專(zhuān)利名稱：一種硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及機(jī)電設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及了一種硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前，硅片線切割工藝的現(xiàn)狀，為了保證切割質(zhì)量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復(fù)使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業(yè)廢棄物堆積處理，或者委托專(zhuān)業(yè)處理廠對(duì)使用過(guò)的砂漿進(jìn)行處理，無(wú)論以上那種方式，都會(huì)造成極大浪費(fèi)，產(chǎn)生較大成本， 因此，實(shí)現(xiàn)砂漿的回收再利用是硅片生產(chǎn)企業(yè)降低生產(chǎn)成本的有效途徑，需要合理的設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了實(shí)現(xiàn)硅片切割廢砂漿的在線回收，降低成本，減少浪費(fèi)， 特提供了一種硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備。本實(shí)用新型提供了一種硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備包括一號(hào)罐1，二號(hào)罐2，三號(hào)罐3，四號(hào)罐4，五號(hào)罐5，六號(hào)罐6， 一號(hào)分離機(jī)7，二號(hào)分離機(jī)8，一號(hào)給料泵9，二號(hào)給料泵10，電控柜11 ；其中整體框架結(jié)構(gòu)上從左至右依次布置二號(hào)分離機(jī)8、三號(hào)罐3、二號(hào)罐2、一號(hào)罐1、一號(hào)分離機(jī)7、四號(hào)罐4、六號(hào)罐6、五號(hào)罐5，一號(hào)分離機(jī)7與三號(hào)罐3連通，二號(hào)分離機(jī)8與四號(hào)罐4連通，一號(hào)給料泵9與三號(hào)罐3連通，二號(hào)給料泵10與四號(hào)罐4連通，電控柜11與一號(hào)分離機(jī)7和二號(hào)分離機(jī)8連接。所述的一號(hào)分離機(jī)7和二號(hào)分離機(jī)8為臥式螺旋沉降離心機(jī)。工作原理切片機(jī)產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)一號(hào)分離機(jī)7的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)二號(hào)分離機(jī)8的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對(duì)回收固相進(jìn)行再處理；一次分離產(chǎn)生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離后產(chǎn)生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用于切片機(jī)使用。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型所述的硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時(shí)亦適用于半導(dǎo)體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達(dá)80%以上，硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備與線切割機(jī)可采用1 :4或1 :5配置。有效地避免了浪費(fèi)，降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
以下結(jié)合附圖及實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明


圖1為硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備俯視方向示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1本實(shí)施例提供了一種硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備包括一號(hào)罐1，二號(hào)罐2，三號(hào)罐3，四號(hào)罐4，五號(hào)罐5，六號(hào)罐6，一號(hào)分離機(jī)7，二號(hào)分離機(jī)8，一號(hào)給料泵9，二號(hào)給料泵10，電控柜11 ；其中整體框架結(jié)構(gòu)上從左至右依次布置二號(hào)分離機(jī)8、三號(hào)罐3、二號(hào)罐2、一號(hào)罐1、一號(hào)分離機(jī)7、四號(hào)罐4、六號(hào)罐6、五號(hào)罐5，一號(hào)分離機(jī)7與三號(hào)罐3連通，二號(hào)分離機(jī)8與四號(hào)罐4連通，一號(hào)給料泵9與三號(hào)罐3連通，二號(hào)給料泵10與四號(hào)罐4連通，電控柜11與一號(hào)分離機(jī)7和二號(hào)分離機(jī)8連接。所述的一號(hào)分離機(jī)7和二號(hào)分離機(jī)8為臥式螺旋沉降離心機(jī)。工作原理切片機(jī)產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)一號(hào)分離機(jī)7的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)二號(hào)分離機(jī)8的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對(duì)回收固相進(jìn)行再處理；一次分離產(chǎn)生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離后產(chǎn)生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用于切片機(jī)使用。
權(quán)利要求1.一種硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備包括一號(hào)罐(1)，二號(hào)罐(2)，三號(hào)罐(3)，四號(hào)罐(4)，五號(hào)罐(5)，六號(hào)罐(6)，一號(hào)分離機(jī)(7)，二號(hào)分離機(jī)(8)，一號(hào)給料泵(9)，二號(hào)給料泵(10)，電控柜(11)；其中整體框架結(jié)構(gòu)上從左至右依次布置二號(hào)分離機(jī)(8)、三號(hào)罐(3)、二號(hào)罐(2)、一號(hào)罐(1)、一號(hào)分離機(jī)(7)、四號(hào)罐(4)、六號(hào)罐(6)、五號(hào)罐(5)，一號(hào)分離機(jī)(7)與三號(hào)罐 (3)連通，二號(hào)分離機(jī)(8)與四號(hào)罐(4)連通，一號(hào)給料泵(9)與三號(hào)罐(3)連通，二號(hào)給料泵(10)與四號(hào)罐(4)連通，電控柜(11)與一號(hào)分離機(jī)(7)和二號(hào)分離機(jī)(8)連接。
2.按照權(quán)利要求1所述的硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的一號(hào)分離機(jī)(7)和二號(hào)分離機(jī)(8)為臥式螺旋沉降離心機(jī)。
專(zhuān)利摘要一種硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括一號(hào)罐，二號(hào)罐，三號(hào)罐，四號(hào)罐，五號(hào)罐，六號(hào)罐，一號(hào)分離機(jī)，二號(hào)分離機(jī)，一號(hào)給料泵，二號(hào)給料泵，電控柜；其中整體框架結(jié)構(gòu)上從左至右依次布置二號(hào)分離機(jī)、三號(hào)罐、二號(hào)罐、一號(hào)罐、一號(hào)分離機(jī)、四號(hào)罐、六號(hào)罐、五號(hào)罐，一號(hào)分離機(jī)與三號(hào)罐連通，二號(hào)分離機(jī)與四號(hào)罐連通，一號(hào)給料泵與三號(hào)罐連通，二號(hào)給料泵與四號(hào)罐連通，電控柜與一號(hào)分離機(jī)和二號(hào)分離機(jī)連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時(shí)亦適用于半導(dǎo)體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達(dá)80%以上。有效地避免了浪費(fèi)，降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C10M175/00GK202181291SQ201120294688
公開(kāi)日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2011年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月15日
發(fā)明者張磊, 韓東 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)光遠(yuǎn)新能源科技有限公司