專利名稱：渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型屬于真空泵領(lǐng)域，具體地說是一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)。
技術(shù)背景[0002]目前，國內(nèi)對無油真空環(huán)境要求越來越多，半導(dǎo)體、LED等行業(yè)迅速發(fā)展，渦旋真空泵作為一種無油真空泵也得到迅速發(fā)展。[0003]現(xiàn)有渦旋真空泵在排氣時噪音較大，排氣口密封差，已無法滿足行業(yè)迅速發(fā)展的要求。實用新型內(nèi)容[0004]為了解決排氣噪音大、排氣口密封效果差的問題，本實用新型的目的在于提供一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)。該渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)排氣噪音低，氣流脈動沖擊小，密封效果好。[0005]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的[0006]本實用新型包括排氣適配器、閥擋、彈簧及橡膠閥芯，其中排氣適配器與真空泵密封螺紋連接，閥擋及橡膠閥芯分別安裝在排氣適配器內(nèi)的上下兩端，所述橡膠閥芯的一端位于排氣適配器上排氣口的頂部，另一端設(shè)有彈簧，該彈簧的頂端與閥擋抵接；在閥擋上方的排氣適配器內(nèi)設(shè)有固定閥擋及橡膠閥芯的孔用彈簧擋圈。[0007]其中所述排氣適配器內(nèi)沿軸向設(shè)有內(nèi)徑不同的孔，排氣口位于最下端，所述排氣適配器內(nèi)與橡膠閥芯接觸的面為弧面，該弧面位于排氣口的頂部；所述孔用彈簧擋圈、閥擋及橡膠閥芯分別通過排氣適配器內(nèi)壁上的止口定位；所述閥擋由圓盤及其下方的第一錐臺組成，在圓盤上周向均布有多個供排氣的通孔；所述彈簧的頂端套在第一錐臺上、并抵接于圓盤的底面；所述通孔在圓盤徑向截面的投影為弧形；所述橡膠閥芯由圓柱及其下方的第二錐臺組成，所述彈簧的底端套在第二錐臺上、并抵接于圓柱的一面，圓柱的另一面為與排氣適配器接觸的球面；所述圓柱的外表面周向均布有多個起導(dǎo)向作用的導(dǎo)向塊。[0008]本實用新型的優(yōu)點與積極效果為[0009]本實用新型的排氣適配器與真空泵密封螺紋連接，密封性好；利用彈簧使被氣體沖開的橡膠閥芯復(fù)位，橡膠閥芯采用球面和橡膠材料，與排氣適配器完全吻合，減少排氣振動和噪聲音，密封效果好。


[0010]圖1為本實用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；[0011]圖2為圖1中排氣適配器的結(jié)構(gòu)剖視圖；[0012]圖3為圖1中閥擋的主視圖；[0013]圖4為圖3的俯視圖；[0014]圖5為圖1中橡膠閥芯的主視圖；[0015]圖6為圖5的俯視圖；[0016]其中1為排氣適配器，2為孔用彈簧擋圈，3為閥擋，4為彈簧，5為橡膠閥芯，6為通孔，7為排氣口，8為圓盤，9為第一錐臺，10為圓柱，11為第二錐臺，12為導(dǎo)向塊。
具體實施方式
[0017]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳述。[0018]如圖1所示，本實用新型包括排氣適配器1、孔用彈簧擋圈2、閥擋3、彈簧4及橡膠閥芯5，其中排氣適配器1的下端與真空泵密封螺紋連接，密封性好；閥擋3及橡膠閥芯5分別安裝在排氣適配器1內(nèi)的上下兩端，所述橡膠閥芯5的一端位于排氣適配器1上排氣口 7的頂部，另一端設(shè)有彈簧4，該彈簧4的頂端與閥擋3抵接；在閥擋3上方的排氣適配器1 內(nèi)設(shè)有固定閥擋3及橡膠閥芯5的孔用彈簧擋圈2。[0019]如圖2所示，排氣適配器1下端外表面設(shè)有外螺紋，與真空泵密封螺紋連接；排氣適配器1內(nèi)沿軸向設(shè)有內(nèi)徑不同的孔，在孔徑改變處形成定位止口，孔用彈簧擋圈2、閥擋3 及橡膠閥芯5分別通過排氣適配器1內(nèi)壁上的止口定位；排氣口 7位于排氣適配器1內(nèi)孔的最下端、孔徑也最?。凰雠艢膺m配器1內(nèi)與橡膠閥芯5接觸的面為弧面，該弧面位于排氣口 7的頂部。[0020]如圖3、圖4所示，閥擋3由圓盤8及其下方的第一錐臺9組成，在圓盤8上沿軸向開有多個供排氣的通孔6 (本實施例為三個)，多個通孔6周向均布，通孔6在圓盤8徑向截面的投影為弧形；第一錐臺9直徑較大的一端在上，直徑較小的一端在下，方便與彈簧4連接；所述彈簧4的頂端套在第一錐臺9上、并抵接于圓盤8的底面。[0021]如圖5、圖6所示，橡膠閥芯5由圓柱10及其下方的第二錐臺11組成，橡膠閥芯5 倒置在排氣適配器1內(nèi)，即第二錐臺11在上、圓柱10在下；其中第二錐臺11直徑較小的一端在上，直徑較大的一端在下，方便與彈簧4連接；所述彈簧4的底端套在第二錐臺11上、 并抵接于圓柱10的一面，圓柱10的另一面為與排氣適配器1接觸的球面。在圓柱10的外表面周向均布有多個起導(dǎo)向作用的導(dǎo)向塊12。[0022]本實用新型的工件原理為[0023]不排氣時，橡膠閥芯5中圓柱10的球面抵接在排氣適配器1內(nèi)，將排氣口 7堵住。 當(dāng)渦旋真空泵的排氣氣流經(jīng)過排氣口 7時，沖開橡膠閥芯5排氣，彈簧4壓縮，氣體進(jìn)入排氣適配器內(nèi)部、由閥擋3上的通孔6排出。當(dāng)排氣完畢后，利用彈簧4的彈力使橡膠閥芯5 復(fù)位，橡膠閥芯5上的球面與排氣適配器的弧面貼合密封，并減少反流。由于橡膠閥芯5采用球面以及采用橡膠材料與排氣適配器1完全吻合，減少排氣振動和噪音。
權(quán)利要求1.一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，其特征在于包括排氣適配器(1)、閥擋(3)、彈簧(4) 及橡膠閥芯(5)，其中排氣適配器(1)與真空泵密封螺紋連接，閥擋(3)及橡膠閥芯(5)分別安裝在排氣適配器(1)內(nèi)的上下兩端，所述橡膠閥芯(5)的一端位于排氣適配器(1)上排氣口(7)的頂部，另一端設(shè)有彈簧G)，該彈簧(4)的頂端與閥擋C3)抵接；在閥擋(3)上方的排氣適配器⑴內(nèi)設(shè)有固定閥擋⑶及橡膠閥芯(5)的孔用彈簧擋圈O)。
2.按權(quán)利要求1所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，其特征在于所述排氣適配器(1)內(nèi)沿軸向設(shè)有內(nèi)徑不同的孔，排氣口(7)位于最下端，所述排氣適配器(1)內(nèi)與橡膠閥芯(5) 接觸的面為弧面，該弧面位于排氣口(7)的頂部。
3.按權(quán)利要求2所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，其特征在于所述孔用彈簧擋圈O)、 閥擋( 及橡膠閥芯( 分別通過排氣適配器(1)內(nèi)壁上的止口定位。
4.按權(quán)利要求1所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，其特征在于所述閥擋(3)由圓盤(8) 及其下方的第一錐臺(9)組成，在圓盤(8)上周向均布有多個供排氣的通孔(6)；所述彈簧 (4)的頂端套在第一錐臺(9)上、并抵接于圓盤(8)的底面。
5.按權(quán)利要求4所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，其特征在于所述通孔(6)在圓盤(8) 徑向截面的投影為弧形。
6.按權(quán)利要求1所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，其特征在于所述橡膠閥芯(5)由圓柱(10)及其下方的第二錐臺(11)組成，所述彈簧的底端套在第二錐臺(11)上、并抵接于圓柱(10)的一面，圓柱(10)的另一面為與排氣適配器(1)接觸的球面。
7.按權(quán)利要求6所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，其特征在于所述圓柱(10)的外表面周向均布有多個起導(dǎo)向作用的導(dǎo)向塊(12)。
專利摘要本實用新型屬于真空泵領(lǐng)域，具體地說是一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)，包括排氣適配器、閥擋、彈簧及橡膠閥芯，其中排氣適配器與真空泵密封螺紋連接，閥擋及橡膠閥芯分別安裝在排氣適配器內(nèi)的上下兩端，橡膠閥芯的一端位于排氣適配器上排氣口的頂部，另一端設(shè)有彈簧，該彈簧的頂端與閥擋抵接；在閥擋上方的排氣適配器內(nèi)設(shè)有固定閥擋及橡膠閥芯的孔用彈簧擋圈。本實用新型的排氣適配器與真空泵密封螺紋連接，密封性好；本實用新型利用彈簧使被氣體沖開的橡膠閥芯復(fù)位，橡膠閥芯采用球面和橡膠材料，與排氣適配器完全吻合，減少排氣振動和噪聲音，密封效果好。
文檔編號F04C25/02GK202326261SQ20112044691
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者劉在行, 王光玉, 雷震霖 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司