專利名稱：一種羅茨和爪式轉(zhuǎn)子組合多級(jí)干式真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種羅茨和爪式轉(zhuǎn)子組合多級(jí)干式
真空泵。
背景技術(shù)：
IC(集成電路)裝備制造業(yè)水平的高低是衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)工業(yè)化程度的重要標(biāo)志。而IC裝備制造業(yè)作為增強(qiáng)國(guó)家綜合實(shí)力和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的先導(dǎo)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，已成為發(fā)達(dá)國(guó)家爭(zhēng)奪高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。我國(guó)已經(jīng)把IC裝備產(chǎn)業(yè)作為“十一五”規(guī)劃重點(diǎn)發(fā)展產(chǎn)業(yè)，而在IC裝備行業(yè)中，各種工藝設(shè)備例如化學(xué)氣相沉積、等離子體化學(xué)氣相沉積法(PECVD)、離子注入、蒸發(fā)、濺射、外延生長(zhǎng)、刻蝕、封裝、檢測(cè)等的工藝都需要在對(duì)潔凈度要求苛刻的真空環(huán)境下進(jìn)行，這就對(duì)干式真空泵的需求很高，正是來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展帶動(dòng)國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，從而大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵幾乎全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。爪型干式真空泵是較早出現(xiàn)的一個(gè)泵種。世界上第一臺(tái)爪型干泵于1985年在日本上市，并大量應(yīng)用于日本當(dāng)時(shí)發(fā)展迅速的半導(dǎo)體工業(yè)?，F(xiàn)有干泵技術(shù)存在加工難度大、極限真空低、消耗功率大、體積大、不能直排大氣、不能用于IC裝備的不足。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有干泵技術(shù)中加工難度大、極限真空低、消耗功率大、體積大、不能直排大氣、不能用于IC裝備的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種羅茨和爪式轉(zhuǎn)子組合多級(jí)干式真空泵，適用于IC裝備的新型的直排大氣的干泵。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案。一種羅茨和爪式轉(zhuǎn)子組合多級(jí)干式真空泵，包括電機(jī)、腔體、泵體尾部齒輪箱，其中腔體內(nèi)設(shè)有主動(dòng)軸及從動(dòng)軸，該主動(dòng)軸及從動(dòng)軸前后兩端均設(shè)有用于支撐的軸承及軸承支撐環(huán)；所述主動(dòng)軸前端與電機(jī)連接，后端置于泵體尾部齒輪箱內(nèi)、并設(shè)有主動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)軸尾端置于泵體尾部齒輪箱內(nèi)、并設(shè)有與主動(dòng)齒輪傳動(dòng)連接的從動(dòng)齒輪，從動(dòng)軸前端穿出腔體、并通過螺母固定；所述腔體從泵體尾端依次包括一級(jí)腔體、容置爪式轉(zhuǎn)子腔體、排氣腔體及軸承腔體，其中一級(jí)腔體、容置爪式轉(zhuǎn)子腔體的端面上均設(shè)有使腔體間互相連通的進(jìn)氣口和排氣口，排氣腔體上設(shè)有與容置爪式轉(zhuǎn)子腔體相連通的排氣腔；所述主動(dòng)軸及從動(dòng)軸后端的軸承及軸承支撐環(huán)容置于一級(jí)腔體內(nèi)，所述一級(jí)腔體內(nèi)還設(shè)有固套在主動(dòng)軸上的一級(jí)羅茨主動(dòng)轉(zhuǎn)子和與其相對(duì)應(yīng)、固套于從動(dòng)軸上的一級(jí)羅茨從動(dòng)轉(zhuǎn)子；容置爪式轉(zhuǎn)子腔體內(nèi)設(shè)有固套在主動(dòng)軸上的爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子和與其相對(duì)應(yīng)、固套在從動(dòng)軸上的爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子；所述主動(dòng)軸及從動(dòng)軸前端的軸承及軸承支撐環(huán)容置于軸承腔體內(nèi)。所述電機(jī)與腔體之間設(shè)有電機(jī)油箱，該電機(jī)油箱內(nèi)設(shè)有套設(shè)在主動(dòng)軸和從動(dòng)軸上用于固定軸承的電機(jī)側(cè)軸承壓蓋、套固在所述主動(dòng)軸上用于將主動(dòng)軸固定于電機(jī)一側(cè)的主動(dòng)軸套、套固在該主動(dòng)軸套上的主動(dòng)甩油盤及套固在從動(dòng)軸端部的電機(jī)側(cè)從動(dòng)甩油盤。所述容置爪式轉(zhuǎn)子腔體包括二級(jí)腔體、三級(jí)腔體、四級(jí)腔體及五級(jí)腔體，各級(jí)腔體均設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口，并且上一級(jí)的排氣口與下一級(jí)的進(jìn)氣口相對(duì)應(yīng)，所述五級(jí)腔體的排氣口與所述排氣腔相對(duì)應(yīng)；所述各級(jí)腔體內(nèi)依次設(shè)有一正一反固套在主動(dòng)軸與從動(dòng)軸上的二級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子與二級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子、三級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子與三級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子、四級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子與四級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子、五級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子與五級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子。所述各級(jí)轉(zhuǎn)子與泵腔的間隙為0. 1 0. 2mm。所述各級(jí)腔體通過螺栓聯(lián)接，泵體尾部齒輪箱通過螺栓固接于一級(jí)腔體。所述各級(jí)腔體間采用0型密封圈密封。所述各級(jí)泵腔內(nèi)的氣體由高真空向低真空逐級(jí)壓縮，壓縮比為9 8 6 3 2。所述腔體外部設(shè)有水冷裝置。所述電機(jī)包括外殼、電機(jī)定子、電機(jī)轉(zhuǎn)子及輸出軸，其中輸出軸與所述主動(dòng)軸同軸，電機(jī)轉(zhuǎn)子套固在輸出軸上，電機(jī)定子與泵體之間采用止口定位、并采用0型密封圈密封。所述主動(dòng)軸、從動(dòng)軸與各腔體軸孔的間隙為0. 08 0. 15mm。本實(shí)用新型有如下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型工作時(shí)低入口壓力下獲得大抽氣速率，與羅茨泵相比具有高壓縮比，低功耗的特點(diǎn)，提高極限真空度，節(jié)約能源，在抽速相同的情況下減小了泵的體積，同時(shí)降低了氣流脈動(dòng)沖擊，減小噪音，常壓?jiǎn)?dòng)，可直排大氣獨(dú)立工作，也可以和羅茨真空泵及分子泵組成無油泵機(jī)組；變頻調(diào)速，柔性啟動(dòng)，整機(jī)沖擊小，使用壽命長(zhǎng)。且整機(jī)過載保護(hù)，具有故障自動(dòng)保護(hù)，不會(huì)出現(xiàn)破壞性損壞；在一定轉(zhuǎn)速下可以長(zhǎng)期抽大氣，改變了干泵最大入口壓力限制；采用新型的特殊特氟龍類雙唇軸封，增加了耐磨性，減少了摩擦系數(shù)，延長(zhǎng)了泵的維修周期；并采用油氣過濾結(jié)構(gòu)，平衡裝油腔和干泵腔體壓力，解決向真空室的泄漏問題；采用電機(jī)轉(zhuǎn)子和泵軸一體，電機(jī)定子在油室外的結(jié)構(gòu)，解決了電機(jī)動(dòng)密封和電機(jī)震動(dòng)問題；采用閉環(huán)控制系統(tǒng)對(duì)水、溫度、氣體進(jìn)行控制，滿足各種半導(dǎo)體工藝要求；齒輪和轉(zhuǎn)子的裝配采用熱脹裝配結(jié)構(gòu)，減少了運(yùn)動(dòng)部的不平衡度和振動(dòng)；在抽氣過程中可保持真空環(huán)境不受污染，適用于半導(dǎo)體、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為一級(jí)轉(zhuǎn)子和腔體剖面圖；圖3為二級(jí)轉(zhuǎn)子和腔體剖面圖； 圖4為三級(jí)轉(zhuǎn)子和腔體剖面圖；圖5為四級(jí)轉(zhuǎn)子和腔體剖面圖；圖6為五級(jí)轉(zhuǎn)子和腔體剖面圖；[0024]其中1為主動(dòng)齒輪，2為齒輪箱，3為軸承壓蓋，4為一級(jí)腔體，5為二級(jí)腔體，6為三級(jí)腔體，7為四級(jí)腔體，8為五級(jí)腔體，9為排氣腔，10為軸封，11為軸承腔體，12為電機(jī)油箱，13為主動(dòng)甩油盤，14為主動(dòng)軸套，15為電機(jī)定子，16為電機(jī)轉(zhuǎn)子，17為固定螺母，18為電機(jī)側(cè)軸承壓蓋，19為電機(jī)側(cè)從動(dòng)甩油盤，20為軸承，21為五級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子，22為五級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子，23為四級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子，M為四級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子，25為爪式三級(jí)從動(dòng)轉(zhuǎn)子，26為三級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子，27為二級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子，28為二級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子，29為一級(jí)羅茨從動(dòng)轉(zhuǎn)子，30為一級(jí)羅茨主動(dòng)轉(zhuǎn)子，31為齒輪側(cè)從動(dòng)甩油盤，32為從動(dòng)齒輪，33為軸承支撐環(huán)，34為從動(dòng)軸，35為主動(dòng)軸，36為排氣管道，37為一級(jí)進(jìn)氣口，38為一級(jí)排氣口，39為二級(jí)進(jìn)氣口，40為二級(jí)排氣口，41為三級(jí)進(jìn)氣口，42為三級(jí)排氣腔，43為四級(jí)進(jìn)氣口，44為四級(jí)排氣口，45為五級(jí)進(jìn)氣口，46為五級(jí)排氣口。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型包括電機(jī)、腔體、泵體尾部齒輪箱2，其中腔體內(nèi)設(shè)有主動(dòng)軸35及從動(dòng)軸34，該主動(dòng)軸35及從動(dòng)軸34前后兩端均設(shè)有起支撐作用的軸承20及軸承支撐環(huán)33 ；所述主動(dòng)軸35前端與電機(jī)連接，后端置于泵體尾部齒輪箱12內(nèi)、并設(shè)有主動(dòng)齒輪1，所述從動(dòng)軸34尾端置于泵體尾部齒輪箱2內(nèi)、并設(shè)有與主動(dòng)齒輪1傳動(dòng)連接的從動(dòng)齒輪32，從動(dòng)軸34前端穿出腔體、并通過螺母17固定；所述腔體從泵體尾端依次包括一級(jí)腔體4、容置爪式轉(zhuǎn)子腔體、排氣腔體及軸承腔體11，其中一級(jí)腔體4、容置爪式轉(zhuǎn)子腔體的端面上均設(shè)有使腔體間互相連通的進(jìn)氣口和排氣口，排氣腔體上設(shè)有與容置爪式轉(zhuǎn)子腔體相連通的排氣腔9 ；所述主動(dòng)軸35及從動(dòng)軸34后端的軸承20及軸承支撐環(huán)33容置于一級(jí)腔體4內(nèi)，所述一級(jí)腔體4內(nèi)還設(shè)有固套在主動(dòng)軸35上的一級(jí)羅茨主動(dòng)轉(zhuǎn)子30和與其相對(duì)應(yīng)、固套于從動(dòng)軸34上的一級(jí)羅茨從動(dòng)轉(zhuǎn)子四；容置爪式轉(zhuǎn)子腔體內(nèi)設(shè)有固套在主動(dòng)軸35上的爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子和與其相對(duì)應(yīng)、固套在從動(dòng)軸34上的爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子；所述主動(dòng)軸35及從動(dòng)軸34前端的軸承00)及軸承支撐環(huán)33容置于軸承腔體11內(nèi)。所述電機(jī)與腔體之間設(shè)有電機(jī)油箱12，該電機(jī)油箱12內(nèi)設(shè)有套設(shè)在主動(dòng)軸35和從動(dòng)軸；34上用于固定軸承20的電機(jī)側(cè)軸承壓蓋18、套固在所述主動(dòng)軸35上用于將主動(dòng)軸35固定于電機(jī)一側(cè)的主動(dòng)軸套14、套固在該主動(dòng)軸套14上的主動(dòng)甩油盤13及套固在從動(dòng)軸34端部的電機(jī)側(cè)從動(dòng)甩油盤19。電機(jī)油箱12通過螺釘固定在軸承腔體11上。所述容置爪式轉(zhuǎn)子腔體包括二級(jí)腔體5、三級(jí)腔體6、四級(jí)腔體7及五級(jí)腔體8，各級(jí)腔體均設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口，并且上一級(jí)的排氣口與下一級(jí)的進(jìn)氣口相連，所述五級(jí)腔體8的排氣口與所述排氣腔9相連，排氣管道36與排氣腔9相連。所述各級(jí)腔體內(nèi)依次設(shè)有一正一反固套在主動(dòng)軸35與從動(dòng)軸34上的二級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子觀與二級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子27、三級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子沈與三級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子25、四級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子M與四級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子23、五級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子22與五級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子21。所述各級(jí)腔體通過螺栓聯(lián)接，采用0型密封圈密封，形成五個(gè)密閉的泵腔，進(jìn)氣口和排氣口通過兩個(gè)轉(zhuǎn)子端面旋轉(zhuǎn)周期性開關(guān)，排氣孔的長(zhǎng)度所對(duì)應(yīng)的從動(dòng)軸軸心的角度為80° -180°，主動(dòng)軸軸心角度為-120° -100°，將排氣孔角度做了一定的延長(zhǎng)，使壓縮的氣體還沒有達(dá)到很高壓強(qiáng)時(shí)就被排到下一級(jí)泵腔，降低了每級(jí)泵腔產(chǎn)生的壓縮熱。主動(dòng)軸35、從動(dòng)軸34與各腔體軸孔的間隙為0. 08 0. 15mm ；泵體尾部齒輪箱2
5通過螺栓固接于一級(jí)腔體4，泵體尾部齒輪箱2內(nèi)主、從動(dòng)軸上分別裝有固定后軸承的軸承壓蓋3 ；所述腔體外部設(shè)有水冷裝置，即水冷板冷卻，使本實(shí)用新型能夠連續(xù)在高氣壓的工作條件下也不會(huì)發(fā)生熱漲抱死現(xiàn)象。所述電機(jī)包括外殼、電機(jī)定子15、電機(jī)轉(zhuǎn)子16及輸出軸，其中輸出軸與所述主動(dòng)軸35同軸，電機(jī)轉(zhuǎn)子16套固在輸出軸上，電機(jī)定子35與泵體之間采用精密止口定位、并采用氟橡膠0型密封圈密封。所述電機(jī)外殼與電機(jī)定子15之間灌注環(huán)氧樹脂；所述電機(jī)附加變頻控制器，采用臥式。如圖3 6所示，隨轉(zhuǎn)子級(jí)數(shù)不同分別有多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的泵腔，并通過每個(gè)腔體的排氣口向下一級(jí)排氣，即一級(jí)排氣口 38與二級(jí)進(jìn)氣口 39相連，二級(jí)排氣口 40與三級(jí)進(jìn)氣口 41相連，三級(jí)排氣口 42與四級(jí)進(jìn)氣口 43相連，四級(jí)排氣口 44與五級(jí)進(jìn)氣口 45相連，5級(jí)是排氣級(jí)；2級(jí)到5級(jí)爪式轉(zhuǎn)子依次一正一反安裝在軸上，一級(jí)轉(zhuǎn)子為羅茨轉(zhuǎn)子，其余四級(jí)壓縮排氣級(jí)為爪式轉(zhuǎn)子。根據(jù)真空性能的需要，泵腔有效容積從高真空空級(jí)開始逐級(jí)壓縮，并通過級(jí)間氣流通道相連；一級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子型線由圓弧和擺線組成，四級(jí)爪式轉(zhuǎn)子型線為對(duì)稱型由擺線和圓弧組成，這樣結(jié)構(gòu)布置可以在低入口壓力下獲得大抽氣速率，其極限壓力可達(dá)IPa以下，氣體在泵腔中由高真空向低真空級(jí)逐級(jí)壓縮，優(yōu)選壓縮比為9 :8:6:3: 2;在抽速相同的情況下，減小了泵的體積，降低了功耗，而且加工簡(jiǎn)單，容易達(dá)到要求。為取得更好的技術(shù)效果，所述安裝在軸上的轉(zhuǎn)子與泵腔的間隙為0. 1-0. 2mm ；所述各級(jí)轉(zhuǎn)子與軸采用的是過盈配合方式安裝；所述泵腔底部固定有水冷管對(duì)泵體進(jìn)行外部水冷；所述轉(zhuǎn)子和軸需經(jīng)過動(dòng)平衡檢測(cè)，不平衡量小于lgmm。真空泵工作時(shí)，氣體首先由進(jìn)氣口進(jìn)入一級(jí)泵體、經(jīng)過高真空級(jí)壓縮，排出后通過氣流通道進(jìn)入下一級(jí)，分別在第二級(jí)、第三、第四級(jí)減小容積、壓縮氣體，最后由五級(jí)低真空級(jí)排到排氣腔后排出大氣，可實(shí)現(xiàn)直排大氣。
權(quán)利要求1.一種羅茨和爪式轉(zhuǎn)子組合多級(jí)干式真空泵，其特征在于包括電機(jī)、腔體、泵體尾部齒輪箱O)，其中腔體內(nèi)設(shè)有主動(dòng)軸(3 及從動(dòng)軸(34)，該主動(dòng)軸(3 及從動(dòng)軸(34)前后兩端均設(shè)有起支撐作用的軸承00)及軸承支撐環(huán)(3 ；所述主動(dòng)軸(3 前端與電機(jī)連接，后端置于泵體尾部齒輪箱(1 內(nèi)、并設(shè)有主動(dòng)齒輪(1)，所述從動(dòng)軸(34)尾端置于泵體尾部齒輪箱O)內(nèi)、并設(shè)有與主動(dòng)齒輪(1)傳動(dòng)連接的從動(dòng)齒輪(32)，從動(dòng)軸(34)前端穿出腔體、并通過螺母(17)固定；所述腔體從泵體尾端依次包括一級(jí)腔體G)、容置爪式轉(zhuǎn)子腔體、排氣腔體及軸承腔體(11)，其中一級(jí)腔體G)、容置爪式轉(zhuǎn)子腔體的端面上均設(shè)有使腔體間互相連通的進(jìn)氣口和排氣口，排氣腔體上設(shè)有與容置爪式轉(zhuǎn)子腔體相連通的排氣腔 (9)；所述主動(dòng)軸(3 及從動(dòng)軸(34)后端的軸承OO)及軸承支撐環(huán)(3 容置于一級(jí)腔體 (4)內(nèi)，所述一級(jí)腔體(4)內(nèi)還設(shè)有固套在主動(dòng)軸(3 上的一級(jí)羅茨主動(dòng)轉(zhuǎn)子(30)和與其相對(duì)應(yīng)、固套于從動(dòng)軸(34)上的一級(jí)羅茨從動(dòng)轉(zhuǎn)子09)；容置爪式轉(zhuǎn)子腔體內(nèi)設(shè)有固套在主動(dòng)軸(3 上的爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子和與其相對(duì)應(yīng)、固套在從動(dòng)軸(34)上的爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子；所述主動(dòng)軸(3 及從動(dòng)軸(34)前端的軸承OO)及軸承支撐環(huán)(3 容置于軸承腔體(11)內(nèi)。
2.按權(quán)利要求1所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述電機(jī)與腔體之間設(shè)有電機(jī)油箱(12)，該電機(jī)油箱(12)內(nèi)設(shè)有套設(shè)在主動(dòng)軸(35)和從動(dòng)軸(34)上用于固定軸承QO) 的電機(jī)側(cè)軸承壓蓋(18)、套固在所述主動(dòng)軸(3 上用于將主動(dòng)軸(3 固定于電機(jī)一側(cè)的主動(dòng)軸套(14)、套固在該主動(dòng)軸套(14)上的主動(dòng)甩油盤(1 及套固在從動(dòng)軸(34)端部的電機(jī)側(cè)從動(dòng)甩油盤(19)。
3.按權(quán)利要求1所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述容置爪式轉(zhuǎn)子腔體包括二級(jí)腔體(5)、三級(jí)腔體(6)、四級(jí)腔體(7)及五級(jí)腔體(8)，各級(jí)腔體均設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口，并且上一級(jí)的排氣口與下一級(jí)的進(jìn)氣口相連，所述五級(jí)腔體(8)的排氣口與所述排氣腔(9)相連；所述各級(jí)腔體內(nèi)依次設(shè)有一正一反固套在主動(dòng)軸(3 與從動(dòng)軸(34)上的二級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子08)與二級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子(27)、三級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子06)與三級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子(25)、四級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子04)與四級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子(23)、五級(jí)爪式主動(dòng)轉(zhuǎn)子02)與五級(jí)爪式從動(dòng)轉(zhuǎn)子01)。
4.按權(quán)利要求3所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述各級(jí)轉(zhuǎn)子與泵腔的間隙為 0. 1 0. 2mm。
5.按權(quán)利要求3所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述各級(jí)腔體通過螺栓聯(lián)接，泵體尾部齒輪箱( 通過螺栓固接于一級(jí)腔體(4)。
6.按權(quán)利要求3所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述各級(jí)腔體間采用0型密封圈密封。
7.按權(quán)利要求3所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述各級(jí)泵腔內(nèi)的氣體由高真空向低真空逐級(jí)壓縮，壓縮比為9 8 6 3 2。
8.按權(quán)利要求1所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述腔體外部設(shè)有水冷裝置。
9.按權(quán)利要求1所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述電機(jī)包括外殼、電機(jī)定子 (15)、電機(jī)轉(zhuǎn)子(16)及輸出軸，其中輸出軸與所述主動(dòng)軸(35)同軸，電機(jī)轉(zhuǎn)子(16)套固在輸出軸上，電機(jī)定子(3 與泵體之間采用止口定位、并采用0型密封圈密封。
10.按權(quán)利要求1所述的多級(jí)干式真空泵，其特征在于所述主動(dòng)軸(35)、從動(dòng)軸(34) 與各腔體軸孔的間隙為0. 08 0. 15mm。
專利摘要本實(shí)用新型涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種羅茨和爪式轉(zhuǎn)子組合的多級(jí)干式真空泵。該泵由變頻電機(jī)、主從動(dòng)軸、一級(jí)羅茨主從動(dòng)轉(zhuǎn)子、四級(jí)爪式主從動(dòng)轉(zhuǎn)子、五個(gè)泵腔、排氣腔、軸承腔、油箱、齒輪箱、主從動(dòng)齒輪構(gòu)成，其中電機(jī)有水冷，泵腔外底部固定有水循環(huán)冷卻管；共有5級(jí)腔體，每級(jí)腔體中通過一定的氣體流道相通；本實(shí)用新型轉(zhuǎn)速高，體積小重量輕，一級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子和四級(jí)爪式轉(zhuǎn)子組合，羅茨轉(zhuǎn)子為高真空吸氣級(jí)，爪形轉(zhuǎn)子為壓縮排氣級(jí)，可以在低入口壓力下獲得大的抽氣速率，增大壓縮比提高極限真空度，節(jié)約能源，在抽速相同的情況下減小了泵的體積和重量，同時(shí)降低了氣流脈動(dòng)沖擊，減小噪音，并且實(shí)現(xiàn)直排大氣，不需要接前級(jí)泵即可工作。
文檔編號(hào)F04C25/02GK202326246SQ20112044677
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者劉在行, 王光玉, 雷震霖 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司