專利名稱：半導(dǎo)體傳感器裝置的殼體及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到一個(gè)半導(dǎo)體-傳感器裝置的一個(gè)殼體，其中一個(gè)傳感器和一個(gè)計(jì)算邏輯被集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊中并且被安排在一個(gè)殼體基體中，此時(shí)殼體是用一個(gè)薄膜封閉的。此外本發(fā)明還涉及到制造一種這樣的殼體的方法。
人們已經(jīng)知道半導(dǎo)體傳感器必須在過程-和環(huán)境影響下受到保護(hù)。但是在這里卻要求，一個(gè)半導(dǎo)體傳感器對(duì)于被測(cè)量的物質(zhì)應(yīng)保持可以接近的。這樣例如對(duì)于一個(gè)半導(dǎo)體-壓力傳感器裝置來說真正的半導(dǎo)體-壓力-傳感器就必須與被測(cè)量的壓力是可以耦合的。用另外的話來說，一個(gè)變化著的壓力必須具有作用到半導(dǎo)體傳感器表面上的可能性。例如相應(yīng)地也適用于溫度傳感器，濕度傳感器等。此時(shí)應(yīng)注意的是，由于保護(hù)半導(dǎo)體傳感器的殼體被引起一個(gè)盡可能小的測(cè)量延遲。
在一個(gè)已有的半導(dǎo)體-壓力傳感器裝置上在一個(gè)板子上的真正的半導(dǎo)體傳感器的半導(dǎo)體塊被安放在具有一個(gè)薄膜的一個(gè)內(nèi)殼體上，它與一個(gè)計(jì)算邏輯一起被安排在一個(gè)上面的殼體內(nèi)。測(cè)量介質(zhì)，至少是空氣以及氣體，進(jìn)入內(nèi)殼體的入口是通過上殼體的一個(gè)硅樹脂薄膜進(jìn)行的。一個(gè)這樣的結(jié)構(gòu)自然將導(dǎo)致相對(duì)大的部件組，因?yàn)榘雽?dǎo)體傳感器和計(jì)算邏輯被安排在不同的半導(dǎo)體塊中。
半導(dǎo)體-傳感器裝置，在其中真正的半導(dǎo)體傳感器和計(jì)算邏輯被統(tǒng)一在一個(gè)半導(dǎo)體塊中，必須被安排在一個(gè)一邊開口的殼體內(nèi)。到目前為止一邊開口的殼體里的一個(gè)這樣的半導(dǎo)體塊在它接通以后在這個(gè)邊上例如用硅膠或一種類似的材料覆蓋住或澆注上。但是這卻顯示出，一種這樣的覆蓋材料對(duì)于半導(dǎo)體塊不能提供充分的機(jī)械保護(hù)并且此外在它的表面顯示出一定的稠黏性，這對(duì)實(shí)際應(yīng)用是有障礙的。半導(dǎo)體塊在機(jī)械力作用下破碎的危險(xiǎn)性以及，沉積在半導(dǎo)體-傳感器裝置表面上的粒子的影響都是缺點(diǎn)并且還有可能影響到傳感器的特性曲線。
在US-A-4,732,042中例如敘述了一個(gè)半導(dǎo)體-壓力傳感器裝置，在其中半導(dǎo)體塊被封閉在一個(gè)硅樹脂橡膠里，它在一邊有一個(gè)薄膜。在這個(gè)半導(dǎo)體-傳感器裝置上半導(dǎo)體塊的底邊通過殼體上的一個(gè)孔是可以自由接近的，這樣在這里就存在著一個(gè)機(jī)械損壞的危險(xiǎn)。而且這個(gè)半導(dǎo)體-傳感器裝置沒有集成在半導(dǎo)體塊上的計(jì)算邏輯。
此外在EP-A-0 286 867中敘述了一個(gè)半導(dǎo)體-壓力傳感器裝置，在其中一個(gè)半導(dǎo)體塊被固定在一個(gè)印刷電路板上和用一個(gè)軟塑性的塑料被覆蓋住。這個(gè)軟塑性的塑料被注入具有一個(gè)開口的殼體中，這樣壓力通過軟塑性的塑料被傳遞給半導(dǎo)體塊。在這里半導(dǎo)體塊的一個(gè)損壞也是有可能的，因?yàn)檐浰苄缘乃芰显趶?qiáng)機(jī)械作用下并不能始終提供一個(gè)可靠的保護(hù)。
另外從DE-A-44 36 485中已知，在一個(gè)加速度-測(cè)試儀中在一個(gè)殼體里硅-應(yīng)變計(jì)被放在一個(gè)膠體介質(zhì)中。這種膠體介質(zhì)相對(duì)比較軟，這樣硅-應(yīng)變計(jì)在機(jī)械作用下的一個(gè)安全的保護(hù)不可能得到保障。
從“Habekotte E.等人在電子學(xué)1/5.1.1990，第80-87頁(yè)”和”Kayal H.A.，Rauch N.在電子學(xué)9/29.4.1988，第112-117頁(yè)”中已知的半導(dǎo)體傳感器裝置，在其中一個(gè)傳感器和一個(gè)計(jì)算邏輯被共同集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊中。從而制造成本以及結(jié)構(gòu)部件尺寸被降低。
最后從DE 44 13 274 A1中在一個(gè)上開口殼體中的一個(gè)壓力傳感器裝置是已知的。殼體是用一個(gè)薄膜大面積被覆蓋住和封閉住的。這種裝置在強(qiáng)機(jī)械作用下同樣不能提供給壓力傳感器一個(gè)可靠的保護(hù)。
因此本發(fā)明的任務(wù)是，為一種半導(dǎo)體-傳感器裝置建立一種殼體，在其中傳感器和計(jì)算邏輯被集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊中，它對(duì)于被測(cè)量的物質(zhì)是可以接近的并且即使在比較強(qiáng)的機(jī)械作用下在一個(gè)損壞面前也能可靠地被保護(hù)的此外還應(yīng)給出制造一種這樣的殼體的一個(gè)方法。
對(duì)于一個(gè)半導(dǎo)體傳感器裝置的殼體此任務(wù)是按照開始敘述的方式在裝置方面是由權(quán)利要求1以及權(quán)利要求8的特征解決的。在方法方面此任務(wù)是由權(quán)利要求16的特征解決的。具有優(yōu)越性的改進(jìn)被各自敘述在從屬權(quán)利要求中。
在本發(fā)明中傳感器和計(jì)算電子被集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊中。但是這個(gè)半導(dǎo)體塊不是被安放在一個(gè)內(nèi)部的殼體中而是附加地被安排在一個(gè)上面的殼體里。更多的是只使用一個(gè)殼體，它的具有薄膜和/或迷宮式密封的蓋子是這樣構(gòu)造的，它也可以承受較大的機(jī)械負(fù)荷。
此外作為薄膜的蓋子例如可以是一個(gè)金屬膜，金屬膜將由塑料制成的一個(gè)蓋子基體上的貫通開口隔斷并且只在這些貫通開口處是自由放置的。金屬膜在這里不是以它的整個(gè)面積自由放置，而更多的是很大的部分是用塑料由外部注入的，這樣在一個(gè)壓力傳感器上壓力只通過貫通開口被傳送到作為薄膜的金屬膜上。
也是可能的，在由塑料制成的具有一個(gè)開口的蓋子基體的邊緣上的薄膜被安排在它的底邊。這樣薄膜在整個(gè)平面上受到保護(hù)并且只有通過蓋子基體的開口才能接近。
薄膜也可以被固定在具有一個(gè)開口的蓋子基體的邊緣內(nèi)部的一個(gè)環(huán)形的臺(tái)階上。這樣就有可能，將薄膜“圓形的”懸掛起來，由于它的優(yōu)異的固有振動(dòng)將改善半導(dǎo)體-傳感器裝置的動(dòng)作參數(shù)特性。
最好開口被安排在蓋子基體的中央，以便使薄膜也在它的中央接受被測(cè)量介質(zhì)的負(fù)荷。
被安排在蓋子基體內(nèi)面的一個(gè)迷宮式密封，也有可能代替薄膜。必要時(shí)也可以同時(shí)使用一個(gè)薄膜和一個(gè)迷宮式密封。
迷宮式密封例如可以包括一個(gè)螺旋槽，它從一個(gè)位于蓋子基體邊緣的外開口通向一個(gè)位于蓋子基體中央的內(nèi)開口并且用一個(gè)金屬薄膜在蓋子基體的內(nèi)邊被覆蓋住。在一個(gè)這樣的構(gòu)造中半導(dǎo)體塊對(duì)于機(jī)械作用被受到最可靠的保護(hù)，因?yàn)樵谕忾_口和內(nèi)開口之間沒有直接的和直線的入口存在。
在迷宮式密封中有利的是可以，例如以一種液體滴的形式，放入一種密封介質(zhì)?？梢允褂靡环N油滴作為液體滴。當(dāng)壓力改變時(shí)這種液體滴無(wú)阻力地在蜿曲形狀的迷宮式密封中來回流動(dòng)并且此時(shí)迷宮式密封在外開口和內(nèi)開口之間可靠地密封。
迷宮式密封也可以由一個(gè)螺旋式的小徑構(gòu)成，它被置入于蓋子基體和一個(gè)膜之間并且被通向位于蓋子基體邊緣的一個(gè)外開口和位于薄膜中央的一個(gè)內(nèi)開口之間。一個(gè)這樣的小徑可以用簡(jiǎn)單的方法通過一個(gè)壓鑄模具制造。
蓋子也可以由一種壓鑄件構(gòu)成，在鑄件上至少這樣地安排一個(gè)貫通開口，一個(gè)直線的貫通到殼體內(nèi)部被阻止，這樣這個(gè)貫通開口也構(gòu)成為一個(gè)“迷宮式密封”。
此外也是可能的，將蓋子由兩個(gè)相互咬合的塑料件制成，它們是通過一個(gè)彈性介質(zhì)相互耦合的并且打開一個(gè)阻止一個(gè)直線貫通到殼體內(nèi)部的貫通開口，一旦彈性介質(zhì)受到一個(gè)一定的壓力負(fù)荷時(shí)。在這里貫通開口也表示一個(gè)“迷宮式密封”，它避免半導(dǎo)體塊的一個(gè)機(jī)械損壞。
按照本發(fā)明的半導(dǎo)體-傳感器裝置是用簡(jiǎn)單的方法制造的殼體基體和蓋子可以放在分開的傳送帶上被傳送到一個(gè)工作站上并且在那里相互連接。同樣也可以將蓋子基體和例如一個(gè)金屬薄膜在分開的傳送帶上被傳送并且在一個(gè)工作站上為形成一個(gè)蓋子被相互連接。
以下本發(fā)明將借助于附圖被進(jìn)一步敘述。它們表示附

圖1通過按照本發(fā)明的一個(gè)殼體的一個(gè)半導(dǎo)體-傳感器裝置的一個(gè)截面圖；附圖2通過按照本發(fā)明的一個(gè)第一個(gè)實(shí)施例的一個(gè)蓋子的一個(gè)截面圖；附圖3通過按照本發(fā)明的一個(gè)第二個(gè)實(shí)施例的一個(gè)蓋子的一個(gè)截面圖；附圖4通過按照本發(fā)明的一個(gè)第三個(gè)實(shí)施例的一個(gè)蓋子的一個(gè)截面圖；附圖5按照第三個(gè)實(shí)施例的蓋子的一個(gè)透視圖；附圖6通過按照本發(fā)明的一個(gè)第四個(gè)實(shí)施例的一個(gè)蓋子的一個(gè)截面圖；附圖7附圖6的蓋子的一個(gè)局部圖A；附圖8附圖6的蓋子由下向上的一個(gè)簡(jiǎn)圖；附圖9通過按照本發(fā)明的一個(gè)第五個(gè)實(shí)施例的一個(gè)殼體的一個(gè)截面圖；附圖10為了說明按照本發(fā)明的殼體制造的一個(gè)簡(jiǎn)圖；附圖11通過按照本發(fā)明的一個(gè)第六個(gè)實(shí)施例的一個(gè)殼體的一個(gè)截面圖；附圖12按照本發(fā)明的一個(gè)第七個(gè)實(shí)施例的一個(gè)蓋子的俯視圖；附圖13和14通過附圖12的蓋子的截面圖；附圖15和16通過按照本發(fā)明的一個(gè)第八個(gè)實(shí)施例的一個(gè)蓋子的截面圖，和附圖17按照本發(fā)明的第八個(gè)實(shí)施例的蓋子的一個(gè)透視圖。
在附圖1上基本上表示了一個(gè)按照本發(fā)明的一個(gè)半導(dǎo)體-傳感器裝置的殼體，它是由一個(gè)殼體基體1、一個(gè)安放在它上面的半導(dǎo)體塊2和將半導(dǎo)體塊2封閉在殼體基體1內(nèi)的一個(gè)蓋子3組成的。半導(dǎo)體塊2是通過連接導(dǎo)線連接的，它們?cè)诟綀D1中只用簡(jiǎn)圖表示。殼體的內(nèi)部必須對(duì)于被測(cè)量的介質(zhì)是可以接近的，為此例如蓋子3可以包括一個(gè)薄膜5，它是在一個(gè)貫通開口6的上面自由放置的，這樣一個(gè)壓力傳感器通過這個(gè)薄膜5壓力就可以作用在半導(dǎo)體塊2上。
現(xiàn)在附圖2表示了按照本發(fā)明的一個(gè)第一個(gè)具體的實(shí)施例在這里蓋子3是由一個(gè)塑料的蓋子基體4，薄膜5的一個(gè)金屬膜被置入蓋子基體，金屬膜是被噴射在蓋子基體4的塑料上的。在蓋子基體4上安排有幾個(gè)貫通開口6，這樣薄膜5的金屬膜在這些貫通開口6內(nèi)是自由放置的并且壓力可以被傳遞到殼體內(nèi)部。
在附圖2上表示的蓋子例如將它的邊緣7放在殼體基體1的一個(gè)邊緣8上并且與其粘在一起，然后半導(dǎo)體塊2用適當(dāng)?shù)姆椒ū唤佑|。
附圖3表示了按照本發(fā)明的一個(gè)第二個(gè)實(shí)施例，其中在蓋子基體4的凸緣7上被固定了一個(gè)塑料膜5，例如硅樹脂或金屬。由塑料制成的的蓋子基體4在這里在它的中央有一個(gè)貫通開口6，這樣位于它的中央的薄膜5被承受由外部作用的壓力，這樣對(duì)它的動(dòng)作參數(shù)特性有好的影響。
附圖4在按照本發(fā)明的一個(gè)第三個(gè)實(shí)施例中表示了與附圖3不同的一個(gè)實(shí)施例在這里薄膜5是懸掛在蓋子基體4下邊的一個(gè)圓形的突起28上，這樣按照附圖3的實(shí)施例中的方形的或矩形的懸掛可以被改變成一個(gè)圓形的懸掛，這對(duì)于薄膜5的動(dòng)作參數(shù)特性是有好處的。
附圖5表示了附圖4上的蓋子的透視圖，在其中明顯地看到薄膜5的圓的形狀。為了表示的清楚起見貫通開口6被表示在附圖5上，雖然實(shí)際上它是被薄膜5遮擋住的。
在附圖3至5的實(shí)施例中薄膜5被構(gòu)成為波紋狀的，這對(duì)于壓力傳送已經(jīng)被證實(shí)是合適的。
附圖6表示了按照本發(fā)明的一個(gè)第四個(gè)實(shí)施例，在其中在一個(gè)蓋子基體4上被制作上了一個(gè)螺旋狀的迷宮式密封9，它是由一個(gè)外開口10通向一個(gè)內(nèi)開口11，如在附圖8中用簡(jiǎn)圖表示的。附圖7表示了在蓋子基體4上的這個(gè)迷宮式密封9的一個(gè)局部圖。
迷宮式密封9例如可以被安排在蓋子基體4上，當(dāng)它在澆注時(shí)用一個(gè)相應(yīng)的槽并且隨后用一個(gè)例如由金屬構(gòu)成的膜12被“封閉”住。在附圖6上為了明顯起見這個(gè)膜12被“加強(qiáng)”表示了。迷宮式密封9在壓力傳送時(shí)作為一個(gè)阻尼，因?yàn)橐?jīng)過一定的時(shí)間，直到一個(gè)作用在外開口10上的壓力改變經(jīng)過迷宮式密封9到達(dá)內(nèi)開口11。
一個(gè)液體滴13，例如是油，如在附圖8簡(jiǎn)圖中表示的，可以被放入迷宮式密封，以便作為外開口10和內(nèi)開口11之間的進(jìn)一步的密封用。
附圖9表示了按照本發(fā)明的一個(gè)第五個(gè)實(shí)施例的一個(gè)殼體，在其中與附圖6至8的第四個(gè)實(shí)施例類似地在蓋子基體4上安排有迷宮式密封9和用一個(gè)由膜12或由一個(gè)薄銅件的一個(gè)內(nèi)覆蓋被封閉住。這個(gè)內(nèi)覆蓋可以與蓋子基體4借助于一種粘附的膠連接在一起。在它的邊緣7上蓋子基體4與殼體基體1的邊緣8粘在一起。外邊的電連接14只是簡(jiǎn)化地表示在附圖9上。
在附圖9中與附圖6至8的實(shí)施例不同的是外開口10位于蓋子基體4的中央，而內(nèi)開口11被安排在蓋子基體4的邊緣上。當(dāng)然不是一定有必要，將外開口10安排在蓋子基體4的中央，雖然這原本被證實(shí)是合適的，以便使在半導(dǎo)體塊2上作用的壓力可以是“居中”的。
附圖10用簡(jiǎn)圖表示了，按照本發(fā)明的殼體是如何用傳送帶制造的在一個(gè)第一個(gè)傳送帶15上具有一個(gè)迷宮式密封9的一個(gè)蓋子基體4被傳過來并且被一個(gè)(沒有表示)吸附式檢查儀吸住。此時(shí)可能是合適的，將外開口10不安排在中央(如圖所示)，以便使吸附式檢查儀可以可靠地吸住蓋子基體4。然后將蓋子基體4用一個(gè)膜12粘住，它是由一個(gè)第二個(gè)傳送帶16被傳過來的并且被從一個(gè)襯墊17上拉下來。蓋子基體4與膜12的連接是用一個(gè)括弧帶一個(gè)箭頭18簡(jiǎn)化表示的。蓋子基體4和被固定在上面的膜12隨后被借助于一個(gè)栓塞式-粘接劑加料器被粘接在一個(gè)殼體基體1的外邊緣8上，它是由一個(gè)第三個(gè)傳送帶19被傳送過來的。
按照本發(fā)明的殼體用這種方法可以容易地借助于三個(gè)傳送帶被組裝在一起。
附圖11表示了本發(fā)明的一個(gè)第六個(gè)實(shí)施例，其中蓋子基體4是由金屬-或塑料板制成的，在其上被粘上一個(gè)螺旋形的小徑20，在它的底面上又安排了一個(gè)由金屬或塑料構(gòu)成的膜12。小徑20在外開口10和內(nèi)開口11之間構(gòu)成一個(gè)蜿曲形狀的迷宮式密封9。小徑20可以最好被制造成一個(gè)壓鑄件。在這個(gè)迷宮式密封9中和在上述實(shí)施例中一樣也可以放入一個(gè)液體滴作為密封。
附圖12至14表示了一個(gè)第七個(gè)按照本發(fā)明的特別堅(jiān)固的殼體的蓋子3的實(shí)施例。這里蓋子3是由一個(gè)壓鑄件構(gòu)成的，它對(duì)于一共三個(gè)外開口10(見附圖12上視圖)用三個(gè)芯子和對(duì)于內(nèi)開口11用一個(gè)芯子可以被制造成，如從附圖13和14中可以看清楚的，由外開口10到內(nèi)開口11沒有直線的貫通，這樣在這里也相當(dāng)于有一個(gè)迷宮式密封。因而保證了位于蓋子3下面的半導(dǎo)體塊2的一個(gè)可靠的保護(hù)。
附圖15至17最后表示了按照本發(fā)明的一個(gè)第八個(gè)實(shí)施例，在其中在兩個(gè)蓋子一半21和22之間，它們是借助于一個(gè)鼻子相互咬合的，被安排了一個(gè)“彈性介質(zhì)”。如果由外部作用到蓋子件21上一個(gè)壓力，則彈性介質(zhì)23被壓縮(見附圖16)，因而一個(gè)貫通開口24被打開。兩個(gè)蓋子一半21和22是由塑料制成的并且與在附圖12至14上的實(shí)施例的蓋子基體4一樣是由壓鑄制造成的。代替在附圖17中表示的一個(gè)貫通開口24例如也可以制成三個(gè)貫通開口。第八個(gè)實(shí)施例的蓋子使一個(gè)半導(dǎo)體-壓力傳感器裝置，只有從一個(gè)一定的閾值開始動(dòng)作，一旦彈性介質(zhì)23被壓縮時(shí)。對(duì)于這種彈性介質(zhì)23可以用發(fā)泡材料，氣柱或者也可以使用橡膠。
按照本發(fā)明的殼體當(dāng)然不僅被限制使用在一種半導(dǎo)體-傳感器裝置上，在其中一個(gè)傳感器和一個(gè)計(jì)算邏輯被集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊中。同樣可以以優(yōu)異的方式被使用在一種半導(dǎo)體-傳感器裝置上，在其中傳感器和計(jì)算邏輯具有不同的半導(dǎo)體塊和被放入一個(gè)單個(gè)的共同的殼體中或放入兩個(gè)單獨(dú)的殼體中。在第二種情況下則傳感器自己具有一個(gè)按照本發(fā)明的殼體。
參考符號(hào)表1殼體基體2半導(dǎo)體塊3蓋子4蓋子基體5薄膜6貫通開口7，8 邊緣9迷宮式密封10 外開口11 內(nèi)開口12 膜13 液體滴14 接線15，16 傳送帶17 襯墊18 箭頭19 傳送帶20 小徑21，22 蓋子另件23 彈性介質(zhì)24 貫通開口28 臺(tái)階
權(quán)利要求
1.一個(gè)半導(dǎo)體-傳感器裝置的殼體，在其中一個(gè)傳感器和一個(gè)計(jì)算邏輯被集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊(2)中并且被安排在一個(gè)殼體基體(1)中，此時(shí)殼體被一個(gè)薄膜(5)封閉住，其特征為，一個(gè)蓋子(3)是直接放在殼體基體(1)上并且有一個(gè)蓋子基體(4)具有至少一個(gè)貫通開口(6)，薄膜(5)截?cái)嘭炌ㄩ_口并且只是自由地放置在這個(gè)貫通開口(6)上。
2.按照權(quán)利要求1的殼體，其特征為，薄膜(5)被安放在蓋子基體(4)的底邊上。
3.按照權(quán)利要求1的殼體，其特征為，在蓋子基體(4)的中央有一個(gè)貫通開口(6)。
4.按照權(quán)利要求1的殼體，其特征為，薄膜(5)是被置入在一個(gè)由塑料制成的蓋子基體(4)中的。
5.按照權(quán)利要求1或2的殼體，其特征為，薄膜(5)是被安放在蓋子基體(4)的一個(gè)升高的邊沿(7)上的。
6.按照權(quán)利要求1或2的殼體，其特征為，薄膜(5)是被安放在蓋子基體(4)的邊緣(7)內(nèi)的一個(gè)環(huán)形臺(tái)階(28)上的。
7.按照權(quán)利要求1至6之一的殼體，其特征為，薄膜是一個(gè)金屬膜(5)。
8.一個(gè)半導(dǎo)體-傳感器裝置的殼體，在其中一個(gè)傳感器和一個(gè)計(jì)算邏輯被集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊(2)上并且被安排在一個(gè)殼體基體(1)中，此時(shí)殼體是被壓力通過封閉住的，其特征為，一個(gè)將半導(dǎo)體塊(2)封閉在殼體基體(1)里的蓋子(3)被直接放在殼體基體(1)上并且一個(gè)蓋子基體(4)具有至少一個(gè)貫通開口(6)，貫通開口(6)有一個(gè)迷宮式密封(9)。
9.按照權(quán)利要求8的殼體，其特征為，迷宮式密封(9)是安排在一個(gè)蓋子基體(4)的內(nèi)面上的。
10.按照權(quán)利要求8的殼體，其特征為，迷宮式密封包括一個(gè)螺旋槽(9)，它從一個(gè)位于蓋子基體(4)邊緣的外開口(10)通到位于蓋子基體(4)中央的內(nèi)開口(11)并且被用一個(gè)金屬膜(12)覆蓋住。
11.按照權(quán)利要求8、9或10的殼體，其特征為，一種密封介質(zhì)(13)以一種液體滴的形式被放入迷宮式密封(9)中。
12.按照權(quán)利要求11的殼體，其特征為，液體是油。
13.按照權(quán)利要求8的殼體，其特征為，迷宮式密封(9)是由一個(gè)螺旋形的小徑(20)構(gòu)成的，它被置入于一個(gè)蓋子基體(4)和一個(gè)膜(12)之間并且通向位于蓋子基體(4)邊緣的一個(gè)外開口(10)和位于膜(12)中央的一個(gè)內(nèi)開口(11)之間。
14.按照權(quán)利要求1或8的殼體，其特征為，由一個(gè)壓鑄件構(gòu)成的蓋子(3)，在其中一個(gè)貫通開口(10，11，24)至少應(yīng)這樣安排，一個(gè)到殼體的內(nèi)部的直線貫通被阻止。
15.按照權(quán)利要求1或8的殼體，其特征為，由兩個(gè)相互咬合的塑料件(21，22)組成的蓋子(3)，它們是通過一個(gè)彈性介質(zhì)(23)相互耦合的，并且當(dāng)彈性介質(zhì)(23)受到一個(gè)一定的壓力負(fù)荷時(shí)，打開阻止一個(gè)直線貫通到殼體內(nèi)部的一個(gè)貫通開口(24)。
16.按照權(quán)利要求1至15之一的殼體的制造方法，其特征為，殼體基體(1)和蓋子(3)在分開的傳送帶(15，16，19)上被傳送到一個(gè)工作站并且在那里被相互連接在一起。
17.按照權(quán)利要求16的方法制造按照權(quán)利要求10的殼體，其特征為，蓋子基體(4)和金屬膜(12)在分開的傳送帶(15，16)上被傳送到工作站并且在那里被相互連接在一起。
全文摘要
本發(fā)明涉及到一個(gè)半導(dǎo)體－傳感器裝置的一個(gè)殼體,在其中一個(gè)傳感器和一個(gè)計(jì)算邏輯被集成在一個(gè)半導(dǎo)體塊(2)中。殼體有一個(gè)殼體基體(1),半導(dǎo)體塊被安放在其上,并且一個(gè)將半導(dǎo)體塊(2)封閉在殼體基體(1)內(nèi)的蓋子(3)。這個(gè)蓋子(3)是被直接安放在殼體基體(1)上并且包括一個(gè)薄膜(5)和/或一個(gè)迷宮式密封(9)。
文檔編號(hào)B81B7/00GK1244918SQ97181313
公開日2000年2月16日 申請(qǐng)日期1997年12月5日 優(yōu)先權(quán)日1997年1月8日
發(fā)明者T·楊策克, B·斯塔德勒, D·豪德奧 申請(qǐng)人:西門子公司