第一真空管102內(nèi)壁上的固體副產(chǎn)品盡可能的清理干凈。
[0030]在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的固體副產(chǎn)品會附著在所述第一真空管102的管壁上，當這些固體副產(chǎn)品脫落后會掉落到所述第一真空管102中，因為所述泄壓閥106為關(guān)閉狀態(tài)，則這些固體副產(chǎn)品就掉落在所述第一真空管102靠近所述泄壓閥106的一端。
[0031]在本實施例中，所述第一真空管102為豎直設(shè)置，在本發(fā)明的其他實施例中，還可以根據(jù)實際需要放置所述第一真空管102。例如水平放置或者傾斜放置。這是本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的，在此不再贅述。
[0032]所述抽氣泵108的抽氣系統(tǒng)還包括第二真空管103和第三真空管104，所述第二真空管103和所述第一真空管102連接，所述第二真空管103與所述第一真空管102的連接處位于所述第一開關(guān)閥105的下方。如圖1所示。也就是說，與所述第二真空管103和所述第一真空管102的連接處到所述反應(yīng)腔101的距離相比，所述第一開關(guān)閥105更加靠近所述反應(yīng)腔101。即，所述第二真空管103與所述第一真空管102的連接處與所述反應(yīng)腔101之間的距離，大于所述第一開關(guān)閥105與所述反應(yīng)腔101之間的距離。這樣當關(guān)閉所述第一開關(guān)閥105和所述第二開關(guān)閥107，并打開所述泄壓閥106來清理所述第一真空管102時，可以使得附著有固體副產(chǎn)品的所述第一真空管102盡可能的暴露在空氣中，使得對所述第一真空管102的清理更加徹底。
[0033]進一步的，所述第二真空管104與所述第一真空管102靠近所述第一開關(guān)閥105的一側(cè)形成一第一夾角，所述第一夾角大于90°。較優(yōu)的，所述第一夾角為135°。
[0034]在沒有對所述第一真空管102進行清理前，附著在所述第一真空管102內(nèi)壁上的固體副產(chǎn)品不可避免的隨著所述抽氣泵108的抽氣而進入到所述第二真空管103中，所述第一夾角為135°，將盡可能的減少進入到所述第二真空中103中的固體副產(chǎn)品。
[0035]所述第二真空管103的一端連接于所述第一真空管102，另一端連接于所述第三真空管104的一端，而所述第三真空管104的另一端連接于所述抽氣泵108的進氣口。并且在所述第三真空管104上設(shè)置有所述第二開關(guān)閥107。更優(yōu)的，可以使所述第二開關(guān)閥107更加靠近所述抽氣泵108的進氣口。
[0036]所述第三真空管104豎直設(shè)置。在本發(fā)明的其他實施例中，根據(jù)實際需要，所述第三真空管104還可以是其他方式設(shè)置，比如為水平或者傾斜設(shè)置。這是本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的，在此不再贅述。
[0037]當生產(chǎn)產(chǎn)品時，所述第一開關(guān)閥106和所述第二開關(guān)閥107打開，所述泄壓閥106關(guān)閉，所述抽氣泵108所產(chǎn)生的負壓使得所述第一互贈102中的真空效果不會受到所述泄壓閥106的影響。
[0038]當需要對所述第一真空管102進行清理時，關(guān)閉所述第一開關(guān)閥106和所述第二開關(guān)閥107，打開所述泄壓閥106，空氣通過所述泄壓閥106進入到所述第一真空管102中，工作人員即可對所述第一真空管102中的固體副產(chǎn)品進程清理，在這個過程中，無需停止所述抽氣泵108，也無需打開所述反應(yīng)腔101，從而減少了對所述抽氣泵108的損傷以及所述第三真空管104和所述抽氣泵連接處的磨損，進而提高了所述抽氣泵108的使用壽命。
[0039]綜上，在本發(fā)明實施例提供的一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)及抽氣泵中，正常工作時，所述第一開關(guān)閥和所述第二開關(guān)閥打開，所述泄壓閥關(guān)閉，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣冷凝而成的固體副產(chǎn)品附著在所述第一真空管管壁上，這些固體副產(chǎn)品會掉落到所述第一真空管設(shè)置有所述泄壓閥的一端，當需要清理時，將所述第一開關(guān)閥和所述第二開關(guān)閥關(guān)閉，打開所述泄壓閥，讓空氣進入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，無需停止抽氣泵，也無需打開反應(yīng)腔，減少了對所述抽氣泵的損傷以及所述第三真空管和所述抽氣泵連接處的磨損，提高了所述抽氣泵的使用壽命。
[0040]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不對本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，包括: 第一真空管，所述第一真空管的一端與反應(yīng)腔連接，另一端設(shè)置有一泄壓閥，所述第一真空管上設(shè)置有一第一開關(guān)閥； 第二真空管，所述第二真空管的一端連接于所述第一真空管，所述第二真空管與所述第一真空管的連接處與所述反應(yīng)腔之間的距離，大于所述第一開關(guān)閥與所述反應(yīng)腔之間的距離；以及 第三真空管，所述第三真空管的一端連接于所述第二真空管的另一端，所述第三真空管的另一端連接于抽氣泵的進氣口，所述第三真空管上設(shè)置有一第二開關(guān)閥。
2.如權(quán)利要求1所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一開關(guān)閥與所述反應(yīng)腔之間的距離，小于所述第一開關(guān)閥與所述泄壓閥之間的距離。
3.如權(quán)利要求1所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一真空管豎直設(shè)置。
4.如權(quán)利要求3所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第二真空管與所述第一真空管靠近所述第一開關(guān)閥的一側(cè)形成一第一夾角。
5.如權(quán)利要求4所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一夾角大于90°。
6.如權(quán)利要求5所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一夾角為135°。
7.如權(quán)利要求3所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第三真空管豎直設(shè)置。
8.如權(quán)利要求3所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)，其特征在于，所述泄壓閥位于所述抽氣泵的上方。
9.一種抽氣泵，其特征在于，包括；抽氣泵主體，所述抽氣泵主體上分別設(shè)置有進氣口和出氣口，所述進氣口連接有如權(quán)利要求1-8任一一項所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)。
10.如權(quán)利要求9所述的抽氣泵，其特征在于，所述抽氣泵主體為螺桿抽氣泵主體。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)及抽氣泵，其中，一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)包括：第一真空管，所述第一真空管的一端與反應(yīng)腔連接，另一端設(shè)置有一泄壓閥，所述第一真空管上設(shè)置有一第一開關(guān)閥；第二真空管，所述第二真空管的一端連接于所述第一真空管；以及第三真空管，所述第三真空管的一端連接于所述第二真空管的另一端。當需要清理時，將所述第一開關(guān)閥和所述第二開關(guān)閥關(guān)閉，打開所述泄壓閥，讓空氣進入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，無需停止抽氣泵，也無需打開反應(yīng)腔，減少了對所述抽氣泵的損傷以及所述第三真空管和所述抽氣泵連接處的磨損，提高了所述抽氣泵的使用壽命。
【IPC分類】F04C29-12, F04C25-02, F04C28-24
【公開號】CN104863857
【申請?zhí)枴緾N201510179466
【發(fā)明人】辛笛, 陸飛
【申請人】武漢新芯集成電路制造有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年4月15日