專利名稱：流體軸承裝置用套筒及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在信息處理裝置等中使用的流體軸承裝置用套筒，尤其涉 及燒結金屬制套筒及具備其的流體軸承裝置、主軸電動機、信息處理裝置 及流體軸承裝置用套筒的制造方法。在此所述的信息處理裝置是指驅動硬
盤裝置或光盤裝置之類的記錄介質的裝置，另外，還包括具有CPU冷卻
風扇等的信息處理裝置即個人計算機等。
背景技術：
近年來，使用旋轉的盤的記錄再現裝置等，其存儲容量正在增大，且 數據的傳輸速度也正在高速化，因此，使用于這些記錄再現裝置的軸承通 常使盤負荷以高精度旋轉，故要求高的性能和可靠性。因此，這些旋轉裝 置中使用適合高速旋轉的流體軸承裝置。流體軸承裝置在軸和套筒之間夾 有作為潤滑劑的例如油，利用動壓產生槽，在旋轉時產生泵壓，由此使軸 相對于套筒以非接觸相對轉動，因此，沒有機械磨損，適合高速旋轉。
還有，通常，流體軸承裝置的套筒通過從鐵合金或銅合金等金屬材料 利用切削加工等而制造，但作為進一步降低制造成本的目的，例如，提出 了將銅合金等的金屬粉末成形并燒結的燒結金屬制套筒。但是，燒結金屬 是金屬粉末的集聚體，因此為多孔質，在內部具有多個氣孔(在金屬粉末 之間形成的小的空間)。另外，氣孔有稱為"組織氣孔"的燒結體的內部 的氣孔、和稱為"表面氣孔"的在燒結體的表面開口的氣孔，在通常的燒 結金屬中，表面氣孔和組織氣孔相連通。因此，潤滑油通過氣孔穿過燒結 金屬的內部，例如使在軸承部產生的支承壓降低。
為了解決這樣的問題，提出了將氣孔封閉的各種技術。
例如，在專利文獻l中，公開了通過在400 60(TC的氣氛溫度下對燒
結金屬體的多孔原材料實施水蒸氣處理(蒸氣處理)，形成四氧化三鐵(或 還稱為四三氧化鐵)(Fe304)皮膜的流體動壓軸承的制造方法。由此，能 夠對燒結金屬體的表面適當地進行孔封閉處理。
專利文獻1日本特開2007—57068號公報。

發(fā)明內容
然而，在上述以往的流體動壓軸承的制造方法中，存在以下所示的問題。
艮口，在流體動壓軸承的制造方法中，為了燒結金屬體的表面形成四氧 化三鐵(Fe304)皮膜，需要嚴格管理水蒸氣處理中的爐內的氧量、或水 蒸氣處理后的大氣開放時的溫度。因此，存在對工序管理的負擔大，成本 高的問題。以往認為覆蓋鐵的表面的氧化膜優(yōu)選強度比三氧化二鐵穩(wěn)定的 四氧化三鐵。
本發(fā)明的目的在于提供解決上述以往的問題，能夠降低用于適當地進 行孔密封處理的成本的流體軸承裝置用套筒、及具備其的流體軸承裝置、 主軸電動機、信息處理裝置及流體軸承裝置用套筒的制造方法。
第一發(fā)明的流體軸承裝置用套筒具備內層部和表層部。內層部通過對 燒結用金屬粉末進行燒結而形成。表層部形成于內層部的表面，且含有 Fe203。
在此，在由燒結用金屬粉末形成的流體軸承裝置用套筒的表面形成含 有三氧化二鐵(或也稱為三二氧化鐵)(Fe203)的表層部，進行孔密封處理。
在此，燒結燒結用金屬粉末而成形的燒結金屬是金屬粉末的集聚體， 因此為多孔質，在內部具有多個氣孔。因此，會發(fā)生潤滑油通過氣孔而穿 過燒結金屬的內部，導致例如在軸承部產生的支承壓降低的現象。因此， 進行用于堵塞這樣的氣孔的孔密封處理。
以往，作為這樣的孔密封處理，將燒結金屬體置于400 60(TC的氣氛 溫度內實施水蒸氣處理(蒸氣處理)，在多孔的燒結金屬體的表面形成四 氧化三鐵(四三氧化鐵)(Fe304)層。然而，作為氧化鐵的一種的四氧化 三鐵(Fe304)的化學性不穩(wěn)定。因此，為了在燒結金屬體的表面形成四
氧化三鐵(Fe304)，不得不將水蒸氣處理中的爐內的氧量降低至極限，需
要爐內的嚴密的開閉密封處理、爐內的真空減壓處理、充分的氮凈化處理。
另外，為了在水蒸氣處理后的大氣開放中，也形成化學性不穩(wěn)定的Fe304 層，需要嚴格管理大氣開放時的溫度。因此，需要長時間放置水蒸氣處理 后的燒結金屬體，直至爐內的溫度降低至20(TC以下。其結果，對工序管 理的負擔變大，成本變高。
因此，在本發(fā)明的流體軸承裝置用套筒中，進行在由燒結用金屬粉 末形成的流體軸承裝置用套筒的表面，形成含有化學性比四氧化三鐵 (Fe304)穩(wěn)定的三氧化二鐵(Fe203)的表層部的孔密封處理。
由此，在表面形成含有三氧化二鐵(Fe203)的表層部時，不需要像以 往的對四氧化三鐵(Fe304)進行的孔密封處理一樣，將水蒸氣處理中的 爐內的氧量降低至極限，因此，能夠減少對工序管理的負擔。另外，能夠 將水蒸氣處理后的大氣開放溫度設定為比對四氧化三鐵(Fe304)進行的 孔密封處理高的溫度，因此，能夠縮短水蒸氣處理中的節(jié)奏。
其結果，能夠減少用于對流體軸承裝置用套筒的多孔表面適當地進行 孔密封處理的成本。
第二發(fā)明的流體軸承裝置用套筒在第一發(fā)明的流體軸承裝置用套筒 的基礎上，表層部具有形成于所述內層部側的Fe304層和形成于表面?zhèn)鹊?Fe2。3層。
在此，在表層部中的內層部側形成有Fe304層，在表面?zhèn)刃纬捎蠪e203層。
還有，在此所述的Fe304層是指大部分由四氧化三鐵(Fe304)形成的 層，可以不是僅由四氧化三鐵(Fe304)(構成概率為100%)形成。另外， 關于Fe203層也相同，可以不是僅由三氧化二鐵(Fe203)形成。另夕卜，也 可以在內層部側的Fe304層和表面?zhèn)鹊腇e203層之間例如有由Fe304和 Fe2Cb形成的混合層等。
在此，在作為氧化鐵的一種的四氧化三鐵(Fe304)和三氧化二鐵 (Fe203)中，三氧化二鐵(Fe203)的化學性更穩(wěn)定。
由此，能夠防止將流體軸承裝置用套筒作為流體軸承裝置組裝后的氧化。
第三發(fā)明的流體軸承裝置用套筒在第二發(fā)明的流體軸承裝置用套筒
的基礎上，Fe203層的厚度為所述表層部的厚度的50%以下。
在此，形成流體軸承裝置用套筒的表面的Fe203層的厚度形成為表層 部的厚度的50%以下。
在此，三氧化二鐵(Fe203)通常具有脆的性質。因此，若層較厚，則 一部分脫落，其粒子進而會促進磨損。
由此，消除三氧化二鐵(Fe203)特有的脆性，能夠確保流體軸承裝置 用套筒表面的耐磨損性。
第四發(fā)明的流體軸承裝置用套筒在第二發(fā)明的流體軸承裝置用套筒 的基礎上，Fe203層的厚度為2pm以下。
在此，形成流體軸承裝置用套筒的表面的Fe203層的表層部的厚度形 成為2pm以下。
在此，三氧化二鐵(Fe203)通常具有脆的性質。因此，若層較厚，則 一部分脫落，其粒子進而促進磨損。以往，由于該理由，考慮不形成三氧 化二鐵的層，但判明通過形成為適當的厚度，能夠沒有問題地用于實用。
由此，消除三氧化二鐵(Fe203)特有的脆性，能夠確保流體軸承裝置 用套筒表面的耐磨損性。
第五發(fā)明的流體軸承裝置包含第一 第四發(fā)明中任一項所述的流體 軸承裝置用套筒。
在此，流體軸承裝置具備能夠減少用于適當地進行孔密封處理的成本
的流體軸承裝置用套筒。
在此，在為了減少成本而使用由燒結金屬形成的流體軸承裝置用套筒
的情況下，若不實施適當的孔密封處理，則如上所述，會降低由軸承部產
生的支承壓。因此，不能滿足流體軸承裝置中要求的高性能和可靠性。 因此，在本發(fā)明的流體軸承裝置中，使用上述流體軸承裝置用套筒。 由此，即使在為了減少成本而使用由燒結金屬形成的流體軸承裝置用
套筒的情況下，也能夠提供具有高的性能和可靠性的流體軸承裝置，進而
能夠減少制造所需的成本。
第六發(fā)明的主軸電動機具備第五發(fā)明的流體軸承裝置。
在此，主軸電動機具備上述具有高的性能和可靠性的流體軸承裝置。
由此，即使在為了減少成本而使用由燒結金屬形成的流體軸承裝置用 套筒的情況下，也能夠提供具有高的性能和可靠性的主軸電動機，進而能 夠減少制造所需的成本。
第七發(fā)明的信息處理裝置具備第六發(fā)明的主軸電動機。
在此，信息處理裝置具備上述具有高的性能和可靠性的主軸電動機。
由此，即使在為了減少成本而使用由燒結金屬形成的流體軸承裝置用 套筒的情況下，也能夠提供具有高的性能和可靠性的信息處理裝置，進而 能夠減少制造所需的成本。
第八發(fā)明的流體軸承裝置用套筒的制造方法包括第一工序和第二工 序。在第一工序中，在爐內對將燒結用金屬粉末成形并燒結的燒結成形體 進行水蒸氣處理。在第二工序中，在所述水蒸氣處理后，控制爐內的氧分 壓及將爐內向含有氧的氣體氣氛中開放時的溫度的至少一方。在此，包括 在通常的水蒸氣處理即第一工序后，控制進行水蒸氣處理的爐內的氧分壓 及將爐內向含有氧的氣體氣氛中開放時的溫度的至少一方的第二工序。通 常上述工序在爐內進行，但只要是能夠將燒結成形體或其周圍設定為上述 條件的方法，就不限于爐內。
在此所述的溫度是指在第一工序中被水蒸氣處理的燒結成形體的溫 度，但也可以為了調節(jié)該燒結成形體的溫度而控制爐內的溫度，間接控制 燒結成形體的溫度。另外，在第二工序中開放爐內時，既可以向大氣開放， 也可以向控制了氧分壓的氣體(惰性氣體等)開放。
在此，將燒結用金屬粉末燒結而形成的燒結金屬為金屬粉末的集聚 體，因此為多孔質，在內部具有多個氣孔。因此，會發(fā)生潤滑油通過氣孔 而穿過燒結金屬的內部，導致例如由軸承部產生的支承壓降低的現象。因 此，在制造燒結金屬制的流體軸承裝置用套管時，進行用于堵塞這樣的氣 孔的孔密封處理。
以往，在這樣的流體軸承裝置用套筒的制造方法中，作為孔密封處理 的工序的一種，包括下述工序在400 60(TC的氣氛溫度內對燒結金屬體
實施水蒸氣處理，由此形成四氧化三鐵(Fe304)層。然而，作為氧化鐵 的一種的四氧化三鐵(Fe304)的化學性不穩(wěn)定。因此，不得不將水蒸氣 處理中的爐內的氧量降低至極限。因此，需要爐內的嚴密的開閉密封處理、
爐內的真空減壓處理、充分的氮凈化處理工序。另外，需要嚴格管理水蒸 氣處理后的大氣開放時的工序中的溫度，需要長時間放置水蒸氣處理后的 燒結金屬體，直至爐內的溫度降低至200'C以下。因此，水蒸氣處理中的 節(jié)奏變長。其結果，對工序管理的負擔變大，成本變高。
因此，在本發(fā)明的流體軸承裝置用套筒的制造方法中，具備在爐內 對燒結的成形體進行水蒸氣處理的第一工序之后，控制爐內的氧分壓和溫 度、或將爐內向含有氧的氣體氣氛中開放時的氧分壓和溫度的至少一方。
由此，在由燒結用金屬粉末成形的成形體的表面能夠形成含有三氧化
二鐵(Fe203)的表層部。還有，在這種情況下，在第一工序中不需要使 表面不含有三氧化二鐵(Fe203)的上述工序(爐內的嚴密的開閉密封處 理、爐內的真空減壓處理、充分的氮凈化處理)。因此，即使新追加第二 工序，與在第一工序中嚴格管理的負擔相比，也能夠減少工序管理所需的 負擔。另外，在第一工序之后，例如，向大氣開放的情況下，能夠將水蒸 氣處理的燒結成形體的溫度設定為比形成四氧化三鐵(Fe304)層的孔密 封處理高的溫度。因此，能夠縮短將被水蒸氣處理的燒結成形體冷卻至規(guī) 定的溫度為止的全部時間，因此，能夠縮短流體軸承裝置用套筒的制造中 的節(jié)奏。
其結果，能夠減少對流體軸承裝置用套筒適當地進行孔密封處理所需 的成本。
第九發(fā)明的流體軸承裝置用套筒的制造方法在第八發(fā)明的流體軸承 裝置用套筒的制造方法的基礎上，在第二工序中的氧分壓的控制中，基于 規(guī)定的條件，進行將氧與其他氣體置換的凈化。還有，在此所述的凈化是 指將一部分氧與其他氣體置換的凈化，例如，有將氧與氮置換的氮凈化等。 另外，規(guī)定的條件是指例如在約55(TC下水蒸氣處理后，使水蒸氣處理爐 內的氧分壓不小于1X 10—14的條件等。
在此，例如，在約55(TC下水蒸氣處理后，為了使水蒸氣處理爐內的 氧分壓不小于1X10—"而調節(jié)氮凈化的流量、時間、溫度等。
由此，將四氧化三鐵(Fe304)的表面部分可靠地變化為三氧化二鐵 (Fe203)的層，能夠可靠地形成三氧化二鐵(Fe203)的層。
第十發(fā)明的流體軸承裝置用套筒的制造方法在第八發(fā)明的流體軸承
裝置用套筒的制造方法的基礎上，在第二工序中，將爐內向含有氧的氣體 氣氛中開放時的燒結成形體的溫度為30(TC以上。
在此，在第二工序中，控制開放爐內時的被水蒸氣處理的燒結成形體
的溫度，使其成為30(TC以上。
在此，在開放爐內時，若被水蒸氣處理的成形體的溫度為20(TC以上， 則理論上，能夠在四氧化三鐵(Fe304)的表面形成三氧化二鐵(Fe203) 的層。
在本發(fā)明中，通過在開放爐內時將被水蒸氣處理的成形體的溫度控制 在30(TC以上，能夠將四氧化三鐵(Fe304)的表面部分更切實有效地變化 為三氧化二鐵(Fe203)的層，能夠可靠地形成三氧化二鐵(Fe203)的層。
第十一發(fā)明的流體軸承裝置用套筒的制造方法在第八的發(fā)明的任一 項所述的流體軸承裝置用套筒的制造方法的基礎上，還包括第三工序， 其在第二工序中的爐內的開放后，控制爐內或燒結成形體的溫度和冷卻時 間
在此，還具備控制爐內或燒結成形體的溫度和冷卻時間的第三工序。 由此，在四氧化三鐵(Fe304)的表面能夠穩(wěn)定地形成各種表層厚度的
三氧化二鐵(Fe203)的層。
根據本發(fā)明的流體軸承裝置用套筒及流體軸承裝置用套筒的制造方
法可知，能夠減少用于對流體軸承裝置用套筒適當地進行孔密封處理的成本。


圖1是本發(fā)明的一實施方式的包含套筒的主軸電動機的剖面圖。
圖2是含于圖1的主軸電動機的流體軸承裝置的放大剖面圖。
圖3是含于圖2的流體軸承裝置的套筒的剖面圖。
圖4是表示本發(fā)明的一實施方式的套筒的制造方法的流程圖。
圖5中的(a)是表示本發(fā)明的一實施方式中的套筒的制造方法中的各
步驟的溫度和時間的關系的圖表，(b)是表示以往的套筒的制造方法中的
各步驟的溫度和時間的關系的圖表。
圖6中的(a)是用于確認本發(fā)明的一實施方式的套筒的耐磨損性的試驗概要圖，(b)是表示Fe203層的層厚和Fe203層的磨損量的關系的圖表。 圖7.是表示本發(fā)明的其他實施方式的套筒的制造方法的流程圖。 圖8是表示本發(fā)明的其他實施方式的套筒的制造方法的流程圖。 圖9是本發(fā)明的其他實施方式的包含套筒的主軸電動機的剖面圖。 圖10是示出本發(fā)明的其他實施方式的包含流體軸承裝置的信息記錄 再現處理裝置的結構的剖面圖。
圖中l(wèi)一主軸電動機；2—底盤；3—轉子；4一流體軸承裝置；21 — 托座部；21a—筒狀部；22 —定子；31—轉子轂；32 —盤載置部；33 —后 軛；34—轉子磁體；41一軸；41a—凹部；42—套筒；42a—套筒主體；42b 一筒狀突出部；42d—固定部；42e—密封部；43 —止推凸緣；44一止推板； 46_潤滑油；50—內層部；51—表層部；51a—Fe304層；51b—Fe2Cb層； 71 —向心軸承部；71a—第一動壓產生用槽；72 —主止推軸承部；72a—第 二動壓產生用槽；73 —子止推軸承部；73a—第三動壓產生用槽；80 —試
片；81—軸；100 —流體軸承裝置；IOI—軸；102—凸緣；102A —動壓產
生槽；103 —套筒；103A—軸承孔；103B —動壓產生槽；103C —套筒下表
面；104 —潤滑油；105 —上罩；106 —下罩；107 —轉子；108 —基底；109 一盤；200—信息記錄再現處理裝置(信息處理裝置)；200a—記錄頭；201
—記錄盤。
具體實施例方式
使用圖1 圖6，對本發(fā)明的一實施方式的包含流體軸承裝置用套筒 (以下，表示為套筒)42的主軸電動機1說明如下。
圖1表示作為本實施方式的具備采用了套筒42的流體軸承裝置4的 主軸電動機1的縱剖面示意圖。圖1所示的O—O是主軸電動機1的旋轉 軸線。在本實施方式的說明中，為了便于說明，將附圖的上下方向描述為 "軸向上側"、"軸向下側"等，但不是用于限定主軸電動機l的實際的安 裝狀態(tài)。
主軸電動機1主要具備底盤2、轉子3、流體軸承裝置4。 底盤2構成主軸電動機1的靜止側的一部分，例如，固定于記錄盤裝
置的殼體(未圖示)，或構成殼體。底盤2具有托座部21，并裝配有定子
22。該底盤2由非磁性體的鋁系金屬材料(例如，ADC12等)或磁性體 的鐵系金屬材料(例如，SPCC、 SPCD等)形成。托座部21在內周側具 有向軸向上側延伸的筒狀部21a。定子22用于構成磁回路，固定于筒狀部 21a的外周側。在筒狀部21a的內周側固定有后述的流體軸承裝置4。
轉子3是利用由磁回路部產生的旋轉力旋轉驅動的部分，具有轉子轂 31、盤載置部32、后軛33、轉子磁體34。轉子轂31是構成轉子3的主要 部的部分，與后述的軸41緊固。轉子轂31由作為鐵系金屬材料的不銹鋼 (例如，DHS1等)或鋁系金屬材料(例如，A6061等)形成。盤載置部 32用于載置記錄盤(未圖示)，配置于轉子轂31的外周側及軸向下側。在 本實施方式中，轉子轂31和盤載置部32—體地形成。
后軛33是固定于轉子轂31的軸向下側及盤載置部32的內周側的筒 狀部件。后軛33由磁性體的鐵系金屬材料(例如，SPCC、 SPCD等)形 成。轉子磁體34固定于后軛33的內周側，在徑向上與所述定子22對置 配置。轉子磁體34使用將釹一鐵一硼用樹脂等粘合劑結合的粘結磁鐵， 周向被磁化為多極。在小型電動機中轉子轂為磁性體的情況下，多種情況 下一體地形成后軛。通過轉子磁體34和定子22，構成用于旋轉驅動轉子 的磁回路部。S卩，通過對定子22的線圈依次通電，產生旋轉磁場，由此 對轉子磁體34產生旋轉力，將轉子3旋轉驅動。轉子3通過流體軸承裝 置4旋轉自如地支承在底盤2上。
圖2表示流體軸承裝置4的縱剖面示意圖。流體軸承裝置4用于將轉 子3旋轉自如地支承于底盤2，具有套筒42、軸41、止推板44、固定于 或一體地形成于軸41的止推凸緣43。軸41由作為鐵系金屬材料的不銹鋼 (例如，SUS420、 SUS303等)形成。止推板44由作為鐵系金屬材料的 不銹鋼(例如，SUS420等)或超硬合金鋼(例如，FB10等)形成。止推 凸緣43由作為鐵系金屬材料的不銹鋼(例如，SUS303等)形成。
套筒42是流體軸承裝置4的靜止側的部件，是插入嵌合于底盤2的 筒狀部21a (參照圖1)的內周側的筒狀燒結金屬制部件。在此，使用鐵 系燒結金屬。套筒42還具有套筒主體42a、至少一個(在此為多個)第
一動壓產生用槽71a、 71b、筒狀突出部42b、固定部42d、密封部42e。 套筒主體42a是構成套筒42的主要部的筒狀部分。第一動壓產生用槽71a、 71b是形成于套筒主體42a的內周面且在圓周方向上均等地配置的槽，例 如，具有人字形狀。筒狀突出部42b是從套筒主體42a的端部沿軸向突出 的環(huán)狀的部分。固定部42d是從筒狀突出部42b的端部進而沿軸向突出的 環(huán)狀部分。固定部42d例如通過環(huán)氧系粘接劑等粘接或鉚接加工于后述的 止推板44的外周部。密封部42e是形成于套筒主體42a的軸向上側端部 的內周側的毛細密封部。
軸41是流體軸承裝置4的旋轉側的部件，是配置于套筒42的內周側 的圓柱狀部件。另外，軸41具有凹部41a。凹部41a是形成于軸41的外 周面的環(huán)狀凹部，配置在相當于所述第一動壓產生用槽71a、 71b的軸向 間的位置。凹部41a還有時形成于套筒42側。
止推凸緣43是流體軸承裝置4的旋轉側的部件，固定于軸41的端部。 止推凸緣43配置于套筒42的筒狀突出部42b的內周頂U (止推凸緣43還 有時與軸41 一體地加工)。具體來說，止推凸緣43經由微小間隙配置于 套筒42和止推板44之間形成的空間中。止推凸緣43在軸向上與止推板 44對置的面上具有第二動壓產生用槽72a。另外，止推凸緣43在軸向上 與套筒主體42a對置的面上具有第三動壓產生用槽73a。還有，第二動壓 產生用槽72a也可形成于止推板44，第三動壓產生用槽73a也可形成于套 筒42的端部。
如上所述，在該流體軸承裝置4中，通過具有第一動壓產生用槽71a、 71b的套筒42、軸41及夾在其間的作為工作流體的潤滑油46，構成在徑 向上支承轉子3的向心軸承部71。在此，作為工作流體，除了潤滑油之外， 還可以使用高流動性潤滑脂或離子性液體。另外，通過具有第二動壓產生 用槽72a的止推凸緣43、止推板44及夾在其間的潤滑油46，構成在軸向 上支承轉子3的主止推軸承部72。進而，通過具有第三動壓產生用槽73a 的止推凸緣43、套筒42及夾在其間的潤滑油46，構成子止推軸承部73。 還有，通過使各部件相對旋轉，在各軸承部產生軸41的徑向及軸向的支 承力。從而，可以說套筒42是對流體軸承裝置4非常重要的部件。
如上所述，本發(fā)明的一實施方式中的套筒42是燒結金屬制。燒結金 屬制套筒出于制造成本的減少的目的，通過粉體成形、燒結等制造，以代 替由金屬材料母材的切削加工等。在此，對于燒結金屬的特性進一步詳細 說明。
燒結金屬由于將金屬粉末成形并燒結而制造，因此，在內部具有多個 氣孔(形成于金屬粉末間的小的空間)。氣孔有稱為"組織氣孔"的燒結 體的內部的氣孔、和稱為"表面氣孔"的在燒結體的表面開口的氣 L，在 通常的燒結金屬制套筒中，表面氣孔和組織氣孔相連通，因此，潤滑油可 以通過這些氣孔穿過燒結金屬的內部。因此，在將如圖1、 2所示的流體
軸承裝置4的套筒42形成為燒結金屬制的情況下，若為原來狀態(tài)，則潤 滑油46滲入套筒42的內部。然后，潤滑油46通過氣孔而穿過套筒42內 部，在向心軸承部71產生的支承壓向套筒42的外周側泄漏。其結果，例 如，由向心軸承部71產生的支承壓降低，向心軸承部71的剛性降低。
因此，在本發(fā)明的套筒42中，為了減少潤滑油46的滲入量，對燒結 金屬實施密封氣孔的孔密封處理。
因此，使用圖3所示的套筒42的縱剖示意圖(左半部分)，說明孔密 封處理的內容。
套筒42主要包括內層部50和表層部51。 內層部50是將燒結用金屬粉末成形并燒成的筒狀部分。 表層部51是致密且穩(wěn)定的氧化皮膜，覆蓋內層部50的表面。另外， 表層部51在內層部50的很近的表面具有由四氧化三鐵(Fe304)形成的 Fe304層51a (含有四氧化三鐵(Fe304) 50%以上的層)，在Fe304層51a 的表面即套筒42的表面具有由三氧化二鐵(Fe203)形成的Fe203層51b (含有三氧化二鐵(Fe203) 50%以上的層)。還有，在Fe304層51a和Fe203 層51b之間有時還形成四氧化三鐵(Fe304)和三氧化二鐵(Fe203)兩者 混合的混合層。另外，在Fe304層51a的下層還有時形成基于氧化鐵(FeO) 的FeO層。還有，表層部51適當地密封多孔質的燒結制套筒42的空孔。 在本實施方式的套筒42中，表層部51的厚度為l.O)im，其詳細情況如下， Fe304層51a為約0.7|im， Fe2Cb層51b為約0.3pm。
由此，能夠適當地密封套筒42的表面，能夠防止向心軸承部71的支
承壓通過上述氣孔泄漏，并且，不需要覆蓋套筒42的外周的部件等，因 此，能夠更可靠地降低制造成本。 [套筒42的制造方法]
以下，對本發(fā)明的一實施方式的套筒42及其制造方法的詳細情況進 行說明。圖4中示出了作為本實施方式的套筒42的制造方法的流程圖。 如圖4所示，本制造方法包括步驟Sl 步驟S7。步驟S1 步驟S4概略 表示燒結成形體的制作，也可以通過以下所示的以外的方法制作燒結成形體。
在步驟S1中，例如，將含有鐵的金屬粉末填充于成形用模中。
在步驟S2中，例如，使用成形用上模和下模，壓縮在步驟S1中填充 的金屬粉末材料，成形成形體。
在步驟S3中，在高溫下燒結在步驟S2中壓縮的成形體。
在步驟S4中，將成形體冷擠壓加工(精壓加工(sizing)),改善成形 體的表面氣孔。由此，能夠減小由在后工序中形成的氧化皮膜不能密封孔 的大小的表面氣孔，因此，能夠更可靠地進行表面孔密封處理。
對這樣制作的對金屬粉末成形并燒結而成的成形體的套筒實施本申 請發(fā)明的一實施方式的孔密封處理。
在步驟S5 (第一工序)中，對在步驟S3中燒結的成形體實施水蒸氣 處理(蒸氣處理)。具體來說，在水蒸氣處理爐內載置成形體，例如，與 約50(TC的高溫水蒸氣接觸30分鐘到2小時左右，使成形體的表面高溫氧 化。由此，如下述反應式(1)所示，從成形體的表面?zhèn)纫来窝趸?，能?在成形體的表面形成含有四氧化三鐵(Fe304)的表層部51。
3Fe+4H20—>Fe304+4H2...... (1)
在步驟S6 (第二工序)中，將在步驟S5中水蒸氣處理的成形體冷卻 至第一規(guī)定的溫度，然后開放大氣。此時，管理水蒸氣處理爐內的成形體 的溫度，使其不低于300。C。由此，能夠使含有四氧化三鐵(Fe304)的表 層部51和大氣中的氧產生新的反應，在表層部51的表面如下述反應式(2) 所示地形成三氧化二鐵(Fe203)的Fe203層。
4Fe304+02—〉6Fe203...... (2)
其結果，在步驟S5中形成的四氧化三鐵(Fe304)的Fe304層51a的
表面部分發(fā)生變化，形成新被氧化的三氧化二鐵(Fe203)的Fe203層。在
本實施方式中，將開放的氣氛設為大氣，但除此之外的例如含有氧的氣體 (氮等惰性氣體)也可。
在步驟S7 (第三工序)中，控制步驟S6的大氣開放后的水蒸氣處理 爐內的成形體的溫度成為第二規(guī)定的溫度(約20(TC)為止的冷卻時間。 由此，能夠形成穩(wěn)定的Fe203層。在本實施方式中，將第二規(guī)定的溫度設 為20(TC，但不限定于此。另外，未必需要將成形體設置于水蒸氣處理爐 內，也可以置于水蒸氣處理爐外，控制成形體的溫度。還有，該時間為l 5分鐘左右，但不限定于此。還有，不使用第三工序，僅使用第二工序， 也可以形成三氧化二鐵(Fe203)層，但形成相同的層厚需要花費時間。
通過在如上所述的條件下制造套筒42,能夠在套筒42的表面形成由 層厚為約0.7pm的Fe304層51a和層厚為約0.3|im的Fe203層51b構成的 表層部51。
在此，分別使用圖5 (a)及圖5 (b)，比較本實施方式的水蒸氣處理 和形成以往的僅由四氧化三鐵(Fe304)形成的Fe304層的水蒸氣處理(以 下，表示為以往的水蒸氣處理)。
在進行水蒸氣處理時，首先最初，在接觸水蒸氣之前，通過氮凈化(將 爐內的氧置換為氮)降低氧分壓。由此，防止加熱時成形體的表面氧化為 必要以上。該處理是共用于本實施方式中的水蒸氣處理和以往的水蒸氣處 理的兩個制造方法的處理。凈化處理還可以代替氮而使用其他惰性氣體。
然后，對水蒸氣處理爐內充分地加熱(在本實施方式中為約50(TC)， 使成形體與高溫水蒸氣接觸約30分鐘到2小時左右。由此，能夠在高溫 的狀態(tài)下，將成形體的表面氧化(參照下述反應式(l))。
3Fe+4H20—〉Fe304+4H2...... (1)
該處理也是共用于所述兩個制造方法的處理。
然后，管理使高溫蒸氣與成形體接觸后的殘留氧。具體來說，通過以 規(guī)定時間、規(guī)定流量進行氮凈化，控制水蒸氣處理爐內的氧分壓。
然后，將水蒸氣處理爐向大氣開放。在此，在以往的套筒的制造方法 中，需要將水蒸氣處理爐內的溫度例如充分地降低至20(TC等后向大氣開 放，以免與大氣中的氧產生新的氧化反應。因此，使高溫蒸氣與成形體接
觸后，需要充分的時間的經過，在如圖5 (b)所示的對應于D的部位(第 二規(guī)定溫度)之前不能向大氣開放。另一方面，在本發(fā)明的實施方式的制
造方法中，為了使形成于成形體的表面的含有四氧化三鐵(Fe304)的表 層部和大氣中的氧可靠地進行新的氧化反應(參照下述反應式(2))，將 爐內的氧分壓增大為比以往大，然后，將水蒸氣處理爐內的溫度設為例如 30(TC等的溫度(第一規(guī)定溫度)而向大氣開放。 4Fe304+02—〉6Fe203...... (2)
由此，含有四氧化三鐵(Fe304)的表層部51和大氣中的氧反應，在 表層部51的表面部分的Fe304層重新氧化而形成Fe203層。其結果，使高 溫蒸氣與成形體接觸后，能夠在如圖5 (a)所示的對應于C的部位(第 一規(guī)定溫度)向大氣開放，與以往的制造方法相比，能夠縮短其處理時間。
如上所述，與以往的制造方法相比，能夠大幅度縮短將水蒸氣處理爐 向大氣開放之前的時間，能夠縮短水蒸氣處理中的節(jié)奏。其結果，能夠降 低用于對套筒42適當地進行孔密封處理的成本。 (實施例1)
在此，進行用于確認形成有Fe203層51b的套筒42的耐磨損性的實驗。 具體來說，如圖6 (a)所示，將形成有Fe203層的V剖面形狀的試片80 壓緊于旋轉的軸81上，測量該情況下的Fe203層的磨損量(磨損深度/寬 度)。
其結果，能夠得到表示Fe203層51b的層厚和Fe203層的磨損量的關 系的圖6 (b)的結果。由此能夠確認，若形成套筒42的表面的Fe203層 的層厚比2pm厚，則磨損量急劇增加。
Fe203層的層厚厚于2imi就磨損量急劇增加的原因推測如下。
第一，Fe203層通常具有脆的性質，因此，從Fe203層的層厚超過2)im 的程度開始發(fā)生剝離/脫落，該剝離/脫落的碎片與Fe203層接觸，導致Fe203 層的磨損進一步增大。
第二， Fe203層通常具有增加其層厚的情況下表面粗糙度變得粗糙的 性質，因此，試片的表面以點接觸即應力大的狀態(tài)接觸，故Fe2Cb層變得 容易磨損。還有，產生的磨損粉與Fe203層接觸，增大Fe203層的磨損。
因此，形成于套筒42的表面的Fe203層的層厚優(yōu)選2iLim以下。還有，
在本實施方式的套筒42的制造方法中，形成膜厚為0.3pm的Fe203層， 因此，能夠確認具有充分的耐磨損性。 [主軸電動機l的特征]
(1)
在本實施方式的主軸電動機1中，在套筒42的表面形成含有三氧化 二鐵(Fe203)的表層部51，進行孔密封處理。
由此，與僅形成四氧化三鐵(Fe304)的孔密封處理相比，能夠提高設 定水蒸氣處理后的大氣開放溫度，因此，能夠縮短水蒸氣處理中的節(jié)奏。 其結果，能夠減少用于對套筒42適當地進行孔密封處理的成本。
(2)
在本實施方式的主軸電動機l中，表層部51包含在內層部50側由 四氧化三鐵(Fe304)形成的Fe304層51a和在表面?zhèn)扔扇趸F^^03) 形成的Fe2Cb層51b至少兩層。
由此，適當地密封套筒42的多孔表面的孔，能夠形成為更穩(wěn)定的表 面。另外，能夠防止將套筒42作為流體軸承裝置4組裝后的氧化。
(3)
在本實施方式的主軸電動機1中，表層部51的厚度為l.Opm，其詳細 如下，Fe304層51a為約0.7pm， Fe203層51b為約0.3pm。因此，Fe203 層51b的厚度為表層部51的厚度的50%以下。
由此，消除三氧化二鐵(Fe203)特有的脆性，能夠確保套筒42表面 的耐磨損性。
(4)
在本實施方式的主軸電動機l中，Fe3O4層51a為2.0iim以下。 由此，消除三氧化二鐵(Fe203)特有的脆性，能夠確保套筒42表面 的耐磨損性。 (1)
在本實施方式的套筒42的制造方法中，如圖4所示，具備在步驟 S5的水蒸氣處理后，控制向大氣開放水蒸氣處理爐的溫度的步驟S6。
由此，在由燒結用金屬粉末成形的成形體的表面能夠形成含有三氧化
二鐵(Fe203)的Fe203層51b的表層部51。在這種情況下，與僅由四氧 化三鐵(Fe304)的Fe304層形成表層部51的情況相比，能夠將步驟S5后 的大氣開放溫度設定為高溫，因此，能夠縮短步驟S5 步驟S7中的節(jié)奏。 其結果，能夠降低對套筒42適當地進行孔密封處理的成本。
(2)
在本實施方式的套筒42的制造方法中，在步驟S6中開放水蒸氣處理 爐時，將水蒸氣處理爐內的成形體的溫度設為30(TC以上。
由此，在四氧化三鐵(Fe304)的Fe304層51a的表面能夠更有效地形 成三氧化二鐵(Fe203)的Fe203層51b。
(3)
在本實施方式的套筒42的制造方法中，如圖4所示，還具備在步 驟S6的水蒸氣處理爐的開放后，控制水蒸氣處理爐內的成形體的溫度成 為第二規(guī)定溫度之前的冷卻時間的步驟S7。
由此，在四氧化三鐵(Fe304)的Fe304層51a的表面能夠穩(wěn)定地形成 三氧化二鐵(Fe203)的Fe203層51b。
以上，對本發(fā)明的一實施方式進行了說明，但本發(fā)明不限定于上述實 施方式，可以在不脫離發(fā)明的宗旨的范圍內進行各種變更。 (A)
在上述實施方式的套筒42的制造方法中，舉出在步驟S5的水蒸氣處 理后，控制水蒸氣處理爐向大氣開放時的成形體的溫度的例子進行了說 明。但是，本發(fā)明不限定于此。
例如，作為步驟S5中的水蒸氣處理后的步驟S6，控制水蒸氣處理爐 的氧分壓(殘留氧)，也能夠得到與上述實施方式的套筒42的制造方法相 同的效果。
具體來說，例如，在約55(TC下進行水蒸氣處理后，控制水蒸氣處理 爐內的氧分壓，使其不小于1X10—14。由此，在成形體的表面能夠形成含 有作為氧化鐵的一種的三氧化二鐵(Fe203)的表層部51。
在此，與以往的形成僅由四氧化三鐵(Fe304)形成的Fe304層的水蒸 氣處理進行比較。
步驟S6中的水蒸氣處理爐的氧分壓控制在本實施方式中相當于圖5
(a)所示的A，在以往的制造方法中相當于圖5 (b)所示的B。具體來 說，氧分壓的控制是在水蒸氣處理爐內進行規(guī)定時間、規(guī)定流量的氮凈化。 在此，在以往的套筒的制造方法中，為了極力減少殘留氧，需要在圖5(b) 的對應于B的部位，充分地進行氮凈化，嚴格管理氧分壓(殘留氧量)。 具體來說，嚴格管理氧分壓，使其小于IXIO.14。還有，在實現這些環(huán)境 時，需要嚴格的密封處理或利用真空泵等的減壓處理。另一方面，在本發(fā) 明的實施方式中的制造方法中，在圖5 (a)的對應于A的部位，可以管 理氧分壓使其不小于1X1(T14。在通常的水蒸氣處理爐內，即使不進行針 對殘留氧的嚴格的管理，也能夠滿足其環(huán)境。這樣，本發(fā)明的制造方法與 以往的制造方法相比，能夠大幅度減少水蒸氣處理后的水蒸氣處理爐內的 殘留氧的管理負擔。
在此，對在步驟S6中，成形體的溫度為約55(TC時，控制水蒸氣處理 爐的氧分壓，使其大于1 X l(T14的妥當性進行驗證。
圖7是氧化物的自由能，溫度圖，俗稱為依嶺漢圖(Ellingham diagram)。 該圖是橫軸取溫度，縱軸取生成吉布斯能，對各種氧化物，將各溫度下的 標準生成能圖表化的圖表。從該圖可知，為了將金屬氧化物還原為金屬， 需要使何種還原劑在何種程度的溫度下發(fā)生作用。另外可知，在某氧分壓 下，金屬是否能夠不氧化而存在。
在步驟S5中，如上所述，在約550。C下進行水蒸氣處理，因此，若確 認4Fe304+0^6Fe203的反應中的約55(TC的狀態(tài)，則如圖7所示，能夠確 認以氧分壓1X10"為閾值，反應是向Fe304的方向(還原)容易進行， 還是向Fe203的方向(氧化)容易進行。由此能夠確認，約55(TC的狀態(tài) 下的4Fe304+02=6Fe203的反應只要是氧分壓在1 X 10—14以上，就容易向生 成Fe203的方向進行。其結果，能夠確認為了形成Fe203的Fe203層51b， 在步驟S6中，在成形體的溫度為約55(TC的狀態(tài)下控制水蒸氣處理爐的氧
分壓，使其大于ixio—"是妥當的。
還有，根據圖7所示的依嶺漢圖可知，在成形體的溫度低于約550°C 時，需要控制的氧分壓為小于1X1(T"的值，在成形體的溫度高于550度 時，需要控制的氧分壓為大于1 X 10—14的值。
(B)
在上述實施方式的套筒42的制造方法中，舉出在步驟S5的水蒸氣處 理中，在50(TC氣氛溫度內與高溫水蒸氣接觸約30分鐘到2小時左右的例 子進行了說明。但是本發(fā)明不限定于此。
例如，在58(TC氣氛溫度內與高溫水蒸氣接觸2小時也可。在這種情 況下，在套筒的表面能夠形成由層厚為5.0|im的Fe304層構成的表層部。 即，通過控制水蒸氣處理的溫度和時間，能夠形成各種表層厚度的表層部。
這樣，本實施方式的制造方法不限定水蒸氣處理爐內的氣氛溫度和水 蒸氣處理時間。通過控制水蒸氣處理爐內的氣氛溫度和水蒸氣處理時間， 改變Fe304層的層厚。
(C)
在上述實施方式的套筒42的制造方法中，舉出在步驟S5的水蒸氣處 理后，控制將水蒸氣處理爐向大氣開放時的成形體的溫度的例子進行了說 明。但是，本發(fā)明不限定于此。
例如，也可以在步驟S5中的水蒸氣處理后，控制水蒸氣處理爐的氧 分壓(殘留氧)，進而控制將水蒸氣處理爐向大氣開放時的成形體的溫度。
在這種情況下，在套筒表面形成作為氧化皮膜的表層部的工序如圖8 所示，依次進行如下所述的步驟，S卩將金屬粉末向成形用模填充的步驟 (步驟S101)、壓縮金屬粉末并成形的步驟(步驟S102)、將成形體在高 溫下燒結的步驟(步驟S103)、基于冷壓加工的表面氣孔的改善步驟(步 驟S104)、使成形體與高溫水蒸氣接觸的步驟(步驟S105)、控制水蒸氣 處理爐的氧分壓的步驟(步驟S106)、在第一規(guī)定的溫度下將水蒸氣處理 爐向大氣開放的步驟(步驟S107)、控制大氣開放后的溫度和冷卻時間的 步驟(步驟S108)。從耐磨損性的觀點來說，在這樣得到的Fe304層的表 面上進一步形成的Fe203層的層厚優(yōu)選為2.0pm以下或表層部整體的50% 以下。
(D)
在上述實施方式的套筒42的制造方法中，在步驟S7中，舉出控制大 氣開放后的成形體的溫度和冷卻時間的例子進行了說明。但是，本發(fā)明不 限定于此。
步驟S7是用于形成任意層厚的工序，不是必須的工序。省略步驟S7，
也能夠在內層部的很近的表面形成四氧化三鐵(Fe304)的Fe304層，在 Fe304層的表面形成三氧化二鐵(Fe203)的Fe20s層。
(E)
在上述實施方式的套筒42的制造方法中，舉出在步驟S6及步驟S7 中直接控制成形體的溫度的例子進行了說明。但是，本發(fā)明不限定于此。 例如，也可以控制水蒸氣處理爐內的溫度，間接控制成形體的溫度。
(F)
在上述實施方式的主軸電動機l中，舉出為了形成氧化膜而進行水蒸 氣處理(蒸氣處理)的例子進行了說明。但是本發(fā)明不限定于此。
例如，也可以使用二氧化碳氣來形成四氧化三鐵(Fe304)皮膜。在通 過該方法形成的四氧化三鐵(Fe304)皮膜的表層上形成三氧化二鐵(Fe203) 皮膜的方法可以使用本發(fā)明第八方面所示的方法。另外，若使用二氧化碳 氣，則由于不需要水配管或水專用加熱裝置，因此，設備變得便宜，另外， 通過使用純二氧化碳氣，能夠形成沒有異物附著的干凈的氧化膜。
(G)
在上述實施方式的主軸電動機1中，舉出在圖1所示的流體軸承裝置 4中適用本發(fā)明的一實施方式的套筒42的例子進行了說明。但是本發(fā)明不 限定于此。
例如，在圖9所示的流體軸承裝置100中適用本發(fā)明的一實施方式的 套筒103，也能夠得到與上述實施方式的主軸電動機l相同的效果。以下， 說明流體軸承裝置100。
流體軸承裝置100如圖9所示，具備軸101、凸緣102、套筒103、 油104、上罩105、下罩106、轉子107、和基底108。
軸101 —體地具有凸緣102。軸101相對于套筒103的軸承孔103A 旋轉自如地插入其中。凸緣102對置配置于套筒103的下表面。在軸IOI 的外周面或套筒103的內周面的至少一方設置有動壓產生槽103B。另外， 在套筒下表面103C或凸緣102的與套筒下表面103C的對置面的至少一方 設置有動壓產生槽102A。上罩105和下罩106固定于套筒103或轉子107。 各動壓產生槽103B、 102A的附近的軸承間隙至少被潤滑油104填滿。在
轉子107上固定有盤109。在基底108上固定有軸101。在轉子107上安 裝有未圖示的轉子磁體。在基底108的與轉子磁體對置的位置固定有未圖 示的電動機定子。主軸電動機是使用于旋轉驅動盤狀記錄介質的裝置中的 電動機，但也可以安裝風扇而作為風扇電動機來使用。實際上，也可以作 為用于個人計算機的CPU冷卻風扇使用。 (H)
在上述實施方式中，舉出將本發(fā)明的一實施方式的套筒42適用于主 軸電動機l的例子進行了說明。但是本發(fā)明不限定于此。
例如，如圖IO所示，本發(fā)明也可以適用于信息記錄再現處理裝置(信 息處理裝置)200，該信息記錄再現處理裝置200搭載具有上述結構的主 軸電動機l，利用記錄頭200a再現記錄于記錄盤201的信息，或對記錄盤 201進行信息記錄。
由此，即使在為了降低成本而使用由燒結金屬成形的套筒42的情況 下，也能夠提供具有高性能和可靠性的信息記錄再現處理裝置200，進而 能夠降低制造所花費的成本。
產業(yè)上的可利用性
根據本發(fā)明的流體軸承裝置用套筒及流體軸承裝置用套筒的制造方 法可知，能夠減少用于制造適當地進行孔密封處理的流體軸承裝置用套筒 所需的成本，另外，能夠防止軸承剛性的降低，因此，尤其在要求高性能 和可靠性的主軸電動機、信息記錄再現處理裝置中的適用方面有用。
權利要求
1. 一種流體軸承裝置用套筒，其中，具備內層部，通過對燒結用金屬粉末進行燒結而形成；表層部，形成于所述內層部的表面，且包含Fe2O3。
2. 根據權利要求1所述的流體軸承裝置用套筒，其中， 所述表層部具有形成于所述內層部側的Fe304層和形成于表面?zhèn)鹊腇e2。3層。
3. 根據權利要求2所述的流體軸承裝置用套筒，其中， 所述Fe203層的厚度為所述表層部的厚度的50%以下。
4. 根據權利要求2所述的流體軸承裝置用套筒，其中， 所述Fe203層的厚度為2|im以下。
5. —種流體軸承裝置，其中，包含權利要求1 4中任一項所述的流體軸承裝置用套筒。
6. —種主軸電動機，其中， 具備權利要求5所述的流體軸承裝置。
7. —種信息處理裝置，其中， 具備權利要求6所述的主軸電動機。
8. —種流體軸承裝置用套筒的制造方法，其中，包括 第一工序，對將燒結金屬粉末成形并燒結而成的燒結成形體進行水蒸氣處理，形成Fe304層；第二工序，在所述第一工序后，控制所述燒結成形體周圍的氧分壓和 溫度、或將所述燒結成形體向含有氧的氣體氣氛中開放時的氧分壓和溫度 的至少一方，在所述Fe304層表層上形成Fe203層。
9. 根據權利要求8所述的流體軸承裝置用套筒的制造方法，其中， 在所述第二工序中的氧分壓的控制中，基于規(guī)定的條件，進行將氧與其他氣體置換的凈化。
10. 根據權利要求8所述的流體軸承裝置用套筒的制造方法，其中， 在所述第二工序中，將所述燒結成形體向含有氧的氣體氣氛中開放時 的所述燒結成形體的溫度為30(TC以上。
11.根據權利要求8所述的流體軸承裝置用套筒的制造方法，其中，還包括第三工序，在所述第二工序中的所述燒結成形體的開放之后， 控制所述燒結成形體的溫度和冷卻時間。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠降低用于適當地進行孔密封處理的成本的流體軸承裝置用套筒、及具備該套筒的流體軸承裝置、主軸電動機、信息記錄再現處理裝置及流體軸承裝置用套筒的制造方法。流體軸承裝置用套筒具備內層部和表層部。內層部通過對燒結用金屬粉末進行燒結而形成。表層部形成于內層部的表面，且含有三氧化二鐵(Fe₂O₃)。即，在作為多孔質的流體軸承裝置用套筒的表面形成含有三氧化二鐵(Fe₂O₃)層的表層部，進行孔密封處理。
文檔編號F16C17/10GK101377214SQ200810125439
公開日2009年3月4日 申請日期2008年6月13日 優(yōu)先權日2007年8月30日
發(fā)明者淺田隆文, 浜田力, 石川勝男 申請人:松下電器產業(yè)株式會社