一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法
【專利說明】一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明屬于化學(xué)化工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及用于單晶硅和碳化硅切片的金屬絲切割液的回收。
【背景技術(shù)】
[0003]在硅片切割生產(chǎn)過程中，作為金屬絲切割的負(fù)責(zé)耗材，硅片切割液并不可少。切割液在懸浮能力、冷卻性能、潤滑性能和砂漿分散性能的好壞，很大程度上決定了硅片切割的精度和效率。目前市場上普通的硅片切割液在散熱冷卻性能還有所欠缺，尤其是在高頻率切割下難以達(dá)到尤其。而且隨著切割的進(jìn)行，金屬絲如果磨損到一定程度后，且潤滑性能會降低，導(dǎo)致切割精度下降，有的抗雜質(zhì)能力較差，當(dāng)切割硅、鐵、極氧化合物等雜質(zhì)的產(chǎn)生，還會導(dǎo)致切割液性能明顯下降。另外，切割液作為硅片切割的三大耗材之一，對硅片加工的成本起到很大作用，因此如何降低切割液的使用量是降低硅片加工成本手段之一。目前的切割液回收基本都是對聚乙二醇進(jìn)行回收。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明目的:針對上述現(xiàn)有存在的問題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法。
[0005]技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法，所述切割液包括聚乙二醇、甘油、硅酸鹽、鄰苯二甲酸胺二乙酯和環(huán)氧大豆油，所述循環(huán)回收使用方法包括以下步驟:
(1)在切割液對刀具噴淋的下方設(shè)置收集裝置，并在收集裝置后連接切割液緩沖罐，收集裝置作為一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物質(zhì)，并將上層清液送至切割液緩沖罐；
(2)對切割液緩沖罐中的切割液實(shí)時測量其比重的同時，還需要測定其PH值，當(dāng)比重超過0.86?0.88范圍或PH值超過5?7范圍，則用純水或乙二醇進(jìn)行補(bǔ)充調(diào)節(jié)去報比重在1.20?1.32，同時用碳酸氫鈉調(diào)節(jié)Ph在5?7之間；
(3)乙二醇的每補(bǔ)充100ml，還需補(bǔ)充2?5份的甘油和2?5份的鄰苯二甲酸胺二乙酯；調(diào)節(jié)好的切割液再次送回噴淋；
(4)當(dāng)切割液緩沖罐中切割液的粘度超過60mPa.s時，切割液報廢，重新更換。
[0006]作為優(yōu)選，所述切割液各組分含量如下:去離子水100份；聚乙二醇100份；甘油12份；表面活性劑2份；娃酸鹽0.8份；鄰苯二甲酸胺二乙酯10份；環(huán)氧大豆油12份。
[0007]進(jìn)一步的，所述切割液緩沖罐中還設(shè)有用于攪拌切割液的攪拌裝置。
[0008]有益效果:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的切割液維護(hù)及回收方法簡單，實(shí)現(xiàn)切割液的初步回收再利用，回收裝置簡單成本低，且對于分離而成的沉降物質(zhì)也可回收再利用。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。
[0010]—種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法，本發(fā)明主要針對的切割液包括聚乙二醇、甘油、硅酸鹽、鄰苯二甲酸胺二乙酯和環(huán)氧大豆油。其中，主要回收成分為聚乙二醇和甘油，具體的后手方法如下:
(1)在切割液對刀具噴淋的下方設(shè)置收集裝置，并在收集裝置后連接切割液緩沖罐，收集裝置作為一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物質(zhì)，并將上層清液送至切割液緩沖罐；
(2)對切割液緩沖罐中的切割液實(shí)時測量其比重的同時，還需要測定其PH值，當(dāng)比重超過0.86?0.88范圍或PH值超過5?7范圍，則用純水或乙二醇進(jìn)行補(bǔ)充調(diào)節(jié)去報比重在1.20?1.32，同時用碳酸氫鈉調(diào)節(jié)Ph在5?7之間；
(3)乙二醇的每補(bǔ)充100ml，還需補(bǔ)充2?5份的甘油和2?5份的鄰苯二甲酸胺二乙酯；調(diào)節(jié)好的切割液再次送回噴淋；
(4)當(dāng)切割液緩沖罐中切割液的粘度超過60mPa.s時，切割液報廢，重新更換。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法，其特征在于:所述切割液包括聚乙二醇、甘油、硅酸鹽、鄰苯二甲酸胺二乙酯和環(huán)氧大豆油，所述循環(huán)回收使用方法包括以下步驟: (1)在切割液對刀具噴淋的下方設(shè)置收集裝置，并在收集裝置后連接切割液緩沖罐，收集裝置作為一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物質(zhì)，并將上層清液送至切割液緩沖罐； (2)對切割液緩沖罐中的切割液實(shí)時測量其比重的同時，還需要測定其PH值，當(dāng)比重超過0.86?0.88范圍或PH值超過5?7范圍，則用純水或乙二醇進(jìn)行補(bǔ)充調(diào)節(jié)去報比重在1.20?1.32，同時用碳酸氫鈉調(diào)節(jié)Ph在5?7之間； (3)乙二醇的每補(bǔ)充100ml，還需補(bǔ)充2?5份的甘油和2?5份的鄰苯二甲酸胺二乙酯；調(diào)節(jié)好的切割液再次送回噴淋； (4)當(dāng)切割液緩沖罐中切割液的粘度超過60mPa.s時，切割液報廢，重新更換。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法，其特征在于:所述切割液各組分含量如下:去離子水100份；聚乙二醇100份；甘油12份；表面活性劑2份；硅酸鹽0.8份；鄰苯二甲酸胺二乙酯10份；環(huán)氧大豆油12份。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法，其特征在于:所述切割液緩沖罐中還設(shè)有用于攪拌切割液的攪拌裝置。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種低粘度高熱導(dǎo)率碳化硅切割液的循環(huán)回收使用方法，包括以下步驟：（1）切割液收集并作為一次沉淀池沉淀回收切割液中的沉降物質(zhì)，上層清液送至切割液緩沖罐；（2）液實(shí)時測量其比重的同時，定其PH值，當(dāng)比重超過0.86～0.88范圍或PH值超過5～7范圍；（3）乙二醇的每補(bǔ)充100ml，還需補(bǔ)充2～5份的甘油和2～5份的鄰苯二甲酸胺二乙酯；調(diào)節(jié)好的切割液再次送回噴淋；（4）當(dāng)切割液緩沖罐中切割液的粘度超過60mPa·s時,切割液報廢，重新更換。本發(fā)明的切割液維護(hù)及回收方法簡單，實(shí)現(xiàn)切割液的初步回收再利用，回收裝置簡單成本低，且對于分離而成的沉降物質(zhì)也可回收再利用。
【IPC分類】C10M175/00
【公開號】CN105385496
【申請?zhí)枴緾N201510788012
【發(fā)明人】陳斌
【申請人】江蘇金暉光伏有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年11月17日