專利名稱：在生物芯片或生物系統(tǒng)中使用的微致動(dòng)器器件的制作方法
在生物芯片或生物系統(tǒng)中使用 的微致動(dòng)器器件
本發(fā)明涉及在生物芯片或生物系統(tǒng)中使用的微致動(dòng)器器件。
已經(jīng)開發(fā)和使用了各種致動(dòng)機(jī)構(gòu)。在US 2004124384A1中公開了一 個(gè)例子，其中示出和描述了靜電可變形薄膜作為致動(dòng)元件。該致動(dòng)元 件被用作微型閥(valve)的開關(guān)元件。
微致動(dòng)器結(jié)構(gòu)可被用來創(chuàng)建流體的局部混合，或與正確的驅(qū)動(dòng)脈沖 一起用來創(chuàng)建液體的側(cè)向輸運(yùn)。如果要單獨(dú)控制大量結(jié)構(gòu)，則優(yōu)選的 是，使用有源矩陣來驅(qū)動(dòng)大量的獨(dú)立微致動(dòng)器。
用于生物化學(xué)或生物化學(xué)分析(如分子診斷)的生物芯片將成為各 種醫(yī)學(xué)、法醫(yī)和食品應(yīng)用的重要工具。這樣的生物芯片合并了一個(gè)桌 面機(jī)中的多個(gè)實(shí)驗(yàn)步驟。
在希望利用片上實(shí)驗(yàn)室(lab-on-a-chip)系統(tǒng)來執(zhí)行的幾乎所有規(guī) 程中，流體的輸運(yùn)(尤其是該流體內(nèi)的生物粒子的輸運(yùn))是至關(guān)重要 的。
存在多種可用于生物流體的致動(dòng)的輸運(yùn)方法。它們包括電致動(dòng)((雙 向)電泳和電滲)、毛細(xì)運(yùn)動(dòng)、經(jīng)由MEMS(微電機(jī)械)的壓力驅(qū)動(dòng)、溫度 梯度等。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是實(shí)現(xiàn)一種微致動(dòng)器器件，其用作生物傳 感器或生物系統(tǒng)或者至少生物芯片中的微泵，通過該器件可非常精確 有效地操縱致動(dòng)。
因此，解決方案是，微致動(dòng)器包括光敏元件構(gòu)成，該光敏元件可通 過來自光源的光子激活而從逆基本形狀變形為激活的變形形狀，以便 利用此受控運(yùn)動(dòng)來生成氣體或液體中的經(jīng)定義流。
因此，通過由權(quán)利要求1限定的、在生物傳感器中使用的微致動(dòng)器 器件來實(shí)現(xiàn)所述目的。
還在從屬權(quán)利要求2-15中限定了該系統(tǒng)或器件的其他實(shí)施例。
本發(fā)明的基本思想和作用在于，致動(dòng)器被光學(xué)地激勵(lì)，即借助于光子來激勵(lì)。
在本發(fā)明中，提議使用會(huì)根據(jù)光激勵(lì)而變形的光敏制動(dòng)器元件。這
通過在光照影響下經(jīng)歷可逆構(gòu)象(conformation)變化的液晶分子來實(shí) 現(xiàn)。
本發(fā)明的第 一 實(shí)施例是通過操縱由照射設(shè)備輸入到光敏元件中的 光子能量來影響所生成的運(yùn)動(dòng)的動(dòng)態(tài)參數(shù)。這通過如下描述的不同手 段來實(shí)現(xiàn)。
它的實(shí)施例是按以下方式構(gòu)造光敏元件所述逆基本形狀或基礎(chǔ)形 狀是至少部分巻繞的條，而所述變形形狀是該條的至少展平的形狀。 因此，運(yùn)動(dòng)序列可導(dǎo)致液體或氣體的流量。
在另一實(shí)施例中，在光源的二維光子處理陣列上布置光敏致動(dòng)器元 件的二維矩陣陣列，其中可相互獨(dú)立地操縱每一個(gè)光照射源，以便能 夠激活每一個(gè)光敏致動(dòng)器元件。
在有利實(shí)施例中，光敏致動(dòng)器元件的材料是液晶彈性體LCE。
用于激活的光源的一種容易的方式是發(fā)光二極管，并且在光子處理 區(qū)域的情況下，其是發(fā)光二極管的陣列。在這方面來說，使用有機(jī)發(fā) 光二極管OLED作為光源或分別作為光源是有利的?？扇菀椎貙⑦@些二 極管布置為二維陣列，以作為折疊在它們之上的致動(dòng)器陣列的激活陣 列。
在另一實(shí)施例中，在光源和光敏致動(dòng)器元件之間布置光快門部件。 這樣，可按已定義的預(yù)定方式來容易地生成陣列中的激活圖案。
在一個(gè)實(shí)施例中，光快門部件主要地且非排它性地包括液晶設(shè)備， 通過該液晶設(shè)備，能夠容易地開啟和關(guān)閉沒有光透射的區(qū)域，以便操 縱到光敏致動(dòng)器元件的光能的量。
其他替換實(shí)施例是可能的。因而，另一實(shí)施例是在光敏致動(dòng)器元件 和光源之間布置次級聚合體MEM致動(dòng)器作為光快門，其能夠通過熱量 或靜電來激活。將進(jìn)一步詳細(xì)描述該功能。
為了生成已定義的激活圖案，光快門部件被布置為無源矩陣陣列或 者有源矩陣陣列。兩種情況都是可能的并將進(jìn)一步描述。
在另一實(shí)施例中，光源是掃描激光束。這是非常特殊的，但也是可 能的，并且在特殊的情況下，是非常有利的構(gòu)造。盡管建議了無源矩 陣LCD或OLED,但可使用任何其他無源矩陣設(shè)備。不是使用集成光源，而是還可以使用能夠局部調(diào)制的任何其他光源。例如，這可以是無機(jī) 發(fā)光二極管的無源矩陣陣列或(可替換地)掃描激光束。
在另一實(shí)施例中，布置了兩個(gè)光源，致動(dòng)器的每一側(cè)上一個(gè)，以便
通過相機(jī)CCD(電荷耦合器件)陣列或光電二極管陣列來控制或反饋致 動(dòng)器的機(jī)械功能。
在另一實(shí)施例中，應(yīng)用特殊形式的電路，該用來操縱致動(dòng)器陣列的 電路已經(jīng)集成了光電二極管(Ll)作為電流源，其電流取決于入射光 源的強(qiáng)度，通過該光電二極管(Ll)產(chǎn)生致動(dòng)器的光學(xué)反饋。
另外，在一個(gè)實(shí)施例中，在該電路中布置了兩個(gè)開關(guān)，以便在用于 致動(dòng)器的光子致動(dòng)的光源(Ll)和用于致動(dòng)器的位置或致動(dòng)的光學(xué)反 饋的光源(L2)之間進(jìn)行切換。
在附圖顯示并在下文中描述具體實(shí)施例。
圖1至圖6中示出了不同的實(shí)施例。
圖1示出了可巻曲光控LCE(液晶彈性體)的原理。
圖2示出了 LCE分子機(jī)制。
圖3示出了受控照射。
圖4示出了光子LCE尋址(addressing)的例子。 圖5示出了具有集成光電二極管的LCE。 圖6示出了用于光學(xué)反饋的電路。 圖7示出了圖6的替代例。
圖1示出了光敏致動(dòng)器元件1的結(jié)構(gòu)?？稍趫D1的示意橫截面中看 到這些結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)通常包括被丙烯酸膜覆蓋的下層電極以及也被電 極覆蓋的第二丙烯酸膜。這是對于致動(dòng)器由靜電力激勵(lì)的情況。通過 光刻印刷和犧牲層蝕刻來構(gòu)造第二丙烯酸膜并使第二丙烯酸膜與襯底 分離。在兩個(gè)電極之間施加電壓差時(shí)，上層膜可克服內(nèi)部應(yīng)力引起的 力而不巻曲。當(dāng)移除電壓時(shí)，膜再次向上巻曲到其初始位置。該結(jié)構(gòu) 的長度可以在15和100nm之間。圖1示出了這樣的膜處于向上巻曲狀 態(tài)下的顯微圖。即使在存在流體的情況下，也可以以20-30Hz的頻率 來致動(dòng)這些結(jié)構(gòu)。已經(jīng)示出了這樣的結(jié)構(gòu)可用來有效地混合流體。靜 電致動(dòng)的一個(gè)問題是，可能發(fā)生電解。驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器所需的電壓取決于說明書第4/7頁
其設(shè)計(jì)，但是一般它們是數(shù)十伏。由于電極與流體(其通常是用于生 物應(yīng)用的水)直接接觸這一事實(shí)，這導(dǎo)致產(chǎn)生氣體。為了克服這一問 題，已經(jīng)提出了如光子致動(dòng)之類的其他方法。對于光子致動(dòng)，已開發(fā) 了基于液晶彈性體網(wǎng)絡(luò)的材料。在此情況下，液晶分子包含在光照影 響下經(jīng)歷異構(gòu)化的偶氮苯基團(tuán)。即，分子從伸直構(gòu)象變?yōu)榕そY(jié)構(gòu)象。
因而，用于致動(dòng)器1的光學(xué)致動(dòng)的光源可被布置在襯底2中或在襯底2 上，或者甚至在此構(gòu)造的頂部上，這意味著臨近光敏致動(dòng)器或致動(dòng)元 件1。
在其他附圖中示出了光源的不同布置和位置。
圖2示出了在光照影響下經(jīng)歷可逆構(gòu)象變化的液晶分子。通過控制 LC分子的初始定向以及彈性體網(wǎng)絡(luò)中的后續(xù)交叉鏈接，獲得了在被光 照射時(shí)(如通過彎曲)總體變形的材料。當(dāng)用不同波長的光照射時(shí)， 該效應(yīng)是可逆的。為了有效地使用此致動(dòng)機(jī)制，有必要局部地調(diào)制光。 盡管對于在片上實(shí)驗(yàn)室中的泵吸生物醫(yī)學(xué)流體而言，聚合物結(jié)構(gòu)的光 致動(dòng)是令人感興趣的，但僅僅在可局部地調(diào)制光的情況下這才是可能 的。例如，如果存在具有均勻照射的多行和多列LCE (液晶彈性體)結(jié)構(gòu)， 則僅僅可能發(fā)生混合而不是流動(dòng)?？砂凑者@樣的方式來驅(qū)動(dòng)這些結(jié)構(gòu) 以便使得沿著需要流體致動(dòng)的同一軸產(chǎn)生延遲的向上巻曲。
可通過利用空間可變的照射源的照射，來實(shí)現(xiàn)向上巻曲時(shí)LCE結(jié)構(gòu) 的不同區(qū)域之間的時(shí)間或相位延遲。圖3(尤其是在圖3(a)和3(b)中) 示意性地表示了 LCE對于均勻照射和可變照射的反應(yīng)的差異。如果有 必要產(chǎn)生某一流動(dòng)圖案(pattern),則光敏致動(dòng)元件1的照射可在沿著 所需運(yùn)動(dòng)的軸的單一方向上或者以2維在空間維度上改變?？裳刂?需流動(dòng)方向改變光脈沖的強(qiáng)度或者光脈沖的持續(xù)時(shí)間，或者光脈沖的 頻譜分布。
產(chǎn)生這樣的可變照射需要將可單獨(dú)控制的光源集成到襯底中。 由此，提出了本發(fā)明以使用無源矩陣光源，以便在必須尋址的區(qū)域 上進(jìn)行掃描。無源矩陣設(shè)備利用閾值電壓以使得僅僅在行和列的交叉 點(diǎn)處才存在用來激活光源的足夠電壓。盡管有可能尋址單獨(dú)LCE結(jié)構(gòu)， 但更有可能的是，它們將被按組來尋址。例如，這樣的無源矩陣光源3 可能是發(fā)射型的，如0LED 4 (有機(jī)發(fā)光二極管)(見圖4，尤其是在 圖4(a)中)。使用OLED作為光源的優(yōu)點(diǎn)在于
7-僅僅在致動(dòng)所需的位置處才產(chǎn)生光(低功率)， -薄膜封裝允許光源直接位于要致動(dòng)的區(qū)域下方(無視差)，-0LED可傳輸LCE結(jié)構(gòu)的光子調(diào)制所需的高峰值光強(qiáng)?？墒褂每扉T式光源(其意味著使用位于光源3、4(如圖4(b)的LCD) 上方的光快門7)來致動(dòng)光子LCE。 LCD使用液晶層來局部地阻擋位于 該設(shè)備后方的均勻光源。這具有能夠用兩個(gè)或更多個(gè)光源的優(yōu)點(diǎn)，以 及經(jīng)過多路復(fù)用可在相關(guān)時(shí)間幀中選擇或取消選擇LCE的優(yōu)點(diǎn)。缺點(diǎn) 是在LCD和LCE之間始終有個(gè)玻璃層，這可能導(dǎo)致視差。在圖4(c)中示出了替換實(shí)施例，其可能比無源矩陣LCD或OLED更 好。這是要利用圖4(c)的可靜電尋址的次級PMA (PolyMEMS致動(dòng)器) 結(jié)構(gòu)(例如，使用無源或有源矩陣)來致動(dòng)光子LCE。此實(shí)施例中利用 以下事實(shí)靜電PMA的向上巻曲具有電壓閾值。通過將靜電PMA置于 光子結(jié)構(gòu)之下，可利用它來局部地阻擋均勻光源，并且以此方式將光 學(xué)圖案轉(zhuǎn)印到光子LCE上。通過這樣做，事實(shí)上可保持對樣本的靜電 尋址，但是避免了與液體的電接觸以及因此帶來的電解。這樣的結(jié)構(gòu) 的優(yōu)點(diǎn)是，幾乎不存在視差，并且對于LCD，可使用兩個(gè)光源。盡管建議了無源矩陣LCD或0LED，但也可以使用任何其他無源矩 陣設(shè)備。而不是使用集成光源，而是還可使用能夠被局部調(diào)制的任何 其他光源。例如，這可以是無機(jī)發(fā)光二極管的無源矩陣陣列，或者可 替換地是掃描激光束。利用所述無源矩陣， 一次通常僅僅可以尋址一行。例如，如果有 100行，則LEC結(jié)構(gòu)的可尋址群組僅僅被暴露給光源占1%的時(shí)間。為 了能夠補(bǔ)償這一點(diǎn)，與持續(xù)運(yùn)行的光源相比，光源必須能夠在這短時(shí) 間段內(nèi)產(chǎn)生多100倍的光。為了能夠避免這一點(diǎn)，因?yàn)檫@樣的高光劑 量對于光源本身以及生物樣本二者通常都是有損害的，應(yīng)當(dāng)采用有源 矩陣。這與無源矩陣相比可減少連接數(shù)目，并且給電路設(shè)計(jì)帶來了更 大的靈活性。在最簡單的實(shí)施例中，基于標(biāo)準(zhǔn)有源矩陣的顯示器可位 于光子LCE結(jié)構(gòu)之后并用于致動(dòng)。可使用有源矩陣來驅(qū)動(dòng)諸如LC、OLED、 FED或無機(jī)LED之類的光源或光快門。盡管由于幾乎沒有開發(fā)成本，將商業(yè)上可獲得的諸如TFT-LCD之類 的單元放置到LCE結(jié)構(gòu)后面是有一定吸引力的，但要改善該單元以便 驅(qū)動(dòng)LCE。具體地，可采用光學(xué)反饋，以便感測LCE結(jié)構(gòu)是否已經(jīng)實(shí)際響應(yīng)于所生成的光源?？珊唵蔚乇O(jiān)視此信號(hào)，以檢查LCE正如所需要 的那樣響應(yīng)于光源，或者可替換地，如果需要部分展開(roll-out)的 結(jié)構(gòu)，可將信號(hào)用于光學(xué)反饋。為了實(shí)現(xiàn)光學(xué)反饋，發(fā)光二極管5可 被集成到有源矩陣背板中，或者可使用位于有源矩陣背板后面的相機(jī) (例如，CCD)。在后一情況下，成像系統(tǒng)可以存在于有源矩陣背板和 相機(jī)之間。入射到光電二極管5或相機(jī)上的光可以是LCE結(jié)構(gòu)有多開 放的度量。對于OLED的情況，其中發(fā)光層可被制成透明的，則應(yīng)當(dāng)將 光電二極管置于局部光源Ll(3)之下(參見圖5)。通過將均勻光源L2 置于LCE的另一側(cè)上，由光電二極管測量到的該光源的強(qiáng)度可被用作 對于LCE結(jié)構(gòu)的開放部分(fraction)的信號(hào)。選擇L2的強(qiáng)度和波長這 兩者，以便不導(dǎo)致LCE的致動(dòng)。為了允許這種測量，光源L1在釆樣時(shí) 段期間應(yīng)該被關(guān)閉，或者應(yīng)選擇L1的波長以使得不干擾來自L2的在 光電二極管5上的信號(hào)。在實(shí)踐中，在測量期間關(guān)閉Ll有可能是必要 的。代替將均勻光源L2僅僅用于測量反饋的是，而可將其用于多種目 的。例如，利用正確的波長，有可能使用弱強(qiáng)度的光以生成表示LCE 有多開放(即，LCE的巻曲/不巻曲的級別)的測量信號(hào)，并使用更高 強(qiáng)度的光以通過使得它們放松回到展開狀態(tài)來擦除LCE。在另一實(shí)施例中，光源L2可經(jīng)由背面而不是經(jīng)由頂部來照射LCE， 這如圖5所示。在此情況下，LCE需要被置于L2和反射器之間，使得 反射光能夠到達(dá)光電二極管。此構(gòu)造被構(gòu)建在襯底2上，在此實(shí)施例中，襯底2還包含集成驅(qū)動(dòng) 電子裝置6。表示適合于LCE的狀態(tài)的光學(xué)反饋的電路的驅(qū)動(dòng)電子裝置6可在圖 6中找到。在此電路中，光電二極管充當(dāng)電流源，其電流取決于來自均 勻光源L2的入射光的強(qiáng)度。對于此實(shí)施例，我們假設(shè)光電二極管對于 Ll產(chǎn)生的致動(dòng)光不敏感。當(dāng)被尋址時(shí)，在存儲(chǔ)電容器C上存儲(chǔ)初始柵 極-源極電壓。如果LCE被關(guān)上，則該完全電壓將被施加到驅(qū)動(dòng)晶體管 的柵極上，并且L1將是完全強(qiáng)度的。當(dāng)LCE開始打開時(shí)，即，向上巻 曲或向上纏繞時(shí)，則光電二極管檢測來自L2的信號(hào)并開始導(dǎo)通電流。 這導(dǎo)致減少驅(qū)動(dòng)晶體管上的電壓的電流，由此，Ll的強(qiáng)度減少。在此實(shí)施例中，兩個(gè)額外的開關(guān)被集成到電路中。電路布局可在圖用Ll對結(jié)構(gòu)尋址的時(shí)段期間隔離光電二極管。 首先，經(jīng)由數(shù)據(jù)和地址線將存儲(chǔ)器電容充電到從Ll產(chǎn)生調(diào)制LCE所必 要的光所需的電壓V。 Sl現(xiàn)在閉合(close)而S2仍然斷開(open)。如 果這是第一周期，則LCE將關(guān)閉，并且沒有光從L2入射到光電二極管 上，什么都不會(huì)發(fā)生。在一段時(shí)間之后，現(xiàn)在Sl斷開而S2閉合。這 將從L1產(chǎn)生光并且LCE開啟。這樣，重新尋址像素，并且C被再次充 電到電壓V。利用S2斷開且閉合Sl，并且才艮據(jù)從L2透過LCE的入射 光，光電二極管將放電到一定程度。然后Sl斷開并且S2閉合。這樣 一次又一次的重復(fù)，直到LCE足夠開放到允許正好足夠的光穿越到光 電二極管，其中V從C放電并且隨后Ll不被導(dǎo)通。附圖標(biāo)記1. 微致動(dòng)器，表示光敏致動(dòng)器元件2. 襯底3. 光源，(照射設(shè)備) 4.0LED，(照射設(shè)備)5. 光電二極管6. 驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備7. 光快門部件Ll 透明0LED，(照射設(shè)備)L2 均勻光源，(照射設(shè)備)TA，TD 晶體管 C 電容器S1，S2 開關(guān)10
權(quán)利要求
1.一種在生物芯片或生物系統(tǒng)中使用的微致動(dòng)器器件，其中所述微致動(dòng)器包括光敏致動(dòng)器元件(1)，所述光敏致動(dòng)器元件(1)可通過光源(3，4，L1，L2)的光子激活而從逆基本形狀變形為激活的變形形狀，以便利用此受控運(yùn)動(dòng)來產(chǎn)生氣體或液體中的已定義流。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的微致動(dòng)器器件，其特征在于，通過操縱由照 射設(shè)備輸入到所述光敏致動(dòng)器元件(l)中的光子能量來影響所產(chǎn)生的 運(yùn)動(dòng)的動(dòng)態(tài)參數(shù)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2的微致動(dòng)器器件，其特征在于，按以下方 式構(gòu)造所述光敏致動(dòng)器元件(1)，其中所述逆基本形狀或基礎(chǔ)形狀是至 少部分巻繞的條，而所述變形形狀是該條的至少展平的形狀。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的微致動(dòng)器器件，其特征在于，在光源的2維 光子處理陣列上布置光敏致動(dòng)器元件(l)的2維矩陣陣列，其中可相互 獨(dú)立地操縱每一個(gè)照射設(shè)備(3, 4， Ll， L2)，以便能夠激活每一個(gè)光敏致 動(dòng)器元件(l)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1-4之一的微致動(dòng)器器件，其特征在于，所述光 敏致動(dòng)器元件(1)的材料是液晶彈性體LCE。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1-5之一的微致動(dòng)器器件，其特征在于，所述光 源是發(fā)光二極管(4，L1)，并且在光子處理區(qū)域的情況下，其是發(fā)光二 極管的陣列。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6的微致動(dòng)器器件，其特征在于，所述光源分別 是有機(jī)發(fā)光二極管或所述光源是多個(gè)有機(jī)發(fā)光二極管。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1-7之一的微致動(dòng)器器件，其特征在于，在所述 光源(4， Ll)和光敏致動(dòng)器元件(1)之間布置光快門部件(7)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1-8之一的微致動(dòng)器器件，其特征在于，所述光 快門部件(7)主要地且非排它性地由液晶設(shè)備構(gòu)成，通過該液晶設(shè)備， 能夠容易地開啟和關(guān)閉沒有光透射的區(qū)域，以便操縱到所述光敏致動(dòng) 器元件(l)的光能的量。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1-8之一的微致動(dòng)器器件，其特征在于，在所 述光敏致動(dòng)器元件(1)和光源之間布置次級聚合體MEM致動(dòng)器作為光快 門，所述光快門能夠通過熱量或靜電來激活。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9或10的微致動(dòng)器器件，其特征在于，所述光 快門部件(7)被布置為無源矩陣陣列，或者有源矩陣陣列。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1-5之一的微致動(dòng)器器件，其特征在于，所述 光源是掃描激光束。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1-ll之一的微致動(dòng)器器件，其特征在于，布置 兩個(gè)光源，致動(dòng)器的每一側(cè)上一個(gè)，以便通過相機(jī)CCD陣列或光電二極管陣列來控制或反饋致動(dòng)器的機(jī)械功能。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13的微致動(dòng)器器件，其特征在于，用來操縱所 述致動(dòng)器陣列的電路已經(jīng)集成了光電二極管(Ll)作為電流源，其電流 取決于入射光源的強(qiáng)度，通過其產(chǎn)生所述致動(dòng)器的光學(xué)反饋。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14的微致動(dòng)器器件，其特征在于，在所述電路 中布置兩個(gè)開關(guān)，以便在用于所述致動(dòng)器的光子致動(dòng)的光源(Ll)和用 于所述致動(dòng)器的位置或致動(dòng)的光學(xué)反饋的光源(L2)之間進(jìn)行切換。
全文摘要
本發(fā)明涉及在生物芯片或生物系統(tǒng)中使用的微致動(dòng)器器件。為了實(shí)現(xiàn)用作生物傳感器或生物系統(tǒng)或者至少生物芯片中的微泵、并且通過它可非常精確有效地操縱致動(dòng)的微致動(dòng)器器件，解決方案是該微致動(dòng)器包括光敏致動(dòng)器元件(1)，該光敏致動(dòng)器元件(1)可通過光源(3，4，L1，L2)的光子激活而從逆基本形狀變形為激活變形形狀，以便利用此受控運(yùn)動(dòng)來產(chǎn)生氣體或液體中的已定義流。
文檔編號(hào)B81B3/00GK101516764SQ200780035048
公開日2009年8月26日 申請日期2007年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月20日
發(fā)明者J·M·J·登圖恩德, M·F·吉利斯, M·T·約翰遜, M·W·G·龐吉 申請人:皇家飛利浦電子股份有限公司