分子泵抽速測(cè)試儀的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種分子泵抽速測(cè)試儀，包括測(cè)試罩和控制器，在所述測(cè)試罩上連接有氣瓶，所述氣瓶向所述測(cè)試罩內(nèi)提供測(cè)試氣體，在所述氣瓶和測(cè)試罩之間設(shè)有流量控制單元，用于控制并檢測(cè)由所述氣瓶流向所述測(cè)試罩內(nèi)的測(cè)試氣體的流量，所述流量控制單元由所述控制器控制，在測(cè)試罩上還連接有真空計(jì)，所述真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)所述測(cè)試罩內(nèi)的壓力數(shù)據(jù)，所述真空計(jì)監(jiān)測(cè)的壓力和所述流量控制單元監(jiān)測(cè)的流量分別傳輸給所述控制器，所述控制器根據(jù)所述壓力數(shù)據(jù)和流量數(shù)據(jù)計(jì)算出抽速。本發(fā)明具有測(cè)試精度高、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)；使測(cè)試效率大大提高。
【專利說明】分子泵抽速測(cè)試儀

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種分子泵抽速測(cè)試儀。

【背景技術(shù)】
[0002]分子泵作為一種真空獲得設(shè)備在真空行業(yè)廣泛被使用，分子泵抽速是衡量分子泵性能好壞的重要指標(biāo)之一。分子泵在裝有標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從測(cè)試罩流過的氣體流量與測(cè)試罩上指定位置測(cè)得的平衡壓力之比，簡(jiǎn)稱為泵的抽速。
[0003]當(dāng)前，分子泵抽速按照國標(biāo)GB7774— 87《渦輪分子泵性能測(cè)試方法》進(jìn)行測(cè)試。采用定壓法，當(dāng)分子泵泵口處的氣壓平衡后，記錄充入泵內(nèi)的氣體流量值，計(jì)算得到分子泵的抽速。該國標(biāo)規(guī)定充入泵內(nèi)的氣體流量按照國標(biāo)GB6307.1—86《蒸汽流真空泵抽氣速率體積流率測(cè)試方法》進(jìn)行測(cè)量。也就是，采用滴管式流量測(cè)量裝置，測(cè)量油柱上升的高度和時(shí)間，間接表述流量值。然而，采用該方法測(cè)量抽速時(shí)，由于在不同氣壓測(cè)量點(diǎn)，需更換不同規(guī)格的滴管，操作繁瑣，耗時(shí)長；在測(cè)量低氣壓時(shí)，所需滴管容量小，油柱上升的高度和時(shí)間測(cè)量誤差大，因而導(dǎo)致抽速測(cè)量誤差大；且滴管法抽速測(cè)量對(duì)測(cè)量環(huán)境要求比較苛刻，國標(biāo)規(guī)定環(huán)境溫度需控制在15?25±1°C范圍內(nèi)；另外，測(cè)量的抽速數(shù)據(jù)，會(huì)受測(cè)量環(huán)境的氣壓影響。從而，當(dāng)前分子泵抽速測(cè)量儀的測(cè)試精度低、操作復(fù)雜、測(cè)試效率低，且無法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)連續(xù)測(cè)量，也不具備數(shù)據(jù)自動(dòng)采集和處理功能。
[0004]因此，需要發(fā)明一種新型的分子泵抽速測(cè)試儀。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的主要目的在于，提供一種測(cè)試精度高、操作簡(jiǎn)便、測(cè)試效率高的分子泵抽速自動(dòng)測(cè)試儀。
[0006]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種分子泵抽速測(cè)試儀，包括測(cè)試罩和控制器，在所述測(cè)試罩上連接有氣瓶，所述氣瓶向所述測(cè)試罩內(nèi)提供測(cè)試氣體，在所述氣瓶和測(cè)試罩之間設(shè)有流量控制單元，用于控制并檢測(cè)由所述氣瓶流向所述測(cè)試罩內(nèi)的測(cè)試氣體的流量，所述流量控制單元由所述控制器控制，在測(cè)試罩上還連接有真空計(jì)，所述真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)所述測(cè)試罩內(nèi)的壓力數(shù)據(jù)，所述真空計(jì)監(jiān)測(cè)的壓力和所述流量控制單元監(jiān)測(cè)的流量分別傳輸給所述控制器，所述控制器根據(jù)所述壓力數(shù)據(jù)和流量數(shù)據(jù)計(jì)算出抽速。
[0007]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中所述控制器包括:采集模塊、調(diào)節(jié)模塊和輸出模塊，所述采集模塊，用于采集所述流量和壓力數(shù)據(jù)；所述調(diào)節(jié)模塊，用于根據(jù)壓力數(shù)據(jù)對(duì)所述流量控制單元的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)；所述輸出模塊，用于向所述流量控制單元發(fā)出控制信號(hào)，并計(jì)算出抽速數(shù)據(jù)。
[0008]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中所述流量控制單元包括至少一條流量控制管線，所述流量控制管線包括串聯(lián)的流量控制器和截止閥。
[0009]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中所述流量控制單元還包括與流量控制管線并聯(lián)的充氣管線。
[0010]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中所述流量控制管線設(shè)為兩條以上。
[0011]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中還包括機(jī)械泵，所述機(jī)械泵經(jīng)管路與待測(cè)分子泵連接，在所述管道上設(shè)有前級(jí)閥。
[0012]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中所述控制器還包括可編程邏輯控制器，用于對(duì)流量控制管線進(jìn)行控制。
[0013]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中所述真空計(jì)為高精度復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍 1Χ1(Γ8 ?1.5 X 15Pa0
[0014]優(yōu)選的，前述的分子泵抽速測(cè)試儀，其中所述測(cè)試罩的底部通過法蘭與待測(cè)分子泵的法蘭連接。
[0015]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明分子泵抽速測(cè)試儀至少具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0016]1、本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式，具有測(cè)試精度高、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)；使測(cè)試效率大大提高。
[0017]2、本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式，對(duì)不同數(shù)量級(jí)的壓力預(yù)設(shè)值進(jìn)行抽速監(jiān)測(cè)時(shí)，操作簡(jiǎn)單、測(cè)量結(jié)果更加準(zhǔn)確。
[0018]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是本發(fā)明的分子泵抽速測(cè)試儀第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本發(fā)明的分子泵抽速測(cè)試儀第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3是圖2中流量控制單元的放大圖。

【具體實(shí)施方式】
[0022]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的分子泵抽速測(cè)試儀和電子設(shè)備其【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。在下述說明中，不同的“一實(shí)施例”或“實(shí)施例”指的不一定是同一實(shí)施例。此外，一或多個(gè)實(shí)施例中的特定特征、結(jié)構(gòu)、或特點(diǎn)可由任何合適形式組合。
[0023]如圖1所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例提出的一種分子泵抽速測(cè)試儀，包括測(cè)試罩I和控制器7，在所述測(cè)試罩I上連接有氣瓶9，所述氣瓶9向所述測(cè)試罩I內(nèi)提供測(cè)試氣體，在所述氣瓶和測(cè)試罩I之間設(shè)有流量控制單元3，用于控制并檢測(cè)由所述氣瓶9流向所述測(cè)試罩I內(nèi)的測(cè)試氣體的流量，所述流量控制單元3由所述控制器7控制，在測(cè)試罩I上還連接有真空計(jì)2，所述真空計(jì)2用于監(jiān)測(cè)所述測(cè)試罩I內(nèi)的壓力數(shù)據(jù)，所述真空計(jì)2監(jiān)測(cè)的壓力和所述流量控制單元3監(jiān)測(cè)的流量分別傳輸給所述控制器7，所述控制器7根據(jù)所述壓力數(shù)據(jù)和流量數(shù)據(jù)計(jì)算出抽速。
[0024]本發(fā)明的工作過程為:將所述分子泵抽速測(cè)試儀的測(cè)試罩I與待測(cè)分子泵4連接，待所述測(cè)試罩I為極限壓力時(shí)，所述控制器7控制所述流量控制單元3開啟，所述氣瓶9內(nèi)的測(cè)試氣體進(jìn)入所述測(cè)試罩I內(nèi)，所述測(cè)試罩I的壓力不斷升高，直至壓力達(dá)到所述控制器I中的壓力預(yù)設(shè)值，此時(shí)，所述流量控制單元3將由所述氣瓶9流向所述測(cè)試罩I內(nèi)的測(cè)試氣體流量數(shù)據(jù)，傳輸給所述控制器7，所述真空計(jì)2將其讀取的實(shí)時(shí)壓力數(shù)據(jù)也傳輸給所述控制器7，所述控制器7根據(jù)預(yù)設(shè)公式計(jì)算出抽速。
[0025]本發(fā)明采用控制器7對(duì)所述流量控制單元3進(jìn)行控制，具有測(cè)試精度高、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)；采用控制器7進(jìn)行所述流量數(shù)據(jù)和壓力數(shù)據(jù)的采集，使測(cè)試效率大大提聞。
[0026]具體實(shí)施時(shí)，控制器7包括:采集模塊和輸出模塊。所述采集模塊，用于采集由所述真空計(jì)2測(cè)量的壓力信息和所述流量控制單元3測(cè)量的流量；所述輸出模塊用于輸出壓力預(yù)設(shè)值和流量預(yù)設(shè)值。所述采集模塊和輸出模塊的共同作用，使所分子泵抽速測(cè)試儀，在合適的壓力預(yù)設(shè)值條件下工作，并能夠?qū)崟r(shí)讀取該壓力預(yù)設(shè)值條件下的所述測(cè)試氣體流量。然后，進(jìn)行下一輪測(cè)試。
[0027]可選擇地，所述壓力預(yù)設(shè)值可以設(shè)為不同數(shù)量級(jí)的不同值，也可以為同一數(shù)量級(jí)的不同值。在設(shè)有多個(gè)壓力預(yù)設(shè)值的情況，僅需要使用控制器7修改預(yù)設(shè)值后，進(jìn)行多次測(cè)量即可實(shí)現(xiàn)。
[0028]可選擇地，在控制器7讀取所述流量數(shù)據(jù)時(shí)，可以為同一壓力數(shù)據(jù)下的不同時(shí)刻的流量數(shù)據(jù)，取流量平均值計(jì)算抽速，以使所述抽速數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。
[0029]較佳的，如圖2所示，本發(fā)明的另一實(shí)施例提出的一種分子泵抽速測(cè)試儀，與上述實(shí)施例相比，本實(shí)施例的所述流量控制單元3包括至少一條流量控制管線,所述流量控制管線包括串聯(lián)的流量控制器和截止閥，所述流量控制器用于控制其所在管線的最大測(cè)試氣體流量，以及實(shí)時(shí)測(cè)量測(cè)試氣體流量。
[0030]所述分子泵抽速測(cè)試儀還包括機(jī)械泵5和前級(jí)閥6，待測(cè)分子泵4與機(jī)械泵5間通過管路10連接，前級(jí)閥6設(shè)在管路10上。在所述待測(cè)分子泵4啟動(dòng)之前，先啟動(dòng)機(jī)械泵5并打開前級(jí)閥6對(duì)所述測(cè)試罩I內(nèi)的氣體進(jìn)行預(yù)抽。
[0031]所述流量控制單元3的進(jìn)氣端經(jīng)過減壓閥8連接氣瓶9，流量控制單元3的出氣端連接測(cè)試罩I。所述真空計(jì)2通過導(dǎo)線11與所述控制器7連接，所述真空計(jì)2測(cè)試的氣壓以數(shù)字信號(hào)方式傳輸至所述控制器7。
[0032]所述流量控制單元3還包括與流量控制管線并聯(lián)的充氣管線，所述充氣管線包括充氣閥36，由于在所述分子泵抽速測(cè)試儀工作過程中，所述測(cè)試罩I內(nèi)的壓力都是低于大氣壓的，所以，在工作結(jié)束后，通過充氣管線向所述測(cè)試罩I內(nèi)充入氣體，使所述測(cè)試罩I內(nèi)的壓力恢復(fù)至大氣壓，以便更換下一個(gè)待測(cè)分子泵進(jìn)行測(cè)試。
[0033]本實(shí)施例中，所述流量控制管線為三條，每一條流量控制管線中的流量控制器30、31,32量程不同，所述流量控制器31、流量控制器32和流量控制器33的量程呈數(shù)量級(jí)遞增，從而使測(cè)試氣體的流量的測(cè)量更加準(zhǔn)確。所述調(diào)節(jié)模塊根據(jù)所述測(cè)試罩I的壓力預(yù)設(shè)值，計(jì)算出測(cè)試氣體流量預(yù)設(shè)值，然后根據(jù)所述流量預(yù)設(shè)值進(jìn)行對(duì)流量控制管線的選擇。
[0034]所述控制器7還包括調(diào)節(jié)模塊和可編程邏輯控制器71。所述調(diào)節(jié)模塊，用于根據(jù)所述壓力信息調(diào)節(jié)需要的流量預(yù)設(shè)值；前級(jí)閥6、充氣閥36、截止閥33、34、35分別通過導(dǎo)線11與所述可編程邏輯控制器71連接，從而實(shí)現(xiàn)所述控制器7對(duì)上述控制閥進(jìn)行調(diào)控。
[0035]流量控制單元3中的流量控制器30、31、32通過導(dǎo)線11與控制器7連接，流量控制器30、31、32測(cè)試得到的流量信號(hào)以數(shù)字信號(hào)方式傳輸至控制器7，控制器7輸出的控制信號(hào)以數(shù)字信號(hào)方式傳輸至流量控制器30、31、32，流量控制單元3中的截止閥33、34、35、充氣閥36通過導(dǎo)線11與可編程邏輯控制器71連接。
[0036]下面以所述流量控制器30、流量控制器31、流量控制器32，量程分別為10、100和1000SCCM為例，進(jìn)行進(jìn)一步說明:當(dāng)計(jì)算得出的流量預(yù)設(shè)值不大于10SCCM時(shí)，則選擇流量控制器30所在的流量控制管路；當(dāng)計(jì)算得出的流量預(yù)設(shè)值在10SCCM?100SCCM之間時(shí)，則選擇流量控制器31所在的流量控制管路；當(dāng)計(jì)算得出的流量預(yù)設(shè)值在100SCCM?1000SCCM之間時(shí)，則選擇流量控制器32所在的流量控制管路。也就是說，當(dāng)流量值大于10SCCM時(shí)，截止閥33關(guān)閉，同時(shí)截止閥34開啟，滿量程100SCCM的流量控制器31開始通氣運(yùn)行，流量控制器31開始測(cè)量流量值；當(dāng)流量值大于100SCCM時(shí)，截止閥34關(guān)閉，同時(shí)截止閥35開啟，滿量程1000SCCM的流量控制器32開始通氣運(yùn)行，流量控制器C32開始測(cè)量流量值。
[0037]當(dāng)然，所述流量控制管線并不局限于三條，所述流量控制管線的數(shù)目可以為兩條、四條或者更多條。所述流量控制器的量程也不局限于上述數(shù)值，具體可以根據(jù)待測(cè)分子泵的名義抽速進(jìn)行設(shè)定。
[0038]在控制器7上編寫自動(dòng)控制程序，程序中設(shè)定一系列壓力預(yù)設(shè)值。測(cè)試罩氣壓達(dá)到極限壓力后，截止閥33開啟，流量控制器30開始通氣運(yùn)行，截止閥34、截止閥35、充氣閥36處于關(guān)閉態(tài)。真空計(jì)2測(cè)量的氣壓值傳輸至控制器7，與程序中設(shè)定的氣壓值進(jìn)行比較后，輸出數(shù)字信號(hào)至流量控制器30，調(diào)節(jié)流量控制器30輸送至測(cè)試罩I的氣體流量，使測(cè)試罩I內(nèi)的氣壓穩(wěn)定在設(shè)定氣壓?？刂破?自動(dòng)記錄真空計(jì)2的氣壓值和流量控制器A30的流量值，計(jì)算得到該氣壓時(shí)的抽速。然后自動(dòng)進(jìn)行下一個(gè)設(shè)定氣壓值下待測(cè)分子泵4的抽速測(cè)量，直到逐點(diǎn)完成設(shè)定系列氣壓的抽速測(cè)量。測(cè)試過程中，控制器7通過可編程邏輯控制器71，控制截止閥33、34、35的開啟和關(guān)閉。測(cè)試結(jié)束后，所述控制器7上的自動(dòng)控制軟件輸出測(cè)試報(bào)告并控制裝置停止運(yùn)行。
[0039]本實(shí)施例的分子泵抽速自動(dòng)測(cè)試儀測(cè)試步驟如下:
[0040]I)分別將所述待測(cè)分子泵4與所述測(cè)試罩1、機(jī)械泵5連接；
[0041]2)在所述控制器7的控制下，所述機(jī)械泵5、前級(jí)閥6、真空計(jì)2依次自動(dòng)開啟，當(dāng)所述測(cè)試罩I內(nèi)氣壓小于1Pa時(shí)，所述待測(cè)分子泵4自動(dòng)開啟；
[0042]3)所述控制器7的采集模塊采集所述真空計(jì)2測(cè)量的氣壓，當(dāng)氣壓達(dá)到極限壓力時(shí)，所述控制器7的輸出模塊向所述流量控制單元3發(fā)送啟動(dòng)信號(hào)，所述氣瓶9內(nèi)的測(cè)試氣體經(jīng)所述流量控制單元3進(jìn)入所述測(cè)試罩I內(nèi)。
[0043]4)充氣過程中，所述控制器7的采集模塊實(shí)時(shí)采集氣壓數(shù)據(jù)，經(jīng)調(diào)節(jié)模塊的程序運(yùn)算得出流量預(yù)設(shè)值，并將所述流量預(yù)設(shè)值發(fā)送指令至流量控制單元3，從而調(diào)節(jié)氣體流量，直至所述測(cè)試罩I內(nèi)的氣壓達(dá)到壓力預(yù)設(shè)值，且Imin內(nèi)氣壓波動(dòng)小于1%時(shí)，所述控制器7記錄真空計(jì)2的氣壓和流量控制器的流量，多次測(cè)量取平均值，每一壓力量級(jí)測(cè)至少四個(gè)點(diǎn)?？刂破?計(jì)算分子泵的抽速。當(dāng)所述流量預(yù)設(shè)值超過較小的流量控制器量程時(shí)，由控制器7的調(diào)節(jié)模塊開啟較大量程流量控制器及對(duì)應(yīng)截止閥，關(guān)閉較小量程流量控制器及對(duì)應(yīng)截止閥。逐一測(cè)試各設(shè)定氣壓點(diǎn)抽速，并自動(dòng)繪制分子泵抽速與氣壓的關(guān)系曲線。然后進(jìn)入下一較高壓力預(yù)設(shè)值測(cè)試。
[0044]5)在所有壓力預(yù)設(shè)值測(cè)試完畢后，所述控制器7自動(dòng)處理測(cè)試數(shù)據(jù)，輸出測(cè)試報(bào)生口 O
[0045]6)所述控制器7發(fā)送指令關(guān)閉各閥門、真空計(jì)、流量計(jì)、分子泵和機(jī)械泵，并開啟充氣閥36對(duì)測(cè)試罩充氣。
[0046]實(shí)際測(cè)試中，在所述控制器7中設(shè)定好若干個(gè)壓力值(例如從10_5Pa?10Pa，每一壓力量級(jí)設(shè)定 2、3、5、9 四個(gè)點(diǎn)，即 2 X 1^5Pa, 3 X 1^5Pa, 5 X 1^5Pa, 9 X 1^5Pa, 2 X 1^4Pa,3 X 1-4Pa……)，利用所述控制器7對(duì)流量控制單元3進(jìn)行控制，使氣瓶9輸出適當(dāng)?shù)臍怏w量，從而能夠使測(cè)試罩內(nèi)的壓力穩(wěn)定在設(shè)定值，所述控制器7記錄下此時(shí)的流量和測(cè)試罩內(nèi)的壓力，計(jì)算出在此設(shè)定的壓力下分子泵的抽速值。然后，再繼續(xù)測(cè)其他設(shè)定壓力下的抽速。
[0047]所述控制器7實(shí)時(shí)監(jiān)控流量值和壓力值進(jìn)行反饋控制。若實(shí)際壓力高于設(shè)定值，自動(dòng)控制流量計(jì)減少流量；若實(shí)際壓力低于設(shè)定值，自動(dòng)控制流量計(jì)增加流量，直至壓力穩(wěn)定在設(shè)定值。
[0048]較佳的，所述前級(jí)閥6、截止閥33、34、35、充氣閥36均為電磁閥。
[0049]較佳的，所述測(cè)試罩I為圓筒形真空容器，測(cè)試罩I直徑為D，與待測(cè)分子泵4直徑相同，測(cè)試罩I高度為1.ro，測(cè)試罩I的底部設(shè)有法蘭，測(cè)試罩配備烘烤裝置。
[0050]較佳的，所述測(cè)試罩I距法蘭平面0.5D高度處對(duì)稱分布兩個(gè)管路10，分別連接流量控制單元3和真空計(jì)2。連接流量控制單元3的管路10在測(cè)試罩內(nèi)向上彎折90°，開口圓心位于測(cè)試罩軸線上，開口平面與測(cè)試罩I的法蘭平面距離為D。
[0051]較佳的，所述真空計(jì)2為高精度復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍10_8-1.5X 15Pa0
[0052]較佳的，所述測(cè)試罩I的底部通過法蘭與待測(cè)分子泵4的法蘭連接。
[0053]較佳的，所述待測(cè)分子泵4與機(jī)械泵間5通過管路10連接，前級(jí)閥6設(shè)在管路10上。
[0054]較佳的，所述管路10優(yōu)選為波紋管。
[0055]較佳的，所述自動(dòng)控制軟件通過現(xiàn)有技術(shù)均能夠?qū)崿F(xiàn)。
[0056]較佳的，上述抽速測(cè)試過程由自動(dòng)控制軟件全程控制并輸出測(cè)試報(bào)告。
[0057]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種分子泵抽速測(cè)試儀，包括測(cè)試罩和控制器，其特征在于， 在所述測(cè)試罩上連接有氣瓶，所述氣瓶向所述測(cè)試罩內(nèi)提供測(cè)試氣體， 在所述氣瓶和測(cè)試罩之間設(shè)有流量控制單元，用于控制并檢測(cè)由所述氣瓶流向所述測(cè)試罩內(nèi)的測(cè)試氣體的流量，所述流量控制單元由所述控制器控制， 在測(cè)試罩上還連接有真空計(jì)，所述真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)所述測(cè)試罩內(nèi)的壓力數(shù)據(jù)， 所述真空計(jì)監(jiān)測(cè)的壓力和所述流量控制單元監(jiān)測(cè)的流量分別傳輸給所述控制器，所述控制器根據(jù)所述壓力數(shù)據(jù)和流量數(shù)據(jù)計(jì)算出抽速。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 所述控制器包括:采集模塊、調(diào)節(jié)模塊和輸出模塊， 所述采集模塊，用于采集所述流量和壓力數(shù)據(jù)； 所述調(diào)節(jié)模塊，用于根據(jù)壓力數(shù)據(jù)對(duì)所述流量控制單元的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)； 所述輸出模塊，用于向所述流量控制單元發(fā)出控制信號(hào)，并計(jì)算出抽速數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 所述流量控制單元包括至少一條流量控制管線，所述流量控制管線包括串聯(lián)的流量控制器和截止閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 所述流量控制單元還包括與流量控制管線并聯(lián)的充氣管線。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 所述流量控制管線設(shè)為兩條以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 還包括機(jī)械泵，所述機(jī)械泵經(jīng)管路與待測(cè)分子泵連接，在所述管道上設(shè)有前級(jí)閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 所述控制器還包括可編程邏輯控制器，用于對(duì)流量控制管線進(jìn)行控制。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 所述真空計(jì)為高精度復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍lX10_8?1.5X105Pa。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的分子泵抽速測(cè)試儀，其特征在于， 所述測(cè)試罩的底部通過法蘭與待測(cè)分子泵的法蘭連接。
【文檔編號(hào)】F04D27/00GK104179706SQ201310201790
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2013年5月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月27日
【發(fā)明者】郭帥, 周旭, 苗建朋, 池華敬, 孟秀清, 陳革, 章其初 申請(qǐng)人:山東億家能太陽能有限公司