方面一直沒什么大的改進，而目前要快速達到最終真空高閥的真空度，一般通過多個泵設置成主泵和前置泵的方式來達到，能耗高，抽速也沒快多少。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型主要解決的技術問題在于，提供一種提高抽速的真空高閥，且達到同樣的真空度時能耗還低。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：提高抽速的真空高閥，包括閥體、氣缸和閥罩蓋，所述閥體內(nèi)為中空結構，閥體上設有真空容器連接口、預抽真空閥連接口，所述真空容器連接口經(jīng)所述閥體內(nèi)與所述預抽真空閥連接口連通；所述閥體上設置所述氣缸，氣缸與所述閥體連接處密封連接；所述氣缸的氣缸軸伸入到所述閥體內(nèi)，氣缸軸設有閥罩蓋，所述閥罩蓋朝向所述預抽真空閥連接口，能在所述氣缸軸驅動下關閉或打開所述預抽真空閥連接口；所述真空高閥還包括至少一個預抽真空閥，預抽真空閥通過閥體上的預抽真空閥連接口與閥體相連通。

作為本實用新型提高抽速的真空高閥的進一步改進，預抽真空閥設有一個，預抽真空閥的真空度低于真空高閥最終的真空度，預抽真空閥呈與閥體相同形狀，預抽真空閥的閥本體上的在預抽真空閥連接口的相對位置上設有高真空泵連接口。這樣等于在原先高真空泵與閥體之間增設了一個協(xié)助抽真空的預抽真空閥，在正式開始抽真空前閥罩蓋不打開（處于關閉狀態(tài)）先對預抽真空閥抽真空，這樣無需只需簡單抽真空一會，讓預抽真空閥達到一定的真空度，然后在保持真空泵繼續(xù)工作的情況下打開閥罩蓋，由于預抽真空閥此時已經(jīng)具備一定的真空度，閥體內(nèi)的空氣具備向空氣稀薄的預抽真空閥內(nèi)移動的趨勢，這樣預抽真空閥起到了幫助抽真空的作用，并且使得整個抽真空過程具備一個梯度，這樣其實整個過程能耗低，且提高了抽速。

作為本實用新型提高抽速的真空高閥的另一種改進，預抽真空閥設有一個，預抽真空閥的真空度高于真空高閥最終的真空度，預抽真空閥呈與閥體相同形狀，預抽真空閥的閥本體與閥體的規(guī)格一致。這樣的設置可以根據(jù)閥體的尺寸及最初的真空度和目標真空度計算出預抽真空閥應該達到的真空度，能耗并未減少，但可以把對預抽真空閥抽真空的過程放在其他準備活動之前，正式抽速時間能夠得到減少，但不推薦，畢竟預抽真空閥的真空度是遠高于真空高閥最終的真空度的，整體能耗較大。

作為本實用新型提高抽速的真空高閥的進一步改進，預抽真空閥設有兩個，依次連通，靠近閥體的那個預抽真空閥通過預抽真空閥連接口與閥體連通，遠離閥體的那個預抽真空閥與靠近閥體的那個預抽真空閥通過一根管道連通，管道與遠離閥體的那個預抽真空閥以及靠近閥體的那個預抽真空閥一體成型；遠離閥體的那個預抽真空閥的真空度高于靠近閥體的那個預抽真空閥。這樣是將整體抽真空的過程分成三個梯度，通過依次打開兩個預抽真空閥及閥體實現(xiàn)隨著時間的流逝逐漸提高真空度的方式，提高了抽速且降低了整個抽真空過程的能耗。

為了進一步提高抽速，可在閥體內(nèi)設置風扇，在抽真空時同時驅動風扇轉動，雖然隨著閥體內(nèi)的空氣越來越稀薄風扇吹出的風越來越小，但在剛開始由于閥體內(nèi)空氣很多，因此在初始階段配合預抽真空閥，能夠極大地加速剛開始的抽速，使得整體抽真空所需時間減小。

本實用新型通過預抽真空閥的設置，給抽真空過程一個梯度，預抽真空閥的設置起到協(xié)助推動抽真空過程的作用，使得抽真空更迅速，達到同樣的真空度時能耗較以前的技術方案低。

附圖說明

圖1為本實用新型提高抽速的真空高閥實施例一的結構示意圖；

圖2為圖1剛開始抽氣時的使用狀態(tài)示意圖（圖示中圓圈表示空氣分子）；

圖3為圖1抽氣結束時的狀態(tài)示意圖；

圖4為本實用新型實施例二初始狀態(tài)示意圖；

圖5為圖4中閥罩蓋經(jīng)氣缸驅動打開后一段時間的狀態(tài)示意圖；

圖6為本實用新型實施例三剛開始抽氣時的使用狀態(tài)示意圖；

圖7為圖6抽氣結束時的狀態(tài)示意圖。

圖中：1、閥體 2、氣缸 3、管道 4、真空容器連接口 5、預抽真空閥連接口 6、氣缸軸 7、閥罩蓋 8、預抽真空閥 9、高真空泵連接口 8-1、閥本體。

具體實施方式

為了對本實用新型的技術特征、目的以及效果有更加清楚地了解，現(xiàn)對照附圖詳細說明本實用新型的具體實施方式。

實施例一：

如圖1至圖3所示（圖2、圖3中最右邊表示真空泵），提高抽速的真空高閥，包括閥體1、氣缸2和閥罩蓋7，所述閥體1內(nèi)為中空結構，閥體1上設有真空容器連接口4、預抽真空閥連接口5，所述真空容器連接口4經(jīng)所述閥體1內(nèi)與所述預抽真空閥連接口5連通；所述閥體1上設置所述氣缸2，氣缸2與所述閥體1連接處密封連接；所述氣缸2的氣缸軸6伸入到所述閥體1內(nèi)，氣缸軸6設有閥罩蓋7，所述閥罩蓋7朝向所述預抽真空閥連接口5，能在所述氣缸軸6驅動下關閉或打開所述預抽真空閥連接口5；所述真空高閥還包括至少一個預抽真空閥8，預抽真空閥8通過閥體1上的預抽真空閥連接口5與閥體1相連通。預抽真空閥8設有一個，預抽真空閥8的真空度低于真空高閥最終的真空度，預抽真空閥8呈與閥體1相同形狀，預抽真空閥8的閥本體8-1上的在預抽真空閥連接口5的相對位置上設有高真空泵連接口9。

實施例二：

與實施例一的不同在于：如圖4、圖5所示，預抽真空閥8設有一個，預抽真空閥8的真空度高于真空高閥最終的真空度，預抽真空閥8呈與閥體1相同形狀，預抽真空閥8的閥本體8-1與閥體1的規(guī)格一致。

實施例三：

與實施例一的不同在于：如圖6、圖7所示，預抽真空閥8設有兩個，依次連通，靠近閥體1的那個預抽真空閥8通過預抽真空閥連接口5與閥體1連通，遠離閥體1的那個預抽真空閥8與靠近閥體1的那個預抽真空閥8通過一根管道3連通，管道3與遠離閥體1的那個預抽真空閥8以及靠近閥體1的那個預抽真空閥8一體成型；遠離閥體1的那個預抽真空閥8的真空度高于靠近閥體1的那個預抽真空閥8。

以上內(nèi)容是結合具體的優(yōu)選技術方案對本實用新型所作的進一步詳細說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為屬于本實用新型的保護范圍。