1.用于制造微機(jī)械構(gòu)件(1)的方法，該微機(jī)械構(gòu)件具有襯底(3)和與所述襯底(3)連接并且與所述襯底(3)包圍第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一壓力并且包含具有第一化學(xué)組分的第一氣體混合物，其中，
-在第一方法步驟(101)中，在所述襯底(3)或所述在罩(7)中構(gòu)造連接第一空穴(5)與所述微機(jī)械構(gòu)件(1)周圍環(huán)境(9)的進(jìn)入開口(11)，其中，
-在第二方法步驟(102)中，調(diào)節(jié)在所述第一空穴(5)中的第一壓力和/或第一化學(xué)組分，其中，
-在第三方法步驟(103)中，通過借助于激光將能量或熱量引入到所述襯底(3)或所述罩(7)的吸收部分中來封閉所述進(jìn)入開口(11)，其特征在于，
通過調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且通過調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度以使在所述襯底(3)或所述罩(7)中出現(xiàn)的應(yīng)力最小化，來進(jìn)行能量或熱量的引入。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，根據(jù)所使用的激光束(1201)的激光波長調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度。
3.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，根據(jù)所述襯底(3)或所述罩(7)的材料調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，根據(jù)所述襯底(3)或所述罩(7)的摻雜調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，根據(jù)所述襯底(3)或所述罩(7)的溫度調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，根據(jù)在所述襯底(3)中和/或在所述襯底(3)上或者在所述罩(7)中和/或在所述罩(7)上的層(1203)和/或結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，這樣根據(jù)所述層(1203)和/或所述結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度：所述層(1203)和/或所述結(jié)構(gòu)是沉積的層和/或結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，這樣根據(jù)所述層(1203)和/或所述結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度：所述層(1203)和/或所述結(jié)構(gòu)是摻雜的層和/或結(jié)構(gòu)。
9.微機(jī)械構(gòu)件(1)，所述微機(jī)械構(gòu)件具有襯底(3)和與所述襯底(3)連接并且與所述襯底(3)包圍第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一壓力和包含具有第一化學(xué)組分的第一氣體混合物，其中，所述襯底(3)或所述罩(7)包括封閉的進(jìn)入開口(11)，其特征在于，
所述襯底(3)或所述罩(7)包括材料區(qū)域(13)，該材料區(qū)域在將能量或熱量引入到所述襯底(3)或所述罩(7)的吸收部分中之后通過調(diào)節(jié)所述吸收部分的延伸尺度并且通過調(diào)節(jié)在所述吸收部分中的吸收強(qiáng)度以使在所述襯底(3)中或在所述罩(7)中出現(xiàn)的應(yīng)力最小化而固化并且封閉進(jìn)入開口(11)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機(jī)械構(gòu)件(1)，其中，所述微機(jī)械構(gòu)件(1)包括
-用于引入能量或熱量的所述襯底(3)或所述罩(7)的材料和/或
-用于引入能量或熱量的所述襯底(3)或所述罩(7)的摻雜和/或
-用于引入能量或熱量的在所述襯底(3)中和/或在所述襯底(3)上或者在所述罩(7)中和/或在所述罩(7)上的層(1203)和/或結(jié)構(gòu)。