一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的制作方法
【專利說明】一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明屬于化學(xué)化工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及用于單晶硅和碳化硅切片的金屬絲切割液。
【背景技術(shù)】
[0003]在硅片切割生產(chǎn)過程中，作為金屬絲切割的負(fù)責(zé)耗材，硅片切割液并不可少。切割液在懸浮能力、冷卻性能、潤滑性能和砂漿分散性能的好壞，很大程度上決定了硅片切割的精度和效率。目前市場上普通的硅片切割液在散熱冷卻性能還有所欠缺，尤其是在高頻率切割下難以達到尤其。而且隨著切割的進行，金屬絲如果磨損到一定程度后，且潤滑性能會降低，導(dǎo)致切割精度下降，有的抗雜質(zhì)能力較差，當(dāng)切割硅、鐵、極氧化合物等雜質(zhì)的產(chǎn)生，還會導(dǎo)致切割液性能明顯下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明目的:針對上述現(xiàn)有存在的問題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液，具有更優(yōu)秀的潤滑性能，能提高硅片的切割精度，并降低切割液的使用成本。
[0005]技術(shù)方案:為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液，按質(zhì)量份數(shù)計包括以下組份:
去離子水100份；
聚乙二醇70?120份；
甘油2?20份；
表面活性劑1?5份；
娃酸鹽0.5?2份；
鄰苯二甲酸胺二乙酯5?20份；
環(huán)氧大豆油5?40份。
[0006]作為優(yōu)選，所述聚乙二醇的聚合度為600?800。
[0007]作為優(yōu)選，所述表面活性劑為環(huán)烷酸鋅鹽、十二烷基磺酸鈉、烷基酚聚氧乙烯醚或十二烷基硬脂酸鹽。
[0008]作為優(yōu)選，所述各組分質(zhì)量分?jǐn)?shù)如下:
去離子水100份；
聚乙二醇100份；
甘油12份；
表面活性劑2份；
硅酸鹽0.8份；(增稠劑) 鄰苯二甲酸胺二乙酯10份；
環(huán)氧大豆油12份。
[0009]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明切割液具有較強的碳化硅懸浮分散能力，能有效提高磨料在金屬絲上的攜帶量，且具有較低的旋轉(zhuǎn)粘度利于超薄硅片的切割；同時具有較高的潤滑效果，且成本低廉，易于聚乙二醇的回收。
【具體實施方式】
[0010]下面結(jié)合具體實施例，進一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。
[0011]實施例1
在100L的去離子水中，依次加入聚合度為800的100L聚乙二醇、10L甘油、5L的環(huán)烷酸鋅鹽，并攪拌均勻，接著加入1L的硅酸鹽、10份鄰苯二甲酸胺二乙酯和12份環(huán)氧大豆油，攪勻備用。得到切割液為無色透明液體，在25°C下的粘度為27.5?32.0，比重為1.15?1.28，5%的水溶液Ph值范圍為5?7，旋轉(zhuǎn)粘度隨溫度上升而降低，45°C的旋轉(zhuǎn)粘度相對于20°C的旋轉(zhuǎn)粘度下降55.5%。
[0012]實施例2
在100L的去離子水中，依次加入聚合度為800的100L聚乙二醇、5L甘油、5L的十二烷基磺酸鈉，并攪拌均勻，接著加入0.8L的硅酸鹽、10份鄰苯二甲酸胺二乙酯和10份環(huán)氧大豆油，攪勻備用。得到切割液為無色透明液體，在25°C下的粘度為27.5?32.0，比重為
1.15?1.28，5%的水溶液Ph值范圍為5?7，旋轉(zhuǎn)粘度隨溫度上升而降低，45°C的旋轉(zhuǎn)粘度相對于20°C的旋轉(zhuǎn)粘度下降60.5%。
【主權(quán)項】
1.一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液，其特征在于，按質(zhì)量份數(shù)計包括以下組份: 去離子水100份； 聚乙二醇70?120份； 甘油2?20份； 表面活性劑1?5份； 娃酸鹽0.5?2份； 鄰苯二甲酸胺二乙酯5?20份； 環(huán)氧大豆油5?40份。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液，其特征在于:所述聚乙二醇的聚合度為600?800。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液，其特征在于:所述表面活性劑為環(huán)烷酸鋅鹽、十二烷基磺酸鈉、烷基酚聚氧乙烯醚或十二烷基硬脂酸鹽。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液，其特征在于:所述各組分質(zhì)量分?jǐn)?shù)如下: 去離子水100份； 聚乙二醇100份； 甘油12份； 表面活性劑2份； 硅酸鹽0.8份； 鄰苯二甲酸胺二乙酯10份； 環(huán)氧大豆油12份。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液，按質(zhì)量份數(shù)計包括以下組份：去離子水100份；聚乙二醇70～120份；甘油2～20份；表面活性劑1～5份；硅酸鹽0.5～2份；鄰苯二甲酸胺二乙酯5～20份；環(huán)氧大豆油5～40份。本發(fā)明具有更優(yōu)秀的潤滑性能，能提高硅片的切割精度，并降低切割液的使用成本。
【IPC分類】C10N30/06, C10M173/02
【公開號】CN105385491
【申請?zhí)枴緾N201510787921
【發(fā)明人】陳斌
【申請人】江蘇金暉光伏有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年11月17日