排風(fēng)閥支架的制作方法
【專利摘要】本申請公開了一種排風(fēng)閥支架，呈立方體，具有六個面分別是：前側(cè)面、后側(cè)面、左側(cè)面、右側(cè)面、頂面、底面；該排風(fēng)閥支架的左側(cè)面與右側(cè)面之間的距離稱為長度，前側(cè)面與后側(cè)面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度。所述排風(fēng)閥支架的左側(cè)面和右側(cè)面，各有一個固定孔。所述排風(fēng)閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽；該凹槽在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上前后貫通；該凹槽的底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上分為兩部分；第一凹槽底面呈水平狀，第二凹槽底面以第一凹槽底面為最高點呈斜坡向下延伸。一個排風(fēng)閥連接孔自上而下地貫穿該凹槽的底面與整個排風(fēng)閥支架的底面。本申請排風(fēng)閥支架具有更加牢固、不易損壞的特點，可延長使用壽命。
【專利說明】排風(fēng)閥支架
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本申請涉及一種排風(fēng)閥的支架，所述排風(fēng)閥用于控制風(fēng)道向清洗設(shè)備的送風(fēng)。
【背景技術(shù)】
[0002]請參閱圖2，這是半導(dǎo)體制造工廠中的一個清洗設(shè)備的工作示意圖。清洗設(shè)備24用來清洗盛放娃片(wafer)的晶片舟(wafer cassette)和晶片盒(wafer pod)。排風(fēng)接口21對外輸出風(fēng)力，其通過兩條風(fēng)道22連接該清洗設(shè)備24，從而幫助該清洗設(shè)備24達(dá)到理想的清洗效果。在每條風(fēng)道22與該清洗設(shè)備24的連接處都設(shè)有排風(fēng)控制閥(簡稱排風(fēng)閥)及其支架23。
[0003]現(xiàn)有的排風(fēng)閥支架，其結(jié)構(gòu)單薄、細(xì)小、容易斷裂。一旦排風(fēng)閥支架斷裂后，排風(fēng)閥的閥門就無法打開，這會導(dǎo)致清洗設(shè)備24無法將晶片舟和晶片盒清洗干凈，造成品質(zhì)事故。
實用新型內(nèi)容
[0004]本申請所要解決的技術(shù)問題是提供一種不易損壞的排風(fēng)閥支架，延長其使用壽命O
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本申請排風(fēng)閥支架呈立方體，具有六個面分別是:前側(cè)面、后側(cè)面、左側(cè)面、右側(cè)面、頂面、底面；該排風(fēng)閥支架的左側(cè)面與右側(cè)面之間的距離稱為長度，前側(cè)面與后側(cè)面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度；
[0006]所述排風(fēng)閥支架的左側(cè)面和右側(cè)面，各有一個固定孔；
[0007]所述排風(fēng)閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽；該凹槽在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上前后貫通；該凹槽的底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上分為兩部分；第一凹槽底面呈水平狀，第二凹槽底面以第一凹槽底面為最高點呈斜坡向下延伸；
[0008]一個排風(fēng)閥連接孔自上而下地貫穿該凹槽的底面與整個排風(fēng)閥支架的底面。
[0009]進(jìn)一步地，所述排風(fēng)閥支架的長度為厚度的5倍以上，且長度為高度的10倍以上。
[0010]進(jìn)一步地，所述固定孔位于整個排風(fēng)閥支架的厚度方向的中心位置。
[0011]進(jìn)一步地，所述凹槽位于整個排風(fēng)閥支架的長度方向的中心位置。
[0012]進(jìn)一步地，第一凹槽底面緊鄰整個排風(fēng)閥支架的后側(cè)面，第二凹槽底面緊鄰整個排風(fēng)閥支架的前側(cè)面；或相反。
[0013]進(jìn)一步地，第二凹槽底面的最低點與整個排風(fēng)閥支架的底面之間的距離為整個排風(fēng)閥支架的高度的一半。
[0014]進(jìn)一步地，第一凹槽底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上的尺寸小于第二凹槽底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上的尺寸；或等于；或大于。
[0015]進(jìn)一步地，所述排風(fēng)閥連接孔同時貫穿第一凹槽底面和第二凹槽底面；或僅貫穿第一凹槽底面；或僅貫穿第二凹槽底面。
[0016]進(jìn)一步地,所述排風(fēng)閥支架由PTFE材料制作。[0017]本申請排風(fēng)閥支架具有更加牢固、不易損壞的特點，從而延長了使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖la、圖lb、圖1c分別是本申請排風(fēng)閥支架的前視圖、俯視圖、左視圖(符合正六面投影視圖的含義)；
[0019]圖2是排風(fēng)閥及其支架與清洗設(shè)備的連接關(guān)系示意圖。
[0020]圖中附圖標(biāo)記說明:
[0021]11為固定孔；12為凹槽；12a為第一凹槽底面；12b為第二凹槽底面；13為排風(fēng)閥連接孔；21為排風(fēng)接口 ；22為風(fēng)道；23為排風(fēng)閥及支架；24為清洗設(shè)備。
【具體實施方式】
[0022]請參閱圖la、圖1b和圖lc，本申請排風(fēng)閥支架大致呈立方體，具有六個面分別是:前側(cè)面、后側(cè)面、左側(cè)面、右側(cè)面、頂面、底面。該排風(fēng)閥支架的左側(cè)面與右側(cè)面之間的距離稱為長度，前側(cè)面與后側(cè)面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度。本申請排風(fēng)閥支架的長度大于厚度(5倍以上)，且長度遠(yuǎn)大于高度(10倍以上)。
[0023]在本申請排風(fēng)閥支架的左側(cè)面和右側(cè)面，各有一個固定孔11，用于采用插銷、螺栓等方式固定整個排風(fēng)閥支架。優(yōu)選地，固定孔11位于整個排風(fēng)閥支架的厚度方向的中心位置。
[0024]在本申請排風(fēng)閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽12。該凹槽12在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上前后貫通，即貫穿了前側(cè)面和后側(cè)面。優(yōu)選地，該凹槽12位于整個排風(fēng)閥支架的長度方向的中心位置。
[0025]該凹槽12的底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上分為兩部分12a、12b。第一凹槽底面12a呈水平狀，第二凹槽底面12b以第一凹槽底面12a為最高點呈斜坡向下延伸。圖1b和圖1c示意性地將第一凹槽底面12a繪制為緊鄰整個排風(fēng)閥支架的后側(cè)面，將第二凹槽底面12b繪制為緊鄰整個排風(fēng)閥支架的前側(cè)面。在其它的實施例中，這種緊鄰關(guān)系也可是相反的。優(yōu)選地，第二凹槽底面12b的最低點與整個排風(fēng)閥支架的底面之間的距離大致為整個排風(fēng)閥支架的高度的一半。
[0026]一個排風(fēng)閥連接孔13自上而下地貫穿該凹槽12的底面與整個排風(fēng)閥支架的底面。本申請排風(fēng)閥支架在使用時，排風(fēng)閥的軸就安裝在該排風(fēng)閥連接孔13中。
[0027]為了不影響排風(fēng)閥的閥門的正常開啟與關(guān)閉，第二凹槽底面12b在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上的尺寸、斜面的傾斜角度等，都應(yīng)適應(yīng)排風(fēng)閥的閥門的形狀和啟閉狀態(tài)。圖1b和圖1c示意性地將第一凹槽底面12a在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上的尺寸繪制為小于第二凹槽底面12b在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上的尺寸，并且將該排風(fēng)閥連接孔13繪制為同時貫穿第一凹槽底面12a和第二凹槽底面12b。在其他的實施例中，這種尺寸關(guān)系、貫穿關(guān)系也可是不同的。
[0028]優(yōu)選地,本申請排風(fēng)閥支架由PTFE材料(聚四氟乙烯,Polytetrafluoroethylene )制作。
[0029]實驗顯示，采用本申請排風(fēng)閥支架以后，截止到本申請的申請日已持續(xù)正常使用近4年，未發(fā)生損壞。[0030]以上僅為本申請的優(yōu)選實施例，并不用于限定本申請。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本申請可以有各種更改和變化。凡在本申請的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種排風(fēng)閥支架，其特征是，所述排風(fēng)閥支架呈立方體，具有六個面分別是:前側(cè)面、后側(cè)面、左側(cè)面、右側(cè)面、頂面、底面；該排風(fēng)閥支架的左側(cè)面與右側(cè)面之間的距離稱為長度，前側(cè)面與后側(cè)面之間的距離稱為厚度，頂面與底面之間的距離稱為高度； 所述排風(fēng)閥支架的左側(cè)面和右側(cè)面，各有一個固定孔； 所述排風(fēng)閥支架的頂面，具有一個向下的凹槽；該凹槽在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上前后貫通；該凹槽的底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上分為兩部分；第一凹槽底面呈水平狀，第二凹槽底面以第一凹槽底面為最高點呈斜坡向下延伸； 一個排風(fēng)閥連接孔自上而下地貫穿該凹槽的底面與整個排風(fēng)閥支架的底面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，所述排風(fēng)閥支架的長度為厚度的5倍以上，且長度為高度的10倍以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，所述固定孔位于整個排風(fēng)閥支架的厚度方向的中心位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，所述凹槽位于整個排風(fēng)閥支架的長度方向的中心位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，第一凹槽底面緊鄰整個排風(fēng)閥支架的后側(cè)面，第二凹槽底面緊鄰整個排風(fēng)閥支架的前側(cè)面；或相反。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，第二凹槽底面的最低點與整個排風(fēng)閥支架的底面之間的距離為整個排風(fēng)閥支架的高度的一半。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，第一凹槽底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上的尺寸小于第二凹槽底面在整個排風(fēng)閥支架的厚度方向上的尺寸；或等于；或大于。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，所述排風(fēng)閥連接孔同時貫穿第一凹槽底面和第二凹槽底面；或僅貫穿第一凹槽底面；或僅貫穿第二凹槽底面。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排風(fēng)閥支架，其特征是，所述排風(fēng)閥支架由PTFE材料制作。
【文檔編號】F16K51/00GK203453612SQ201320422454
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月16日
【發(fā)明者】吳雅雪, 周利明 申請人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司