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半導(dǎo)體傳感器裝置的殼體及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5271853

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本發(fā)明涉及到一個半導(dǎo)體-傳感器裝置的一個殼體,其中一個傳感器和一個計算邏輯被集成在一個半導(dǎo)體塊中并且被安排在一個殼體基體中,此時殼體是用一個薄膜封閉的。此外本發(fā)明還涉及到制造一種這樣的殼體的方法。人們已經(jīng)知道半導(dǎo)體傳感器必須在過程-和環(huán)境影響下受到保護(hù)。但是在這里卻要求,一個半導(dǎo)體傳感器對于被測量的物質(zhì)應(yīng)保持可以接近的。這樣例如對于一個半導(dǎo)體-壓力傳感器裝置來說真正的半導(dǎo)體-壓力-傳感器就必須與被測量的壓力是可以耦合的。用另外的話來說,一個變化著的壓力必須...
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