一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)及抽氣泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其是一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)及抽氣泵。
【背景技術(shù)】
[0002]在干法蝕刻技術(shù)中，通常采用抽氣泵抽氣的方式解決真空問題。具體的，抽氣泵與真空管的一端連接，所述真空管的另一端與刻蝕反應(yīng)腔連接，且所述真空管豎直放置。也就是說，所述抽氣泵與所述真空管是直通式連接，所述抽氣泵通過豎直抽氣方式對(duì)所述刻蝕反應(yīng)腔進(jìn)行抽氣。
[0003]在生產(chǎn)產(chǎn)品的過程中，所述刻蝕反應(yīng)腔內(nèi)將會(huì)產(chǎn)生副產(chǎn)品，也就是廢氣，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣在所述抽氣泵的抽氣過程中會(huì)進(jìn)入所述真空管，在經(jīng)過所述真空管時(shí)，由于所述真空管較長(zhǎng)，就會(huì)有一部分廢氣會(huì)冷凝成固體附著在所述真空管的管壁上。隨著這些固體副產(chǎn)品在所述真空管上的沉積，所述真空管管壁上的固體副產(chǎn)品會(huì)越來越多，進(jìn)而附著在所述真空管管壁上的固體副產(chǎn)品會(huì)從所述真空管的管壁上脫落，掉入到所述抽氣泵中，堵塞所述真空管和所述抽氣泵，從而導(dǎo)致所述抽氣泵的壓力過高。這時(shí)，工程師就必須將所述刻蝕反應(yīng)腔連接的機(jī)臺(tái)斷電，使得所述刻蝕反應(yīng)腔獨(dú)立，并使所述抽氣泵停止工作來清理所述抽氣泵。頻繁的起停所述抽氣泵，會(huì)損傷所述抽氣泵，進(jìn)而會(huì)導(dǎo)致所述抽氣泵無法開起來。
[0004]而且，在每次定期維護(hù)后，工程師還需要清理所述真空管，以便將所述真空管管壁上的固體副產(chǎn)品清理干凈。在清理所述真空管的過程中，需要將所述真空管拆卸下來，也就是需要將所述真空管與所述抽氣泵拆卸開來，然后再對(duì)所述真空管和所述抽氣泵進(jìn)行清理。但是頻繁的拆卸和安裝會(huì)導(dǎo)致所述真空管和所述抽氣泵的連接處的磨損，進(jìn)而會(huì)進(jìn)一步的減短所述抽氣泵的使用壽命，增加了成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)及抽氣泵，以解決在生產(chǎn)過程中固體副產(chǎn)品掉落至抽氣泵中而縮短所述抽氣泵壽命的問題。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)及抽氣泵，其中，一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)包括:
[0007]第一真空管，所述第一真空管的一端與反應(yīng)腔連接，另一端設(shè)置有一泄壓閥，所述第一真空管上設(shè)置有一第一開關(guān)閥；
[0008]第二真空管，所述第二真空管的一端連接于所述第一真空管，所述第二真空管與所述第一真空管的連接處與所述反應(yīng)腔之間的距離，大于所述第一開關(guān)閥與所述反應(yīng)腔之間的距離；以及
[0009]第三真空管，所述第三真空管的一端連接于所述第二真空管的另一端，所述第三真空管的另一端連接于抽氣泵的進(jìn)氣口，所述第三真空管上設(shè)置有一第二開關(guān)閥。
[0010]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)中，所述第一開關(guān)閥與所述反應(yīng)腔之間的距離，小于所述第一開關(guān)閥與所述泄壓閥之間的距離。
[0011]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)中，所述第一真空管和所述通氣管豎直設(shè)置。
[0012]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)中，所述第二真空管與所述第一真空管靠近所述第一開關(guān)閥的一側(cè)形成一第一夾角。
[0013]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)中，所述第一夾角大于90°。
[0014]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)中，所述第一夾角為135°。
[0015]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)中，所述第三真空管豎直設(shè)置。
[0016]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)中，所述泄壓閥位于所述抽氣泵的上方。
[0017]本發(fā)明還提供了一種抽氣泵，包括:抽氣泵主體，所述抽氣泵主體上分別設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口連接有如上所述的抽氣泵的抽氣系統(tǒng)。
[0018]優(yōu)選的，在上述的抽氣泵中，所述抽氣泵主體為螺桿抽氣泵主體。
[0019]在本發(fā)明提供的一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)及抽氣泵中，正常工作時(shí)，所述第一開關(guān)閥和所述第二開關(guān)閥打開，所述泄壓閥關(guān)閉，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣冷凝而成的固體副產(chǎn)品附著在所述第一真空管管壁上，這些固體副產(chǎn)品會(huì)掉落到所述第一真空管設(shè)置有所述泄壓閥的一端，當(dāng)需要清理時(shí)，將所述第一開關(guān)閥和所述第二開關(guān)閥關(guān)閉，打開所述泄壓閥，讓空氣進(jìn)入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，無需停止抽氣泵，也無需打開反應(yīng)腔，減少了對(duì)所述抽氣泵的損傷以及所述第三真空管和所述抽氣泵連接處的磨損，提高了所述抽氣泵的使用壽命。
【附圖說明】
[0020]圖1本發(fā)明實(shí)施例中抽氣泵的抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖中:101-反應(yīng)腔；102_第一真空管；103-第二真空管；104-第三真空管；105-第一開關(guān)閥；106-泄壓閥；107-第二開關(guān)閥；108-抽氣泵。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行更詳細(xì)的描述。根據(jù)下列描述和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0023]本實(shí)施例提供了一種抽氣泵，包括，抽氣泵主體，所述抽氣泵主體上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口與一種抽氣泵的抽氣系統(tǒng)連接。
[0024]優(yōu)選的，本實(shí)施例中的抽氣泵主體為螺桿抽氣泵主體。
[0025]其中，如圖1所示，所述抽氣泵的抽氣系統(tǒng)包括:第一真空管102，第二真空管103和第三真空管104。
[0026]具體的，所述第一真空管102的一端與反應(yīng)腔101連接，另一端設(shè)置有一泄壓閥106，且在所述第一真空管102上設(shè)置有一第一開關(guān)閥105。所述第一開關(guān)閥105與所述反應(yīng)腔101之間的距離，小于所述第一開關(guān)閥105與所述泄壓閥106之間的距離。所述泄壓閥106位于所述抽氣泵108的上方，以減少所述抽氣泵的抽氣系統(tǒng)所占用的空間。
[0027]具體的，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣被抽氣泵108抽入到所述第一真空管102中，由于所述廢氣一般為高溫，而所述第一真空管102的溫度低于所述廢氣的溫度，當(dāng)所述廢氣進(jìn)入到所述第一真空管102后會(huì)迅速冷凝成固體，形成固體副產(chǎn)品，并附著在所述第一真空管102的內(nèi)壁上，并且，大部分的固體副產(chǎn)品都附著在所述第一真空管102靠近所述反應(yīng)腔101的部分。
[0028]在本實(shí)施例中，所述第一真空管102為豎直設(shè)置。也就是說，針對(duì)豎直設(shè)置的所述第一真空管102來說，大部分固體副產(chǎn)品附著在所述所述第一真空管102內(nèi)壁的上部，因此，需要將所述第一開關(guān)閥105設(shè)置在所述第一真空管102的上部，當(dāng)需要對(duì)所述第一真空管102清理時(shí)，關(guān)閉所述第一開關(guān)閥105和第二開關(guān)閥107，就可以把所述附著在所述第一真空管102上半部?jī)?nèi)壁上的固體副產(chǎn)品清理出所述第一真空管102。也就是說，所述第一開關(guān)閥105更加靠近所述反應(yīng)腔101而遠(yuǎn)離所述泄壓閥106，即，所述第一開關(guān)閥105與所述反應(yīng)腔101之間的距離，小于所述第一開關(guān)閥105與所述泄壓閥106之間的距離。
[0029]更優(yōu)的，所述第一開關(guān)閥105設(shè)置在離所述反應(yīng)腔101較近的位置，這樣，當(dāng)需要對(duì)所述第一真空管102進(jìn)行清理時(shí)，就可以將所述